JP6433515B2 - ミラーイオン顕微鏡およびイオンビーム制御方法 - Google Patents
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Description
(3)前記(2)に記載のミラーイオン顕微鏡において、試料観察領域に対して前記第二の正電位を設定して得られた第一の顕微鏡像と、前記試料観察領域に対して前記第一の正電位を設定し前記スパッタを行った後、前記第二の正電位を設定して得られた第二の顕微鏡像と、を表示する表示部を有することを特徴とするミラーイオン顕微鏡である。
前記検出光学系のカラムは、前記ミラーイオン顕微鏡の設置された面または床に対して傾斜方向に設けられていることを特徴とするミラーイオン顕微鏡である。
Claims (11)
- イオンビームを発生させるガス電界電離イオン源と、
発生した前記イオンビームを試料に照射する照射光学系と、
前記イオンビームの加速電圧と前記試料に印加する正電位とを制御する電位制御部と、
前記試料から反射したイオンを顕微鏡像として結像または投射する結像型あるいは投射
型のイオン検出部と、を有し、
前記電位制御部は、前記試料に前記イオンビームを衝突させるために前記試料に印加す
る第一の正電位と前記試料に前記イオンビームを衝突させる前に軌道反転させるために前
記試料に印加する第二の正電位とを記憶する記憶部を有することを特徴とするミラーイオ
ン顕微鏡。 - 請求項1に記載のミラーイオン顕微鏡において、
前記電位制御部は、前記第一の正電位を設定し前記試料の表面の一部を除去するスパッ
タを制御するスパッタ制御部と、前記第二の正電位を設定して顕微鏡像を得る像取得制御
部と、を有することを特徴とするミラーイオン顕微鏡。 - 請求項2に記載のミラーイオン顕微鏡において、
試料観察領域に対して前記第二の正電位を設定して前記イオン検出部で得られた第一の
顕微鏡像と、
前記試料観察領域に対して前記第一の正電位を設定し前記スパッタを行った後、前記第
二の正電位を設定して前記イオン検出部で得られた第二の顕微鏡像と、を表示する表示部
を有することを特徴とするミラーイオン顕微鏡。 - 請求項1に記載のミラーイオン顕微鏡において、
前記ガス電界電離イオン源はエミッタティップを有し、前記第一の正電位を印加する際
に前記エミッタティップに供給するガス種は、アルゴン、キセノン、クリプトンの内少な
くとも一種を含むことを特徴とするミラーイオン顕微鏡。 - 請求項1に記載のミラーイオン顕微鏡において、
前記ガス電界電離イオン源はエミッタティップを有し、前記第一の正電位を印加する際
に前記エミッタティップに供給するガス種は、ネオンまたはヘリウムの内少なくとも一種
を含むことを特徴とするミラーイオン顕微鏡。 - 請求項1に記載のミラーイオン顕微鏡において、
前記照射光学系は排気を行う排気部を有し、前記排気部には、非蒸発ゲッタポンプを備
えることを特徴とするミラーイオン顕微鏡。 - イオンビームを発生させる発生ステップと、
発生した前記イオンビームを試料に照射する照射ステップと、
前記イオンビームの加速電圧と前記試料に印加する正電位とを制御する電位制御ステッ
プと、
前記電位制御ステップによって前記試料に衝突する前に軌道反転したイオンを顕微鏡像
として結像または投射する像形成ステップと、を有し、
前記電位制御ステップは、前記試料に前記イオンビームを衝突させ前記試料の表面の一
部を除去するスパッタステップと、前記イオンビームを衝突させる前に軌道反転させ顕微
鏡像を得る像取得ステップと、を有し、
前記像形成ステップは、前記像取得ステップによって前記試料の近傍で軌道反転したイ
オンを顕微鏡像として結像または投射するステップであることを特徴とするイオンビーム
制御方法。 - 請求項7に記載のイオンビーム制御方法において、
前記試料の観察領域内において、前記像取得ステップ、前記スパッタステップ、前記像
取得ステップ、の順に、少なくとも前記像取得ステップを2回以上繰り返し、前記顕微鏡
像を2枚以上得ることを特徴とするイオンビーム制御方法。 - 請求項7に記載のイオンビーム制御方法において、
前記試料の表面に対して深さ方向が互いに異なる顕微鏡像を少なくとも2枚表示する表
示ステップを有することを特徴とするイオンビーム制御方法。 - 請求項1に記載のミラーイオン顕微鏡において、
前記照射光学系のカラムは、前記ミラーイオン顕微鏡の設置された面または床に対して
垂直方向に設けられ、
前記検出光学系のカラムは、前記ミラーイオン顕微鏡の設置された面または床に対して
傾斜方向に設けられていることを特徴とするミラーイオン顕微鏡。 - 請求項1に記載のミラーイオン顕微鏡において、
前記ガス電界電離イオン源は、前記イオンビームを生じさせるエミッタティップの先端
にピラミッド構造を形成するガス電界電離イオン源であることを特徴とするミラーイオン
顕微鏡。
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