JP5830601B2 - ガス電界電離イオン源およびイオンビーム装置 - Google Patents
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Description
まず、図1を用いて引出電圧とイオン電流との関係について説明する。図1では、ガス電界電離イオン源における動作モードの切り替えを示す電流−電圧特性図(模式的に表した両対数表示のグラフ)が示されている。エミッタ電極と引出電極との間に印加する引出電圧を横軸に取り、エミッタ電極からの放出イオン電流の密度を縦軸に取ったものが図1(A)である。放出イオン電流の密度とは、放出イオン電流をエミッタ電極の先端部のイオンが放出されている面積で除算したものであり、エミッタ電極の単位領域あたりの放出イオン電流を表す。ここで、線1000はエミッタ電極近傍のガス圧力を通常設定した場合を表す。引出電圧を増加させると、エミッタ電極先端には微小突起があるため、しばらくは限られた小領域からのみイオン放出が起きる。この動作状態を小領域放出状態と呼ぶこととする。この小領域は微小突起の構造に依存して決まり、代表的なものに単原子(Single Atom)や三原子(Trimmer)がある。さらに引出電圧を増加させるとイオン電流の密度は引出電圧の増加量に対して増加割合が小さくなる状態、いわゆる飽和レベルとなる。この飽和のレベルはエミッタ電極近傍のガス圧力で決まる。通常はイオン電流の密度および総電流量が飽和レベルに入ってすぐあたりの動作ポイント2000で使用する。ここで飽和レベルとは、図1(B)で、引出電圧を上げていくと引出電圧の増加量に対して総電流量の増加割合が小さくなった状態(動作ポイント2000より引出電圧Vが大きい側のグラフで示される状態)を意味する。飽和レベルに入ってすぐの引出電圧を用いることで、引出電圧をなるべく低い状態で電流密度を高くすることができるので、エミッタ電極の先端の形状が破壊されにくくなる。ここからさらに引出電圧を増加させると、小領域以外からもイオン放出が始まり、イオン電流の密度が低下しだす。この動作状態を大領域放出状態と呼ぶこととする。図1(B)は引出電圧を横軸に取り、エミッタ電極の先端全体からの放出イオン電流を縦軸に取ったものである。同じガス圧力設定での線1100は大領域放出でも下がらない。引出電圧が一定であれば、全放出イオン電流はガス圧力によって決まっている。イオンが放出される領域(以下、イオン放出領域という)にわたって、単位領域あたりの放出されるイオンの量を積算すると全放出イオン電流となる。
次に、図1を用いてエミッタ電極近傍に供給されるイオン化ガスの圧力とイオン電流との関係について説明する。ガス圧が一定であれば、電流密度および全電流量は引出電圧で決まるが、ガス圧が変化するとこれらはそれに応じて変化する。図1(A)の線1001および図1(B)の線1101は、エミッタ電極近傍のガス圧を通常より低下させた場合を表す。小領域放出である動作ポイント2000から、それと同じ引出電圧の動作ポイント2001へ移行すると、放出イオン電流の密度および全放出イオン電流は低下する。これらの動作ポイントの間の移行は、可逆的に行えるのでイオン光学系を通して試料上に照射するイオンビームの電流を調整するために使われる。
本発明では、放出イオン電流を増加させるために、引出電圧を上げることで大領域放出状態にしてからガス圧を増加させる。これは、図1(A)および図1(B)において、動作ポイント2000から動作ポイント2003へ移行させる経路に対応する。この方法によれば、エミッタ電極先端の小領域が破壊されないため、可逆的に放出イオン電流を変更することができる。特に、ガス圧を上げ、従来の方法ではエミッタ電極が破壊されやすい状態(線1002、1102で表される状態)と同じまたはそれ以上のガス圧にしてイオン電流を増大させても、本発明の方法によれば、エミッタ電極が破壊される確率を低減できる。したがって、一旦このような大電流の動作状態にした場合であってもその後エミッタ電極を再成形することなく、イオンビーム電流を小さくすることが可能となる。
本実施の形態に係るガス電界電離イオン源の全体構成図を図2に示す。以下、図2を用いてイオン源の基本構成と基本動作を説明する。ガス電界電離イオン源100の中心部分は、先端が針状のエミッタ電極1と、その先端から離間した位置に配置した、中心に開口を持つ引出電極2である。これらは真空容器10の中に保持されている。エミッタ電極1の先端近傍にはイオン化すべきガスが供給されている。このガスの圧力はガス供給系3とガス排気系11の動作バランスにより調整されている。ガス供給系3にはガス源とガス導入配管が含まれる。ガス排気系11には真空ポンプとガス排気管が含まれる。また、ガス供給系3とガス排気系11の動作はガス圧制御部92によって制御される。エミッタ電極1と引出電極2の間に、引出電圧印加部4によりエミッタ電極1側を正とする高電圧を印加すると、ある閾値以上でガスのイオン化が起こり、エミッタ電極1の先端からイオンビーム5が放出される。イオンビーム5の拡がりが大きい場合、中心に開口を有するイオン源絞り6により、イオンビーム5の外側の一部が通過を制限される。イオン源制御系90は、引出電圧印加部4とガス供給系3とガス排気系11とを含むイオン源全体を制御するとともに、他の機器やユーザからの入出力も制御する。なお、エミッタ電極1や引出電極2の保持部、真空排気部、冷却部、高電圧絶縁部などは説明に不要なので記述を省略した。イオン源制御系90やこれに含まれる各制御部は、専用の回路基板によってハードとして構成されていてもよいし、イオンビーム装置に接続されたコンピュータで実行されるプログラムによって構成されてもよい。
次に引出電圧に対応してエミッタ電極先端部でのイオン放出の状態が変化する様子について説明する。本実施例のエミッタ電極1としては、針状に成形したタングステン(W)の基材にイリジウム(Ir)をコートして、アニールにより先端に三角錐状のナノピラミッド構造を形成したものを用いている。またイオン化すべきガスとしてはネオン(Ne)を用いている。エミッタ電極1の最先端は単原子(Single Atom)である。このエミッタ電極1からのイオン放出の代表的状態を表した模式図を図3に示す。引出電圧を増加していくと図3(A)から図3(B)の状態を経て図3(C)の状態へ推移する。図3(A)は図1で説明した小領域放出状態であり、イオン放出領域は単原子である。図3(B)は図1で説明した大領域放出状態の一つで、先端の単原子だけでなく周辺の原子からもイオンを放出する状態である。図3(C)はさらに引出電圧をあげた際の大領域放出状態で、先端の単原子部分ではイオン放出がおきなくなっている。これは中心の電界が強すぎてイオン化条件を満たさなくなったためである。本実施例では図3(A)の状態と図3(B)の状態でイオン源として使用する。
次に、本実施例の特徴の一つとして引出電圧とガス圧の制御を連動させる点を説明する。イオン源制御系90では、図3(A)の小領域放出状態に対応する通常の引出電圧と、図3(B)の大領域放出状態に対応し図3(A)の状態での引出電圧より高い引出電圧とがメモリ93に記憶されている。例えば、本実施例では図3(B)の大領域放出状態では図3(A)の状態の約10倍の放出領域となる。エミッタ電極1の先端近傍のガス圧を決めるガス供給系3とガス排気系11の動作バランスをつかさどるガス圧制御部92の動作状態として、第1のガス圧の場合と、第1のガス圧より高い第2のガス圧の場合とがメモリ94に記憶されている。以下、第1のガス圧を通常のガス圧ということもある。例えば、本実施例では第2のガス圧は第1のガス圧の約10倍である。イオン放出状態のメモリ95には、通常モードとして通常の引出電圧と通常のガス圧の組合せが記憶されている。また、大電流モードとして高い引出電圧と高いガス圧の組合せが記憶されている。メモリ95に記憶されるイオン放出状態の間の遷移に関するシーケンスはメモリ96に記憶されている。ここで、ユーザまたは他の機器からイオン源制御系90にイオン放出状態の指定があると、制御系本体部91は関連するメモリ93〜96を読みだして、引出電圧印加部4とガス供給系3とガス排気系11とを適正に制御する。ガス供給系3とガス排気系11の制御はガス圧制御部92を通して行われる。
次に、本実施例の更なる特徴として、イオン源絞りの材質について説明する。本実施例ではイオン源絞り6の材質をエミッタ電極1の表面の材質と略同一としている。具体的にはイオン源絞り6の材質はIrを用いている。本実施例のように大電流のイオンビームを取り出したときにはイオンビーム5の開き角が大きくなりイオン源絞り6に当たる確率が高まる。イオンがイオン源絞り6に照射されると僅かながらもスパッタリングが生じ、スパッタされたイオン源絞り6の材料粒子はエミッタ電極1方向にも飛散する。これが長期的にはエミッタ電極1の先端構造を変形させてイオン放出を不安定にする可能性がある。本実施例ではイオン源絞りをIrとしたため、エミッタ電極1に降り注ぐスパッタ粒子はIrである。エミッタ電極1の表面はもともとIrであり、そこへ余分なIrがついても適当なアニールをほどこすことにより元と同じナノピラミッド構造を再生することができる。したがって、イオン源絞りのスパッタを起因とするイオン放出の不安定化を抑制することが可能となるという更なる効果を奏することができる。
なお、以上の説明では、図3(C)の状態は、ガス電界電離イオン源100からのイオンビーム5を後段に接続するイオン光学系などで集束する場合に収差が大きくなるため、使用しないこととした。しかし、この状態でのバーチャルソース(仮想光源)が大きい訳ではないので、使うイオン光学系の許容度が大きければ、より大電流を得るために使用することは可能である。バーチャルソース(仮想光源)とは、エミッタ表面からの放出イオンの軌道群を逆方向に延長したときに最も狭くなる部分のことで、エミッタ表面の面積より小さい。通常、仮想光源をレンズで試料上に投射する光学系とすることで最小のビーム径が得られる。また、イオン光学系の許容度が大きいとは、球面収差などの軸外収差が小さいために、広い開き角のイオンビームを入射させても試料上のイオンビーム径にそれらの影響が出ない状態をいう。言い換えれば、仮想光源の大きさや色収差がビーム径を決める主な要因となる状態である。
本実施例では、イオン化すべきガスとして複数種類の混合ガスを用いているガス電界電離イオン源について説明する。特に、イオン化可能な引出電圧が異なる複数種類のガスを混合してイオン化ガスとする。具体的にはイオン化すべきガスとしてArとHeの混合ガスを用いている。なお、ガス電界電離イオン源の全体構成は、基本的に図2に示した第一の実施例と同じである。以下において、実施例1と同様の部分については説明を省略する。
本実施例での種々のイオン放出状態を表す模式図を図4に示す。図4は実施例1の図3に対応するものである。図4を用いて、引出電圧に対応してエミッタ電極先端部でのイオン放出の状態が変化する様子について説明する。引出電圧を増加させるにしたがって図4の(A)(B)(C)(D)の状態の順に遷移していく。図4(A)の状態はArイオンの小領域放出状態である。図4(B)の状態はArイオンの大領域放出状態であり、まだ図4(A)の状態でのイオン放出領域であるエミッタチップの先端部から弱い放出がある。図4(C)の状態はArイオンの大領域放出状態であるが、図4(A)の状態でのイオン放出領域であるエミッタチップの先端部から放出が無い状態である。図4(D)の状態はHeイオンの小領域放出状態とArイオンの大領域放出状態が同時におきている状態である。この状態ではイオン源絞り6で周囲から放出されるArイオンを遮蔽することで、Heイオンだけをビームとして抽出することが可能である。
次に、本実施例の引出電圧とガス圧の制御を連動させる点について説明する。
本実施例では、動作状態を三つメモリしている。それぞれ、Ar通常モード、Ar大電流モード、He通常モードと呼ぶ。引出電圧設定としては、「通常」、「中」、「高」の三種類、ガス圧設定としては、「通常」、「高」の二種類をメモリしている。これら三つの動作状態を表す電流−電圧特性図を図5に示す。これは実施例1の図1に対応するものである。
また、以上の説明では、図4(C)の状態は、ガス電界電離イオン源100からのイオンビーム5を後段に接続するイオン光学系などで集束する場合に収差が大きくなるため、使用しないこととした。しかし、この状態でのバーチャルソース(仮想光源)が大きい訳ではないので、使うイオン光学系の許容度が大きければ、より大電流を得るために使用することは可能である。なお、バーチャルソース(仮想光源)、イオン光学系の許容度については実施例1で記載した意味と同様である。
本実施の形態に係るガス電界電離イオン源の全体構成を図6に示す。その基本構成と基本動作は図2に示した第1の実施例と同じであるが、エミッタ電極1′の先端が三原子(Trimmer)である点と、イオン源制御系90′がエミッタ駆動系50も制御する点が異なる。詳細は後述する。以下において、実施例1と同様の部分については説明を省略する。
本実施例のエミッタ電極1′としては、針状に成形したタングステン(W)を基材としてその先端を成形したものを用いている。ここで、このW針の成形手順を簡単に説明する。まず酸素(O2)中で電界をかけて先端周辺をエッチングして先鋭化した後に、真空または希ガス中で電界をかけて電界蒸発により先端を徐々に剥がして行く。先端が適度な曲率を持ちその頂点が三原子となったところで成形を終わる。このエミッタ電極1′からのイオン放出の代表的状態は第1の実施例において図3(A)から(C)に示したものと基本的に同じである。異なる点は、図3(A)で示す小領域放出状態において、イオン放出領域が単原子ではなく三原子になっているところである。このイオン源からのイオン放出を後段に接続するイオン光学系で利用する場合、イオン放出領域(三原子)の中心軸をイオン光学系の軸に合わせることは行わない。小領域放出状態では三原子のそれぞれのイオン放出領域は完全に分離しているため、エミッタの中心はイオン放出のない部分となり、イオン光学系で絞りを小さくしていくと試料上にイオンビームが到達しなくなるためである。よって、通常は、三原子のうちの1原子からの放出をイオン光学系の軸に合わせるようにエミッタ電極1′の向きを変更する。なお、向きの変更は図示しないジンバル機構と水平微動機構の動きの組合せで行う。一方、大領域放出状態では、複数の原子からのイオン放出領域は重なり合っている。イオン光学系の絞りを大きくして、できるだけ多くの電流を試料上に届けるためには、エミッタの中心軸がイオン光学系の中心軸に一致するのが良い。
次に、本実施例の特徴の一つとして引出電圧とガス圧の制御とエミッタ電極の向きを連動させる点を説明する。イオン源制御系90′では、図3(A)の小領域放出状態に対応する通常の引出電圧と、図3(B)の大領域放出状態に対応し図3(A)の状態での引出電圧より高い引出電圧とがメモリ93に記憶されている。例えば、本実施例では図3(B)の大領域放出状態では図3(A)の状態の約10倍の放出領域となる。エミッタ電極1′先端近傍のガス圧を決めるガス供給系3とガス排気系11の動作バランスをつかさどるガス圧制御部92の動作状態として、第1のガス圧の場合と、第1のガス圧より高い第2のガス圧の場合とがメモリ94に記憶されている。以下、第1のガス圧を通常のガス圧ということもある。例えば、本実施例では第2のガス圧は第1のガス圧の約10倍である。エミッタ電極1′の向きを決めるエミッタ駆動系50の動作状態として、エミッタ電極1′先端三原子のうちの1原子に合わせた傾斜の場合と、エミッタ電極1′先端の中心軸に合わせた非傾斜の場合とがメモリ97に記憶されている。イオン放出状態のメモリ98には、通常モードとして通常の引出電圧と通常のガス圧と傾斜時の向きとの組合せが記憶されている。また、大電流モードとして高い引出電圧と高いガス圧と非傾斜時の向きとの組合せが記憶されている。メモリ98に記憶されるイオン放出状態の間の遷移に関するシーケンスはメモリ99に記憶されている。ここで、ユーザまたは他の機器からイオン源制御系90′にイオン放出状態の指定があると、制御系本体部91′は関連するメモリ93〜99を読みだして、引出電圧印加部4とガス供給系3とガス排気系11とエミッタ駆動系50とを適正に制御する。ガス供給系3とガス排気系11の制御はガス圧制御部92を通して行われる。
なお、本実施例では大電流モードにおいて、エミッタ電極1′の向きを非傾斜としたが、傾斜としたままでも使用することも可能である。その場合、イオンビーム5の電流中心が傾くので、イオン源の後段に設置するイオン光学系での収差発生に注意する必要がある。
本実施の形態に係る走査イオン顕微鏡の全体構成図を図7に示す。走査イオン顕微鏡200の基本構成は、ガリウム液体金属イオン源(Ga−LMIS)用に製作された最大加速電圧40kVの集束イオンビーム(FIB)装置と同じであり、イオン源部を第1の実施例で示したガス電界電離イオン源100へ入れ替えたものである。なお、ガス電界電離イオン源100のうち説明に不要な部分は図示を省略している。以下において、実施例1と同様の部分については説明を省略する。
顕微鏡制御系120では、イオン源制御系90へ出力する複数のイオン放出状態がメモリ122に記憶されている。レンズ駆動部に指定する複数の集束状態がメモリ123に記憶されている。イオン放出状態と集束状態の組合せで表されるビーム状態がメモリ124に記憶されている。メモリ124に記憶されているビーム状態の間の遷移に関するシーケンスはメモリ125に記憶されている。ここで、ユーザまたは他の機器から顕微鏡制御系120にビーム状態の指定があると、顕微鏡制御系本体部121は関連するメモリ122〜125を読みだして、イオン源制御系90とレンズ系駆動部105を適切に制御する。
本実施例の走査イオン顕微鏡では、顕微鏡制御系120がイオン源の制御とイオン光学系の制御を連動して行えるように構成した。顕微鏡制御系120をさらに機能拡張して、二次電子検出器や図示しない他の検出器、他の機能の設定変更も連動して制御できるように構成してもよい。
以上で説明したガス電界電離イオン源では、イオン放出状態が引出電圧の増加に対応して図3または図4の(A)から(B)を経て(C)に推移するようなエミッタ電極を用いている。また、主に(A)と(B)の状態を用いている。しかしながら、先端のイオン放出領域(単原子または三原子)より外側が急峻な形状のエミッタ電極では、(B)の状態が無いものがある。前述のように(C)の状態が全く使えないわけでは無いが、(B)の状態があるエミッタ電極の方が望ましい。これはイオン光学系において収差の少ない部分を主に使えるため、大電流のイオンビームでも集束性を高く保てるからである。
2 引出電極
3 ガス供給系
4 引出電圧印加部
5 イオンビーム
6 イオン源絞り
7 二次電子
8 試料
10 真空容器
11 ガス排気系
90、90′ イオン源制御系
91、91′ 制御系本体部
92 ガス圧制御部
100、100′ ガス電界電離イオン源
101 試料ステージ
102 レンズ系
103 偏向系
104 二次電子検出器
105 レンズ系駆動部
106 偏向系駆動部
110 画像処理部
120 顕微鏡制御系
121 顕微鏡制御系本体部
200 走査イオン顕微鏡
300 イオン光学
Claims (6)
- イオンビームを発生させるガス電界電離イオン源と、試料を保持する試料ステージと、前記ガス電界電離イオン源から放出されるイオンビームを集束して前記試料上に照射するレンズ系と、前記イオンを偏向して前記試料上のイオンビームの照射位置を変える偏向系と、前記試料から放出される二次粒子を検出する二次粒子検出器と、前記二次粒子検出器の検出結果を用いて前記試料の観察像を形成する画像処理部と、前記レンズ系および前記偏向系を制御して前記イオンビームの照射位置を調整する制御部とを備えたイオンビーム装置であって、
前記ガス電界電離イオン源は、
先端に単原子または三原子を有する微小突起を備えた、針状の先端を持つエミッタ電極と、
前記エミッタ電極の先端方向に離間した位置に開口を有する引出電極と、
前記エミッタ電極の先端近傍へガスを供給するガス供給部と、
前記ガスの圧力を制御するガス圧制御部と、
前記エミッタ電極と前記引出電極との間に引出電圧を印加して前記エミッタ電極の先端近傍に前記ガスをイオン化する電界を形成する引出電圧印加部と、
前記ガスの圧力を第1のガス圧として、第1の引出電圧を印加したときに、前記エミッタ電極の先端の第1のイオン放出領域からイオンが放出される第1の動作状態と、前記ガスの圧力を前記第1のガス圧より大きい第2のガス圧として、前記第1の引出電圧より大きい第2の引出電圧を印加したときに、前記第1のイオン放出領域より大きい第2のイオン放出領域からイオンが放出される第2の動作状態との少なくとも二つの動作状態で、前記第2の動作状態における前記試料上のイオンビームの電流を前記第1の動作状態よりも大きくするよう、イオンビームを出射するよう制御するイオン源制御部とを有することを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項8に記載のイオンビーム装置において、
前記第1の動作状態から前記第2の動作状態に切り替える場合には、前記引出電圧を上げた後に前記ガス圧を上げることを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項8に記載のイオンビーム装置において、
前記第2の動作状態から前記第1の動作状態に切り替える場合には、前記ガス圧を下げた後に前記引出電圧を下げることを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項8に記載のイオンビーム装置において、さらに、
前記エミッタ電極の先端の微小突起はイオンビーム装置内で再生可能であって、
前記エミッタ電極から放出されるイオンの一部を制限する絞りを有し、前記絞りの材質が前記エミッタ電極の表面の材質と略同一であることを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項8に記載のイオンビーム装置において、
前記ガスは二種類以上の主成分を持つ混合ガスであり、
前記ガスの圧力を前記第2のガス圧より小さい第3のガス圧として、前記第2の引出電圧より大きい第3の引出電圧を印加したときに、前記第2のイオン放出領域より小さい第3のイオン放出領域からイオンが放出される第3の動作状態で、イオンビームを出射するよう制御することを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項8に記載のイオンビーム装置において、さらに、
前記エミッタ電極の向きを変えるエミッタ駆動部を有し、
前記イオン源制御部は前記第1の動作状態と第2の動作状態とを切り替える際に前記エミッタ電極の向きを変える制御を行うことを特徴とするイオンビーム装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014509093A JP5830601B2 (ja) | 2012-04-03 | 2013-03-11 | ガス電界電離イオン源およびイオンビーム装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012084425 | 2012-04-03 | ||
JP2012084425 | 2012-04-03 | ||
PCT/JP2013/056557 WO2013150861A1 (ja) | 2012-04-03 | 2013-03-11 | ガス電界電離イオン源およびイオンビーム装置 |
JP2014509093A JP5830601B2 (ja) | 2012-04-03 | 2013-03-11 | ガス電界電離イオン源およびイオンビーム装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5830601B2 true JP5830601B2 (ja) | 2015-12-09 |
JPWO2013150861A1 JPWO2013150861A1 (ja) | 2015-12-17 |
Family
ID=49300358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014509093A Active JP5830601B2 (ja) | 2012-04-03 | 2013-03-11 | ガス電界電離イオン源およびイオンビーム装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9018597B2 (ja) |
JP (1) | JP5830601B2 (ja) |
DE (1) | DE112013001363B4 (ja) |
WO (1) | WO2013150861A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108496238B (zh) * | 2016-02-05 | 2020-05-19 | 株式会社日立高新技术 | 场电离离子源、离子束装置以及光束照射方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5889763A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-28 | Hitachi Ltd | 点状ガスイオン源 |
JP2743399B2 (ja) * | 1988-09-24 | 1998-04-22 | ソニー株式会社 | 集束イオンビーム装置 |
JPH07192669A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Jeol Ltd | 電界電離型ガスフェーズイオン源の調整方法 |
JPH07272652A (ja) * | 1994-03-29 | 1995-10-20 | Jeol Ltd | 電界電離型ガスフェーズイオン源の調整方法 |
US7601953B2 (en) * | 2006-03-20 | 2009-10-13 | Alis Corporation | Systems and methods for a gas field ion microscope |
WO2007067296A2 (en) * | 2005-12-02 | 2007-06-14 | Alis Corporation | Ion sources, systems and methods |
JP5086105B2 (ja) * | 2008-01-07 | 2012-11-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ガス電界電離イオン源 |
EP2088613B1 (en) | 2008-02-08 | 2015-10-14 | ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Use of a dual mode gas field ion source |
JP5269706B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2013-08-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 液体金属イオン銃の生産方法 |
JP2011082056A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Jeol Ltd | 集束イオンビーム装置のナノエミッタ作製方法及びナノエミッタ作製手段を有する集束イオンビーム装置 |
JP5383419B2 (ja) | 2009-10-14 | 2014-01-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム装置 |
WO2011096227A1 (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子顕微鏡及びイオン顕微鏡 |
JP2011210492A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sii Nanotechnology Inc | 集束イオンビーム装置 |
US8847173B2 (en) | 2010-08-06 | 2014-09-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Gas field ion source and method for using same, ion beam device, and emitter tip and method for manufacturing same |
WO2012086419A1 (ja) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子放出銃及び荷電粒子線装置 |
JP5723730B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2015-05-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | エミッタ、ガス電界電離イオン源、およびイオンビーム装置 |
JP5898454B2 (ja) * | 2011-10-20 | 2016-04-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 集束イオンビーム装置 |
-
2013
- 2013-03-11 WO PCT/JP2013/056557 patent/WO2013150861A1/ja active Application Filing
- 2013-03-11 DE DE112013001363.0T patent/DE112013001363B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2013-03-11 US US14/390,071 patent/US9018597B2/en active Active
- 2013-03-11 JP JP2014509093A patent/JP5830601B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112013001363T5 (de) | 2014-12-11 |
US20150041650A1 (en) | 2015-02-12 |
DE112013001363B4 (de) | 2021-05-27 |
WO2013150861A1 (ja) | 2013-10-10 |
US9018597B2 (en) | 2015-04-28 |
JPWO2013150861A1 (ja) | 2015-12-17 |
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---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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