JP6246642B2 - 位相差測定装置 - Google Patents
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Description
[1/2]・[A/B]・[1/m]<m<2・[A/B]・[1/m]
d・sinθ=λ ・・・ (1)
θ=λ/d ・・・ (2)
h0=f・θ=f・λ/d ・・・ (3)
h1=f・λ・delay/d ・・・ (4)
B・m/A=B/B・m ・・・ (5)
[A/B]・[1/m]=m ・・・ (6)
[A・C/B・D]=[D/C] ・・・ (7)
[1/2]・[A/B]・[1/m]<m<2・[A/B]・[1/m]・・・(8)
[A・E/B・F]=[F/E] ・・・(9)
11 投影レンズ
12 ビームスプリッタ
13 スリットマスク
15 フーリエ変換レンズ
21 位相差測定カメラ
24 鏡筒
27 ターンテーブル
28 モータ
31 撮像面
34 チューブレンズ
35 対物レンズ
40 照明系
41 干渉フィルター
42 ハロゲンランプ
47 レンズ
50 位相差マスク
51 遮光パターン
52 位相差パターン
53 ベース部
59 基準マスク
91 第1スリット
92 第2スリット
A 位相差パターン52のコヒーレント光の透過率
B ベース部53のコヒーレント光の透過率
C 第1スリット91のコヒーレント光の透過率
D 第2スリット92のコヒーレント光の透過率
E 第1スリットのスリット幅
F 第2スリットのスリット幅
G 基準マスク59のコヒーレント光の透過率
Claims (4)
- 液晶表示パネルの製造に使用される位相差マスクの位相差を測定する位相差測定装置において、
コヒーレント光照射部と、
前記位相差マスクにおける位相差パターンと対向配置される第1スリットと、前記位相差マスクにおける位相差パターン以外の透過領域と対向配置される前記第1スリットと平行に配置された第2スリットと、を有するスリットマスクと、
前記コヒーレント光照射部から照射され、前記位相差マスクを通過したコヒーレント光によって形成された前記スリットマスクの回折パターンを検出する回折パターン検出部と、を備え、
前記第1スリットを通過可能なコヒーレント光の光量に対する前記第2スリットを通過可能なコヒーレント光の光量の比は、前記位相差マスクにおける位相差パターン以外の透過領域単体のコヒーレント光の透過率に対する前記位相差マスクにおける位相差パターン単体のコヒーレント光の透過率の比より大きく、1より小さいことを特徴とする位相差測定装置。 - 請求項1に記載の位相差測定装置において、
前記位相差マスクにおける位相差パターンのコヒーレント光の透過率をA、前記位相差マスクにおける位相差パターン以外の透過領域のコヒーレント光の透過率をBとし、前記第1スリットを通過可能なコヒーレント光の光量に対する、前記第2スリットを通過可能なコヒーレント光の光量の比をmとしたとき、前記比mは下記の式を満たす位相差測定装置。
[1/2]・[A/B]・[1/m]<m<2・[A/B]・[1/m] - 請求項2に記載の位相差測定装置において、
前記第1スリットと前記第2スリットとが同一の幅を有し、前記第1スリットのコヒーレント光の透過率Cは略100%である位相差測定装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の位相差測定装置において、
前記第2スリットは所定の間隔を隔てて一対配設されており、前記第1スリットは前記一対の第2スリットの間に配置される位相差測定装置。
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