JP6176961B2 - 製造処理プロセスで用いられる濃度測定装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 44
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 96
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 55
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 39
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 claims description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 8
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 33
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 18
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 14
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 10
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 10
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 7
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 7
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 6
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 6
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 6
- 238000012384 transportation and delivery Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004148 unit process Methods 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 1
- 239000012088 reference solution Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
- H01L22/26—Acting in response to an ongoing measurement without interruption of processing, e.g. endpoint detection, in-situ thickness measurement
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/53022—Means to assemble or disassemble with means to test work or product
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Description
前記流路を流れる流体における所定成分の濃度を測定する濃度測定部、前記本体装置から状態信号を受信する状態信号受信部、及び、前記状態信号の値によって前記流路に第2流体が流れていると判断される期間に前記濃度測定部で測定された測定値である基準測定値を取得し、該基準測定値によって前記濃度測定部の校正を行う校正部を具備していることを特徴とするものである。
なお、第1流体と第2流体とは、同一種の流体でも構わないが、第2流体は測定すべき所定成分の濃度が既知である必要がある。また、製造処理プロセスとしては、例えば半導体製造プロセス、太陽電池製造プロセス、液晶製造プロセス、メッキプロセスなどのように、物理処理プロセスや化学処理プロセスを挙げることができる。
前記流路を流れる流体における所定成分の濃度を測定する濃度測定部と、前記本体装置から状態信号を受信する状態信号受信部と、前記状態信号の値によって前記流路に第2流体が流れているか否かを判断し、第2流体が流路を流れていると判断した期間に前記濃度測定部で測定された測定値である基準測定値を取得し、該基準測定値によって前記濃度測定部の校正を行う校正部とを有する濃度測定装置とを具備していることを特徴とするものである。なお、第2流体が流れているか否かを判断するのは本体装置側で行っても構わない。
光源部42は、例えばハロゲンランプなどのようにブロードなスペクトルの一次光を照射するものである。またLEDやレーザを用いても良い。
光検出部43は、セル41を透過した二次光を分光し、その分光された各波長の光強度を検出するものであり、回折格子などの図示しない分光手段と、各波長の光強度を検出するための図示しない多チャンネル検出器とを具備している。
具体的には、図2(b)に示すように、前記制御部36から液剤送出路34を流れている液剤の種類及び校正可能か否かを示す状態信号が出力されている。この状態信号は、例えば前記バルブの開閉信号等で代替しても構わない。
一方、状態信号の値が2〜4の場合は、各値に対応づけられた洗浄用液剤が液剤送出路34を流れている状態を示している。
例えば、校正動作は、例えばプロセスの待機期間や基板の搬送期間などに、第2流体を流すことによって行ってもよい。また、前記実施形態における洗浄用薬液の吹き付けと次の洗浄用薬液の吹き付けとの間の期間に校正するようにしても良い。
加えて、第1流体、第2流体は気体でも良い。
より具体的に言えば、前記濃度測定装置4に代えて、流路を流れる試料流体(第1流体又は第2流体)の屈折率や導電率などの物性を測定する物性測定装置を用いても構わないということである。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
B・・・半導体基板
1・・・プロセスチャンバ
3・・・液剤供給装置
31・・・原液導入ポート
32・・・希釈液導入ポート
33・・・混合部
34・・・液剤送出路
35・・・ノズル部
36・・・制御部
4・・・濃度測定装置
41・・・セル
42・・・光源部
43・・・光検出部
44・・・情報処理装置
441・・・濃度測定部
442・・・状態信号受信部
443・・・校正部
Claims (8)
- 流路を有し、該流路に製造処理プロセスで用いられる第1流体と同製造処理プロセスで用いられる濃度既知の第2流体とを排他的に流すとともに、該流路に流れている流体が前記第2流体かどうか及び校正可能か否かを示す状態信号を出力する本体装置とともに用いられるものであり、
前記流路を流れる流体における所定成分の濃度を測定する濃度測定部と、
前記本体装置から状態信号を受信する状態信号受信部と、
前記状態信号によって前記流路に第2流体が流れており、且つ、校正可能であると判断される期間に前記濃度測定部で測定された測定値である基準測定値を取得し、該基準測定値によって前記濃度測定部の校正を行う校正部とを有することを特徴とする濃度測定装置。 - 前記製造処理プロセスが半導体製造プロセスであり、前記本体装置が、半導体基板洗浄期間、半導体基板搬送期間、半導体基板乾燥期間及び待機期間のうちの少なくともいずれかの期間において、前記第2流体を前記流路に流すことを特徴とする請求項1記載の濃度測定装置。
- 前記本体装置が、導入された1又は複数の原液と前記第2流体とを所定比率で混合して第1流体を生成し、前記流路に流す混合部を具備したものであり、
第2流体を流路に流す場合には、前記原液の混合部への導入を停止するようにしていることを特徴とする請求項1又は2記載の濃度測定装置。 - 前記第2流体が希釈液であり、前記校正部がオフセット補正を校正として行うものである請求項3記載の濃度測定装置。
- 前記濃度測定装置が、前記流路上に設けられた透明セルと、該透明セルの一方から光を照射する光源部と、前記透明セルを透過した光を受光してその強度に応じた値の信号を出力する光検出部と、該光検出部の検出信号値に所定の演算を施して前記流体の濃度を算出する濃度測定部とを具備したものであり、
前記校正部が、前記演算に補正を施すものである請求項1乃至4いずれか記載の濃度測定装置。 - 流路を有し、該流路に製造処理プロセスで用いられる第1流体と同製造処理プロセスで用いられる濃度既知の第2流体とを排他的に流すとともに、該流路に流れている流体が前記第2流体かどうか及び校正可能か否かを示す状態信号を出力する本体装置と、
前記流路を流れる流体における所定成分の濃度を測定する濃度測定部、前記本体装置から状態信号を受信する状態信号受信部、及び、前記状態信号の値によって前記流路に第2流体が流れており、且つ、校正可能であると判断される期間に前記濃度測定部で測定された測定値である基準測定値を取得し、該基準測定値によって前記濃度測定部の校正を行う校正部を有する濃度測定装置とを具備していることを特徴とする製造処理システム。 - 製造処理プロセスで用いられる第1流体と同製造処理プロセスで用いられる濃度既知の第2流体とを同一流路に排他的に流すとともに、該流路に流れている流体が前記第2流体かどうか及び校正可能か否かを示す状態信号を出力し、
該状態信号の値によって前記流路に第2流体が流れており、且つ、校正可能であると判断される期間に該流路を流れる第2流体の濃度を測定し、
その測定結果である基準測定値に基づいて前記濃度測定の校正を行うことを特徴とする校正方法。 - 前記製造処理プロセスが半導体製造プロセスであって、半導体基板洗浄期間、半導体基板搬送期間、半導体基板乾燥期間及び待機期間のうちの少なくともいずれかの期間において、前記第2流体を前記流路に流すことを特徴とする請求項7記載の校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013061777A JP6176961B2 (ja) | 2012-04-12 | 2013-03-25 | 製造処理プロセスで用いられる濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012091034 | 2012-04-12 | ||
JP2012091034 | 2012-04-12 | ||
JP2013061777A JP6176961B2 (ja) | 2012-04-12 | 2013-03-25 | 製造処理プロセスで用いられる濃度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013234991A JP2013234991A (ja) | 2013-11-21 |
JP6176961B2 true JP6176961B2 (ja) | 2017-08-09 |
Family
ID=49325458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013061777A Active JP6176961B2 (ja) | 2012-04-12 | 2013-03-25 | 製造処理プロセスで用いられる濃度測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130273670A1 (ja) |
JP (1) | JP6176961B2 (ja) |
KR (1) | KR20130116190A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102326680B1 (ko) | 2017-09-14 | 2021-11-15 | 삼성전자주식회사 | 소재 물성 검사 장치 |
CN109580716B (zh) * | 2018-11-23 | 2020-10-30 | 浙江大学 | 基于静电检测的循环流化床提升段气固流型的识别方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02203252A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-13 | Aloka Co Ltd | 吸光光度計 |
JP2533068B2 (ja) * | 1993-10-25 | 1996-09-11 | 幸男 中野 | 光の吸収を利用した濃度測定方法 |
JPH0815146A (ja) * | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 流体濃度制御装置 |
US5715173A (en) * | 1994-06-27 | 1998-02-03 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Concentration controlling method and a substate treating apparatus utilizing same |
JPH0868746A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 透過光測定用フローセル |
JP3078199B2 (ja) * | 1994-07-04 | 2000-08-21 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 濃度制御方法及びこれを利用した基板処理装置 |
JP3234112B2 (ja) * | 1994-10-31 | 2001-12-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 処理液濃度制御方法及びこれを利用した処理液濃度制御装置 |
JP3243708B2 (ja) * | 1995-12-07 | 2002-01-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理方法及び処理装置 |
JPH09199468A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 処理方法と装置 |
JP3582680B2 (ja) * | 1996-02-07 | 2004-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置 |
TW322605B (ja) * | 1995-12-07 | 1997-12-11 | Tokyo Electron Co Ltd | |
JPH11201901A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-07-30 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
JP2005274143A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-10-06 | Horiba Ltd | 多成分水溶液の分析方法 |
JP2006349639A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Shimadzu Corp | 差量法形赤外線ガス分析装置とその校正方法 |
-
2013
- 2013-03-25 JP JP2013061777A patent/JP6176961B2/ja active Active
- 2013-04-11 US US13/861,076 patent/US20130273670A1/en not_active Abandoned
- 2013-04-11 KR KR1020130039842A patent/KR20130116190A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130116190A (ko) | 2013-10-23 |
JP2013234991A (ja) | 2013-11-21 |
US20130273670A1 (en) | 2013-10-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
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|
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