JP6180474B2 - トップポート型マイクロエレクトロメカニカルシステムマイクロフォン - Google Patents
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Description
本出願は、マイクロフォンの技術分野、とくに高い信号対雑音比を実現するトップポート型マイクロエレクトロメカニカルシステムマイクロフォンに関する。
1’ プリント回路基板, 2’ MEMSチップ,
3’ ASICチップ, 4’ 金線,
5’ サウンドホール, 6’ ハウジング,
7’ ボンディングパッド, 11’ フロントチャンバー,
21’ バックチャンバー;
MEMSマイクロフォン100の参照番号:
1 回路基板, 2 MEMSチップ,
3 ASICチップ, 4 金属線,
5 サウンドホール, 6 ハウジング,
7 導電接続部材, 8 固定接着材,
9 シーラント, 10 バックチャンバー,
20 フロントチャンバー
Claims (7)
- トップポート型マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)マイクロフォンであって、
ハウジングと回路基板によって形成された空間の内部に配置されたMEMSチップ及び特定用途向け集積回路(ASIC)チップを含み、前記MEMSチップと前記ASICチップは金属線を介して接続されており、
前記MEMSチップは前記ハウジング頂部の内壁に固定され、バックチャンバーは前記MEMSチップの外側と前記ハウジングと前記回路基板で囲まれており、
サウンドホールが、前記ハウジングの、前記MEMSチップの内側に対向する部分に設けられ、フロントチャンバーが、前記サウンドホールと前記MEMSチップの内側の間に形成され、
前記ASICチップが、前記ハウジング頂部の内壁に固定され、
前記ハウジングと前記回路基板によって形成された前記空間の内部に、前記ハウジングに固定された上端と、ボンディングパッドが設けられ回路基板に固定された下端とを有する導電接続部材が設けられ、導電接続部材は金属線を介してMEMSチップとASICチップとを導電接続するよう構成されている、
トップポート型マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)マイクロフォン。 - 空間を形成するために、前記ハウジングと前記回路基板がシーラントにより密封されている、
請求項1に記載のトップポート型MEMSマイクロフォン。 - 前記導電接続部材は、前記MEMSチップと前記ASICチップの同じ側に配置されている、
請求項1に記載のトップポート型MEMSマイクロフォン。 - 前記導電接続部材の上端は固定接着材によって前記ハウジングに固定され、前記導電接続部材の下端にある前記ボンディングパッドは前記回路基板に溶接、または前記固定接着材で前記回路基板に接着されている、
請求項1または3に記載のトップポート型MEMSマイクロフォン。 - 前記MEMSチップの底部は固定接着材によって前記ハウジングに接着され、前記ASICチップの底部は前記固定接着材で前記ハウジングまたは前記回路基板に接着されている、
請求項1に記載のトップポート型MEMSマイクロフォン。 - 前記導電接続部材の本体の底部は段差形状になっており、前記導電接続部材の上端は固定接着材によって前記ハウジングに接着され、前記導電接続部材の下端にある前記ボンディングパッドは前記回路基板に溶接、または前記固定接着材で前記回路基板に接着されている、
請求項1または3に記載のトップポート型MEMSマイクロフォン。 - 前記ASICチップは、前記導電接続部材の本体に固定されている、
請求項6に記載のトップポート型MEMSマイクロフォン。
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