JP6227257B2 - 自動化されたイオン・ビームのアイドリング - Google Patents
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Description
102 プラズマ室
124 ポンプ
127 リザーバ/冷却器
136 高周波(RF)コイル
156 調整可能弁
158 流れ絞り
Claims (15)
- 荷電粒子ビーム・システムであり、
プラズマ室を含むプラズマ・イオン源、
前記プラズマ室内のガスにエネルギーを与えることにより高周波エネルギーを前記プラズマ室に伝達してプラズマを生成するために前記プラズマ室の外部に配置されたRFアンテナに接続された高周波(RF)電源、
前記プラズマ・イオン源を高電圧に電気的にバイアスする源電極、および
前記プラズマ・イオン源からイオンを引き出す引出し電極
を有する集束イオン・ビーム源と、
前記集束イオン・ビーム源からの荷電粒子を試料上に集束させる1つまたは複数の集束レンズを含むイオン・カラムと、
前記荷電粒子ビーム・システムのアイドル状態を検出し、
前記アイドル状態の検出に応じて、高周波エネルギーを前記プラズマ室に伝達し続けることにより前記プラズマ室内のプラズマを維持し、前記引き出し電極と前記源電極の間の電位を制御するために前記源電極および/または前記引出し電極に印加する電圧を自動的に変更して、イオンが前記イオン・カラムを下方へ通過することを防ぐシステム・コントローラと
を備える荷電粒子ビーム・システム。 - 前記集束イオン・ビーム源が誘導結合プラズマ源を含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 電圧を変更することが、アイドル状態が検出されたときに、前記引出し電極上の電圧を、前記プラズマ・イオン源からイオンを引き出すのに十分な電圧に維持し、前記源電極に印加する前記電圧を低下させて、イオンが前記イオン・カラムを下方へ通過することを防ぐことを含む、請求項1または2に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記引出し電極上の電圧を維持することが、前記源電極に印加する前記電圧を低下させて、イオンが加速されて前記イオン・カラムを通過しないようにしている間、アイドル状態が検出される前後において、前記引出し電極と前記源電極の間の相対電位を維持することを含む、請求項3に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 荷電粒子ビームが操作されている間にイオン・ビームを遮断して、イオンが前記試料に到達しないようにするビーム・ブランカをさらに備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- 前記荷電粒子ビーム・システムのアイドル状態を検出することが、
前記ビームが遮断されているかどうかを判定し、
前記ビームが遮断されている場合に、予め選択しておいた時間よりも長い時間にわたって前記ビームが遮断されているかどうかを判定し、
予め選択しておいた前記時間よりも長い時間にわたって前記ビームが遮断されている場合に、前記荷電粒子ビーム・システムがアイドル状態にあると判定する
ことを含む、請求項5に記載の荷電粒子ビーム・システム。 - 1つまたは複数のオペレータ入力装置をさらに備え、前記荷電粒子ビーム・システムのアイドル状態を検出することが、
予め選択しておいた時間の間にオペレータ入力が検出されたかどうかを判定し、
予め選択しておいた前記時間の間、オペレータ入力が検出されていない場合に、前記荷電粒子ビーム・システムが自動化された手順を実行しているかどうかを判定し、
予め選択しておいた前記時間の間、オペレータ入力が検出されておらず、かつ自動化された手順が実行されていない場合に、前記荷電粒子ビーム・システムがアイドル状態にあると判定する
ことを含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム・システム。 - 前記集束イオン・ビーム源が誘導結合プラズマ源を含む、請求項3から7のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム・システム。
- プラズマ室を含む集束イオン・ビーム源、前記プラズマ室の外部に配置されたRFアンテナに接続された高周波(RF)電源、源電極、引出し電極およびイオン集束カラムを有する荷電粒子ビーム・システムを制御する方法であって、
前記室内のガスにエネルギーを与えるために前記RFアンテナからの高周波エネルギーを前記プラズマ室に伝達し、集束イオン・ビーム用のプラズマを生成するステップと、
前記集束イオン・ビーム源のアイドル状態を自動的に検出するステップと、
アイドル状態が検出されたときに、前記プラズマ室内のプラズマを維持し、前記源と前記引き出し電極の間の電位を制御するために前記源電極に供給する電圧および/または前記引出し電極に供給する電圧を自動的に変更して、イオンが前記イオン集束カラムを通過することを防ぐステップと
を含む方法。 - 前記荷電粒子ビーム・システムがビーム・ブランカを備え、前記集束イオン・ビーム源のアイドル状態を自動的に検出するステップが、
ビームが遮断されているかどうかを自動的に判定するステップと、
前記ビームが遮断されている場合に、予め選択しておいた時間よりも長い時間にわたって前記ビームが遮断されているかどうかを判定するステップと、
予め選択しておいた前記時間よりも長い時間にわたって前記ビームが遮断されている場合に、前記荷電粒子ビーム・システムがアイドル状態にあると判定するステップと
を含む、請求項9に記載の方法。 - 前記荷電粒子ビーム・システムが1つまたは複数のオペレータ入力装置を備え、前記集束イオン・ビーム源のアイドル状態を自動的に検出するステップが、
予め選択しておいた時間の間にオペレータ入力が検出されたかどうかを自動的に判定するステップと、
予め選択しておいた前記時間の間、オペレータ入力が検出されていない場合に、前記荷電粒子ビーム・システムが自動化された手順を実行しているかどうかを判定するステップと、
予め選択しておいた前記時間の間、オペレータ入力が検出されておらず、かつ自動化された手順が実行されていない場合に、前記荷電粒子ビーム・システムがアイドル状態にあると判定するステップと
を含む、請求項9または10に記載の方法。 - 前記荷電粒子ビーム・システムが、誘導結合プラズマ源を備える集束イオン・ビーム・システムを含む、請求項9から11のいずれか一項に記載の方法。
- 電圧を変更するステップが、アイドル状態が検出されたときに、前記引出し電極上の電圧を、前記源からイオンを引き出すのに十分な電圧に維持し、前記源電極に印加する前記電圧を低下させて、イオンが前記カラムを下方へ通過することを防ぐステップを含む、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法。
- ウェイクアップ信号を受け取ったかどうかを判定するステップと、ウェイクアップ信号を受け取った場合に、前記源電極に供給する電圧および/または前記引出し電極に供給する電圧を自動的に変更して、前記集束イオン・ビーム源からイオンが引き出され、加速されて、前記イオン集束カラムを通過するようにするステップとをさらに含む、請求項9から13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビーム・システムが誘導結合プラズマ源を備える、請求項9、10、11、13、14のいずれか一項に記載の方法。
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