JP6191545B2 - 長尺樹脂フィルムの巻き出し装置と表面処理装置および金属膜付樹脂フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
長尺樹脂フィルムが巻き付けられた巻き出しロールを減圧室内に備え、該巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて上記長尺樹脂フィルムを巻き出す長尺樹脂フィルムの巻き出し装置であって、
上記巻き出しロールから長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部の剥離面側空間部に上記フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段を設けると共に、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口が、巻き出される長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口により構成されて、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気を除電するようになっている長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
巻き出しロールと該巻き出しロールの隣に位置する直近下流側ロールとの間を搬送される長尺樹脂フィルムの上面に外周面が接触するタッチロールと、上記長尺樹脂フィルムに接触するタッチロールを上下方向へ移動可能に保持する保持部材と、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口とタッチロールとを連結する連結部材を備え、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位する上記フィルム剥離部に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口を追従させて上記フィルム剥離部とガス吹き出し口との位置関係が略一定に保持されるようになっていることを特徴とするものである。
第1の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記巻き出しロールと直近下流側ロール間を搬送される長尺樹脂フィルムを中央にして幅方向両端側の近傍にそれぞれ設けられ、かつ、上記タッチロールの回転中心軸が摺動可能に係合する隙間部を具備する一対のレール状案内部により上記保持部材が構成されていることを特徴とし、
第3の発明は、
第1の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
先端側に上記タッチロールの回転中心軸を回転可能に支持する支持部を有しかつ基端側が回動可能に固定されて上記先端側が上下方向に揺動する一対のアーム部により上記保持部材が構成されていることを特徴とし、
第4の発明は、
第1の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記ガス吹き出し口から放出されるガスが不活性ガスであることを特徴とし、
第5の発明は、
第4の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記不活性ガスがアルゴンガスであることを特徴とするものである。
減圧室と、該減圧室内に設けられた巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて長尺樹脂フィルムを巻き出す巻き出し装置と、上記巻き出しロールと巻き取りロール間に設けられロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムに対し表面処理を施す表面処理手段を備えた表面処理装置において、
上記巻き出し装置が、第1の発明〜第5の発明のいずれかに記載された長尺樹脂フィルムの巻き出し装置により構成されていることを特徴とし、
第7の発明は、
第6の発明に記載の表面処理装置において、
上記表面処理手段がスパッタリング成膜手段で構成されることを特徴とする。
長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に接着剤層を介さずに金属膜が成膜された金属膜付樹脂フィルムの製造方法において、
第7の発明に記載の表面処理装置を用いて、長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に金属膜を成膜することを特徴とし、
第9の発明は、
第8の発明に記載の金属膜付樹脂フィルムの製造方法において、
上記長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面にシード層を成膜し、該シード層の表面に銅層を成膜することを特徴とするものである。
巻き出しロールから長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部の剥離面側空間部に上記フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段が設けられ、ガス吹き出し手段のガス吹き出し口が、巻き出される長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口により構成されて、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気が除電されるようになっているため、帯電により発生する長尺樹脂フィルムの上述した欠陥を防止することが可能となる。
巻き出しロールと該巻き出しロールの隣に位置する直近下流側ロールとの間を搬送される長尺樹脂フィルムの上面に外周面が接触するタッチロールと、長尺樹脂フィルムに接触するタッチロールを上下方向へ移動可能に保持する保持部材と、ガス吹き出し手段のガス吹き出し口とタッチロールとを連結する連結部材を備え、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位するフィルム剥離部に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口を追従させて、上記フィルム剥離部とガス吹き出し口との位置関係が略一定に保持されるようになっているため、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変化する原料ロール(巻き出しロール)径に関わらず略同等の除電効果を得ることが可能となる。
本発明の巻き出し装置を組み込んだ表面処理装置について、ロールツーロール方式の真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を例に挙げて説明する。
上記真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)50に係る長尺樹脂フィルムFの巻き出し部75には、巻き出しロール52から長尺樹脂フィルムFが巻き出されるフィルム剥離部80の剥離面側空間部81に、上記フィルム剥離部80に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段が設けられていると共に、長尺樹脂フィルムFの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口(図示せず)により上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口70が構成されている。更に、複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口で構成される上記ガス吹き出し口70は長尺樹脂フィルムFの上面に外周面が接触するタッチロール71に連結され、長尺樹脂フィルムFの巻き出し供給量に従って変位する上記フィルム剥離部80に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口70を追従させて、上記フィルム剥離部80とガス吹き出し口70との位置関係が略一定に保持されるようになっている。
上記真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)50を用いることにより、長尺樹脂フィルムFの帯電による影響を受けない高品質の金属膜付樹脂フィルムを製造することができる。例えば、図1に示すスパッタリングカソード57にニッケル系合金のターゲットを取り付け、スパッタリングカソード58〜60に銅のターゲットを取り付けることにより、長尺樹脂フィルムFの少なくとも一方の面に接着剤層を介さずにニッケル系合金等からなる膜と銅膜とが積層された高品質な金属膜付樹脂フィルムを製造することができる。
図1に示した真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)50を用意し、スパッタリングカソード57に「Ni−20質量%Cr合金ターゲット」を取り付け、かつ、スパッタリングカソード58、59、60に「Cuターゲット」を取り付けた。また、長尺樹脂フィルムとして、厚さ38μmのポリイミドフィルム[東レ・デュポン株式会社製、商品名カプトン(登録商標)]を用意し、「Ni−20質量%Cr合金膜」を10nm、この合金膜表面に100nmの「銅膜」を積層するように設定した。
図2(A)(B)におけるガス吹き出し口70の向きを120°左回りに回転させ、長尺樹脂フィルムFにおけるフィルム剥離部80の剥離面とは反対側のフィルム面へ向けアルゴンガスを放出させる構造に変更し、長尺樹脂フィルムFのみにガスが吹き付けられるようにした以外は実施例1と同様に行い、かつ同様の測定を行った。
51 真空チャンバー(減圧室)
52 巻き出しロール
53 フリーロール(直近下流側ロール)
54、62 張力センサロール
55、61 フィードロール
56 キャンロール
57、58、59、60 マグネトロンスパッタリングカソード
63 フリーロール
64 巻き取りロール
70 ガス吹き出し口
71 タッチロール
72 レール状案内部
73 アーム部
75 巻き出し部
76 連結部材
77 先端側
78 基端側
80 フィルム剥離部
81 剥離面側空間部
90 保持部材
F 長尺樹脂フィルム
Claims (9)
- 長尺樹脂フィルムが巻き付けられた巻き出しロールを減圧室内に備え、該巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて上記長尺樹脂フィルムを巻き出す長尺樹脂フィルムの巻き出し装置であって、
上記巻き出しロールから長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部の剥離面側空間部に上記フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段を設けると共に、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口が、巻き出される長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口により構成されて、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気を除電するようになっている長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
巻き出しロールと該巻き出しロールの隣に位置する直近下流側ロールとの間を搬送される長尺樹脂フィルムの上面に外周面が接触するタッチロールと、上記長尺樹脂フィルムに接触するタッチロールを上下方向へ移動可能に保持する保持部材と、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口とタッチロールとを連結する連結部材を備え、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位する上記フィルム剥離部に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口を追従させて上記フィルム剥離部とガス吹き出し口との位置関係が略一定に保持されるようになっていることを特徴とする長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。 - 上記巻き出しロールと直近下流側ロール間を搬送される長尺樹脂フィルムを中央にして幅方向両端側の近傍にそれぞれ設けられ、かつ、上記タッチロールの回転中心軸が摺動可能に係合する隙間部を具備する一対のレール状案内部により上記保持部材が構成されていることを特徴とする請求項1に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
- 先端側に上記タッチロールの回転中心軸を回転可能に支持する支持部を有しかつ基端側が回動可能に固定されて上記先端側が上下方向に揺動する一対のアーム部により上記保持部材が構成されていることを特徴とする請求項1に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
- 上記ガス吹き出し口から放出されるガスが不活性ガスであることを特徴とする請求項1に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
- 上記不活性ガスがアルゴンガスであることを特徴とする請求項4に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
- 減圧室と、該減圧室内に設けられた巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて長尺樹脂フィルムを巻き出す巻き出し装置と、上記巻き出しロールと巻き取りロール間に設けられロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムに対し表面処理を施す表面処理手段を備えた表面処理装置において、
上記巻き出し装置が、請求項1〜5のいずれかに記載された長尺樹脂フィルムの巻き出し装置により構成されていることを特徴とする表面処理装置。 - 上記表面処理手段がスパッタリング成膜手段で構成されることを特徴とする請求項6に記載の表面処理装置。
- 長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に接着剤層を介さずに金属膜が成膜された金属膜付樹脂フィルムの製造方法において、
請求項7に記載の表面処理装置を用いて、長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に金属膜を成膜することを特徴とする金属膜付樹脂フィルムの製造方法。 - 上記長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面にシード層を成膜し、該シード層の表面に銅層を成膜することを特徴とする請求項8に記載の金属膜付樹脂フィルムの製造方法。
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