JP6215645B2 - 半導体集積回路 - Google Patents
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Description
図4は、第1の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造の構成例を示す平面図である。図4に示したレイアウト構造の構成要素について説明する。このレイアウト構造は、TSVアレイ領域500の内側に形成されており、複数の構成単位群402と、第1の電源幹線であるVSS電源幹線411と、第2の電源幹線であるVDD電源幹線412とを具備する。ここで、第1および第2の電源幹線の極性は逆であっても構わない。このレイアウト構造には、図1に示した従来技術の場合と比較して、TSVアレイ領域500の内側に、構成単位群402が形成されていないまとまった領域501が存在する。
図7は、第2の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造の構成例を示す部分平面図である。図7に示したレイアウト構造は、図4に示した第1の実施形態によるレイアウト構造に、第1の任意回路部415、第2の任意回路部416および第3の任意回路部417を追加したものに等しい。なお、第1〜第3の任意回路部415〜417は、半導体基板上の、複数の構成単位群の間に形成されている。
図8Aは、第3の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造の構成例を示す平面図である。図8Bは、第3の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位群の構成例を示す平面図である。図8Cは、第3の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位の構成例を示す平面図である。
図9Aは、第4の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造の構成例を示す平面図である。図9Bは、第4の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位群の構成例を示す平面図である。図9Cは、第4の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位の構成例を示す平面図である。
図10Aは、第5の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造の構成例を示す平面図である。図10Bは、第5の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位群の構成例を示す平面図である。図10Cは、第5の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位の構成例を示す平面図である。
図11Aは、第6の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造の構成例を示す平面図である。図11Bは、第6の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位群の構成例を示す平面図である。図11Cは、第6の実施形態による半導体集積回路のレイアウト構造を構成する構成単位の構成例を示す平面図である。
2 任意回路部
3 TSVバンプ
4 TSV配線
5 容量素子
6 電源間ESD保護素子
10 構成単位
21 Pチャネル型ESD保護素子
22 Pチャネル型ESD保護素子ドレイン配線
23 Pチャネル型ESD保護素子ソース配線
24、34、52、62 ゲートポリ
25 コンタクトスルーホール
26 ビアスルーホール
31 Nチャネル型ESD保護素子
32 Nチャネル型ESD保護素子ドレイン配線
33 Nチャネル型ESD保護素子ソース配線
35 コンタクトスルーホール
36 ビアスルーホール
51 Pチャネル型回路素子
61 Nチャネル型回路素子
100 サイズ縮小可能な領域
101 VSS電源幹線
102 VDD電源幹線
103 Pウェル
104 Nウェル
200 第1のESD放電経路
201 第2のESD放電経路
202 第1部分/保護素子
203 第2部分/保護素子
204 第3部分/ESD保護素子
251 Pチャネル型ESD保護素子
2511 Pチャネル型ESD保護素子兼ドライバ
252 Nチャネル型ESD保護素子
2521 Nチャネル型ESD保護素子兼ドライバ
253 入力部回路素子
2531 プリドライバ回路素子
260 TSVバンプ
261 VDD電源
262 VSS電源
271 Pチャネル型ESD放電経路
272 Nチャネル型ESD放電経路
300 I/Oバッファ
301 構成単位群
350 TSV
351 DRAMデバイス素子
352 DRAM配線層
353 SoCデバイス素子
354 SoC配線層
355 パッケージ基盤
356 TSV
361 マイクロバンプ
362 フリップチップバンプ
363 パッケージボール
400 I/Oバッファ
400A (第1の)構成単位
401 I/Oバッファ
402 構成単位群
403 TSVバンプ
403A〜403D TSVバンプ
404A〜404D TSV配線
405 第1のPチャネル型ESD放電経路
406 第2のPチャネル型ESD放電経路
411 VSS電源幹線
412 VDD電源幹線
414 Nウェル
415 容量素子
416 ESD保護素子
420A〜420D 任意回路部
421 Pチャネル型ESD保護素子
421A〜421D Pチャネル型ESD保護素子
423 Pチャネル型ESD保護素子ソース配線
425 コンタクトスルーホール
425A コンタクトスルーホール群
426 ビアスルーホール
426A ビアスルーホール群
427A〜427D ドレイン
431 Nチャネル型ESD保護素子
431A〜431D Nチャネル型ESD保護素子
435A コンタクトスルーホール群
436A ビアスルーホール群
437A〜437D ドレイン
445、446 Pチャネル型ESD保護素子
500 TSVアレイ領域
501 領域
600、601 断面
Claims (15)
- 複数のシリコン貫通電極バンプと、
前記複数のシリコン貫通電極バンプに接続された複数の入出力バッファと
を具備し、
前記複数の入出力バッファは、
複数の静電放電保護回路部
を具備し、
前記複数の静電放電保護回路部のそれぞれは、
Pチャネル型静電放電保護回路部と、
Nチャネル型静電放電保護回路部と
を具備し、
複数の前記Pチャネル型静電放電保護回路部に第1電圧を供給する第1電源線と、
複数の前記Nチャネル型静電放電保護回路部に第2電圧を供給する第2電源線と
をさらに具備し、
前記複数のシリコン貫通電極バンプは、第1方向および第2方向に基づいて格子状に、かつ、前記第1方向および前記第2方向のそれぞれにおいて所定の間隔を空けて配置されており、
前記複数の静電放電保護回路部のそれぞれは、前記複数のシリコン貫通電極バンプのうち、前記第1方向または前記第2方向に沿って連続的に配置されたいずれか2つのシリコン貫通電極バンプの間に配置されており、
前記第1電源線は前記複数のPチャネル型静電放電保護回路部に重ねて配置され、
前記第2電源線は前記複数のNチャネル型静電放電保護回路部に重ねて配置され、
前記第1電源線および前記第2電源線は直交して配置されている
半導体集積回路。 - 請求項1に記載の半導体集積回路において、
前記Pチャネル型静電放電保護回路部は、前記シリコン貫通電極バンプから見て、前記第1方向または前記第2方向の一方の側に配置されており、
前記Nチャネル型静電放電保護回路部は、前記シリコン貫通電極バンプから見て、前記第1方向または前記第2方向の他方の側に配置されている
半導体集積回路。 - 請求項2に記載の半導体集積回路において、
前記第1方向および前記第2方向に基づいて格子状に、かつ、前記第1方向に所定の間隔を空けて配置された複数の構成単位群
をさらに具備し、
前記複数の構成単位群のそれぞれは、
前記複数のシリコン貫通電極バンプのうち、4つのシリコン貫通電極バンプと、
前記複数のPチャネル型保護回路部のうち、前記4つのシリコン貫通電極バンプにそれぞれ接続された4つのPチャネル型保護回路部と、
前記複数のNチャネル型保護回路部のうち、前記4つのシリコン貫通電極バンプにそれぞれ接続された4つのNチャネル型保護回路部と、
前記4つのPチャネル型保護回路部および前記4つのNチャネル型保護回路部を前記4つのシリコン貫通電極バンプに接続する4つのシリコン貫通電極配線と
を具備し、
前記それぞれの構成単位群に含まれる4つのシリコン貫通電極バンプのうち、
第1のシリコン貫通電極バンプと、第2のシリコン貫通電極バンプとは、前記第1方向に連続的に配置されており、
第3のシリコン貫通電極バンプと、第4のシリコン貫通電極バンプとは、前記第1方向に連続的に配置されており、
第1のシリコン貫通電極バンプと、第3のシリコン貫通電極バンプとは、前記第2方向に連続的に配置されており、
第2のシリコン貫通電極バンプと、第4のシリコン貫通電極バンプとは、前記第2方向に連続的に配置されている
半導体集積回路。 - 請求項3に記載の半導体集積回路において、
前記複数の構成単位群は、前記第2方向にも所定の間隔を空けて配置されており、
前記4つのPチャネル型保護回路部と、前記4つのNチャネル型保護回路部と、前記4つのシリコン貫通電極配線とは、いずれも前記4つのシリコン貫通電極バンプに囲まれた領域に配置されている
半導体集積回路。 - 請求項3に記載の半導体集積回路において、
前記4つのPチャネル型保護回路部と、前記4つのNチャネル型保護回路部と、前記4つのシリコン貫通電極配線とは、いずれも前記4つのシリコン貫通電極バンプに囲まれた領域および前記領域から前記第1方向側の前記所定の間隔の範囲内に配置されている
半導体集積回路。 - 請求項4に記載の半導体集積回路において、
前記複数の構成単位群は、
4つの構成単位
を具備し、
前記4つの構成単位のそれぞれは、
前記4つのシリコン貫通電極バンプのうち、1つのシリコン貫通電極バンプと、
前記4つのPチャネル型静電放電保護回路部のうち、前記1つのシリコン貫通電極バンプに接続された1つのPチャネル型静電放電保護回路部と、
前記4つのNチャネル型静電放電保護回路部のうち、前記1つのシリコン貫通電極バンプに接続された1つのNチャネル型静電放電保護回路部と、
前記4つのシリコン貫通電極配線のうち、前記1つのシリコン貫通電極バンプ、前記1つのPチャネル型静電放電保護回路部および前記1つのNチャネル型静電放電保護回路部を接続する1つのシリコン貫通電極配線と
を具備し、
前記4つの構成単位のそれぞれは、互いに、90度、180度または270度の軸回転による対称性を有する
半導体集積回路。 - 請求項5に記載の半導体集積回路において、
前記複数の構成単位群は、
4つの構成単位
を具備し、
前記4つの構成単位のそれぞれは、
前記4つのシリコン貫通電極バンプのうち、1つのシリコン貫通電極バンプと、
前記4つのPチャネル型静電放電保護回路部のうち、前記1つのシリコン貫通電極バンプに接続された1つのPチャネル型静電放電保護回路部と、
前記4つのNチャネル型静電放電保護回路部のうち、前記1つのシリコン貫通電極バンプに接続された1つのNチャネル型静電放電保護回路部と、
前記4つのシリコン貫通電極配線のうち、前記1つのシリコン貫通電極バンプ、前記1つのPチャネル型静電放電保護回路部および前記1つのNチャネル型静電放電保護回路部を接続する1つのシリコン貫通電極配線と
を具備する
半導体集積回路。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の半導体集積回路において、
前記複数のPチャネル型静電放電保護回路部のそれぞれは、ドレインが前記複数のシリコン貫通電極バンプのいずれかに接続されて、かつ、ソース部が前記第1電源線に接続されているPチャネル型MOSトランジスタを具備し、
前記複数のNチャネル型静電放電保護回路部のそれぞれは、ドレインが前記複数のシリコン貫通電極バンプのいずれかに接続されて、かつ、ソース部が前記第2電源線に接続されているNチャネル型MOSトランジスタを具備する
半導体集積回路。 - 請求項8に記載の半導体集積回路において、
前記Pチャネル型MOSトランジスタのゲート部は、
複数のフィンガーゲートを有するマルチフィンガーゲート
を具備する
半導体集積回路。 - 請求項9に記載の半導体集積回路において、
前記Pチャネル型MOSトランジスタのP型ドレイン拡散領域を前記シリコン貫通電極配線に接続する第1ドレイン配線および第2ドレイン配線のそれぞれは、前記シリコン貫通電極バンプの内側から外側に向けて延伸して配置されている
半導体集積回路。 - 請求項8〜10のいずれかに記載の半導体集積回路において、
前記Nチャネル型MOSトランジスタのゲート部は、
複数のフィンガーゲートを有するマルチフィンガーゲート
を具備する
半導体集積回路。 - 請求項11に記載の半導体集積回路において、
前記Nチャネル型MOSトランジスタのN型ドレイン拡散領域を前記シリコン貫通電極配線に接続する第3ドレイン配線および第4ドレイン配線のそれぞれは、前記シリコン貫通電極バンプの内側から外側に向けて延伸して配置されている
半導体集積回路。 - 格子状に配置された複数のシリコン貫通電極バンプと、
前記複数のシリコン貫通電極バンプに接続された複数の入出力バッファと
を具備し、
前記複数の入出力バッファは、
複数の静電放電保護回路部と、
前記複数の静電放電保護回路部を前記複数のシリコン貫通電極バンプに接続する複数のシリコン貫通電極配線とを具備し、
前記複数の静電放電保護回路部は、
複数のPチャネル型静電放電保護回路部と、
複数のNチャネル型静電放電保護回路部と
を具備し、
前記複数のPチャネル型静電放電保護回路部は、
複数のPチャネル型MOSトランジスタと、
前記複数のPチャネル型MOSトランジスタの複数のP型ソース拡散領域に第1電圧を供給する第1電源線と、
前記P型ソース拡散領域に設けられた複数の第1コンタクトスルーホール群と
を具備し、
前記複数のNチャネル型静電放電保護回路部は、
複数のNチャネル型MOSトランジスタと、
前記複数のNチャネル型MOSトランジスタの複数のN型ソース拡散領域に第2電圧を供給する第2電源線と、
前記N型ソース拡散領域に設けられた複数の第2コンタクトスルーホール群と
を具備し、
前記第1電源線と、前記第2電源線とは、直交して配置され、
前記複数の第1コンタクトスルーホール群は、全て前記第1電源線に覆われており、
前記複数の第2コンタクトスルーホール群は、全て前記第2電源線に覆われている
半導体集積回路。 - 請求項13に記載の半導体集積回路において、
前記複数のPチャネル型MOSトランジスタの複数のP型ドレイン拡散領域は、複数の第1ドレイン配線を介して、前記シリコン貫通電極バンプに接続されており、
前記複数のNチャネル型MOSトランジスタの複数のN型ドレイン拡散領域は、複数の第2ドレイン配線を介して、前記シリコン貫通電極バンプに接続されており、
前記複数の第1ドレイン配線は、前記シリコン貫通電極バンプの内側から外側に向けて延伸する方向に配置されており、
前記複数の第2ドレイン配線は、前記シリコン貫通電極バンプの内側から外側に向けて延伸する方向に配置されている
半導体集積回路。 - 請求項14に記載の半導体集積回路において、
前記第1ドレイン配線が配置される方向と、前記第2ドレイン配線が配置される方向とは、直交している
半導体集積回路。
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