JP6156387B2 - 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器 - Google Patents

電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP6156387B2
JP6156387B2 JP2014542109A JP2014542109A JP6156387B2 JP 6156387 B2 JP6156387 B2 JP 6156387B2 JP 2014542109 A JP2014542109 A JP 2014542109A JP 2014542109 A JP2014542109 A JP 2014542109A JP 6156387 B2 JP6156387 B2 JP 6156387B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
electroacoustic transducer
sound
notch
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2014542109A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2014061584A1 (ja
Inventor
康晴 大西
康晴 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Publication of JPWO2014061584A1 publication Critical patent/JPWO2014061584A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6156387B2 publication Critical patent/JP6156387B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/20Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics
    • H04R1/32Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only
    • H04R1/40Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only by combining a number of identical transducers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R31/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/20Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics
    • H04R1/32Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only
    • H04R1/40Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only by combining a number of identical transducers
    • H04R1/403Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only by combining a number of identical transducers loud-speakers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2217/00Details of magnetostrictive, piezoelectric, or electrostrictive transducers covered by H04R15/00 or H04R17/00 but not provided for in any of their subgroups
    • H04R2217/03Parametric transducers where sound is generated or captured by the acoustic demodulation of amplitude modulated ultrasonic waves
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Otolaryngology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Circuit For Audible Band Transducer (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

[関連出願についての記載]
本発明は、日本国特許出願:特願2012−227920号(2012年10月15日出願)に基づくものであり、同出願の全記載内容は引用をもって本書に組み込み記載されているものとする。
本発明は、電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器に関する。
近年、特定の位置にいる人に音を伝播する、指向性の強いパラメトリックスピーカが注目されている。例えば、携帯電話等の電子機器にパラメトリックスピーカを搭載し、ユーザ近傍に音声信号を伝播する等の利用が期待されている。
ここで、携帯電話等の電子機器にパラメトリックスピーカを搭載する場合、パラメトリックスピーカは、小型化が求められる。しかし、磁気回路を用いる動電型電気音響変換器においては、その原理上、小型化が困難である。そこで、圧電振動子を用いた電気音響変換器の利用が期待されている。
特許文献1において、圧電振動子を備え、低周波帯域を含む広帯域で使用可能な電気音響変換器が開示されている。
特開2006−246279号公報
なお、上記先行技術文献の開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。以下の分析は、本発明の観点からなされたものである。
指向性の強いパラメトリックスピーカにおいては、超音波を用いて、音声信号を伝播することが好ましい。そして、圧電振動子を用いて、指向性の強い超音波を発振するためには、高い音圧レベルの超音波を発振することが好ましい。しかし、高い音圧レベルの超音波を発振するためには、高い電圧を圧電振動子に印加することが必要となっている。つまり、圧電振動子に印加する電圧と、発振される超音波の指向性は、トレードオフの関係となっている。
特許文献1においては、圧電振動子を用いて、高効率で超音波を発振する技術は開示されていない。
従って、指向性の強い音波を、高効率で発振することに貢献する電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器が、望まれる。
本発明の第1の視点によれば、圧電振動子と、前記圧電振動子から所定の空間を離して配置され、内壁に、錐台形状の切り込みを有する筐体と、前記切り込みに嵌め込み配置される吸音材と、を備え、前記筐体は、前記圧電振動子の発振方向前方に音孔部が形成され、前記切り込みは、前記圧電振動子の発振方向前方に向かって、音道の孔径を縮小するように、前記筐体に形成される電気音響変換器が、提供される。
本発明の第2の視点によれば、圧電振動子と、前記圧電振動子から所定の空間を離して配置され、前記圧電振動子の発振方向前方に音孔部が形成され、内壁に、錐台形状の切り込みを有する筐体と、前記切り込みに嵌め込み配置される吸音材と、を備え、前記切り込みは、前記圧電振動子の発振方向前方に向かって、前記音孔部の孔径を縮小するように、前記筐体に形成される電気音響変換器を搭載し、前記圧電振動子を20kHz以上の周波数の超音波を放射するよう発振させる電子機器が、提供される。
本発明の第3の視点によれば、圧電振動子と、筐体と、を備える電気音響変換器の製造方法であって、前記筐体を圧電振動子から所定の空間を離して配置する工程と、前記筐体の内壁に、錐台形状の切り込みを形成する、切り込み形成工程と、前記切り込みに、吸音材を嵌め込み配置する工程と、前記圧電振動子の発信方向前方に音孔部を、前記筐体に形成する音孔部形成工程と、を含み、前記切り込み形成工程において、記圧電振動子の発振方向前方に向かって、音道の孔径を縮小するように、前記筐体に、前記切り込みを形成する、電気音響変換器の製造方法が、提供される。
本発明の各視点によれば、指向性の強い音波を、高効率で発振することに貢献する電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器が、提供される。
一実施形態の概要を説明するための図である。 第1の実施形態に係る電気音響変換器1の一例を示す断面側面図である。 第1の実施形態に係る圧電振動子10の一例を示す断面側面図である。 第2の実施形態に係る電気音響変換器1aの一例を示す断面側面図である。 第2の実施形態に係る構造、及び比較形態に係る構造の一例を示す図である。 周波数と音圧レベルの測定結果の一例を示す図である。
初めに、図1を用いて一実施形態の概要について説明する。なお、この概要に付記した図面参照符号は、理解を助けるための一例として各要素に便宜上付記したものであり、この概要の記載はなんらの限定を意図するものではない。
上述の通り、圧電振動子に印加する電圧と、発振される超音波の指向性は、トレードオフの関係となっている。従って、指向性の強い音波を、高効率で発振することに貢献する電気音響変換器が、望まれる。
そこで、一例として図1に示す電気音響変換器100を提供する。電気音響変換器100は、圧電振動子101と、圧電振動子101から所定の空間を離して配置される筐体102と、を備える。圧電振動子101は、電界の印加により揺動して音波を発振する。そして、筐体102には、圧電振動子101の発振方向前方に音孔部103が形成される。圧電振動子から発信された音波は、音孔部103から大気中に放射される。なお、以下の説明では、圧電振動子から発信された音波が、音孔部103に到達するまでに通過する、管状の経路を音道と呼ぶ。
ここで、筐体102は、内壁に、錐台形状の切り込みを有する。この切り込みは、圧電振動子101の発振方向前方に向かって、音道の孔径を縮小するように、筐体102に形成される。そのため、錐台形状によって、圧電振動子から発信される音波が、音道を通過し、音孔部13に向かうよう制御される。具体的には、筐体102の内壁が錐台形状となっている場合、圧電振動子から発振される音波の発散を抑制する。その結果、この切り込みは、圧電振動子から発信される音波を集音し、指向性を強くすることに貢献する。
さらに、筐体102に形成された切り込みに、吸音材104を嵌め込み、配置する。吸音材104は、切り込み部分に集音された、音波同士の干渉を防止することに貢献する。さらに、吸音材104は、再生する超音波以外の周波数の音波を消音することに貢献する。従って、電気音響変換器100は、指向性の強い音波を、高効率で発信することに貢献する。
本発明において下記の形態が可能である。
[形態1]上記第1の視点に係る電気音響変換器の通りである。
[形態2]前記筐体は、多角錐台形、又は円錐台形を含む前記切り込みを有することが好ましい。
[形態3]前記吸音材は、多孔質材料を含むことが好ましい。
[形態4]前記音孔部は、前記圧電振動子の振動面から、発振波の波長の1/4〜1/2の距離に形成されることが好ましい。
[形態5]前記圧電振動子は、20kHz以上の周波数の超音波を発振することが好ましい。
[形態6]形態1乃至形態5のいずれかの電気音響変換器を、平面上に整列して配置し、構成されることが好ましい。
[形態7]上記第2の視点に係る電子機器の通りである。
[形態8]上記第3の視点に係る電気音響変換器の製造方法の通りである。
[形態9]前記切り込み形成工程において、多角錐台形、又は円錐台形を含む前記切り込みを形成することが好ましい。
[形態10]前記音孔部形成工程において、前記圧電振動子の振動面から、発振波の波長の1/4〜1/2の距離に、前記音孔部を形成することが好ましい。
以下に具体的な実施の形態について、図面を参照してさらに詳しく説明する。なお、以降の記述において、多くの具体的事項は、説明のため、本発明の理解を助けるためになされたものである。
[第1の実施形態]
第1の実施形態について、図面を用いてより詳細に説明する。
図2は、本実施形態に係る電気音響変換器1の一例を示す断面側面図である。なお、図2は、簡単のため、本実施形態に係る電気音響変換器に関係する部材を主に記載する。
電気音響変換器1は、筐体11の内部に収容されている。電気音響変換器1は、例えば、スピーカ装置として使用される。スピーカ装置としては、パラメトリックスピーカであってもよい。電気音響変換器1をパラメトリックスピーカとして用いる場合、圧電振動子10は、20kHz以上の超音波を発振することが好ましい。その場合、パラメトリックスピーカは、超音波を搬送波として、可聴音に復調する。具体的には、パラメトリックスピーカは、まず、変調処理した超音波を空気中に放射する。そして、パラメトリックスピーカは、空気の非線形現象による衝突波を誘発することで、変調波を復調する。
さらに、圧電振動子10が直進性の高い超音波を発振することによって、指向性の高い音場を形成することができる。その結果、本実施形態に係る電気音響変換器1は、ユーザ近傍を中心として音波を放射することができる。
電気音響変換器1は、例えば、スマートフォン、携帯電話、ゲーム機、タブレットPC(Personal Computer)、ノートPC、PDA(Personal Data Assistants;携帯情報端末)等の音源であることが好ましい。
そして、圧電振動子10は、接合部材を介して、筐体と接合される。また、圧電振動子10において、筐体と相対する面から所定の空間を離して、基板15が配置される。そして、圧電振動子10は、保持部材16を介して、基板15と接合される。
圧電振動子10は、厚さ方向に分極された圧電体21と振動部材20とが拘束されて構成される。そして、圧電振動子10は、電界の印加により揺動して音波を発振する。そのため、電気音響変換器1を備える電子機器は、圧電体21に印加する電気信号を生成する、発振回路(図示せず)を備えることが好ましい。
筐体11は、圧電振動子10から所定の空間を離して配置される。そして、筐体11は、圧電振動子10の発振方向前方に音孔部13が形成される。圧電振動子10が発振した音波は、音孔部13を通過して、電気音響変換器1の外部に放射される。
さらに、筐体11は、内壁に、錐台形状の切り込みを有する。この切り込みは、多角錘台形、又は円錐台形等を含む。そして、この切り込みは、圧電振動子の発信方向前方に向かって、音道の孔径を縮小するように、筐体11に形成される。この切り込みが形成されることによって、切り込み部分に音波を集音することができる。その結果、電気音響変換器1は、音波を効率よく、音孔部13から放射できる。
また、吸音材14は、筐体11に形成された切り込みに嵌め込み、配置される。吸音材14は、ポリウレタン等、多孔質の材料が好ましい。多孔質材料の空孔の形状を調整することによって、消音したい周波数を調整できる。具体的には、多孔質材料の空孔内に音波が入射すると、空孔内部で乱反射する。そのため、空孔の形状に応じて、所定の周波数の音波は乱反射し、減衰する。
音孔部13は、圧電振動子10の振動面から、発振波の波長の1/4〜1/2の距離に形成されることが好ましい。音孔部13と、圧電振動子10の振動面と、の距離をこの範囲にすることによって、効率よく、不要な超音波を消音することができる。
図3は、圧電振動子10の一例を示す断面側面図である。図3は、簡単のため、本実施形態に係る電気音響変換器1に関係する部材を主に記載する。
振動部材20は、圧電振動子10に発生した振動を電気音響変換器1の全体に伝播する機能を有する。また、図3に示すように、圧電振動子10は、振動部材20の両主面に、それぞれ圧電体21が拘束された構造(バイモルフ構造)が好ましい。圧電振動子10がバイモルフ構造である場合、ユニモルフ構造の場合より、圧電振動子10の振幅量が拡大する。なお、ユニモルフ構造とは、振動部材20の一方の主面に、圧電体21が拘束された構造である。
各圧電体21は、両主面に電極22が拘束されている。そのため、圧電体21は、厚さ方向に分極している。圧電体21を構成する材料は、圧電効果を備える材料であり、無機材料、有機材料のいずれであってもよい。例えば、ジルコン酸チタン酸鉛、チタン酸バリウム等の圧電セラミックであってもよい。
また、電極22を構成する材料は限定されないが、例えば、銀、銀/パラジウムであってもよい。銀は、電気抵抗率が低く、汎用的な電極材料として使用されている。銀/パラジウムは、電気抵抗率が低く、さらに対酸化性に優れている。なお、電極に好ましい材料は各種あるが、その詳細は問わない。
ところで、上述の通り、圧電体21は圧電セラミックが好ましいが、圧電セラミックは脆性である。そのため、圧電体21を圧電セラミックで構成する場合、圧電体21の形状の変更は困難である。そこで、圧電体21を拘束する振動部材20の厚み、材質等を変更し、共振周波数を変更することが好ましい。
そこで、振動部材20は、圧電体21に対して剛性が高い材料が好ましい。振動部材20の剛性が低すぎる場合や、高すぎる場合は、機械振動子としての特性や信頼性を損なう可能性がある。例えば、振動部材20は、リン青銅やステンレス等の金属材料であってもよい。または、振動部材20は、金属材料と樹脂との複合材料であってもよい。振動部材20を、金属材料と樹脂との複合材料にすることによって、振動部材20の剛性を調整することに貢献できる。振動部材20に好ましい材料は各種あり、その詳細は問わない。
また、振動部材20は、支持部材24を介して、フレーム23と接合してもよい。フレーム23を構成する材料は、剛性の高い材料であれば、限定されない。フレーム23を構成する材料は、金属材料、有機材料等であってもよい。例えば、フレーム23を構成する材料は、ステンレス、真鍮等であっても良い。
支持部材24を構成する材料は、振動を吸収する材料であれば、限定されない。例えば、支持部材24を構成する材料は、樹脂材料であってもよい。支持部材24は、圧電振動子10が振動した場合、応力が集中する端部の剛性が低減することに貢献する。そして、支持部材24は、圧電振動子10の振幅量を拡大することに貢献する。
さらに、圧電振動子10が振動した場合、振動部材20と圧電体の接地領域に応力が集中する。そこで、振動部材20の応力集中部分に、弾性部材25を配置することが好ましい。ここで、弾性部材25を構成する材料は、柔軟性が高い材料であれば、限定されない。また、振動部材20に塗膜を形成し、振動部材の弾性を調整してもよい。振動部材20に弾性部材25等を配置することによって、落下時の衝撃安定性が向上する。
以上のように、本実施形態に係る電気音響変換器1は、不要な周波数の音波を消音できる。従って、本実施形態に係る電気音響変換器1は、所定の周波数の超音波を、高効率で放射できる。
[第2の実施形態]
続いて、第2の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
第2の実施形態においては、第1の実施形態に係る電気音響変換器1を、平面上に並列に配置する。なお、本実施形態における説明では、第1の実施形態と重複する部分の説明は省略する。さらに、本実施形態における説明では、第1の実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
図4は、本実施形態に係る電気音響変換器1aの構造の一例を示す側面図である。
各圧電振動子10は、接合部材12を介して、筐体11と接合される。また、各圧電振動子10は、保持部材16を介して、基板15と接合される。そして、筐体11は、各圧電振動子10の音波が伝播する音道に、錐台形状の切り込みが形成される。
また、本実施形態に係る電気音響変換器1aを構成する圧電振動子10のうち、一又は複数の圧電振動子10を選択的に駆動することによって、電気音響変換器1aの指向性を強くできる。つまり、選択的に圧電振動子10を駆動することによって、特定方向に音場を形成できる。
図5は、圧電振動子10、及び筐体11の構造を比較する一例を示す図である。図5(a)は、本実施形態に係る電気音響変換器1aの構造の一例を示す図である。図5(b)は、筐体111に錘台形状の切り込みを形成せず、吸音材14が無い電気音響変換器3の構造の一例を示す図である。図5(a)、(b)いずれの構造も、圧電振動子10を含む電気音響変換器をアレイ状に配置する。以下の説明では、図5(a)に示す、電気音響変換器1aの構造を、「本実施形態に係る構造」と呼ぶ。一方、図5(b)に示す、電気音響変換器3の構造を「比較形態に係る構造」と呼ぶ。
また、図6は、本実施形態に係る構造、及び比較形態に係る構造について、周波数と音圧レベルの測定結果の一例を示す図である。なお、図6において、本実施形態に係る構造と、比較形態に係る構造において、共通する部材の物性値は同一であるとする。さらに、図6において、本実施形態に係る構造と、比較形態に係る構造において、温度等を含む測定条件は同一であるとする。
図6に示すように、本実施形態に係る構造、及び比較形態に係る構造において、約60kHzで、音圧レベルがピーク値となっている。しかし、本実施形態に係る構造において、音圧レベルのピーク値は、比較形態に係る構造より、高い音圧レベルである。従って、本実施形態に係る構造は、比較形態に係る構造より、音圧レベルが向上することが分かる。
また、本実施形態に係る構造では、音圧の変化が単峰性である。一方、比較形態に係る構造では、音圧レベルの変化が多峰性である。具体的には、比較形態に係る構造では、約40kHz、約60kHz、約95kHzで、音圧レベルが上昇している。従って、図6に示すように、本実施形態に係る構造では、不要な周波数の超音波を消音できることが分かる。なお、図6は、本実施形態に係る構造と、比較形態に係る構造の比較の一例を示す図である。そのため、音圧レベルがピーク値となる周波数、音圧レベル等は、各部材の形状、物性、測定条件に応じて変動することは勿論である。
上記した実施形態においては、振動部材20の両主面に、それぞれ圧電体21が拘束されたバイモルフ構造について、説明した。しかし、振動部材20のいずれか一方の面に、圧電体21が拘束された構造(ユニモルフ構造)であってもよい。
なお、引用した上記の特許文献の開示は、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素(各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む)の多様な組み合わせ、ないし、選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。特に、本書に記載した数値範囲については、当該範囲内に含まれる任意の数値ないし小範囲が、別段の記載のない場合でも具体的に記載されているものと解釈されるべきである。
1、1a、3、100 電気音響変換器
10、101 圧電振動子
11、102、111 筐体
12 接合部材
13、103 音孔部
14、104 吸音材
15 基板
16 保持部材
20 振動部材
21 圧電体
22 電極
23 フレーム
24 支持部材
25 弾性部材

Claims (10)

  1. 圧電振動子と、
    前記圧電振動子から所定の空間を離して配置され、内壁に、錐台形状の切り込みを有する筐体と、
    前記切り込みに嵌め込み配置される吸音材と、を備え、
    前記筐体は、前記圧電振動子の発振方向前方に音孔部が形成され、
    前記切り込みは、前記圧電振動子の発振方向前方に向かって、音道の孔径を縮小するように、前記筐体に形成される、
    電気音響変換器。
  2. 前記筐体は、多角錐台形、又は円錐台形を含む前記切り込みを有する請求項1に記載の電気音響変換器。
  3. 前記吸音材は、多孔質材料を含む請求項1又は2に記載の電気音響変換器。
  4. 前記音孔部は、前記圧電振動子の振動面から、発振波の波長の1/4〜1/2の距離に形成される請求項1乃至3のいずれか一に記載の電気音響変換器。
  5. 前記圧電振動子は、20kHz以上の周波数の超音波を発振する請求項1乃至4のいずれか一に記載の電気音響変換器。
  6. 請求項1乃至5のいずれか一に記載の電気音響変換器を、平面上に並列に配置し、構成される電気音響変換器。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一に記載の電気音響変換器を搭載し、前記圧電振動子を20kHz以上の周波数の超音波を放射するよう発振させる電子機器。
  8. 圧電振動子と、筐体と、を備える電気音響変換器の製造方法であって、
    前記筐体を圧電振動子から所定の空間を離して配置する工程と、
    前記筐体の内壁に、錐台形状の切り込みを形成する、切り込み形成工程と、
    前記切り込みに、吸音材を嵌め込み配置する工程と、
    前記圧電振動子の発信方向前方に音孔部を、前記筐体に形成する音孔部形成工程と、を含み、
    前記切り込み形成工程において、記圧電振動子の発振方向前方に向かって、音道の孔径を縮小するように、前記筐体に、前記切り込みを形成する、
    電気音響変換器の製造方法。
  9. 前記切り込み形成工程において、多角錐台形、又は円錐台形を含む前記切り込みを形成する請求項8に記載の電気音響変換器の製造方法。
  10. 前記音孔部形成工程において、前記圧電振動子の振動面から、発振波の波長の1/4〜1/2の距離に、前記音孔部を形成する請求項8又は9に記載の電気音響変換器の製造方法。
JP2014542109A 2012-10-15 2013-10-11 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器 Expired - Fee Related JP6156387B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012227920 2012-10-15
JP2012227920 2012-10-15
PCT/JP2013/077753 WO2014061584A1 (ja) 2012-10-15 2013-10-11 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2014061584A1 JPWO2014061584A1 (ja) 2016-09-05
JP6156387B2 true JP6156387B2 (ja) 2017-07-05

Family

ID=50488150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014542109A Expired - Fee Related JP6156387B2 (ja) 2012-10-15 2013-10-11 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9338556B2 (ja)
EP (1) EP2908552A4 (ja)
JP (1) JP6156387B2 (ja)
CN (1) CN104718768B (ja)
WO (1) WO2014061584A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111495722B (zh) * 2019-01-30 2021-05-07 成都科汇模具有限公司 一种医用超声刀换能器
WO2020230358A1 (ja) * 2019-05-16 2020-11-19 株式会社村田製作所 圧電デバイスおよび音響トランスデューサ
CN110337056B (zh) * 2019-08-06 2021-01-26 常州元晶电子科技有限公司 一种高密度指向性压电电声换能器阵列的制作方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2242757A (en) * 1939-02-11 1941-05-20 Bell Telephone Labor Inc Piezoelectric device
DE2119911B2 (de) * 1971-04-23 1973-11-15 Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen Elektroakustischer Wandler, insbe sondere Mikrofon fur Fernsprechanlagen
JP2001119795A (ja) * 1999-08-10 2001-04-27 Murata Mfg Co Ltd 圧電型電気音響変換器
JP3700559B2 (ja) * 1999-12-16 2005-09-28 株式会社村田製作所 圧電音響部品およびその製造方法
JP2004098234A (ja) * 2002-09-11 2004-04-02 Murata Mach Ltd 工作機械
JP4539450B2 (ja) * 2004-11-04 2010-09-08 オムロン株式会社 容量型振動センサ及びその製造方法
JP2006246279A (ja) 2005-03-07 2006-09-14 Nec Tokin Corp 電気音響変換器
WO2007020925A1 (ja) * 2005-08-17 2007-02-22 Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. 電気音響変換装置
JP2007082052A (ja) * 2005-09-16 2007-03-29 Seiko Epson Corp 静電型超音波トランスデューサ及びその製造方法
US8144910B2 (en) * 2007-11-14 2012-03-27 Siemens Hearing Instruments, Inc. Composite receiver tube for a hearing instrument
KR101411416B1 (ko) * 2007-12-14 2014-06-26 삼성전자주식회사 마이크로 스피커 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된마이크로 스피커
JP5119105B2 (ja) * 2008-09-18 2013-01-16 パナソニック株式会社 開放型超音波送受信ユニット用の保護ハウジングおよび超音波センサ
KR101609270B1 (ko) * 2009-08-12 2016-04-06 삼성전자주식회사 압전형 마이크로 스피커 및 그 제조 방법
JP4947115B2 (ja) * 2009-09-30 2012-06-06 株式会社村田製作所 超音波トランスデューサ
US8897096B2 (en) * 2010-07-23 2014-11-25 Nec Corporation Oscillator and electronic device
JP5923849B2 (ja) * 2010-11-01 2016-05-25 日本電気株式会社 圧電素子の製造方法
EP2897381A1 (en) * 2011-03-31 2015-07-22 NEC CASIO Mobile Communications, Ltd. Oscillator and electronic device

Also Published As

Publication number Publication date
CN104718768A (zh) 2015-06-17
US9338556B2 (en) 2016-05-10
CN104718768B (zh) 2017-08-25
EP2908552A1 (en) 2015-08-19
US20150264488A1 (en) 2015-09-17
WO2014061584A1 (ja) 2014-04-24
EP2908552A4 (en) 2016-06-08
JPWO2014061584A1 (ja) 2016-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5741580B2 (ja) 発振装置
JP5939160B2 (ja) 発振装置および電子機器
JP6156387B2 (ja) 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器
WO2014087961A1 (ja) 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器
JP5527083B2 (ja) 発振装置
WO2013121489A1 (ja) 電気音響変換器及び電子機器
JP5516180B2 (ja) 発振装置及び電子機器
JP2012029078A (ja) 発振装置
JP2014086753A (ja) 電気音響変換器、その製造方法、及びその電気音響変換器を用いた電子機器
JP2012029105A (ja) 発振装置
JP2012100048A (ja) 電子機器
JP5505165B2 (ja) 発振装置
WO2013114498A1 (ja) 電気音響変換器及び電子機器
JP2012134597A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012134595A (ja) 発振装置および電子機器
JP2014233027A (ja) 圧電型電気音響変換器及び電子機器
JP2012134599A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012217037A (ja) 電子機器
JP2012029086A (ja) 電子機器
WO2013160975A1 (ja) スピーカ
JP2012098132A (ja) 携帯端末装置
JP2012134596A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012029089A (ja) 電気音響変換器
JP2012134593A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012134594A (ja) 発振装置および電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160906

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170509

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170522

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6156387

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees