JP6201373B2 - 吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法 - Google Patents
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Description
底面と、
前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、
前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、
前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、
を備え、
前記第1の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第2の斜面と前記法線とがなす角より小さく、
前記第1の斜面の先端と前記底面との距離が、前記第2の斜面の先端と前記底面との距離よりも大きい、
ことを特徴とする。
底面と、前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備え、前記第1の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第2の斜面と前記法線とがなす角より小さい吸着コレットを、水平方向に移動させることにより、前記第1の斜面を前記第1の辺に当接させるステップと、
前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第1の斜面に沿って水平方向に摺動させるステップと、
前記第2の辺が前記第2の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させるステップと、
前記第1の斜面と前記第2の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着するステップと、
前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするステップと、
を備えることを特徴とする。
以下、本発明の第1の実施の形態に係る吸着コレット102を、図1及び図2を参照して説明する。
第2の実施の形態は、第1の実施の形態と同じ構成を用いて異なる方法で発明を実施するものである。ピックアップ装置101を用いてベアチップ105をピックアップする方法(ピックアップ処理2)を、図9乃至図11及び図12のフローチャートを用いて説明する。前提として、吸着コレット102は搭載ヘッド112に保持され、ベアチップ105はピックアップトレー109に載置されている。
以下、本発明の第3の実施の形態に係る吸着コレット302を、図13及び図14を参照して説明する。
本発明の第4の実施の形態は、第3の実施の形態と同じ構成を用いて異なる方法で発明を実施するものである。ピックアップ装置301を用いてベアチップ105をピックアップする方法(ピックアップ処理4)を、図16のフローチャートを用いて説明する。前提として、吸着コレット302は搭載ヘッド112に保持され、ベアチップ105はピックアップトレー109に載置されている。
吸着対象物605の第1の辺606Aが当接可能な第1の斜面603と、
吸着対象物605の第1の辺606Aに対向する第2の辺606Bが当接可能であり、第1の斜面603より傾斜角が大きく、第1の斜面603に対向する第2の斜面604と、
第1の斜面603及び第2の斜面604によって形成される吸着空間610を減圧するための吸着部608と、
を備えることを特徴とする吸着コレット602。
吸着対象物605の第1の辺606Aが当接可能な第1の斜面603と、吸着対象物605の第1の辺606Aに対向する第2の辺606Bが当接可能であり、第1の斜面603より傾斜角が大きく、第1の斜面603に対向する第2の斜面604と、第1の斜面603及び第2の斜面604によって形成される吸着空間610を減圧するための吸着部608と、を備える吸着コレット602を、水平方向に移動させることにより、第1の斜面603を第1の辺606Aに当接させるステップS610と、
吸着コレット602を鉛直方向下向きに移動させることにより、吸着対象物605を第1の斜面603に沿って水平方向に摺動させるステップS620と、
第2の辺606Bが第2の斜面604に当接したことを検出し、吸着コレット602の鉛直方向下向きの移動を停止させるステップS630と、
第1の斜面603と第2の斜面604とが形成する吸着空間610を減圧することにより吸着対象物605を吸着するステップS640と、
吸着対象物605を吸着したまま、吸着コレット602を鉛直方向上向きに移動させることで、吸着対象物605をピックアップするステップS650と、
を備えることを特徴とするピックアップ方法。
吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、
前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面より傾斜角が大きく、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、
前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、
を備えることを特徴とする吸着コレット。
底面をさらに備え、
前記第1の斜面は、前記底面の一側部から延在し、
前記第2の斜面は、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、
前記第1の斜面と前記底面の法線とがなす角は、前記第2の斜面と前記法線とがなす角より小さい、
ことを特徴とする付記1に記載の吸着コレット。
前記第1の斜面と前記法線とがなす角は45度より小さく、前記第2の斜面と前記法線とがなす角は45度より大きい、
ことを特徴とする付記2に記載の吸着コレット。
前記第1の斜面の高さは、前記第2の斜面の高さよりも大きい、
ことを特徴とする付記1から3のいずれか一つに記載の吸着コレット。
付記1から4のいずれか一つに記載の吸着コレットと、
前記吸着対象物を載置する載置台と、
i)前記吸着コレットを水平方向に移動させることにより、前記第1の斜面を前記第1の辺に当接させ、ii)前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第1の斜面に沿って水平方向に摺動させ、iii)前記第2の辺が前記第2の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させ、iv)前記第1の斜面と前記第2の斜面とが形成する吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着し、v)前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするピックアップ手段と、
を備えることを特徴とするピックアップ装置。
前記ピックアップ手段は、
vi)前記吸着コレットを移動させることにより、前記第1の斜面の先端を前記第1の辺より外側に位置させ、前記第2の斜面の先端を前記第2の辺より外側に位置させ、前記第1の斜面の先端と前記第1の辺との水平方向距離を前記第2の斜面の先端と前記第2の辺との水平方向距離よりも大きくし、
vii)前記吸着ヘッドを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記第2の辺を前記第2の斜面に当接させ、
続いて、前記i)からv)の過程を実行する、
ことを特徴とする付記5に記載のピックアップ装置。
前記吸着コレットの前記第1の斜面の高さは、前記第2の斜面の高さよりも大きく、
前記ピックアップ手段は、
vi)前記吸着コレット移動させることにより、前記第1の斜面の先端を前記第1の辺より外側で前記吸着対象物の上側表面より下に位置させ、かつ、前記第2の斜面の先端を前記上側表面よりも上に位置させ、
続いて、前記i)からv)の過程を実行する、
ことを特徴とする付記5に記載のピックアップ装置。
吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面より傾斜角が大きく、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備える吸着コレットを、水平方向に移動させることにより、前記第1の斜面を前記第1の辺に当接させるステップと、
前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第1の斜面に沿って水平方向に摺動させるステップと、
前記第2の辺が前記第2の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させるステップと、
前記第1の斜面と前記第2の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着するステップと、
前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするステップと、
を備えることを特徴とするピックアップ方法。
102 吸着コレット
103 第1の斜面
104 第2の斜面
105 ベアチップ
106、106A、106B スクライブライン
107 吸引孔
108 吸着孔
109 ピックアップトレー
110 吸着空間
111 コントローラ
112 搭載ヘッド
113 鉛直方向駆動装置
114 水平方向駆動装置
115 真空吸引装置
116 位置センサ
117 圧力センサ
118 ボンディングパット
119 エアーブリッジ配線
301 ピックアップ装置
302 吸着コレット
303 第3の斜面
304 第4の斜面
306A、306B スクライブライン
310 吸着空間
602 吸着コレット
603 第1の斜面
604 第2の斜面
605 吸着対象物
606A 第1の辺
606B 第2の辺
608 吸着部
610 吸着空間
Claims (6)
- 底面と、
前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、
前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、
前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、
を備え、
前記第1の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第2の斜面と前記法線とがなす角より小さく、
前記第1の斜面の先端と前記底面との距離が、前記第2の斜面の先端と前記底面との距離よりも大きい、
ことを特徴とする吸着コレット。 - 前記第1の斜面と前記法線とがなす角は45度より小さく、前記第2の斜面と前記法線とがなす角は45度より大きい、
ことを特徴とする請求項1に記載の吸着コレット。 - 底面と、前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備え、前記第1の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第2の斜面と前記法線とがなす角より小さい吸着コレットと、
前記吸着対象物を載置する載置台と、
i)前記吸着コレットを水平方向に移動させることにより、前記第1の斜面を前記第1の辺に当接させ、ii)前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第1の斜面に沿って水平方向に摺動させ、iii)前記第2の辺が前記第2の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させ、iv)前記第1の斜面と前記第2の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着し、v)前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするピックアップ手段と、
を備えることを特徴とするピックアップ装置。 - 前記ピックアップ手段は、
vi)前記吸着コレットを移動させることにより、前記第1の斜面の先端を前記第1の辺より外側に位置させ、前記第2の斜面の先端を前記第2の辺より外側に位置させ、前記第1の斜面の先端と前記第1の辺との水平方向距離を前記第2の斜面の先端と前記第2の辺との水平方向距離よりも大きくし、
vii)前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記第2の辺を前記第2の斜面に当接させ、
続いて、前記i)からv)の過程を実行する、
ことを特徴とする請求項3に記載のピックアップ装置。 - 前記第1の斜面の先端と前記底面との距離が、前記第2の斜面の先端と前記底面との距離よりも大きく、
前記ピックアップ手段は、
vi)前記吸着コレットを移動させることにより、前記第1の斜面の先端を前記第1の辺より外側で前記吸着対象物の上側表面より下に位置させ、かつ、前記第2の斜面の先端を前記上側表面よりも上に位置させ、
続いて、前記i)からv)の過程を実行する、
ことを特徴とする請求項3に記載のピックアップ装置。 - 底面と、前記底面の一側部から延在し、吸着対象物の第1の辺が当接可能な第1の斜面と、前記底面の、前記一側部に対向する他の側部から延在し、前記吸着対象物の前記第1の辺に対向する第2の辺が当接可能であり、前記第1の斜面に対向する第2の斜面と、前記第1の斜面及び前記第2の斜面によって形成される吸着空間を減圧するための吸着部と、を備え、前記第1の斜面と前記底面の法線とがなす角が、前記第2の斜面と前記法線とがなす角より小さい吸着コレットを、水平方向に移動させることにより、前記第1の斜面を前記第1の辺に当接させるステップと、
前記吸着コレットを鉛直方向下向きに移動させることにより、前記吸着対象物を前記第1の斜面に沿って水平方向に摺動させるステップと、
前記第2の辺が前記第2の斜面に当接したことを検出し、前記吸着コレットの鉛直方向下向きの移動を停止させるステップと、
前記第1の斜面と前記第2の斜面とが形成する前記吸着空間を減圧することにより前記吸着対象物を吸着するステップと、
前記吸着対象物を吸着したまま、前記吸着コレットを鉛直方向上向きに移動させることで、前記吸着対象物をピックアップするステップと、
を備えることを特徴とするピックアップ方法。
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JP2013073376A JP6201373B2 (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法 |
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JP2013073376A JP6201373B2 (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 吸着コレット、ピックアップ装置、及びピックアップ方法 |
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