JP6173059B2 - ウェーハ分割装置 - Google Patents
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Description
4 基台
4a 開口
6 筐体
6a 前面
6b 側面
8 カセットエレベータ
10 移動テーブル
12 チャックテーブル
14 仮置き機構
14a,14b ガイドレール
16 スピンナテーブル
18 ウェーハ分割装置
20 エアー噴射ノズル
22 プッシュプルアーム
24 プッシュプルアーム移動機構
26 レール
28 第1搬送アーム
30 第1搬送アーム移動機構(移動手段)
32 レール
34 第2搬送アーム
36 第2搬送アーム移動機構
38 レール
40 モニタ
42 ノズル本体
42a 上面
44 ライン状突起部
44a 傾斜面
46 エアー噴射溝
48 昇降回転手段
50 フレーム保持手段
52 吸着パッド
11 ウェーハ
11a 表面
11b 裏面
13 ストリート(分割予定ライン)
15 デバイス
17 切削溝(分割起点)
19 環状フレーム
21 保護テープ
Claims (1)
- 表面に複数の分割予定ラインに区画された複数のデバイスを有するウェーハの裏面に環状フレームに装着された保護テープが貼着され、予め分割起点が形成された該複数の分割予定ラインに沿って複数のデバイスに分割するためのウェーハ分割装置であって、
該環状フレームに該保護テープを介して装着されたウェーハの該環状フレームのみを保持するフレーム保持手段と、
ウェーハ直径と同等の長さで且つ上面が平坦な矩形状に形成されたノズル本体、該ノズル本体の上面に形成されたウェーハ直径と同等の長さの噴射領域を有するエアー噴射溝、及び該ノズル本体の上面に該エアー噴射溝の両エッジが立設し該エアー噴射溝側から外側に向かって順次低くなるように傾斜した傾斜面を有するライン状突起部を有し、該環状フレームに該保護テープを介して装着されたウェーハの該保護テープ側から該分割予定ラインと平行に該エアー噴射溝を位置づけてライン状の圧縮エアーを噴射することで該分割起点を起点にウェーハを分割するエアー噴射ノズルと、
ウェーハ裏面に平行に且つウェーハの直径方向一端側から他端側に向かってエアー噴射溝と直交する方向に該エアー噴射ノズルが移動するように、該フレーム保持手段と該エアー噴射ノズルとを相対移動させる移動手段と、を備え、
該エアー噴射溝とウェーハの該分割予定ラインとを平行な向きに位置づけ該エアー噴射ノズルの該ライン状突起部を該保護テープの裏面側に近接させた作用位置において、該エアー噴射溝から噴射したライン状の圧縮エアーが該ライン状突起部の該傾斜面及び該ノズル本体上面と該保護テープ裏面との間を流れることにより流速が増加し該エアー噴射溝近傍で該保護テープ裏面側が該保護テープの表面側よりも低圧になり、該ライン状突起部及び該ノズル本体上面に該保護テープ裏面が吸引されることで該ライン状突起部がウェーハの裏面側を押圧し、それとともに該エアー噴射ノズルがウェーハの直径方向一端側から他端側に向かって相対移動することで、該分割起点に上方に向かって外力が付与され分割起点に沿ってウェーハが分割されることを特徴とするウェーハ分割装置。
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JP2013126780A JP6173059B2 (ja) | 2013-06-17 | 2013-06-17 | ウェーハ分割装置 |
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JP6173059B2 true JP6173059B2 (ja) | 2017-08-02 |
Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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JP2017112266A (ja) * | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
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JP2004214262A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Oputo System:Kk | ウエハの割断方法及び装置 |
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JP2013048133A (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | Lintec Corp | 分割装置及び分割方法 |
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2013
- 2013-06-17 JP JP2013126780A patent/JP6173059B2/ja active Active
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