JP2006261434A - シリコン酸化膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】400℃以下の低温での成膜において、OH結合の導入を抑制または防止したシリコン酸化膜の形成方法を提供する。
【解決手段】a)反応チャンバ内に被処理基板を収納する工程;(b)前記反応チャンバ内で次の工程を行う工程;1)減圧下、50〜400℃の基板温度にて反応チャンバに不活性ガスを供給してチャンバ内のガスをパージする、2)減圧および同温度の下で反応チャンバ内に気相状態のシリコン系化合物をパルスし、前記被処理基板上にシリコン系化合物を吸着させる、3)減圧および同温度の下で反応チャンバ内の未吸着のシリコン系化合物を不活性ガスによりパージする、4)減圧および同温度の下で反応チャンバ内にオゾンを含む混合ガスをパルスし、前記被処理基板上に吸着されたシリコン系化合物と酸化反応させてシリコン酸化物を生成する、(c)前記1)〜4)の工程を繰り返して前記被処理基板上に所望厚さのシリコン酸化膜を成膜する工程;を含むことを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】a)反応チャンバ内に被処理基板を収納する工程;(b)前記反応チャンバ内で次の工程を行う工程;1)減圧下、50〜400℃の基板温度にて反応チャンバに不活性ガスを供給してチャンバ内のガスをパージする、2)減圧および同温度の下で反応チャンバ内に気相状態のシリコン系化合物をパルスし、前記被処理基板上にシリコン系化合物を吸着させる、3)減圧および同温度の下で反応チャンバ内の未吸着のシリコン系化合物を不活性ガスによりパージする、4)減圧および同温度の下で反応チャンバ内にオゾンを含む混合ガスをパルスし、前記被処理基板上に吸着されたシリコン系化合物と酸化反応させてシリコン酸化物を生成する、(c)前記1)〜4)の工程を繰り返して前記被処理基板上に所望厚さのシリコン酸化膜を成膜する工程;を含むことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、シリコン酸化膜の形成方法に関する。
薄膜トランジスタのようなMOS半導体デバイスにおいて、ゲート電極側面には耐圧向上を目的としてSiNのようなパッシベーション膜を形成することが行われている。このSiN膜は、半導体デバイスの製造工程での低温化に伴って、400℃以下での成膜が望まれている。
しかしながら、400℃以下でのSiNの堆積膜は膜質が劣る。このため、ゲート電極側面とSiN膜の間にシリコン酸化膜(SiOx膜)を介在させることが検討されている。このシリコン酸化膜も同様に成膜温度の低温化が要求されている。
従来、低温でのシリコン酸化膜はPECVD法により形成されている。すなわち、被処理基板が接地されたチャンバ内にシランガス(SiH4)および酸素を原料ガスとして導入し、プラズマ中で前記SiH4とO2を反応させて基板表面にシリコン酸化膜を形成する。
しかしながら、従来のPECVD法によるシリコン酸化膜の形成は原料ガスであるシランガスの水素に起因してSiOx膜にSi−H結合が導入される。このSi−H結合は、環境中の水分と容易に反応し、Si−OH結合が作られる。同時に、Si−H結合がなくとも反応で生成した水分が膜中に取り込まれると、Si−OH結合が導入される原因になる。このため、前述したゲート電極の耐圧向上を目的としてそのゲート電極側面にOH結合が導入されたSiOx膜を形成した場合、リーク電流が発生する虞がある。
本発明は、400℃以下の低温での成膜において、OH結合の導入を抑制または防止したシリコン酸化膜の形成方法を提供することを目的とする。
本発明によると、
(a)反応チャンバ内に被処理基板を収納する工程;
(b)前記反応チャンバ内で次の工程を行う工程;
1)減圧下、50〜400℃の基板温度にて反応チャンバ内に不活性ガスを供給してチャンバ内のガスをパージする、
2)減圧および同温度の下で反応チャンバ内に気相状態のシリコン系化合物をパルスし、前記被処理基板上にシリコン系化合物を吸着させる、
3)減圧および同温度の下で反応チャンバ内の未吸着のシリコン系化合物を不活性ガスによりパージする、
4)減圧および同温度の下で反応チャンバ内にオゾンを含む混合ガスをパルスし、前記被処理基板上に吸着されたシリコン系化合物と酸化反応させてシリコン酸化物を生成する、
(c)前記1)〜4)の工程を繰り返して前記被処理基板上に所望厚さのシリコン酸化膜を成膜する工程;
を含むことを特徴とするシリコン酸化膜の形成方法が提供される。
(a)反応チャンバ内に被処理基板を収納する工程;
(b)前記反応チャンバ内で次の工程を行う工程;
1)減圧下、50〜400℃の基板温度にて反応チャンバ内に不活性ガスを供給してチャンバ内のガスをパージする、
2)減圧および同温度の下で反応チャンバ内に気相状態のシリコン系化合物をパルスし、前記被処理基板上にシリコン系化合物を吸着させる、
3)減圧および同温度の下で反応チャンバ内の未吸着のシリコン系化合物を不活性ガスによりパージする、
4)減圧および同温度の下で反応チャンバ内にオゾンを含む混合ガスをパルスし、前記被処理基板上に吸着されたシリコン系化合物と酸化反応させてシリコン酸化物を生成する、
(c)前記1)〜4)の工程を繰り返して前記被処理基板上に所望厚さのシリコン酸化膜を成膜する工程;
を含むことを特徴とするシリコン酸化膜の形成方法が提供される。
本発明によれば、400℃以下の低温成膜においてOH結合の導入を抑制または防止し、例えばゲート電極側面に適用した場合、リーク電流の上昇を防止した高信頼性で、厚さ制御が容易なシリコン酸化膜の形成方法を提供できる。
以下、本発明に係るシリコン酸化膜の形成方法を詳細に説明する。
まず、反応チャンバ内に被処理基板を収納した後、減圧下、50〜400℃の基板温度にて反応チャンバ内に不活性ガスを供給してチャンバ内のガスをパージする。つづいて、減圧および同温度の下で反応チャンバ内に気相状態のシリコン系化合物をパルスし、吸着により前記被処理基板上にシリコン系化合物の極薄い層を形成する。次いで、反応チャンバ内を不活性ガスを供給して未反応(未吸着)のシリコン系化合物をパージする。この後、反応チャンバ内にオゾンを含む混合ガスをパルスする。パルスされたオゾンを含む混合ガスは、基板上に形成されたシリコン系化合物の極薄い層を酸化反応し、シリコン酸化物の極薄い層が成膜される。このような不活性ガスのパージ、気相状態のシリコン系化合物のパルス、不活性ガスのパージおよびオゾンを含む混合ガスのパルスを繰り返して、前記被処理基板上に所望厚さのシリコン酸化膜を形成する。
前記被処理基板としては、例えば半導体装置の製造に用いられる半導体基板、液晶表示装置の製造などに用いられるガラス基板等を挙げることができる。特に、シリコン酸化膜をゲート耐圧の向上を目的として適用する場合、被処理基板としてはゲート電極が形成された半導体基板を用いる。
前記チャンバ内の減圧条件は、0.1〜1000Torr、より好ましくは1〜10Torrにすることが望ましい。
前記基板温度を50℃未満にすると、オゾンを含む混合ガスの導入においてシリコン系化合物の単原子層の十分な酸化反応がなされなくなる虞がある。一方、前記基板温度が400℃を超えると被処理基板への熱影響が大きくなる。より好ましい基板温度は、200〜400℃、さらに好ましくは250〜400℃である。
前記パージに用いられる不活性ガスとしては、例えば窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等を挙げることができる。
前記シリコン系化合物としては、例えばシラン[SiH4]、ジシラン[(SiH3)2]、トリシラン[(SiH3)2SiH2]、アルキルシラン[(SiH3)nR、ただしRは炭素数1から6の直鎖、分岐または環状のアルカンを示す]、トリシリルアミン[(SiH3)3N]、ジシロキサン[(SiH3)2O]のようなシリコン水素化物;TEOS[Si(OC2H5)4]、TMOS[Si(OCH3)4]、ビストリエトキシシリルエタン、トリアルキルシリルアルカン[(RO)3Si−Alk−Si(OR)3、ただしRは炭素数1〜6のアルカン]のようなシリコンアルコキシド;アセトキシシラン等を用いることができる。
前記シリコン系化合物は、常温で気相状態である場合、例えばボンベから反応チャンバにパルスされる。また、前記シリコン系化合物はTEOSのように常温で液体状態である場合、これをバブラー方式によりチャンバ内にパルスすることができる。具体的には、前記シリコン系化合物溶液を容器内に収容し、必要に応じて加温し、その容器内に不活性ガス吹き込み管を用いて不活性ガス(例えば窒素、アルゴン、ヘリウム等)を吹き込んで不活性ガスに同伴させてチャンバ内に導入することができる。もちろん、バブラー方式に限定されず、液体マスフローコントローラと蒸発器の組み合わせも使用できる。
前記オゾンを含む混合ガスは、前記シリコン系化合物を酸化してシリコン酸化物に変換させるものである。この混合ガスとしては、例えばオゾン+酸素の混合ガス、オゾン+窒素、アルゴン、ヘリウムのような不活性ガスの混合ガスを挙げることができる。前記混合ガスのオゾン濃度は、0.1〜5%であることが好ましい。オゾン濃度を0.1%未満にすると、低温でのシリコン系化合物の単原子層の十分な酸化を遂行することが困難になる虞がある。一方、オゾン濃度が5%を超えると、危険性、毒性が高くなって取扱いが困難になる虞がある。
前記気相状態のシリコン系化合物のパルスは、前記反応チャンバに例えば1.0〜100sccmの流量で0.1〜10秒間導入することができる。前記オゾンを含む混合ガスのパルスは、前記反応チャンバに例えば10〜1000sccmの流量で0.1〜10秒間導入することができる。
次に、図1に示す成膜装置を参照して本成膜法によるシリコン酸化膜の形成方法を具体的に説明する。
図1は、酸素ガスをオゾン発生器に直接導入して生成したオゾンと酸素の混合ガスを用いるALD法による成膜装置(不活性ガスのパージ時における各制御弁の開閉状態を併記)を示す概略図、図2および図3は図1と同じ成膜装置でそれぞれ気相状態のSi系化合物のパルス時における各制御弁の開閉状態、O3/O2混合ガスのパルス時における各制御弁の開閉状態を示す概略図である。
この成膜装置は、反応チャンバ11、不活性ガス(例えば窒素ガス)の供給源である窒素ガスボンベ12、気相状態のSi系化合物の供給源であるSi系化合物ガスボンベ13および酸素ガスの供給源である酸素ボンベ14を備える。枚葉式装置の場合、反応チャンバ11内には、図示しないサセプタが設けられ、その上にシリコン基板等の半導体基板(図示せず)が1つ載置される。サセプタ内には半導体基板を所定の反応温度に加熱するための加熱器が設けられている。バッチ式装置の場合、反応チャンバ11内に収容される半導体基板の数は、5〜200である。バッチ式装置においては、加熱器は、枚葉式装置の加熱器と異なる構成のものであってもよい。
前記窒素ガスボンベ12は、ラインL1を通して前記反応チャンバ11に接続されている。ラインL1には、上流側から開閉弁V1、流量調節器例えばマスフローコントローラMFC1が設けられ、さらに前記反応チャンバ11近傍のラインL1には開閉弁V2が設けられている。
前記反応チャンバ11の底部には、真空ポンプPMPに至る排気ラインL2が設けられ、このラインL2には上流側から圧力計PG1、背圧調整のためのバタフライ弁BVおよび開閉弁V3が設けられている。真空ポンプPMPは、ラインL3を通して除害装置15に接続されている。この除害装置15は、ガス種またはその規模に応じて例えば燃焼式除害装置、乾式除害装置を用いることができる。
前記Si系化合物ガスボンベ13は、ラインL4を通して開閉弁V2上流(開閉弁V2とマスフローコントローラMFC1の間)のラインL1と接続されている。ラインL4には、上流側から開閉弁V4、マスフローコントローラMFC2、圧力計PG2および開閉弁V5が設けられている。ラインL4は、圧力計PG2の上流で分岐され、この分岐ラインL4’は真空ポンプPMP上流(真空ポンプPMPと開閉弁V3の間)の排気ラインL2に接続されている。分岐ラインL4’には、開閉弁V5’が設けられている。開閉弁V5、V5’は、一方の開閉弁が開のときに他方の開閉弁が閉になるように同期して開閉される。
前記酸素ボンベ14は、オゾン発生器16に至るラインL5が設けられ、このラインL5には上流側から開閉弁V6およびマスフローコントローラMFC3が設けられている。オゾン発生器16は、ラインL6を通して開閉弁V2上流(開閉弁V2とマスフローコントローラMFC1の間)のラインL1と接続されている。ラインL6には、上流側からオゾン濃度計OCS、圧力計PG3および開閉弁V7が設けられている。また、ラインL6は圧力計PG3の上流で分岐され、この分岐ラインL6’は真空ポンプPMP上流(真空ポンプPMPと開閉弁V3の間)の排気ラインL2に接続されている。分岐ラインL6’には、開閉弁V7’が設けられている。開閉弁V7、V7’は、一方の開閉弁が開のときに他方の開閉弁が閉になるように同期して開閉される。
なお、ラインL6にはオゾンと酸素発生器16で発生されたオゾンの混合ガスが流れる。混合ガス中のオゾン濃度の制御は、酸素ガスの供給流量を一定にした場合、主にオゾン発生器16への投入電力と圧力により依存するため、ラインL6に設けられたオゾン濃度計OCSでオゾン量を測定し、その測定値に基づいて前記投入電力およびオゾン発生器16の容器圧力をフィードバック制御することによりなされる。
次に、前述した図1〜図3に示す成膜装置を用いて実施形態に係る成膜法によるシリコン酸化膜の形成方法を説明する。
1)窒素ガスパージ
反応チャンバ11内のサセプタ上に被処理基板、例えば半導体ウェハ(図示せず)を載置し、そのサセプタに内蔵された温度調節器によりウェハを50〜400℃の温度に加熱する。図1に示すように開閉弁V5、V7を閉じ、これ以外の開閉弁V1〜V4、V6、V5’、V7’を全て開く。なお、図1において閉鎖した制御弁を黒で塗りつぶし、開放された制御弁を白抜きとして表示する。また、以下の説明における開閉弁の開閉状態も同様に表示する。
反応チャンバ11内のサセプタ上に被処理基板、例えば半導体ウェハ(図示せず)を載置し、そのサセプタに内蔵された温度調節器によりウェハを50〜400℃の温度に加熱する。図1に示すように開閉弁V5、V7を閉じ、これ以外の開閉弁V1〜V4、V6、V5’、V7’を全て開く。なお、図1において閉鎖した制御弁を黒で塗りつぶし、開放された制御弁を白抜きとして表示する。また、以下の説明における開閉弁の開閉状態も同様に表示する。
次いで、真空ポンプPMPを駆動して反応チャンバ11内のガスを排気ラインL2を通して排気しながら、窒素ボンベ12から窒素ガスをラインL1を通して反応チャンバ11内に導入するとともに、マスフローコントローラMFC1でその供給流量を調整する。このような反応チャンバ11内のガスの排気、窒素ガスの反応チャンバ11内への供給により所望の真空度(例えば0.1〜1000Torr)で窒素ガスパージがなされ、反応チャンバ11内が窒素ガスで置換される。
なお、前記窒素ガスパージの工程以降において、Si系化合物ガスボンベ13からSi系化合物ガスをラインL4に常時、供給するとともに、マスフローコントローラMFC2でその供給流量を調整する。ただし、前記窒素ガスパージ工程では反応チャンバ11に繋がるラインL1と接続されるラインL4の開閉弁V5が閉じられ、排気ラインL2と接続される分岐ラインL4’の開閉弁V5’が開かれているため、同Si系化合物ガスは反応チャンバ11に供給されることなく、ラインL4、L4’を通して排気ラインL2に供給されて排気される。
また、同窒素ガスパージの工程以降において、酸素ガスボンベ14から酸素ガスをラインL5を通してオゾン発生器16に常時、供給するとともに、マスフローコントローラMFC3でその供給流量を調整する。オゾン発生器16に所望の電力を投入し、オゾンと酸素の混合ガスが流通するラインL6に設けられたオゾン濃度計OCSでオゾン量を測定し、その測定値に基づいて前記投入電力およびオゾン発生器16の容器圧力をフィードバック制御することにより所望濃度のオゾンを含む酸素(混合ガス)を酸素発生器16からラインL6に供給する。ただし、前記窒素ガスパージ工程では反応チャンバ11に繋がるラインL1と接続されるライン6の開閉弁V7が閉じられ、排気ラインL2と接続される分岐ラインL6’の開閉弁V7’が開かれているため、オゾンと酸素の混合ガスは反応チャンバ11に供給されることなく、ラインL6、L6’を通して排気ラインL2に供給されて排気される。
2)Si系化合物ガスのパルス
図1に示す状態から図2に示すように分岐ラインL4’の開閉弁V5’を閉じ、この動作に同期してラインL4の開閉弁V5を開き、所望時間後に開閉弁V5、V5’の開閉状態を反転させる。開閉弁V5の開の間に、Si系化合物ガスボンベ13から流量調整されたSi系化合物ガスはラインL4からラインL1に供給され、窒素ガスと一緒に反応チャンバ11内にパルスされる。このパルスにより、反応チャンバ11内のサセプタに載置され、加熱された半導体ウェハ表面にSi系化合物が単分子層に近い状態で吸着される。
図1に示す状態から図2に示すように分岐ラインL4’の開閉弁V5’を閉じ、この動作に同期してラインL4の開閉弁V5を開き、所望時間後に開閉弁V5、V5’の開閉状態を反転させる。開閉弁V5の開の間に、Si系化合物ガスボンベ13から流量調整されたSi系化合物ガスはラインL4からラインL1に供給され、窒素ガスと一緒に反応チャンバ11内にパルスされる。このパルスにより、反応チャンバ11内のサセプタに載置され、加熱された半導体ウェハ表面にSi系化合物が単分子層に近い状態で吸着される。
3)窒素ガスパージ
前記Si系化合物ガスのパルス後にラインL4,分岐ラインL4’の開閉弁V5、V5’の開閉状態を反転させることにより、図2に示す状態から前述した図1に示す窒素ガスパージを行う。このとき、反応チャンバ11内に残留した未反応のSi系化合物が窒素ガスにより排出され、反応チャンバ11内が再び窒素ガスで置換される。
前記Si系化合物ガスのパルス後にラインL4,分岐ラインL4’の開閉弁V5、V5’の開閉状態を反転させることにより、図2に示す状態から前述した図1に示す窒素ガスパージを行う。このとき、反応チャンバ11内に残留した未反応のSi系化合物が窒素ガスにより排出され、反応チャンバ11内が再び窒素ガスで置換される。
4)オゾンと酸素の混合ガスのパルス
図1に示す状態から図3に示すように分岐ラインL6’の開閉弁V7’を閉じ、この動作に同期してラインL6の開閉弁V7を開き、所望時間後に開閉弁V7、V7’の開閉状態を反転させる。開閉弁V7の開の間に、前述したオゾンと酸素の混合ガスはラインL6からラインL1に供給され、窒素ガスと一緒に反応チャンバ11内にパルスされる。このパルスにより、反応チャンバ11内のサセプタに載置され、加熱された半導体ウェハ表面に吸着されたSi系化合物はオゾンと酸素の混合ガスで酸化されるため、半導体ウェハ表面にシリコン酸化膜が単分子層に近い状態で成膜される。
図1に示す状態から図3に示すように分岐ラインL6’の開閉弁V7’を閉じ、この動作に同期してラインL6の開閉弁V7を開き、所望時間後に開閉弁V7、V7’の開閉状態を反転させる。開閉弁V7の開の間に、前述したオゾンと酸素の混合ガスはラインL6からラインL1に供給され、窒素ガスと一緒に反応チャンバ11内にパルスされる。このパルスにより、反応チャンバ11内のサセプタに載置され、加熱された半導体ウェハ表面に吸着されたSi系化合物はオゾンと酸素の混合ガスで酸化されるため、半導体ウェハ表面にシリコン酸化膜が単分子層に近い状態で成膜される。
このような1)窒素ガスパージ、2)Si系化合物ガスのパルス、3)窒素ガスパージおよび4)オゾンと酸素の混合ガスのパルス、の工程を繰り返すことによって半導体ウェハ表面に所望厚さのシリコン酸化膜を形成する。なお、前記4)のオゾンと酸素の混合ガスのパルスの後にラインL6,分岐ラインL6’の開閉弁V7、V7’の開閉状態を反転させることにより、図3に示す状態から前述した図1に示す窒素ガスパージを行う。このとき、反応チャンバ11内に残留した未反応のオゾンと酸素の混合ガスおよび反応副生物が窒素ガスにより排出され、反応チャンバ11内が再び窒素ガスで置換される。
なお、前述した図1〜図3に示す成膜装置を用いたシリコン酸化膜の形成方法において、気相状態のSi系化合物として常温で気相状態のSi系化合物を例にしたが、TEOSのような常温で液体状態であるSi系化合物を用いる場合にはバブラー方式により気相状態のSi系化合物を反応チャンバ11内に導入することもできる。すなわち、図1〜図3のSi系化合物ガスボンベ13に代えてバブラーを設置し、このバブラーに窒素ガスが流通するラインL1のバルブV1上流で分岐した分岐ラインを連結することにより、前述した1)窒素ガスパージ、2)Si系化合物ガスのパルス、3)窒素ガスパージおよび4)オゾンと酸素の混合ガスのパルスの工程を繰り返すことが可能になる。
以上、実施形態によればSi系化合物ガスのパルスにより400℃以下の比較的低温に加熱された被処理基板表面にSi系化合物を単分子層に近い状態で吸着させ、不活性ガス(例えば窒素ガス)パージの後にオゾンを含む混合ガス(例えばオゾンと酸素の混合ガス)のパルスを行うことによって、被処理基板表面に吸着されたSi系化合物を混合ガス中のオゾンの強力な酸化作用で十分に酸化してシリコン酸化膜が単分子層に近い状態で成膜することが可能になる。また、酸化反応後に不活性ガス(例えば窒素ガス)パージを行うことによって、成膜されたシリコン酸化膜に反応チャンバ内の水分が吸着されるのを防ぐことが可能になる。その結果、OH結合の導入が抑制または防止された良好なシリコン酸化膜を形成することができる。このようなシリコン酸化膜は、例えば優れた低リーク電流特性を有する。
また、被処理基板表面に吸着されたSi系化合物を適量(例えば0.1〜5%濃度)のオゾンを含む混合ガスのパルスにより酸化反応させるため、CVD法でオゾンを含む混合ガスを用いた場合に確認されたる被処理基板表面への酸化を防止することができる。このようにオゾンを含む混合ガスの必要量を低温でパルスによって導入するため、被処理基板に対する影響を少なくすることができる。その結果、実施形態のシリコン酸化膜の形成において高温に弱い膜、または酸化し易い性質の金属膜、金属シリサイド膜を有する被処理基板を使用することが可能になる。
以下、本発明の実施例を前述した図1〜図3を参照して説明する。
(実施例1)
前述した図1〜図3に示す成膜装置を用い、反応チャンバ11内のサセプタにシリコンウェハを設置し、ウェハを100℃に加熱し、前述した実施形態に準じて下記条件の1)窒素ガスパージ、2)Si系化合物ガスのパルス、3)窒素ガスパージおよび4)オゾンと酸素の混合ガスのパルスの工程を繰り返し、シリコン酸化膜を形成した。
前述した図1〜図3に示す成膜装置を用い、反応チャンバ11内のサセプタにシリコンウェハを設置し、ウェハを100℃に加熱し、前述した実施形態に準じて下記条件の1)窒素ガスパージ、2)Si系化合物ガスのパルス、3)窒素ガスパージおよび4)オゾンと酸素の混合ガスのパルスの工程を繰り返し、シリコン酸化膜を形成した。
1)窒素ガスパージ
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・窒素ガスの供給流量:130sccm、
・窒素ガスパージ時間:6秒間。
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・窒素ガスの供給流量:130sccm、
・窒素ガスパージ時間:6秒間。
2)Si系化合物ガスのパルス
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・Si系化合物ガス:トリシリルアミン(TSA)ガス、
・TSAガスの供給流量:2sccm、
・TSAパルス時間:1秒間。
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・Si系化合物ガス:トリシリルアミン(TSA)ガス、
・TSAガスの供給流量:2sccm、
・TSAパルス時間:1秒間。
3)窒素ガスパージ
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・窒素ガスの供給流量:130sccm、
・窒素ガスパージ時間:6秒間。
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・窒素ガスの供給流量:130sccm、
・窒素ガスパージ時間:6秒間。
4)オゾンと酸素の混合ガスのパルス
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・オゾンと酸素の混合ガス(オゾン濃度5%)の供給流量:20sccm、
・混合ガスパルス時間:2秒間。
・反応チャンバ内の圧力:3Torr、
・オゾンと酸素の混合ガス(オゾン濃度5%)の供給流量:20sccm、
・混合ガスパルス時間:2秒間。
(実施例2)
反応チャンバ11内のサセプタにシリコンウェハを設置し、ウェハを200℃に加熱した以外、実施例1と同様な方法によりシリコン酸化膜を形成した。
反応チャンバ11内のサセプタにシリコンウェハを設置し、ウェハを200℃に加熱した以外、実施例1と同様な方法によりシリコン酸化膜を形成した。
(実施例3)
反応チャンバ11内のサセプタにシリコンウェハを設置し、ウェハを300℃に加熱した以外、実施例1と同様な方法によりシリコン酸化膜を形成した。
反応チャンバ11内のサセプタにシリコンウェハを設置し、ウェハを300℃に加熱した以外、実施例1と同様な方法によりシリコン酸化膜を形成した。
実施例1〜3での本成膜法において各サイクル(実施例1では12サイクルのみ)でのシリコン酸化膜の厚さを測定した。その結果を図4に示す。この図4から明らかなように実施例1〜3ではインキュベーション時間を持つことなく十分に厚さが調整(制御)されたシリコン酸化膜を形成できることがわかる。
また、実施例3(ウェハ加熱温度:300℃)において200サイクル後のシリコン酸化膜をFT−IRにより分析した。その結果を図5に示す。この図5から明らかなようにシリコン酸化物を同定するSi−O−Si結合のピークが見られたが、H−SiO3に起因するSi−Hのピークが見られないことがわかる。すなわち、300℃の低温での成膜において、OH結合の導入が防止された良好なシリコン酸化膜を形成できることを確認した。
さらに、表面にモリブデン薄膜を有するシリコンウェハをサンプルとして実施例1〜3と同様な方法(100サイクル)でシリコン酸化膜をモリブデン薄膜表面に形成した後、シリコン酸化膜の下地であるモリブデン薄膜の状態を調べた。その結果、酸化性ガスとしてオゾン濃度5%のオゾンと酸素の混合ガスを用いてもモリブデン薄膜の酸化が認められなかった。
11…反応チャンバ、12…不活性ガス(窒素ガス)ボンベ、13…Si系化合物ガスボンベ、14…酸素ガスボンベ、15…除害装置、16…オゾン発生器、L1〜L6、LV4’,V6’…ライン、V1〜V7、V5’,V7’…開閉弁、PMP…真空ポンプ、MFC1〜MFC3…マスフローコントローラ、OCS…オゾン濃度計。
Claims (3)
- (a)反応チャンバ内に被処理基板を収納する工程;
(b)前記反応チャンバ内で次の工程を行う工程;
1)減圧下、50〜400℃の基板温度にて反応チャンバ内に不活性ガスを供給してチャンバ内のガスをパージする、
2)減圧および同温度の下で反応チャンバ内に気相状態のシリコン系化合物をパルスし、前記被処理基板上にシリコン系化合物を吸着させる、
3)減圧および同温度の下で反応チャンバ内の未吸着のシリコン系化合物を不活性ガスによりパージする、
4)減圧および同温度の下で反応チャンバ内にオゾンを含む混合ガスをパルスし、前記被処理基板上に吸着されたシリコン系化合物と酸化反応させてシリコン酸化物を生成する、
(c)前記1)〜4)の工程を繰り返して前記被処理基板上に所望厚さのシリコン酸化膜を成膜する工程;
を含むことを特徴とするシリコン酸化膜の形成方法。 - 前記シリコン系化合物は、シリコン水素化物またはシリコンアルコキシドであることを特徴とする請求項1記載のシリコン酸化膜の形成方法。
- オゾンを含む前記混合ガスは、オゾン濃度が0.1〜5%であることを特徴とする請求項1記載のシリコン酸化膜の形成方法。
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