JP6170349B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
S2,S3は、発熱する複数の共振器とのみ直接接続され、放熱経路がないため、熱が留まり易くなっている。
Claims (13)
- 圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、前記圧電基板よりも熱伝導率の高い絶縁膜と、前記圧電基板上又は前記絶縁膜上に形成された少なくとも2つのパッドと、前記絶縁膜上に形成された少なくとも1つのパッドと、前記絶縁膜上に形成された少なくとも1つの弾性波共振器と、前記圧電基板上に直接形成された少なくとも1つの弾性波共振器と、を有する弾性波フィルタ。
- 前記絶縁膜上に形成された少なくとも1つのパッドは、入力パッド、出力パッド、グランドパッド、又はダミーパッドのいずれかである、請求項1に記載の弾性波フィルタ。
- 前記圧電基板上に直接形成された少なくとも1つの弾性波共振器は、前記絶縁膜上に形成されたパッドと直接接続され、前記絶縁膜上に形成された弾性波共振器は前記絶縁膜上に形成されたパッドとは直接接続されていない、請求項1又は2に記載の弾性波フィルタ。
- 前記絶縁膜上に形成された少なくとも1つの弾性波共振器は、いかなるパッドとも直接接続されていない、請求項1〜3に記載の弾性波フィルタ。
- 請求項1〜4に記載の弾性波フィルタはラダー型フィルタであって、前記絶縁膜上に形成された少なくとも1つの弾性波共振器は直列共振器である、弾性波フィルタ。
- 前記絶縁膜上に形成された直列共振器は、入力パッドである前記圧電基板上又は前記絶縁膜上に形成されたパッドから二つめの直列共振器である、請求項5に記載の弾性波フィルタ。
- 前記絶縁膜上に形成された直列共振器は、入力パッドである前記圧電基板上又は前記絶縁膜上に形成されたパッドから二つめと三つめの直列共振器である、請求項6に記載の弾性波フィルタ。
- 請求項1〜3に記載の弾性波フィルタはラダー型フィルタであって、前記絶縁膜上に形成された少なくとも1つの弾性波共振器は並列共振器であって、前記並列共振器はグランドパッドである前記圧電基板上又は前記絶縁膜上に形成されたパッドと直接接続されている、弾性波フィルタ。
- 請求項1〜8に記載の弾性波フィルタはダブルモード型共振器を含む、弾性波フィルタ。
- 請求項1〜9に記載の弾性波フィルタはダブルモード型共振器とラダー型フィルタを含む、弾性波フィルタ。
- 請求項1〜10に記載の弾性波フィルタは、積層基板からなるパッケージ基板及び封止部を有し、前記圧電基板は前記パッケージ基板にフリップチップ接続され、前記パッケージ基板及び封止部により封止されている、弾性波フィルタ。
- 請求項1〜11に記載の弾性波フィルタを含む、デュプレクサ。
- 請求項12に記載のデュプレクサと、パワーアンプを含む、モジュール。
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