JP7253647B2 - 電子ビーム・イオン発生装置および電子ビーム・イオン発生方法 - Google Patents
電子ビーム・イオン発生装置および電子ビーム・イオン発生方法 Download PDFInfo
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ここでサンプルの帯電は以下のようにして起こる。
2:コンデンサレンズ
3:ブランキング電極
4:ブランキングアパチャー
5:対物アパチャー
6:電子検出器
7:偏向電極
8:対物レンズ
9:差動排気アパチャー
10:真空チャンバー
11:サンプル
12:XYステージ
121:ホルダー
21:高圧電源
22:電子ビーム制御回路
23:PC(パソコン)
24:ディスプレイ
25:ガス
26:真空制御装置
27:マスフロー
28:圧力センサ
29:ステージ制御装置
31:電子銃
32:電子ビーム
33:イオン加速電圧
34:ファラデーカップ
35:イオン流
41:イオン発生装置
42:電界制御装置
43:イオン流
51:DUV-LED
52:電子発生材料
53:電子
54:電子加速電圧
55:イオン加速電極
56:イオン流制御回路
A1,A2:差動排気アパチャー
Claims (5)
- 電子ビームをガスに照射してイオンを発生する電子ビーム・イオン発生装置において、
光を照射して励起し、電子を発生するUV-LEDの電子発生素子と、
前記発生された電子を加速する、電圧の印加された加速電極と、
前記加速された電子を、ガスに衝突させて正および負のイオンを発生させるイオン発生手段を設けたイオン発生装置と、
を備えたことを特徴とする電子ビーム・イオン発生装置。 - 前記発生された正および負のイオンを出力するイオン加速電極を備えたことを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム・イオン発生装置。
- 前記発生された正および負のイオンの一方あるいは交互に両者を出力するイオン加速電極を備えたことを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム・イオン発生装置。
- 走査型電子顕微鏡の試料室に真空的に接続し、前記発生された正および負のイオンを、該試料室内のサンプルの表面に照射し、当該サンプルの表面に照射された走査用の細い電子ビームにより発生した正あるいは負の電荷を中和することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の電子ビーム・イオン発生装置。
- 電子ビームをガスに照射してイオンを発生する電子ビーム・イオン発生方法において、
光を照射して励起し、電子を発生するUV-LEDの電子発生素子と、
前記発生された電子を加速する、電圧の印加された加速電極と、
前記加速された電子を、ガスに衝突させて正および負のイオンを発生させるイオン発生手段を設けたイオン発生装置とを設け、
光を照射して励起して電子を発生させ、該電子を用いて正および負のイオンを発生させる電子ビーム・イオン発生方法。
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