JP4299880B2 - 荷電粒子線検査装置及び荷電粒子線検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る荷電粒子線検査装置の構成図である。
試料7の観察又は測長に先立って行う表面電位の定常化処理により、試料7の表面の電位を一定にする。この原理について以下に示す。
次に、本実施形態の荷電粒子線検査装置100を用いて試料7上の電位を定常化して試料7の測長をする方法について図8のフローチャートを用いて説明する。なお、測定対象とする各試料について、測定点や定常化条件は予め記憶部45に格納されているものとする。
Claims (7)
- 電子ビームを放出する電子銃と、
前記電子ビームを集束させる第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズと、
前記第1のコンデンサレンズと第2のコンデンサレンズの間に配置されるビーム制御板と、
前記第2のコンデンサレンズと前記電子ビームの照射対象の試料との間に配置される対物レンズと、
前記第1のコンデンサレンズに供給する励磁電流を測定時の励磁電流より下げて前記第1のコンデンサレンズの焦点距離を長くして前記ビーム制御板の開口を通過する電子ビームの電流量を調整し、前記第2のコンデンサレンズに供給する励磁電流を測定時の励磁電流より上げて、前記第2のコンデンサレンズの焦点距離を測定時と同じ焦点距離に調整して、前記対物レンズの倍率を測定時と同じ倍率に維持し、試料に照射される電子ビームの電流量を測定時よりも大きくして当該試料上に所定の照射時間の間、当該電子ビームを照射して当該試料の表面の電位を定常化する定常化処理を行う制御部とを有することを特徴とする荷電粒子線検査装置。 - 前記制御部は、前記定常化処理をした後、前記第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズに供給する励磁電流を測定時の値に戻し、試料の寸法測定を行うことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線検査装置。
- 前記所定の照射時間は、前記調整された励磁電流によって制御された前記第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズを通過する電子ビームを試料に照射してから照射を停止するまでの時間であって当該時間の当該電子ビームの照射によって前記試料表面の電位が定常化する時間であり、測定時の励磁電流によって制御された前記第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズを通過する電子ビームを前記試料に照射してから照射を停止するまでの時間であって当該時間の当該電子ビームの照射によって前記試料表面の電位が定常化する時間より短いことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線検査装置。
- さらに、前記第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズに供給する励磁電流、及び前記所定の照射時間を格納する記憶部を有し、
前記制御部は、前記定常化処理時の第1のコンデンサレンズに供給する第1の励磁電流の値、第2のコンデンサレンズに供給する第2の励磁電流の値及び前記所定の照射時間を前記記憶部から抽出して、
前記第1のコンデンサレンズに前記第1の励磁電流を供給して前記第1のコンデンサレンズの焦点距離を測定時よりも長くし、
前記第2のコンデンサレンズに前記第2の励磁電流を供給して前記第2のコンデンサレンズの焦点距離を測定時と同じにして、
前記所定の照射時間の間、前記電子ビームを前記試料に照射して表面電位を定常化することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線検査装置。 - 電子ビームを放出する電子銃と、前記電子ビームを集束させる第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズと、前記第1のコンデンサレンズと第2のコンデンサレンズの間に配置されるビーム制御板と、前記第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズに供給する励磁電流、及び所定の照射時間を格納する記憶部と、前記電子銃、第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズを制御する制御部とを有する荷電粒子線検査装置を用いて試料に形成されたパターンの寸法を測定する荷電粒子線検査方法において、
前記記憶部から、測定時の電流よりも下げて、前記第1のコンデンサレンズの焦点距離を測定時よりも長くした前記第1のコンデンサレンズに供給する励磁電流の値、測定時の電流よりも上げて、前記第2のコンデンサレンズの焦点距離を測定時と同じにする前記第2のコンデンサレンズに供給する励磁電流の値、及び前記所定の照射時間を抽出するステップと、
前記第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズに当該励磁電流を自動的に供給することで前記ビーム制御板の開口を通過する電子ビームの電流量を高速に設定し、試料に照射される電子ビームの電流量を測定時よりも大きくするステップと、
前記試料上に前記記憶部から抽出した前記所定の照射時間の間、前記電子ビームを照射するステップと、
当該電子ビームの照射の後、自動的に前記第1のコンデンサレンズ及び前記第2のコンデンサレンズに供給する電流をそれぞれ測定時の値に戻して前記ビーム制御板の開口を通過する電子ビームの電流量を高速に設定し、試料上のパターンの測定を行うステップとを有することを特徴とする荷電粒子線検査方法。 - 前記所定の照射時間は、前記調整された励磁電流によって制御された前記第1のコンデンサレズ及び第2のコンデンサレンズを通過する電子ビームを試料に照射してから照射を停止するまでの時間であって当該時間の当該電子ビームの照射によって前記試料表面の電位が定常化する時間であり、測定時の励磁電流によって制御された前記第1のコンデンサレンズ及び第2のコンデンサレンズを通過する電子ビームを前記試料に照射してから照射を停止するまでの時間であって当該時間の当該電子ビームの照射によって前記試料表面の電位が定常化する時間より短いことを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線検査方法。
- 電子ビームを放出する電子銃と、
前記電子銃から放出される電子ビームを受けて、所定の第1焦点距離で集束する第1集束ビームを形成する第1のコンデンサレンズと、
前記第1集束ビームを受けて、光軸中央の所定の開口で前記第1集束ビームの一部分を通過した通過ビームを形成するビーム制御板と、
前記通過ビームを受けて、所定の第2焦点距離で収束する第2集束ビームを形成する第2のコンデンサレンズと、
前記第2集束ビームを受けて、所定の第3焦点距離で照射対象の試料へ照射する対物レンズと、
前記試料表面の電位を安定化する場合において、前記第1焦点距離と前記第2焦点距離を変更して、前記開口を通過する通過ビームの電流量が増大するように、前記第1のコンデンサレンズと前記第2のコンデンサレンズの集束条件を制御する制御部と、
を有することを特徴とする荷電粒子線検査装置。
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