JP6643715B2 - オゾン測定装置 - Google Patents
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Description
1.オゾン測定装置の全体構成
図1は、本実施例のオゾン測定装置100の全体構成を示すブロック図である。本実施例では、オゾン測定装置100は、大気中のオゾン濃度を測定するのに用いられるものである。
次に、本実施例のオゾン測定装置100におけるオゾン濃度の演算について更に詳しく説明する。本実施例では、制御部4は、試料ガス中のオゾン濃度を、ランバートベールの法則に基づく下記式(1)により演算する。
水銀ランプ22の光量が安定していれば、例えば測定セル21に一定のオゾン濃度の試料ガス(例えばオゾンを含まない空気(ゼロガス))を導入した場合、今回の試料ガス測定後濃度と1回前の参照ガス測定後濃度、あるいは今回の参照ガス測定後濃度と1回前の試料ガス測定後濃度は、ほとんど変わらないはずである。
本実施例では、制御部4は、概略、次のような指示飛び補正処理を実行する。つまり、上記式(1)によれば、オゾン濃度は試料ガスの紫外線透過光量と参照ガスの紫外線透過光量との比率から求められるため、水銀ランプ22の光量が安定していれば、直近の試料ガス測定後濃度の前回の試料ガス測定後濃度からの変化率と、直近の参照ガス測定後濃度の前回の参照ガス測定後濃度からの変化率と、はほぼ同じである。より詳細に言えば、測定対象(大気中のオゾン濃度であるか、オゾン発生器の発生するオゾン濃度であるかなど)に応じて、上記両者の変化率は所定の範囲内になると推定できる。しかし、水銀ランプ22の光量が大きく変化した場合には、上記両者の変化率が大きく異なることになる。したがって、本実施例では、上記両者の変化率の差を所定の閾値と比較して、その差が所定の閾値を超えた場合に指示飛びが発生したと判断する。そして、指示飛びのため正確な値として扱えない試料ガス測定後濃度あるいは参照ガス測定後濃度を、より実際のオゾン濃度に近くなるように代替値に置き換える。
θ=|atan(今回の濃度−前回の濃度)| ・・・(2)
θerr<|θz−θs| ・・・(3)
θerr<|θzn−2−θsn−1|
を満たす、すなわち、角度差が閾値θerrより大きいと判断される。そして、今回演算された試料ガス測定後濃度Csnは、前回演算された試料ガス測定後濃度Csn−1で置き換えられて、試料ガス中のオゾン濃度の測定結果に反映される。なお、前回のオゾン濃度が既にそれより前のオゾン濃度で置き換えられている場合は、その既に置き換えられた後のオゾン濃度で今回演算されたオゾン濃度を置き換えればよい。
θerr<|θzn−1−θsn−1|
を満たす、すなわち、角度差が閾値θerrより大きいと判断される。そして、今回演算された試料ガス測定後濃度Cznは、前回演算された試料ガス測定後濃度Czn−1で置き換えられて、試料ガス中のオゾン濃度の測定結果に反映される。
次に、本実施例の指示飛び補正処理の効果を調べた結果について説明する。
次に、本発明の他の実施例について説明する。本実施例のオゾン測定装置の基本的な構成及び動作は実施例1のものと同じである。したがって、本実施例のオゾン測定装置において実施例1のものと同一又は対応する機能あるいは構成を有する要素については、同一符号を付して詳しい説明は省略する。
θerr<||θzn−θzn−1|−|θsn−θsn−1||
を満たすか否かが判断され、満たしているのでタイミング(5)の試料ガス測定後濃度に指示飛びが発生していると判断さる。タイミング(3)、(4)、(6)、(7)、(8)の指示飛びについても、上記同様にして判別することができる。
2 検出部
3 ガス排出部
4 制御部
Claims (5)
- 試料ガスと試料ガス中のオゾンが除去された参照ガスとが交互に導入される測定部と、
前記測定部に紫外線を照射する光源と、
前記測定部を透過した光を受光して受光量に応じた電気信号を発生する検出器と、
前記測定部に試料ガスが導入された際に前記検出器が発生した電気信号に応じた試料ガス測定データと、前記測定部に参照ガスが導入された際に前記検出器が発生した電気信号に応じた参照ガス測定データと、に基づいて試料ガス中のオゾン濃度を演算する制御部と、
を有し、前記制御部は、
前記試料ガス測定データを取得した場合に今回の前記試料ガス測定データと直近の前記参照ガス測定データとに基づいて試料ガス中のオゾン濃度を示す試料ガス測定後濃度を演算し、前記参照ガス測定データを取得した場合に今回の前記参照ガス測定データと直近の前記試料ガス測定データとに基づいて試料ガス中のオゾン濃度を示す参照ガス測定後濃度を演算し、
前記試料ガス測定後濃度又は前記参照ガス測定後濃度をそれぞれ演算する毎に、直近の前記試料ガス測定後濃度のそれ以前の前記試料ガス測定後濃度からの変化の程度を示す第1の指標値と、直近の前記参照ガス測定後濃度のそれ以前の前記参照ガス測定後濃度からの変化の程度を示す第2の指標値と、を求め、前記第1、第2の指標値間の差分が所定の閾値より大きい場合に、今回演算した前記試料ガス測定後濃度又は前記参照ガス測定後濃度をそれぞれ、以前に演算した前記試料ガス測定後濃度又は前記参照ガス測定後濃度の少なくとも一方に基づく別の値に置き換える処理を行うことを特徴とするオゾン測定装置。 - 前記制御部は、前記第1、第2の指標値間の差分が前記閾値より大きい場合に、今回演算した前記試料ガス測定後濃度を以前に演算した前記試料ガス測定後濃度に基づく別の値に置き換える、又は今回演算した前記参照ガス測定後濃度を以前に演算した前記参照ガス測定後濃度に基づく別の値に置き換える処理を行うことを特徴とする請求項1に記載のオゾン測定装置。
- 前記第1の指標値は、直近の前記試料ガス測定後濃度の前回の前記試料ガス測定後濃度からの変化率を示し、
前記第2の指標値は、直近の前記参照ガス測定後濃度の前回の前記参照ガス測定後濃度からの変化率を示すことを特徴とする請求項1又は2に記載のオゾン測定装置。 - 前記第1の指標値は、直近の前記試料ガス測定後濃度の前回の前記試料ガス測定後濃度からの変化率と、前回の前記試料ガス測定後濃度の前々回の前記試料ガス測定後濃度からの変化率と、の差分を示し、
前記第2の指標値は、直近の前記参照ガス測定後濃度の前回の前記参照ガス測定後濃度からの変化率と、前回の前記参照ガス測定後濃度の前々回の前記参照ガス測定後濃度からの変化率と、の差分を示すことを特徴とする請求項1又は2に記載のオゾン測定装置。 - 前記制御部は、前記変化率を、縦軸が試料ガス中のオゾン濃度、横軸が時間である座標に前記試料ガス測定後濃度又は前記参照ガス測定後濃度をそれぞれプロットした場合における、隣接する前記試料ガス測定後濃度のプロット間を結ぶ直線が横軸方向となす角度、又は隣接する前記参照ガス測定後濃度のプロット間を結ぶ直線が横軸方向となす角度として求めることを特徴とする請求項3又は4に記載のオゾン測定装置。
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