JP2012142312A - 集束イオンビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高圧電源制御器181は、カラムバルブ14の閉動作時に、引出電極17に印加する引出電圧を下げ、または、制御電極16に印加する制御電圧を下げて、エミッションを0μAにする。また、カラムバルブ14の開動作時に、引出電極17に印加する引出電圧を元に戻し、または、制御電極16に印加する制御電圧を元の電圧に戻す。
【選択図】 図4
Description
高精度で仕上げ加工する。
2 コンデンサレンズ
3 絞り装置
4 アライナー/スティグマ
5 ブランカー
6 ブランキングプレート
7 ビーム走査器
8 対物レンズ
9 ビーム
10 試料
11 ステージ
12 検出器
14 カラムバルブ
16 制御電極
17 引出電極
18 制御器
19 コンデンサ電極
23 隔壁
181 高圧電源制御器
182 カラムバルブ制御器
Claims (3)
- 液体金属イオン源と、
前記液体金属イオン源から荷電粒子線を引き出す引出電極と、
前記引出電極に電圧を印加する引出電源と、
当該引出電源を制御する制御器と、
を備えた集束イオンビーム装置において、
前記制御器は、前記引出電極にかける電圧を前記引出電源をONにした状態であって所定値分下げることにより、前記荷電粒子線の照射を停止し、
さらに、前記引出電極にかける電圧を前記所定値分上げることにより、前記荷電粒子線の照射を再開することを特徴とする集束イオンビーム装置。 - 請求項1の集束イオンビーム装置において、
前記荷電粒子線のエミッション電流と前記出力電圧の値との関係に基づいて前記所定値を決定することを特徴とする集束イオンビーム装置。 - 請求項1の集束イオンビーム装置において、
前記液体金属イオン源を有する真空室の真空度が10-6Pa以下であることを特徴とする集束イオンビーム装置。
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