JP5593491B2 - 試料への負荷を減少させる高分解能ガスフィールドイオンカラム - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 1nmより細かい高撮像分解能を得るように行われる、ガスフィールドイオン源を有する集束イオンビームデバイスを動作させる方法であって、
前記ガスフィールドイオン源からイオンビームを放出するステップと、
最終的なビームエネルギーよりも高いイオンビームカラムイオンビームエネルギーを前記イオンビームカラム内に供給するステップと、
第1及び第2の電極の間の少なくとも1つの静電レンズ内で第2の電極により高い電位を供給することによって前記イオンビームを加速し、その後、前記少なくとも1つの静電レンズ内で第2及び第3の電極の間で前記イオンビームを減速するステップと、
さらなる静電レンズ内において前記イオンビームを加速するステップと、
その後に、前記さらなる静電レンズ内において前記イオンビームを減速するステップと、
前記イオンビームを減速して、前記イオンビームが試料に衝突するときに1keV〜4keVの最終的なビームエネルギーを供給するステップと、
前記試料を撮像するステップと
を備える方法。 - 前記イオンビームカラムイオンビームエネルギーは、12keV〜50keVであり、 前記イオンビームが、エミッタの後方において加速され、前記試料の前方において減速される、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの静電レンズが、集光レンズおよび対物レンズからなるグループの中から選択されたレンズである、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの静電レンズおよび/または前記さらなる静電レンズが、集光レンズおよび対物レンズからなるグループの中から選択されたレンズである、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記イオンビームカラムイオンビームエネルギーが、5keV〜12keVである、請求項1、3、4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記動作させられるイオンビームカラムが、100mm〜1000mmの範囲に存在する前記デバイスの光軸に沿った寸法を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの静電レンズを動作させるステップが、0.5mm〜10mmの範囲に存在する前記光軸方向における距離を有する電極間にバイアスをかける工程を含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記試料全体にわたって前記イオンビームを走査するステップをさらに備える、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
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