JP6176940B2 - 回転体の軸方向の移動量を計測する軸方向移動量計測システム - Google Patents
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Description
11 第1の渦電流センサ
12 第2の渦電流センサ
13 移動量算出手段
21 回転体
21a フランジ部
21c 一方の外周縁
21d 他方の外周縁
Claims (3)
- 回転体の軸方向の移動量を計測する軸方向移動量計測システムであって、
前記回転体の回転軸に同心に設けられた円盤状のフランジ部と、
前記フランジ部の一方の外周縁に対向して設置され、高周波電流を与えることにより前記フランジ部の一方の外周縁に渦電流を生じさせ当該フランジ部の軸方向の一方向の変位がもたらす渦電流の変化によるインピーダンスの変化を出力する第1の渦電流センサと、
前記フランジ部の他方の外周縁に対向して設置され、高周波電流を与えることにより前記フランジ部の他方の外周縁に渦電流を生じさせ当該フランジ部の軸方向の他方向の変位がもたらす渦電流の変化によるインピーダンスの変化を出力する第2の渦電流センサと、
前記第1の渦電流センサおよび前記第2の渦電流センサから出力されたインピーダンスの変化の値に基づいて前記回転体の軸方向の移動量を算出する移動量算出手段とを備えた
ことを特徴とする軸方向移動量計測システム。 - 前記移動量算出手段は、前記回転体の軸方向の移動量として、前記第1の渦電流センサの出力値に応じた計測値と前記第2の渦電流センサの出力値に応じた計測値との和を算出する
ことを特徴とする請求項1に記載の軸方向移動量計測システム。 - 前記移動量算出手段は、前記第1の渦電流センサの出力値に応じた計測値と前記第2の渦電流センサの出力値に応じた計測値との和に基づいて、前記回転体の移動方向を特定する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の軸方向移動量計測システム。
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JP2013034549A JP6176940B2 (ja) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 回転体の軸方向の移動量を計測する軸方向移動量計測システム |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013034549A JP6176940B2 (ja) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 回転体の軸方向の移動量を計測する軸方向移動量計測システム |
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Family Applications (1)
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-
2013
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