JP6154215B2 - 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
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Description
基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記基板に対して窒素、炭素および酸素を含む反応ガスを供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法が提供される。
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内へ窒素、炭素および酸素を含む反応ガスを供給する反応ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して前記原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記反応ガスを供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜を形成するように、前記原料ガス供給系および前記反応ガス供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して窒素、炭素および酸素を含む反応ガスを供給する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
以下に、本発明の第1実施形態について、図1〜図3を用いて説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱手段(加熱機構)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、後述するようにガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
次に、上述の基板処理装置の処理炉を用いて、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板上に薄膜を成膜するシーケンス例について説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
基板に対してN、CおよびOを含む反応ガスを供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、基板上に、所定元素を含む酸炭窒化膜を形成する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、Siを含む酸炭窒化膜としてシリコン酸炭窒化膜(SiOCN膜)を形成する。
複数のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図1に示すように、複数のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219はOリング220を介して反応管203の下端をシールした状態となる。
処理室201内の圧力、すなわち、ウエハ200が存在する空間の圧力が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される(圧力調整)。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内のウエハ200が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される(温度調整)。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。続いて、回転機構267によるボート217及びウエハ200の回転を開始する。回転機構267によるボート217及びウエハ200の回転は、少なくとも、ウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
その後、次の2つのステップ、すなわち、ステップ1a,2aを順次実行する。
(HCDSガス供給)
バルブ243aを開き、ガス供給管232a内にHCDSガスを流す。HCDSガスは、MFC241aにより流量調整され、ガス供給孔250aから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対してHCDSガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243gを開き、ガス供給管232g内にN2ガス等の不活性ガスを流す。N2ガスは、MFC241gにより流量調整され、HCDSガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
第1の層が形成された後、バルブ243aを閉じ、HCDSガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ244は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第1の層形成に寄与した後のHCDSガスを処理室201内から排除する。このとき、バルブ243g〜243jは開いたままとし、不活性ガスとしてのN2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは第1の層形成に寄与した後のHCDSガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。
(HNCOガス供給)
ステップ1aが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、バルブ243bを開き、ガス供給管232b内にHNCOガスを流す。HNCOガスは、MFC241bにより流量調整され、ガス供給孔250bから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対して熱で活性化されたHNCOガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243hを開き、ガス供給管232h内に不活性ガスとしてのN2ガスを流す。N2ガスは、MFC241hにより流量調整され、HNCOガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
第2の層が形成された後、バルブ243bを閉じ、HNCOガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ244は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第2の層形成に寄与した後のHNCOガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。このとき、バルブ243g〜243jは開いたままとし、不活性ガスとしてのN2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは第2の層形成に寄与した後のHNCOガスや反応副生成物を処理室201内から排除する効果を高めることができる。
上述したステップ1a,2aを1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、すなわち、ステップ1a,2aを交互に1回以上(所定回数)行うことにより、ウエハ200上に、所定組成及び所定膜厚のSiOCN膜を形成することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成するSiOCN層の厚さを所望の膜厚よりも小さくして、上述のサイクルを所望の膜厚になるまで複数回繰り返すのが好ましい。
所定組成及び所定膜厚のSiOCN膜を形成する成膜処理がなされると、バルブ243g〜243jを開き、ガス供給管232g〜232jのそれぞれから不活性ガスとしてのN2ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、反応管203の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ200がボート217に支持された状態で反応管203の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済のウエハ200はボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
図4、図5(a)に示した上述の成膜シーケンスでは、ステップ1a,2aを交互に行うサイクルを1回以上(所定回数)行う例について説明した。但し、本実施形態は係る態様に限定されない。例えば、ステップ1a,2aを同時に行うサイクルを1回以上(所定回数)行うようにしてもよい。図5(b)は、ステップ1a,2aを同時に行うサイクルを複数回(n回)行う例を、図5(c)は、ステップ1a,2aを同時に行うサイクルを1回行う例をそれぞれ示している。図5(b)に示す成膜シーケンスでは、主にサイクルの実施回数を調整することにより、また、図5(c)に示す成膜シーケンスでは、主にサイクルの実施時間(ガス供給時間)を調整することにより、SiOCN膜の膜厚を制御することができる。これらの場合における処理条件も、図4、図5(a)に示した上述の成膜シーケンスにおける処理条件と同様な処理条件とすればよい。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
まず、本実施形態の第1シーケンスについて、図6、図8(a)を用いて説明する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対して酸化ガス(O2ガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、SiOCN膜、SiON膜またはSiOC膜を形成する。
(O2ガス供給)
ステップ2bが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、バルブ243cを開き、ガス供給管232c内にO2ガスを流す。O2ガスは、MFC241cにより流量調整され、ガス供給孔250cからバッファ室237内に供給される。このとき、棒状電極269,270間に高周波電力を印加しないことで、バッファ室237内に供給されたO2ガスは、熱で活性化され、ガス供給孔250eから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このときウエハ200に対して、熱で活性化されたO2ガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243iを開き、ガス供給管232i内にN2ガスを流す。N2ガスはO2ガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
処理室内圧力:133〜2666Pa
O2ガス分圧:33〜2515Pa
O2ガス供給流量:1000〜5000sccm
N2ガス供給流量:300〜3000sccm
O2ガス供給時間:6〜60秒
第3の層が形成された後、バルブ243cを閉じ、O2ガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ244は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第3の層形成に寄与した後のO2ガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。このとき、バルブ243g〜243jは開いたままとし、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは第3の層形成に寄与した後のO2ガスや反応副生成物を処理室201内から排除する効果を高めることができる。
上述したステップ1b〜3bを1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、ウエハ200上に、所定組成及び所定膜厚のSiOCN膜、SiON膜またはSiOC膜を成膜することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成するSiOCN層、SiON層またはSiOC層の厚さを所望の膜厚よりも小さくして、上述のサイクルを所望の膜厚になるまで複数回繰り返すのが好ましい。
次に、本実施形態の第2シーケンスについて、図7、図8(b)を用いて説明する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給する工程と、ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、を交互に所定回数行う工程と、
ウエハ200に対して酸化ガス(O2ガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、SiOCN膜、SiON膜またはSiOC膜を形成する。
本実施形態の成膜シーケンスによれば、上述の第1実施形態と同様の効果を奏する。また、本実施形態の成膜シーケンスによれば、ウエハ200に対して酸化ガスとして例えばO2ガスを供給するステップ3bを行うことで、ウエハ200上に、第1実施形態で形成するSiOCN膜よりもO成分が多く、C成分やN成分の少ないSiOCN膜を形成することが可能となる。また、本実施形態の成膜シーケンスによれば、C成分やN成分の割合を不純物レベルにまで減少させることで、第1実施形態の成膜シーケンスでは形成することのできないSiON膜やSiOCN膜を形成することも可能となる。また、SiOCN膜、SiON膜またはSiOC膜の組成比を上述のように微調整することが可能となる。これらの作用効果は、酸化ガスとして、O2ガス以外の上述した他の酸素含有ガスを用いる場合にも同様に奏することができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
まず、本実施形態の第1シーケンスについて、図9、図10を用いて説明する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対して窒化ガス(NH3ガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、SiOCN膜またはSiON膜を形成する。
(NH3ガス供給)
ステップ2cが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、バルブ243eを開き、ガス供給管232e内にNH3ガスを流す。NH3ガスは、MFC241eにより流量調整され、ガス供給管232c内を流れ、ガス供給孔250cからバッファ室237内に供給される。このとき、棒状電極269,270間に高周波電力を印加しないことで、バッファ室237内に供給されたNH3ガスは、熱で活性化され、ガス供給孔250eから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される(図10(a)参照)。また、このとき、棒状電極269,270間に高周波電源273から整合器272を介して高周波電力を印加することで、バッファ室237内に供給されたNH3ガスは、プラズマ励起され、活性種としてガス供給孔250eから処理室201内へ供給され、排気管231から排気される(図10(b)参照)。このときウエハ200に対して、熱またはプラズマで活性化されたNH3ガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243iを開き、ガス供給管232i内にN2ガスを流す。N2ガスはNH3ガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
ウエハ温度:500〜650℃
処理室内圧力:133〜2666Pa
NH3ガス分圧:33〜2515Pa
NH3ガス供給流量:1000〜5000sccm
N2ガス供給流量:300〜3000sccm
NH3ガス供給時間:6〜60秒
ウエハ温度:500〜650℃
処理室内圧力:33〜80Pa
NH3ガス分圧:17〜75Pa
NH3ガス供給流量:1000〜5000sccm
N2ガス供給流量:300〜1000sccm
NH3ガス供給時間:6〜60秒
第3の層が形成された後、バルブ243eを閉じ、NH3ガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ244は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第3の層形成に寄与した後のNH3ガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。このとき、バルブ243g〜243jは開いたままとし、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは第3の層形成に寄与した後のNH3ガスや反応副生成物を処理室201内から排除する効果を高めることができる。
上述したステップ1c〜3cを1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、ウエハ200上に、所定組成及び所定膜厚のSiOCN膜またはSiON膜を成膜することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成するSiOCN層またはSiON層の厚さを所望の膜厚よりも小さくして、上述のサイクルを所望の膜厚になるまで複数回繰り返すのが好ましい。
次に、本実施形態の第2シーケンスについて、図11、図12を用いて説明する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給する工程と、ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、を交互に所定回数行う工程と、
ウエハ200に対して窒化ガス(NH3ガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、SiOCN膜またはSiON膜を形成する。
本実施形態の成膜シーケンスによれば、上述の第1実施形態と同様の効果を奏する。また、本実施形態の成膜シーケンスによれば、ウエハ200に対して窒化ガスとして例えばNH3ガスを供給するステップ3cを行うことで、ウエハ200上に、第1実施形態で形成するSiOCN膜よりもN成分が多く、C成分が少ないSiOCN膜を形成することが可能となる。また、本実施形態の成膜シーケンスによれば、C成分の割合を減少させたり、実質的に消滅させたりすることで、第1実施形態の成膜シーケンスでは形成することのできないSiON膜を形成することも可能となる。また、SiOCN膜またはSiON膜の組成比を上述のように微調整することが可能となる。これらの作用効果は、窒化ガスとして、NH3ガス以外の上述した他の窒素含有ガスを用いる場合にも同様に奏することができる。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対して炭素含有ガス(C3H6ガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、SiOCN膜を形成する。
(C3H6ガス供給)
ステップ1dが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、バルブ243dを開き、ガス供給管232d内にC3H6ガスを流す。C3H6ガスは、MFC241dにより流量調整され、ガス供給孔250dから処理室201内へ供給される。処理室201内へ供給されたC3H6ガスは、熱で活性化され、排気管231から排気される。このときウエハ200に対して、熱で活性化されたC3H6ガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243jを開き、ガス供給管232j内にN2ガスを流す。N2ガスは、C3H6ガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
処理室内圧力:133〜5332Pa
C3H6ガス分圧:33〜5177Pa
C3H6ガス供給流量:1000〜10000sccm
N2ガス供給流量:300〜3000sccm
C3H6ガス供給時間:6〜200秒
第1の層上にC含有層が形成された後、バルブ243dを閉じ、C3H6ガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ244は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくはC含有層形成に寄与した後のC3H6ガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。このとき、バルブ243g〜243jは開いたままとし、不活性ガスとしてのN2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくはC含有層形成に寄与した後のC3H6ガスや反応副生成物を処理室201内から排除する効果を高めることができる。
(HNCOガス供給)
ステップ2dが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、処理室201内のウエハ200に対してHNCOガスを供給するステップ3dを行う。ステップ3dは、第1実施形態のステップ2aと同様に行う。
その後、第1実施形態のステップ2aと同様の手順、同様の条件により、処理室201内に残留する未反応もしくは反応に寄与した後のHNCOガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。このとき、処理室201内に残留するガスを完全に排除しなくてもよく、処理室201内を完全にパージしなくてもよい点は、第1実施形態のステップ2aと同様である。
上述したステップ1d〜3dを1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、ウエハ200上に、所定組成及び所定膜厚のSiOCN膜を成膜することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成するSiOCN層の厚さを所望の膜厚よりも小さくして、上述のサイクルを所望の膜厚になるまで複数回繰り返すのが好ましい。
本実施形態の成膜シーケンスによれば、上述の第1実施形態と同様の効果を奏する。また、本実施形態の成膜シーケンスによれば、ステップ1dを行ってウエハ200上に第1の層を形成した後、ウエハ200に対して炭素含有ガスとして例えばC3H6ガスを供給するステップ2dと、ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとして例えばイソシアナート系ガスであるHNCOガスを供給するステップ3dと、を行うことにより、つまり、1サイクル中に2種類のカーボンソース(ダブルカーボンソース)を用いて成膜を行うことにより、SiOCN膜中に、HNCOガスに含まれていたC成分だけでなく、C3H6ガスに含まれていたC成分を新たに添加することが可能となる。つまり、1サイクル中に1種類のカーボンソース(シングルカーボンソース)を用いて成膜を行う場合よりも、SiOCN膜中のC濃度を高くすることが可能となる。係る作用効果は、炭素含有ガスとしてC3H6ガス以外の上述した他の炭素含有ガスを用いる場合にも同様に奏することができる。
図14(a)に示した成膜シーケンスでは、C3H6ガスを供給する工程を、HCDSガスを供給する工程とHNCOガスを供給する工程との間で行う例について説明した。但し、本実施形態は係る態様に限定されない。例えば、図14(b)に示すように、HCDSガスを供給する工程でC3H6ガスを供給する工程を行うようにしてもよい。また例えば、図14(c)に示すように、HNCOガスを供給する工程でC3H6ガスを供給する工程を行うようにしてもよい。すなわち、HCDSガスやHNCOガスの供給停止期間にC3H6ガスを供給するだけでなく、HCDSガスやHNCOガスの供給期間にC3H6ガスを供給するようにしてもよい。但し、HCDSガスを供給する工程でC3H6ガスを供給する工程を行うよりも、HNCOガスを供給する工程でC3H6ガスを供給する工程を行う方が、処理室201内におけるHCDSガスとC3H6ガスとの気相反応を回避することができ、すなわち、処理室201内でのパーティクルの発生を抑制することができ、好ましい。
次に、本発明の第5実施形態について説明する。
まず、本実施形態の第1シーケンスについて、図15、図16(a)を用いて説明する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、
ウエハ200に対してNおよびCを含むガスとしてアミン系ガス(TEAガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、SiOCN膜を形成する。
(TEAガス供給)
ステップ2eが終了し処理室201内の残留ガスを除去した後、バルブ243fを開き、ガス供給管232f内にTEAガスを流す。TEAガスは、MFC241fにより流量調整され、ガス供給管232d内を流れ、ガス供給孔250dから処理室201内へ供給される。処理室201内へ供給されたTEAガスは、熱で活性化され、排気管231から排気される。このときウエハ200に対して、熱で活性化されたTEAガスが供給されることとなる。このとき同時にバルブ243jを開き、ガス供給管232j内にN2ガスを流す。N2ガスは、TEAガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
処理室内圧力:133〜5332Pa
TEAガス分圧:33〜5177Pa
TEAガス供給流量:1000〜10000sccm
N2ガス供給流量:300〜3000sccm
TEAガス供給時間:6〜200秒
第3の層が形成された後、バルブ243fを閉じ、TEAガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ244は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応もしくは第3の層形成に寄与した後のTEAガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。このとき、バルブ243g〜243jは開いたままとし、不活性ガスとしてのN2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは第3の層形成に寄与した後のTEAガスや反応副生成物を処理室201内から排除する効果を高めることができる。
上述したステップ1e〜3eを1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行うことにより、ウエハ200上に、所定組成及び所定膜厚のSiOCN膜を成膜することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成するSiOCN層の厚さを所望の膜厚よりも小さくして、上述のサイクルを所望の膜厚になるまで複数回繰り返すのが好ましい。
次に、本実施形態の第2シーケンスについて、図17、図18(a)を用いて説明する。
ウエハ200に対してSiを含む原料ガスとしてクロロシラン系原料ガス(HCDSガス)を供給するする工程と、ウエハ200に対してN、CおよびOを含む反応ガスとしてイソシアナート系ガス(HNCOガス)を供給する工程と、を交互に所定回数行う工程と、
ウエハ200に対してNおよびCを含むガスとしてアミン系ガス(TEAガス)を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、ウエハ200上に、SiOCN膜を形成する。
本実施形態の成膜シーケンスによれば、上述の第1実施形態と同様の効果を奏する。また、本実施形態の成膜シーケンスによれば、ウエハ200に対してNおよびCを含むガスとして例えばアミン系ガスであるTEAガスを供給するステップ3eを行って、TEAガスに含まれていたNおよびCを第2の層に付加することで、N成分およびC成分が増加したSiOCN膜を形成することができる。また、TEAガスを、プラズマ励起することなく熱で活性化させて供給することで、第2の層からのC成分の脱離(引き抜き)作用を比較的緩和させることができ、SiOCN膜のC成分の割合を増加させる方向に制御することが容易となる。
上述の第1、第2シーケンスでは、HNCOガスを供給するステップ2eを行った後に、TEAガスを供給するステップ3eを行う例について説明した。但し、本実施形態は係る態様に限定されない。すなわち、ステップ3eをステップ2eよりも先に行うようにしてもよい。図16(b)は、ステップ1e,3e,2eをこの順に行うサイクルを1サイクルとして、このサイクルを1回以上(所定回数)行う例を示している。また、図18(b)は、ステップ1e,3eを1セットとしてこのセットを複数回繰り返した後、ステップ2eを行い、これを1サイクルとして、このサイクルを所定回数行う例を示している。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。但し、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記基板に対して窒素、炭素および酸素を含む反応ガスを供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜(前記所定元素を含む酸炭窒化膜)を形成する工程を有する半導体装置の製造方法が提供される。
付記1の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記原料ガスを供給する工程では、前記所定元素を含む第1の層を形成し、
前記反応ガスを供給する工程では、前記第1の層と前記反応ガスとを反応させることで前記第1の層を改質して、第2の層として、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む第2の層(前記所定元素を含む酸炭窒化層)を形成する。
付記1または2の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記反応ガスは、イソシアナート基を含むガス(その組成式中(1分子中)、すなわち、その化学構造式中に−N=C=Oという部分構造を有するガス)である。
付記1〜3のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記原料ガスは、前記所定元素およびハロゲン基(ハロゲンリガンド)を含むガス、または、前記所定元素およびアミノ基(アミノリガンド)を含むガスである。
付記1〜4のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記原料ガスを供給する工程では、前記所定元素と、ハロゲン基またはアミノ基と、を含む第1の層を形成し、
前記反応ガスを供給する工程では、前記第1の層に含まれるハロゲン基またはアミノ基と、前記反応ガスのリガンドと、を反応させる。
付記5の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記反応ガスを供給する工程では、前記第1の層からハロゲン基またはアミノ基を分離させるともに、前記反応ガスから前記リガンドを分離させる。
付記6の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記反応ガスを供給する工程では、ハロゲン基またはアミノ基が分離した前記第1の層の前記所定元素の原子と、前記リガンドが分離した前記反応ガスに含まれるいずれかの元素の原子(例えば窒素原子)と、を結合させる。
付記1〜7のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記薄膜を形成する工程では、前記原料ガスを供給する工程と、前記反応ガスを供給する工程と、を交互に所定回数(1回以上)行う。
付記1〜7のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記薄膜を形成する工程では、前記原料ガスを供給する工程と、前記反応ガスを供給する工程と、を同時に所定回数(1回以上)行う。
付記1〜9のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記サイクルは、さらに、前記基板に対して酸化ガス(例えば熱で活性化した酸化ガス)を供給する工程を含み、
前記サイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜(前記所定元素を含む酸炭窒化膜)、前記所定元素、酸素および窒素を含む膜(前記所定元素を含む酸窒化膜)、または、前記所定元素、酸素および炭素を含む膜(前記所定元素を含む酸炭化膜)を形成する。
付記10の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記酸化ガスを供給する工程では、前記第2の層を酸化して、第3の層として、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む層(前記所定元素を含む酸炭窒化層)、前記所定元素、酸素および窒素を含む層(前記所定元素を含む酸窒化層)、または、前記所定元素、酸素および炭素を含む層(前記所定元素を含む酸炭化層)を形成する。
付記1〜9のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記サイクルは、さらに、前記基板に対して窒化ガス(例えば熱或いはプラズマで活性化した窒化ガス)を供給する工程を含み、
前記サイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜(前記所定元素を含む酸炭窒化膜)、または、前記所定元素、酸素および窒素を含む膜(前記所定元素を含む酸窒化膜)、を形成する。
付記12の半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記窒化ガスを供給する工程では、前記第2の層を窒化して、第3の層として、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む層(前記所定元素を含む酸炭窒化層)、または、前記所定元素、酸素および窒素を含む層(前記所定元素を含む酸窒化層)を形成する。
付記1〜9のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記サイクルは、さらに、前記基板に対して炭素含有ガス(例えば炭化水素系ガス)を供給する工程を含む。
付記1〜9のいずれかの半導体装置の製造方法であって、好ましくは、
前記サイクルは、さらに、前記基板に対して窒素および炭素を含むガス(例えばアミン系ガスまたは有機ヒドラジン系ガス)を供給する工程を含む。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する工程と、
前記基板に対して窒素、炭素および酸素を含む反応ガスを供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素を含む酸炭窒化膜、酸窒化膜または酸炭化膜を形成する工程を有する基板処理方法が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内へ窒素、炭素および酸素を含む反応ガスを供給する反応ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して前記原料ガスを供給する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記反応ガスを供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜(前記所定元素を含む酸炭窒化膜)を形成するように、前記原料ガス供給系および前記反応ガス供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
処理室内の基板に対して所定元素を含む原料ガスを供給する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して窒素、炭素および酸素を含む反応ガスを供給する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜(前記所定元素を含む酸炭窒化膜)を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
200 ウエハ(基板)
201 処理室
202 処理炉
203 反応管
207 ヒータ
231 排気管
232a〜232j ガス供給管
Claims (15)
- 基板に対して半導体元素または金属元素のいずれかである所定元素を含む原料ガスを供給し、前記所定元素を含む第1の層を形成する工程と、
前記基板に対して1分子中に窒素、炭素および酸素を含み前記所定元素非含有の反応ガスを供給し、前記第1の層と前記反応ガスとを反応させることで、前記第1の層を改質して、第2の層として、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む層を形成する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法。 - 前記反応ガスは、イソシアナート基を含むガスである請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記反応ガスは、1分子中に−N=C=Oという部分構造を有するガスである請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記反応ガスは、水素、窒素、炭素および酸素の4元素で構成されるガスである請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記原料ガスは、前記所定元素およびハロゲン基を含むガス、または、前記所定元素およびアミノ基を含むガスである請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記原料ガスを供給する工程では、前記所定元素と、ハロゲン基またはアミノ基と、を含む第1の層を形成し、
前記反応ガスを供給する工程では、前記第1の層に含まれるハロゲン基またはアミノ基と、前記反応ガスのリガンドと、を反応させる請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記反応ガスを供給する工程では、前記第1の層からハロゲン基またはアミノ基を分離させるとともに、前記反応ガスから前記リガンドを分離させる請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記反応ガスを供給する工程では、ハロゲン基またはアミノ基が分離した前記第1の層の前記所定元素の原子と、前記リガンドが分離した前記反応ガスに含まれるいずれかの元素の原子と、を結合させる請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記膜を形成する工程では、前記原料ガスを供給する工程と、前記反応ガスを供給する工程と、を交互、または、同時に所定回数行う請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルは、さらに、前記基板に対して酸化ガスを供給する工程を含む請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルは、さらに、前記基板に対して窒化ガスを供給する工程を含む請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルは、さらに、前記基板に対して炭素含有ガスを供給する工程を含む請求項1〜11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルは、さらに、前記基板に対して窒素および炭素を含むガスを供給する工程を含む請求項1〜12のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ半導体元素または金属元素のいずれかである所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内へ1分子中に窒素、炭素および酸素を含み前記所定元素非含有の反応ガスを供給する反応ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して前記原料ガスを供給し、前記所定元素を含む第1の層を形成する処理と、前記処理室内の前記基板に対して前記反応ガスを供給し、前記第1の層と前記反応ガスとを反応させることで、前記第1の層を改質して、第2の層として、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む層を形成する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜を形成するように、前記原料ガス供給系および前記反応ガス供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内の基板に対して半導体元素または金属元素のいずれかである所定元素を含む原料ガスを供給し、前記所定元素を含む第1の層を形成する手順と、
前記処理室内の前記基板に対して1分子中に窒素、炭素および酸素を含み前記所定元素非含有の反応ガスを供給し、前記第1の層と前記反応ガスとを反応させることで、前記第1の層を改質して、第2の層として、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む層を形成する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記所定元素、酸素、炭素および窒素を含む膜を形成する手順をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013137504A JP6154215B2 (ja) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
KR1020140077911A KR101610628B1 (ko) | 2013-06-28 | 2014-06-25 | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 기록 매체 |
US14/316,897 US9508543B2 (en) | 2013-06-28 | 2014-06-27 | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and non-transitory computer-readable recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013137504A JP6154215B2 (ja) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015012196A JP2015012196A (ja) | 2015-01-19 |
JP6154215B2 true JP6154215B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=52116004
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013137504A Active JP6154215B2 (ja) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9508543B2 (ja) |
JP (1) | JP6154215B2 (ja) |
KR (1) | KR101610628B1 (ja) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2309261A1 (en) | 1997-05-30 | 2011-04-13 | Stryker Corporation | Methods for evaluating tissue morphogenesis and morphogenic activity |
ES2369629T3 (es) | 2004-05-25 | 2011-12-02 | Stryker Corporation | Uso de op-1 para tratar defectos del cartílago. |
SG173632A1 (en) | 2009-02-12 | 2011-09-29 | Stryker Corp | Peripheral administration of proteins including tgf-beta superfamily members for systemic treatment of disorders and disease |
CA2785038A1 (en) | 2009-12-22 | 2011-07-21 | Stryker Corporation | Bmp-7 variants with reduced immunogenicity |
JP6460874B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2019-01-30 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
WO2016178991A1 (en) * | 2015-05-02 | 2016-11-10 | Applied Materials, Inc. | Methods for depositing low k and low wet etch rate dielectric thin films |
US10093460B2 (en) | 2015-08-14 | 2018-10-09 | Yeti Coolers, Llc | Container with magnetic cap |
USD787893S1 (en) | 2015-11-20 | 2017-05-30 | Yeti Coolers, Llc | Jug |
JP6545093B2 (ja) | 2015-12-14 | 2019-07-17 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP6478330B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2019-03-06 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
US10959552B2 (en) | 2016-10-17 | 2021-03-30 | Yeti Coolers, Llc | Container and method of forming a container |
US10959553B2 (en) | 2016-10-17 | 2021-03-30 | Yeti Coolers, Llc | Container and method of forming a container |
CN115844231A (zh) | 2016-10-17 | 2023-03-28 | 野醍冷却器有限责任公司 | 容器与容器构成方法 |
US11034505B2 (en) | 2016-10-17 | 2021-06-15 | Yeti Coolers, Llc | Container and method of forming a container |
USD840195S1 (en) * | 2017-02-16 | 2019-02-12 | Yeti Coolers, Llc | Container holder |
USD860716S1 (en) | 2017-03-27 | 2019-09-24 | Yeti Coolers, Llc | Container lid |
JP6602332B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2019-11-06 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP6842988B2 (ja) | 2017-05-19 | 2021-03-17 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
US10510860B2 (en) * | 2017-08-29 | 2019-12-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
DE102018110837A1 (de) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Prozesse zur Bildung von Merkmalen mit einem niedrigen K-Wert und dadurch gebildete Aufbauten |
US10304677B2 (en) * | 2017-09-29 | 2019-05-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Low-k feature formation processes and structures formed thereby |
USD896572S1 (en) | 2018-08-20 | 2020-09-22 | Yeti Coolers, Llc | Container lid |
USD883738S1 (en) | 2018-10-17 | 2020-05-12 | Yeti Coolers, Llc | Lid |
USD897151S1 (en) | 2018-10-17 | 2020-09-29 | Yeti Coolers, Llc | Lid |
USD871133S1 (en) | 2018-10-17 | 2019-12-31 | Yeti Coolers, Llc | Lid |
USD883737S1 (en) | 2018-10-17 | 2020-05-12 | Yeti Coolers, Llc | Lid |
TWI807195B (zh) | 2019-06-28 | 2023-07-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於改良高k可靠度之摻氟氮化物膜 |
JP7323409B2 (ja) * | 2019-10-01 | 2023-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、及び、プラズマ処理装置 |
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US11821080B2 (en) * | 2020-03-05 | 2023-11-21 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Reagents to remove oxygen from metal oxyhalide precursors in thin film deposition processes |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61288075A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-18 | Canon Inc | 堆積膜形成法 |
JPH0499029A (ja) * | 1990-08-07 | 1992-03-31 | Nec Corp | 絶縁膜の形成方法 |
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JP5654862B2 (ja) | 2010-04-12 | 2015-01-14 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法及び基板処理装置 |
SG2013083654A (en) * | 2012-11-08 | 2014-06-27 | Novellus Systems Inc | Methods for depositing films on sensitive substrates |
JP6155063B2 (ja) * | 2013-03-19 | 2017-06-28 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム |
-
2013
- 2013-06-28 JP JP2013137504A patent/JP6154215B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-25 KR KR1020140077911A patent/KR101610628B1/ko active IP Right Grant
- 2014-06-27 US US14/316,897 patent/US9508543B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150004804A1 (en) | 2015-01-01 |
JP2015012196A (ja) | 2015-01-19 |
KR101610628B1 (ko) | 2016-04-08 |
US9508543B2 (en) | 2016-11-29 |
KR20150002495A (ko) | 2015-01-07 |
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