JP6237227B2 - 半導体装置 - Google Patents
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トレンチ構造のゲート電極が埋設された半導体本体を有する半導体装置であって、
前記ゲート電極の半導体本体の表面に露出する端部に接続され、前記半導体本体の内部で発生した熱を前記ゲート電極を介して吸熱する吸熱部が設けられており、
前記吸熱部には、P型及び/またはN型半導体で形成されたペルチェ素子が設けられ、
前記ペルチェ素子は、前記熱を吸収する吸熱面と、吸収した熱を放出する放熱面とを有し、
前記半導体装置は、前記ゲート電極を複数備え、
各ゲート電極の半導体本体の表面に露出する端部は、前記ペルチェ素子の吸熱面に直接接続されている
ことを特徴とする。
前記半導体装置は、前記ペルチェ素子の放熱面に接続され、前記ペルチェ素子の外部に熱を放出する放熱部材を備える
ことを特徴とする。
前記半導体本体は、絶縁ゲートバイポーラトランジスタまたはパワーMOSFETである
ことを特徴とする。
図1に示すように、半導体装置100は、炭化ケイ素からなる基板の片面にドレイン電極11が設けられ、該ドレイン電極11の表面には、n型のドリフト層12が設けられている。ドリフト層12の表面には、チャネル領域形成層であるP型のボディ層13が設けられている。ボディ層13の表面の一部にN+型のソース層14が設けられている。ソース層14とボディ層13を貫いてドリフト層12に達するようにトレンチ15が複数設けられている。トレンチ15の内壁面には、後述する所定材料からなるゲート絶縁膜16が形成され、ゲート絶縁膜16の上からトレンチ15を埋めて、さらにトレンチ15の外部へ突出するように、後述する所定材料から形成されたゲート電極17が設けられている。すなわち、ゲート電極17の下部はトレンチ15内にゲート絶縁膜16を介して埋設されている。ゲート絶縁膜16のトレンチ15の開口側端部と、ソース層14の一部とを覆うように絶縁層18が設けられている。ボディ層13とソース層14の露出表面と、絶縁層18とを覆うようにソース電極19が設けられている。ソース電極19とドレイン電極11には、ソース端子Sとドレイン端子Dがそれぞれ接続されている。MOSFETとして高速スイッチングを行う半導体本体部20は、上述のドレイン電極11、ドリフト層12、ボディ層13、ソース層14、ゲート絶縁膜16、ゲート電極17、絶縁層18およびソース電極19を備えている。
図3に示すように、半導体装置200は、上述の第1実施例の半導体装置100と比較すると、MOSFETとしての半導体本体部20とペルチェ素子30の構成は共通するが、ゲート層22と伝熱層23が設けられていない点で異なる。なお、同様の構成や機能を有する部材については、同じ符号を付している。
16 ゲート絶縁膜
17 ゲート電極
20 半導体本体部(半導体本体)
23 伝熱層(絶縁均熱部材)
30 ペルチェ素子(吸熱部)
31 吸熱面部(吸熱面)
33 放熱面部(放熱面)
35 放熱層(放熱部材)
Claims (3)
- トレンチ構造のゲート電極が埋設された半導体本体を有する半導体装置であって、
前記ゲート電極の半導体本体の表面に露出する端部に接続され、前記半導体本体の内部で発生した熱を前記ゲート電極を介して吸熱する吸熱部が設けられており、
前記吸熱部には、P型及び/またはN型半導体で形成されたペルチェ素子が設けられ、
前記ペルチェ素子は、前記熱を吸収する吸熱面と、吸収した熱を放出する放熱面とを有し、
前記半導体装置は、前記ゲート電極を複数備え、
各ゲート電極の半導体本体の表面に露出する端部は、前記ペルチェ素子の吸熱面に直接接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体装置は、前記ペルチェ素子の放熱面に接続され、前記ペルチェ素子の外部に熱を放出する放熱部材を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体本体は、絶縁ゲートバイポーラトランジスタまたはパワーMOSFETである
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
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