JP6163840B2 - 微細パターン形成体の製造方法 - Google Patents
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Description
そのため、これらの手法は、微細パターンは必要とするものの、高い寸法精度や位置精度までは求められない製品(例えば、反射防止フィルム等)を製造する場合には適さない。
また、例えば50nm以下といった非常に幅の狭いレジストパターンを形成しようとしても、ウェット現像時にレジストパターンが倒れ易いという問題がある。特に、アスペクト比(パターンの高さと幅の比率)が2以上の場合、このような問題が生じやすい。
以下、本発明の第1の実施の形態における微細パターン形成体の製造方法および微細パターン形成体について図1を参照して詳細に説明する。
まず、図1(a)に示す基材10を用意し、基材10の表面上に、第一無機層11を形成する。
第一無機層11の形成方法は、スパッタリング法や蒸着法が好ましい。ただし、本形態の実施上問題がなければ、その他の形成方法を用いても構わない。
また、例えば、スパッタガスとしてArを用い、反応性ガスとして窒素を導入して、クロムをスパッタリングする場合において、放電電力を600W、スパッタガス圧力を0.3Pa、反応性ガス流量の比率を7%、T−Sポジションを250mmとすると、図2(b)に示す表面形態を有する第二無機層12が得られる。第二無機層12は密に配列した柱状物により形成されており、空隙14は、前記密に配列した柱状物の境界の一部に網目状に生じている。
まず、空隙14を100nm以下の幅にする理由は、100nmを上回る隙間は製造上困難なためである。すなわち、反応性スパッタリング法を用いる場合、放電電力、スパッタガス圧力、全スパッタガス流量中の反応性ガスの流量の比率およびT−Sポジションを制御することで、空隙14の幅を100nm以下で制御することは可能であるが、100nmを上回る幅に制御することは困難なためである。
また、空隙14を1nm以上の幅にする理由は、後の工程で空隙14を型として樹脂パターン16あるいは無機パターン17を形成する際に、1nmを下回る隙間ではパターンの形成が困難なためである。樹脂パターン16あるいは無機パターン17を形成することを考慮すると、パターンの材質やエッチング条件によるが、空隙14の幅は15nm以上100nm以下がより好ましい。
樹脂層15の形成方法は、用いる樹脂の粘度に応じて適宜選択することができる。例えば、ダイコート法、スピンコート法等が挙げられる。ただし、本形態の実施上問題がなければ、その他の形成方法を用いても構わない。
また、樹脂層15を形成した後、樹脂の性質に応じて、樹脂層15の膜面を加圧してもよい。この加圧処理により、樹脂が空隙14に充填される作用を促進することができる。特に、樹脂層15に気泡が入ることを防ぐために、該加圧処理は真空中で行うとよい。
さらに、樹脂層15の材質に応じて、樹脂層15の硬化を行ってもよい。例えば、樹脂層15の材質に熱硬化性樹脂を用いた場合、加熱により硬化を行ってもよい。また、例えば、樹脂層15の材質に光硬化性樹脂を用いた場合、露光により硬化を行ってもよい。
樹脂層15の上層部分を除去する方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、樹脂層15の材質および第二無機層12とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。
例えば、第二無機層12に窒化クロムを用いた場合、窒化クロムは酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、樹脂層15には酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低い樹脂を用い、エッチングガスとして酸素ガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる。
無機層13をエッチングする方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、無機層13の材質、樹脂パターン16とのエッチング選択比および基材10とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。
例えば、無機層13に窒化クロムを用い、基材10に石英ガラスを用いた場合、窒化クロムは塩素系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低く、石英ガラスは塩素系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、樹脂パターン16(樹脂層15とも言い得る)には塩素系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高い樹脂を用い、エッチングガスとして塩素系のガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる(無機層13を優先的にエッチングすることができる)。
樹脂パターン16を除去する方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、樹脂パターン16の材質、無機パターン17とのエッチング選択比および基材10とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。
例えば、無機パターン17に窒化クロムを用い、基材10に石英ガラスを用いた場合、これらの材質は酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、樹脂パターン16には酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低い樹脂を用い、エッチングガスとして酸素ガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる(樹脂パターン16を優先的に除去することができる)。
尚、無機パターン形成体18を最終的な製品として用いる場合、後の工程は実施しない。
尚、後の工程に影響を与えないのであれば、樹脂パターン16を除去する工程をスキップして、無機パターン17上に樹脂パターン16が残存した状態で、この工程を実施してもよい。
基材10のエッチング方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、基材10の材質および無機パターン17とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。例えば、基材10に石英ガラスを用い、無機パターン17に窒化クロムを用いた場合、石英ガラスはフロロカーボン系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低く、窒化クロムはフロロカーボン系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、エッチングガスとしてフロロカーボン系のガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる。
尚、微細パターン形成体20は、反射防止、配向膜、撥水、放熱、接着等の用途の他、インプリント用のモールドとして使用することができる。例えば、基材10に石英ガラスを用いた場合、微細パターン形成体20は熱式またはUV照射式のインプリント用のモールドとして使用することができる。微細パターン形成体20をインプリント用のモールドとして使用すれば、微細パターン19を容易に転写し、複製することができる。
以下に、本発明の実施例1について説明する。
まず、フォトマスク用石英ガラス基板からなる基材10を用意し、基材10の表面に膜厚40nmの窒化クロムからなる第一無機層11を反応性スパッタリング法により形成した(図1(a))。
前記エッチング処理には誘導結合プラズマ型ドライエッチング装置(以下、ICPドライエッチング装置と称する)を適用した。酸素を50sccm導入し、プラズマチャンバ内の圧力を1Paに設定後、ICPパワー500W、RIEパワー10Wを印加し、プラズマ放電させた。
前記エッチング処理にはICPドライエッチング装置を適用した。塩素を50sccm、酸素を5sccm導入し、プラズマチャンバ内の圧力を1Paに設定後、ICPパワー500W、RIEパワー10Wを印加し、プラズマ放電させた。
前記エッチング処理にはICPドライエッチング装置を適用した。六フッ化エタンとヘリウムを50sccmずつ導入し、プラズマチャンバ内の圧力を1Paに設定後、ICPパワー500W、RIEパワー200Wを印加し、プラズマ放電させた。
特に、前記微細パターン形成体の製造方法では、1nm以上100nm以下の幅の隙間が網目状に連結された空隙に樹脂を充填することで樹脂パターンを形成するため、1nm以上100nm以下の非常に狭い幅の樹脂パターンを形成することができる。
以下、本発明の第2の実施の形態における微細パターン形成体の製造方法および微細パターン形成体について図3を参照して詳細に説明する。
無機層41は、平面方向にランダムに配列された、複数の柱状物42を有し、この各柱状物42の間の隙間、あるいは、密に配列した複数の柱状物42の集合の間の隙間が、網目状に連結されてなる空隙43を形成することになる。ただし、本形態の実施上問題がなければ、その他の形成方法を用いても構わない。
また、例えば、スパッタガスとしてArを用い、反応性ガスとして窒素を導入して、クロムをスパッタリングする場合において、放電電力を600W、スパッタガス圧力を0.3Pa、反応性ガス流量の比率を7%、T−Sポジションを250mmとすると、図2(b)に示す表面形態を有する無機層41が得られる。この場合、無機層41は密に配列した柱状物により形成されており、前記密に配列した柱状物の集合の間の隙間に20nm以下の幅の空隙43が網目状に生じている。
まず、空隙43を100nm以下の幅にする理由は、100nmを上回る隙間は製造上困難なためである。すなわち、反応性スパッタリング法を用いる場合、放電電力、スパッタガス圧力、全スパッタガス流量中の反応性ガスの流量の比率およびT−Sポジションを制御することで、空隙43の幅を100nm以下で制御することは可能であるが、100nmを上回る幅に制御することは困難なためである。
また、空隙43を1nm以上の幅にする理由は、後の工程で空隙43を型として樹脂パターン45あるいは無機パターン46を形成する際に、1nmを下回る隙間ではパターンの形成が困難なためである。樹脂パターン45あるいは無機パターン46を形成することを考慮すると、パターンの材質やエッチング条件にもよるが、空隙43の幅は15nm以上100nm以下がより好ましい。
樹脂層44の形成方法は、用いる樹脂の粘度に応じて適宜選択することができる。例えば、ダイコート法、スピンコート法等が挙げられる。ただし、本形態の実施上問題がなければ、その他の形成方法を用いても構わない。
また、樹脂層44を形成した後、樹脂の性質に応じて、樹脂層44の膜面を加圧してもよい。この加圧処理により、樹脂が空隙43に充填される作用を促進することができる。特に、樹脂層44に気泡が入ることを防ぐために、該加圧処理は真空中で行うとよい。
更に、樹脂層44の材質に応じて、樹脂層44の硬化を行ってもよい。例えば、樹脂層44の材質に熱硬化性樹脂を用いた場合、加熱により硬化を行ってもよい。また、例えば、樹脂層44の材質に光硬化性樹脂を用いた場合、露光により硬化を行ってもよい。
樹脂層44の上層部分を除去する方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、樹脂層44の材質および無機層41とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。
例えば、無機層41に窒化クロムを用いた場合、窒化クロムは酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、樹脂層44には酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低い樹脂を用い、エッチングガスとして酸素ガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる。
無機層41をエッチングする方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、無機層41の材質、樹脂パターン45とのエッチング選択比および基材40とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。
例えば、無機層41に窒化クロムを用い、基材40に石英ガラスを用いた場合、窒化クロムは塩素系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低く、石英ガラスは塩素系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、樹脂パターン45(樹脂層44とも言い得る)には塩素系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高い樹脂を用い、エッチングガスとして塩素系のガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる。すなわち、基材40を殆どエッチングすることなく、樹脂パターン45をマスクとして無機層41を優先的にエッチングすることができ、無機パターン46が得られる。
樹脂パターン45を除去する方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、樹脂パターン45の材質、無機パターン46とのエッチング選択比および基材40とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。
例えば、無機パターン46に窒化クロムを用い、基材40に石英ガラスを用いた場合、これらの材質は酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、樹脂パターン45には酸素ガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低い樹脂を用い、エッチングガスとして酸素ガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる。すなわち、基材40および無機パターン46を殆どエッチングすることなく、樹脂パターン45を優先的に除去することができる。
尚、後の工程に影響を与えないのであれば、樹脂パターン45を除去する工程をスキップして、無機パターン46上に樹脂パターン45が残存した状態で、この工程を実施してもよい。
基材40のエッチング方法としてドライエッチング法を用いる場合、ドライエッチング条件は、基材40の材質および無機パターン46とのエッチング選択比に応じて適宜選択することができる。例えば、基材40に石英ガラスを用い、無機パターン46に窒化クロムを用いた場合、石英ガラスはフロロカーボン系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が低く、窒化クロムはフロロカーボン系のガスを用いたプラズマによるドライエッチングに対する耐性が高いため、エッチングガスとしてフロロカーボン系のガスを選択すると、優れたエッチング選択比を得ることができる。
以下に、本発明の実施例2について説明する。
まず、フォトマスク用石英ガラス基板からなる基材40を用意し、基材40の表面に膜厚50nmの窒化クロムからなる空隙43を有する無機層41を反応性スパッタリング法により形成した(図3(a))。
前記エッチング処理には誘導結合プラズマ型ドライエッチング装置(以下、ICPドライエッチング装置と称する)を適用した。酸素を50sccm導入し、プラズマチャンバ内の圧力を1Paに設定後、ICPパワー500W、RIEパワー10Wを印加し、プラズマ放電させた。
前記エッチング処理にはICPドライエッチング装置を適用した。塩素を50sccm、酸素を5sccm導入し、プラズマチャンバ内の圧力を1Paに設定後、ICPパワー500W、RIEパワー10Wを印加し、プラズマ放電させた。
前記エッチング処理にはICPドライエッチング装置を適用した。六フッ化エタンとヘリウムを50sccmずつ導入し、プラズマチャンバ内の圧力を1Paに設定後、ICPパワー500W、RIEパワー200Wを印加し、プラズマ放電させた。
特に、前記微細パターン形成体の製造方法によれば、基材の表面に、1nm以上100nm以下の幅の隙間が網目状に連結された空隙を有する薄膜を形成し、前記空隙をパターンとして転写するため、1nm以上100nm以下の非常に幅の狭い微細パターンを形成することができる。
更に、空隙の形状は、空隙を有する薄膜を形成する際の条件により制御することができるため、用途に応じてパターンを選択することができる。
11…第一無機層
12…第二無機層
12a…柱状物
13…無機層(第一無機層および第二無機層)
14…空隙
15…樹脂層
16…樹脂パターン
17…無機パターン
18…無機パターン形成体
19…微細パターン
20…微細パターン形成体
30…基材
31…無機層
32…柱状物
33…空隙
40…基材
41…無機層
42…柱状物
43…空隙
44…樹脂層
45…樹脂パターン
46…無機パターン
47…無機パターン形成体
48…微細パターン
49…微細パターン形成体
Claims (9)
- 基材の表面に微細パターンが形成された微細パターン形成体の製造方法であって、
前記基材の表面に第一無機層を形成する工程と、
前記第一無機層上に、隙間が網目状に連結されてなる空隙を上面に有する第二無機層を形成する工程と、
前記第二無機層の上面に樹脂層を形成し前記空隙に樹脂を充填する工程と、
前記樹脂層の上層部分を除去し、前記空隙に充填された樹脂のみを前記第二無機層上に残存させた樹脂パターンを形成する工程と、
前記樹脂パターンをエッチングマスクとして前記第一無機層および前記第二無機層をエッチングし、前記樹脂パターンが転写された無機パターンを前記基材の表面に形成する工程と、
前記無機パターン上に残存した前記樹脂パターンを除去する工程と、
前記無機パターンをエッチングマスクとして前記基材の表面をエッチングし、前記無機パターンが転写された微細パターンを前記基材の表面に形成する工程と、
前記微細パターン上に残存した前記無機パターンを除去する工程と、
を備えることを特徴とする微細パターン形成体の製造方法。 - 前記第二無機層は、スパッタリング法により無機層を柱状に成長させることで平面方向にランダムに配列して形成された複数の柱状物を有し、前記隙間が網目状に連結されてなる空隙は、前記各柱状物の間の隙間で形成されていることを特徴とする請求項1記載の微細パターン形成体の製造方法。
- 前記空隙を構成する前記網目状に連結された隙間の幅が1nm以上100nm以下であることを特徴とする請求項1または2記載の微細パターン形成体の製造方法。
- 前記第一無機層の膜厚を前記網目状に連結された隙間の幅の2倍以上の厚さとした場合、前記無機パターンのアスペクト比が2以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の微細パターン形成体の製造方法。
- 前記第二無機層が、クロム乃至クロム化合物(例えば、窒化クロム、酸化クロム等)からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の微細パターン形成体の製造方法。
- 基材の表面に微細パターンが形成された微細パターン形成体の製造方法であって、
前記基材の表面上に、隙間が網目状に連結されてなる空隙を上面に有する無機層を形成する工程と、
前記無機層の上面に樹脂層を形成し前記空隙に樹脂を充填する工程と、
前記樹脂層の上層部分を除去し、前記空隙に充填された樹脂のみを前記無機層上に残存させた樹脂パターンを形成する工程と、
前記樹脂パターンをエッチングマスクとして前記無機層をエッチングし、前記樹脂パターンが転写された無機パターンを前記基材の表面に形成する工程と、
前記無機パターン上に残存した前記樹脂パターンを除去する工程と、
前記無機パターンをエッチングマスクとして前記基材の表面をエッチングし、前記無機パターンが転写された微細パターンを前記基材の表面に形成する工程と、
前記微細パターン上に残存した前記無機パターンを除去する工程とを備え、
前記樹脂パターンを形成する工程をドライエッチング法を用いて行なうと共に、ドライエッチング条件を、前記樹脂層の上層部分を優先的に除去するように、前記樹脂の材質、前記無機層とのエッチング選択比、前記基材とのエッチング選択比に応じて選択した、
ことを特徴とする微細パターン形成体の製造方法。 - 前記無機層は、スパッタリング法により無機層を柱状に成長させることで平面方向にランダムに配列して形成された複数の柱状物を有し、前記隙間が網目状に連結されてなる空隙は、前記各柱状物の間の隙間で形成されていることを特徴とする請求項6記載の微細パターン形成体の製造方法。
- 前記空隙を構成する前記網目状に連結された隙間の幅が、1nm以上100nm以下であることを特徴とする請求項6または7記載の微細パターン形成体の製造方法。
- 前記無機層が、クロム乃至クロム化合物(例えば、窒化クロム、酸化クロム等)からなることを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載の微細パターン形成体の製造方法。
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