JP2011128078A - ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法 - Google Patents

ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2011128078A
JP2011128078A JP2009288307A JP2009288307A JP2011128078A JP 2011128078 A JP2011128078 A JP 2011128078A JP 2009288307 A JP2009288307 A JP 2009288307A JP 2009288307 A JP2009288307 A JP 2009288307A JP 2011128078 A JP2011128078 A JP 2011128078A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
laser pulse
measuring
measured
dust
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009288307A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5351742B2 (ja
Inventor
Shinsaku Dobashi
晋作 土橋
Chisato Tsukahara
千幸人 塚原
Akihiro Nozaki
昭宏 野▲崎▼
Shigenobu Maniwa
繁信 真庭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP2009288307A priority Critical patent/JP5351742B2/ja
Publication of JP2011128078A publication Critical patent/JP2011128078A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5351742B2 publication Critical patent/JP5351742B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

【課題】被測定ガス中の煤塵濃度を計測することができるガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法を提供する。
【解決手段】被測定ガス12にレーザパルス11を照射させ、発生するミー散乱光30から被測定ガス12中の煤塵濃度を計測するガス中の煤塵濃度計測装置を用い、レーザパルス11の測定状態を出力計で監視し、ミー散乱光の信号強度を連続してミー散乱用の光検出器31で計測すると共に、レーザ出力計(計測用出力計15A、参照用出力計15B)において、レーザパルス11の1パルスあたりのレーザパルスの出力における所定単位時間の所定の設定閾値の範囲内であるか否かを判断して、閾値範囲内であれば、計測データを許容し、閾値外であれば除外する判断を行い、設定閾値内の許容したミー散乱信号強度データを演算装置で所定時間積算し、その平均をミー散乱信号強度の平均値とし、その平均値から煤塵濃度を求める。
【選択図】図1

Description

本発明は、レーザ計測において被測定ガス中の煤塵濃度を安定して分析することができるガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法を提供することを課題とする。
従来、燃料ガス中のダスト(煤塵)成分の濃度をパルスレーザ照射によるミー散乱光により計測することが知られている(特許文献1、2参照)。
特開2005−24249号公報 特開2005−24250号公報
ところで、パルスレーザ照射によるガス分析においては、プラント制御手段として適用するために、定量性を確保しながらも迅速に分析することが要望されている。
しかしながら、一定の定量性を確保するためには、各パルスレーザにて取得された信号を積算することで、S/N(シグナルノイズ比)の高い信号を取得する必要があり、時間がかかる。さらに、ミー散乱光による煤塵濃度分析においては、レーザパルスの出力が不安定な場合には、定量性が低下することが問題となっている。
図8は、レーザパルスの出力と信号強度との関係図である。図8に示すように、ミー散乱の信号ピークは、適正範囲であれば、問題はないが、レーザパルスの出力が低い場合において、ミー散乱強度が非線形的に減少するのに、ノイズと信号との分離が困難となり、定量性が低下するという問題がある。
レーザパルスの出力が高い場合において、ミー散乱強度が非線形的に増大してしまい、実際の濃度よりも高い判断となるので、定量が不正確となるような場合がある。
このため、濃度分析値にバラツキが発生することを防止しながら、迅速に分析が可能となるガス中の煤塵濃度分析手法の確立が切望されている。
本発明は、前記問題に鑑み、迅速且つ高精度に被測定ガス中の煤塵濃度を分析することができるガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法を提供することを課題とする。
上述した課題を解決するための本発明の第1の発明は、被測定ガスにレーザパルスを照射するレーザ装置と、レーザパルスの照射により発生するミー散乱光を計測するミー散乱用の光検出器と、レーザパルスの測定状態を監視するレーザ出力計とを用いて、被測定ガスに対して照射されるレーザパルスにより発生するミー散乱光から被測定ガス中の煤塵濃度を計測するガス中の煤塵濃度計測方法において、ミー散乱光の信号強度を計測し、出力計において、レーザパルスの1パルスあたりのレーザパルスの出力における所定単位時間の所定の設定閾値の範囲内であるか否かを判断して、閾値範囲内であれば、計測データを許容し、閾値外であれば除外する判断を行い、設定閾値内の許容したミー散乱信号強度データを所定時間積算し、その平均をミー散乱信号強度の平均値とし、その平均値から煤塵濃度を求めることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法にある。
第2の発明は、第1の発明において、前記設定閾値は、レーザパルスの出力の指標が(測定チャンバ内のレーザパルスの計測パワー強度:I1)/(レーザ装置から発振された際のレーザパルスの基本パワー強度:I0)であることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法にある。
第3の発明は、第1の発明において、被測定ガスのガス組成をラマン散乱光より計測するラマン散乱用の光検出器を設け、被測定ガスの所定ガス成分のピーク感度(所定ガス成分ピーク強度:I2)/(レーザパルスの基本パワー強度:I0)を求めることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法にある。
第4の発明は、第3の発明において、所定ガス成分が窒素ガスであることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法にある。
第5の発明は、第1乃至4の発明のいずれか一つのガス中の煤塵濃度計測方法により判断し、燃焼条件のフィードバック制御を行うことを特徴とする燃焼設備の運転方法にある。
本発明によれば、ミー散乱光の計測のバラツキを修正することにより、被測定ガス中のミー散乱光による煤塵濃度の計測の信頼性が向上することができる。
図1は、実施例1に係る煤塵濃度計測装置の概略図である。 図2は、実施例1のデータ処理と比較例(通常)のデータ処理との対比グラフである。 図3は、実施例1に係る煤塵濃度計測装置でのレーザパルスの出力とミー散乱光の信号強度の判定結果の一例を示す図である。 図4は、バイオマスガス化ガスシステムの構成図である。 図5は、実施例2に係る煤塵濃度計測装置の概略図である。 図6は、バイオマスガス化ガスのラマン散乱光計測結果のチャートである。 図7は、実施例2のデータ処理と比較例(通常)のデータ処理との対比グラフである。 図8は、レーザパルスの出力と信号強度との関係図である。
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
本発明による実施例に係る煤塵濃度計測方法について、図面を参照して説明する。
図1は、実施例1に係る煤塵濃度計測装置の概略図である。図1に示すように、ガス中の煤塵濃度計測装置10Aは、被測定ガス12に対して照射されるレーザパルス11により発生するミー散乱光30から被測定ガス12中の煤塵濃度を計測するガス中の煤塵濃度計測装置を用い、レーザパルス11の照射により発生するミー散乱光30をミー散乱用の光検出器31で計測すると共に、レーザパルス11の測定状態を出力計(計測用出力計15A、参照用出力計15B)で監視し、ミー散乱光の信号強度を連続してミー散乱用の光検出器31で計測すると共に、レーザ出力計(計測用出力計15A、参照用出力計15B)において、レーザパルス11の1パルスあたりのレーザパルスの出力における所定単位時間の所定の設定閾値の範囲内であるか否かを判断して、閾値範囲内であれば、計測データを許容し、閾値外であれば除外する判断を行い、設定閾値内の許容したミー散乱信号強度データを演算装置(図示せず)で所定時間積算し、その平均をミー散乱信号強度の平均値とし、その平均値から煤塵濃度を求めるものである。
本発明においては、レーザパルス11の1パルスあたりのレーザパルスの出力における所定単位時間(例えば10ns)の所定の設定閾値の範囲内であるか否かを判断するようにしている。
この判断は、レーザ出力計により、「レーザ装置13から発振された際の参照用出力計15Bにより求めたレーザパルス11の基本パワー強度:I0」が0.95−1.05の範囲内であるときに、データを許容し、この範囲外であるときには、データを除外するようにしている。
また、レーザの指標=(測定チャンバ20内の計測用出力計15Aにより求めたレーザパルス11の計測パワー強度:I1)/(レーザ装置13から発振された際の参照用出力計15Bにより求めたレーザパルス11の基本パワー強度:I0)が所定の範囲内であるときに、データを許容し、この範囲外であるときには、データを除外するようにすることもできる。
その後、設定閾値内の許容したミー散乱信号強度データを演算装置(図示せず)で所定時間(例えば5秒)積算し、その平均をミー散乱信号強度の平均値とし、その平均値から煤塵濃度を求めるものである。
これにより、ミー散乱の信号強度と、ノイズ強度との分離能力が増大することとなり、精度の高い煤塵濃度計測が可能となる。
以下に、レーザ装置を用いた煤塵濃度計測装置の各構成部材について説明する。
レーザ装置13からのレーザパルス11は、測定チャンバ20内に出射される。
なお、測定チャンバ20内に設けられる計測用出力計15Aは、反射ミラー21−1により反射されたレーザパルス11の進行方向上に設けられており、レーザパルス11の出力を正確に監視している。なお、レーザパルス11はレンズにより測定領域14に照射できるようにされている。また、レーザ装置13からのレーザパルス11の出力を参照出力として求める参照用出力計15Bは、レーザパルス11を反射ミラー21−2で反射させて、出射時のレーザパルスの出力を監視している。
次に、レーザパルス11が照射できるような形で被測定ガス12を保持又は流通させる機能を有する測定チャンバ20について説明する。
測定チャンバ20は、計測される被測定ガス12が内部に存在しており、それを外部(レーザ部や分光器を含む)にリークさせないような構造をしている。
石英窓23−1、23−2は、被測定ガス12を外部へ流出させないための石英ガラス製の窓である。石英ガラス製にしているのは、その窓をレーザパルス11が透過できるようにするためである。なお、この窓は二重にしており、石英ガラス1枚が破損しても、ガスがリークしないようにしている。
次に、煤塵濃度の計測手順について説明する。
1) レーザパルス11の出力の指標=(測定チャンバ20内のレーザパルス11の計測パワー強度:I1)/(レーザ装置13から発振された際のレーザパルスの基本パワー強度:I0)を計測して、レーザパルスの出力状態を確認する。通常は1.0である。
2) 次に、ミー散乱信号強度をミー散乱用の光検出器31で計測する。
3) この際、レーザ出力計により、出力が例えば1Wであるときに、レーザ装置13から発振された際の参照用出力計15Bにより求めたレーザパルス11の基本パワー強度:I0が0.95〜1.05Wの範囲内であるときに、ミー散乱信号強度のデータを許容(x回)し、この範囲外(0.95W未満の場合又は1.05Wを超える場合)であるときには、データを除外(y回)し、判定を行うようにしている。
なお、1パルスは20回/秒であるので、5秒間計測することで100回計測することとなる。その結果の一部を表1に示す。
4) 最後に許容したデータを積算して、積算量を許容された回数x=(100−y)で割ることにより、信号強度の平均値を求める。
5) その後、信号強度の平均値から予め求めた検量線(図示せず)を用いて、煤塵濃度を推定する。
Figure 2011128078
図3は、実施例1に係る煤塵濃度計測装置でのレーザパルスの出力とミー散乱光の信号強度の判定結果の一例を示す図である。図3に示すように、レーザパルスのピークを0.95〜1.05の閾値として判断し、この適切な出力条件の場合のミー散乱光ピークのみのデータを受光データとして許容することで、ノイズの少なくなり、高精度な煤塵濃度分析を行うことができる。
このように、本発明では、所定回数(例えば100回)のレーザのパルスの出力値、ミー散乱光強度をデータ処理装置に転送し、適切なレーザパルス出力値におけるミー散乱光強度のみを積算するようにしたので、適切でないレーザパルス出力値のデータを除外できるので、短時間に高精度な煤塵分析が可能となる。
これは、近年の分析時間の短縮化に寄与することとなる。
図2は、実施例1のデータ処理と比較例(通常)のデータ処理との対比グラフである。 図2に示すように、本実施例のような処理を行う場合では、理想(破線)に近づく、データを取得できる。これに対し、本発明のような処理をしない場合では、ばらつきが発生することとなる。
図4は燃焼設備の構成図である。
図4に示すように、バイオマスガス化システム100の燃焼設備であるバイオマス燃焼炉101からのガス化ガス102を供給するガスライン103から、その一部のガス化ガス102aを分岐する分岐ライン103aを設け、該分岐ライン103に煤塵濃度計測装置10Aを設けている。そして、被測定ガスであるガス化ガス102中の煤塵濃度を、前述した煤塵濃度計測方法により短時間で判断し、燃焼条件のフィードバック制御を制御装置104により行う。これにより、短時間(例えば5秒以内)で、煤塵濃度を高い精度で計測することができ、燃焼条件の迅速は対応を行うことができる。
本発明による実施例に係る煤塵濃度計測方法について、図面を参照して説明する。
図5は、実施例2に係る煤塵濃度計測装置の概略図である。図5に示すように、ガス中の煤塵濃度計測装置10Bは、実施例1の装置において、さらに、ラマン散乱光の信号を検知するラマン散乱用の光検出器43を設けている。
ラマン散乱用の光検出器43の受光手段は、発生するラマン散乱光40を計測する分光部41とICCD(Intensified Charge Coupled Device)カメラ42から構成されている。受光された信号はデータ処理手段23(CPU)で処理され、被測定ガス12の所定ガス組成のスペクトルピーク強度が求められる。
図6はバイオマスガス化ガスのラマン散乱光計測結果のチャートである。図6に示すように、水素(H2)が8%、水(H2O)が62%、二酸化炭素(CO2)が12%、一酸化炭素(CO)が6%、メタン(CH4)が1%、窒素(N2)が12%である。なお割合はチャートからの計算による。
本実施例では、1パルスあたりの所定ガス成分(窒素)の信号強度を求めた。
そして、被測定ガス12の所定ガス成分(例えばN2)のピーク感度の指標=(所定ガス成分(N2)ピーク強度:I2)/(レーザパルス11の基本パワー強度:I0)を求め、第2の閾値で判定を行い、レーザ出力計により、(測定チャンバ20内のラマン散乱光40の窒素のピーク強度:I2)/(レーザ装置13から発振された際の参照用出力計15Bにより求めたレーザパルス11の基本パワー強度:I0)が0.95−1.05の範囲内であるときに、データを許容し、この範囲外であるときには、データを除外するようにしている。
なお、前記指標は、本実施例では0.95〜1.05の範囲としているが、本発明はこれに限定されるものではなく、分析条件により適宜変更してもよい。
ここで、前記指標の閾値の設定方法の一例としては、実施例記載の方法のようにして、ガス中の標準サンプルを用いた検量線データを取得する。所定の分析時間にて得られる分析精度を、指標(レーザパルスの出力範囲)を変化させながら、予め適正化しておくようにすればよい。
図7は、実施例2のデータ処理と比較例(通常)のデータ処理との対比グラフである。 図7に示すように、本実施例のような処理を行う場合では、理想(破線)に近づく、データを取得できる。これに対し、本発明のような処理をしない場合では、ばらつきが発生することとなる。
また、レーザパルスの出力の低下に伴い、閾値の判断を変更するようにしてもよい。
例えば、(測定チャンバ20内のラマン散乱光40の窒素のピーク強度:I2)/(レーザ装置13から発振された際の参照用出力計15Bにより求めたレーザパルス11の基本パワー強度:I0)が0.95−1.05の範囲内で判断している場合、0.90〜1.00の範囲に変更して、劣化に対応した判断とするようにしてもよい。
なお、変更の範囲については、レーザパルスの条件により適宜変更すればよい。
本発明にかかる煤塵濃度計測方法は、例えば加圧流動床ボイラ、ガス化炉、コークス炉等からの生成ガスの煤塵濃度の計測や、例えばタービンやガスエンジン、各種ボイラに供給される導入ガスのガス中の煤塵濃度を計測する際において、レーザパルスの光軸を常に監視することで長期間に亙って安定してガス成分計測を行うことができることとなる。
また、ラマン散乱による分析においても適切なレーザパルスを選択していくことによって、計測精度の向上を図ることもできる。
また、発電プラントのみならず、化学プラントから得られる有用ガス(例えばGTL)のガス組成を計測することができる。
以上のように、本発明に係るガス中の煤塵濃度計測方法によれば、被測定ガス中の煤塵濃度の迅速な定量が確実となる。
10A、10B 煤塵濃度計測装置
11 レーザパルス
12 被測定ガス
13 レーザ装置
14 測定領域
20 測定チャンバ
30 ミー散乱光
31 ミー散乱用の光検出器
40 ラマン散乱光
43 ミー散乱用の光検出器

Claims (5)

  1. 被測定ガスにレーザパルスを照射するレーザ装置と、
    レーザパルスの照射により発生するミー散乱光を計測するミー散乱用の光検出器と、
    レーザパルスの測定状態を監視するレーザ出力計とを用いて、
    被測定ガスに対して照射されるレーザパルスにより発生するミー散乱光から被測定ガス中の煤塵濃度を計測するガス中の煤塵濃度計測方法において、
    ミー散乱光の信号強度を計測し、
    出力計において、レーザパルスの1パルスあたりのレーザパルスの出力における所定単位時間の所定の設定閾値の範囲内であるか否かを判断して、閾値範囲内であれば、計測データを許容し、閾値外であれば除外する判断を行い、
    設定閾値内の許容したミー散乱信号強度データを所定時間積算し、その平均をミー散乱信号強度の平均値とし、その平均値から煤塵濃度を求めることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法。
  2. 請求項1において、
    前記設定閾値は、レーザパルスの出力の指標=(測定チャンバ内のレーザパルスの計測パワー強度:I1)/(レーザ装置から発振された際のレーザパルスの基本パワー強度:I0)であることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法。
  3. 請求項1において、
    被測定ガスのガス組成をラマン散乱光より計測するラマン散乱用の光検出器を設け、
    被測定ガスの所定ガス成分のピーク感度(所定ガス成分ピーク強度:I2)/(レーザパルスの基本パワー強度:I0)を求めることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法。
  4. 請求項3において、
    所定ガス成分が窒素ガスであることを特徴とするガス中の煤塵濃度計測方法。
  5. 請求項1乃至4のいずれか一つのガス中の煤塵濃度計測方法により判断し、燃焼条件のフィードバック制御を行うことを特徴とする燃焼設備の運転方法。
JP2009288307A 2009-12-18 2009-12-18 ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法 Expired - Fee Related JP5351742B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009288307A JP5351742B2 (ja) 2009-12-18 2009-12-18 ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009288307A JP5351742B2 (ja) 2009-12-18 2009-12-18 ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011128078A true JP2011128078A (ja) 2011-06-30
JP5351742B2 JP5351742B2 (ja) 2013-11-27

Family

ID=44290815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009288307A Expired - Fee Related JP5351742B2 (ja) 2009-12-18 2009-12-18 ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5351742B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011137761A (ja) * 2009-12-28 2011-07-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス中の煤塵濃度及びガス組成の計測装置及び方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102448715B1 (ko) * 2017-12-22 2022-09-29 주식회사 히타치엘지 데이터 스토리지 코리아 먼지 센서와 가스 센서를 결합한 센서
US11920971B2 (en) 2020-08-14 2024-03-05 Honeywell International Inc. Gas flowmeter having inline calibrating
US11754429B2 (en) 2020-11-11 2023-09-12 Honeywell International Inc. Multifunctional dust trap
US11323785B1 (en) 2020-12-01 2022-05-03 Honeywell International Inc. Meter health function

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07151680A (ja) * 1993-01-07 1995-06-16 Hochiki Corp 微粒子検出兼用煙検出装置
JP2005024249A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ計測装置
JP2007033148A (ja) * 2005-07-25 2007-02-08 Ushio Inc マイクロチップ測定装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07151680A (ja) * 1993-01-07 1995-06-16 Hochiki Corp 微粒子検出兼用煙検出装置
JP2005024249A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ計測装置
JP2007033148A (ja) * 2005-07-25 2007-02-08 Ushio Inc マイクロチップ測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011137761A (ja) * 2009-12-28 2011-07-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス中の煤塵濃度及びガス組成の計測装置及び方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5351742B2 (ja) 2013-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9546902B2 (en) Method and system for correcting incident light fluctuations in absorption spectroscopy
JP5351742B2 (ja) ガス中の煤塵濃度計測方法及び燃焼設備の運転方法
JP2012037267A (ja) 光量検出方法及びその装置
JPWO2014106940A1 (ja) ガス吸収分光装置及びガス吸収分光方法
CN108020540B (zh) 一种激光诱导击穿光谱检测系统
JP2008256380A (ja) 光計測装置及び光計測装置の調整方法
JP2014182106A (ja) 温度計
CN103969200B (zh) 用于在测量气体中测量气体成分浓度的方法
JP2011149718A (ja) ガス分析装置
JP5229767B2 (ja) レーザー誘起プラズマ分光分析法における解析方法とその装置
CN108195823B (zh) 一种激光诱导击穿光谱检测系统
JP5086971B2 (ja) ガス中の煤塵濃度計測装置及び煤塵濃度計測装置の煤塵濃度校正方法、ガス中の煤塵濃度計測方法
Song et al. A four-channel-based mid-infrared methane sensor system using novel optical/electrical dual-domain self-adaptive denoising algorithm
CN108195824B (zh) 一种激光诱导击穿光谱检测系统
RU2478192C2 (ru) Способ оптического дистанционного обнаружения соединений в среде
JP2016191628A (ja) ガス分析システム
JP6530669B2 (ja) ガス濃度測定装置
JP2006029968A (ja) 濃度測定装置および方法
US11041803B2 (en) Feed-forward spectral calibration methodology for line-scanned tunable laser absorption spectroscopy
JP5330978B2 (ja) ガス成分計測装置及び方法
JPH08145889A (ja) 蛍光測定装置
WO2015005074A1 (ja) ガス成分測定装置
JP2012177613A (ja) 信号処理装置およびレーザ計測装置
JP3783991B2 (ja) 煙感知装置
CN106353262B (zh) 原子吸收测量方法以及测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120130

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130430

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130701

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130730

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130823

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5351742

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees