JP6147362B2 - 熱硬化性樹脂組成物、これを用いた光半導体装置用反射部材の製造方法、および、光半導体装置 - Google Patents
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Description
この場合、硬化剤としては、ヘキサヒドロ無水フタル酸が使用されており、そのほか、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、無水ナジック酸、無水グルタル酸、無水ジメチルグルタル酸、無水ジエチルグルタル酸、無水コハク酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸などの酸無水物を使用できると記載されているが、本発明者らの検討によれば、このBステージ状半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、溶融混練による製造時あるいはトランスファー成型による加工時に、温度がかかることで酸無水物系硬化剤が揮発する問題がある。
(1)エポキシ樹脂(A)、硬化剤(B)、および白色顔料(C)からなる熱硬化性樹脂組成物であって、前記硬化剤が、軟化点が50℃以上である末端カルボン酸のオリゴエステルである熱硬化性樹脂組成物、
(2)前記末端カルボン酸のオリゴエステルが、少なくとも2つ以上のカルボキシル基を有し、脂肪族炭化水素基を主骨格とする熱硬化性樹脂組成物、
(3)前記白色顔料(C)が、二酸化チタン粉末である(1)または(2)に記載の熱硬化性樹脂組成物、
(4)前記熱硬化性樹脂組成物において、熱硬化後の波長460〜800nmにおける光反射率が80%以上である(1)〜(3)のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物、
(5)前記白色顔料の含有量が、熱硬化性樹脂組成物全体に対して5〜95重量%である、(1)〜(4)のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物、
(6)(1)記載の末端カルボン酸のオリゴエステル末端カルボン酸のオリゴエステルが炭素数6以上の2〜6官能の多価アルコールと飽和脂肪族環状酸無水物との反応により得られた化合物である前項(1)〜(5)のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物、
(7)前記飽和脂肪族環状酸無水物が、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種の酸無水物との反応により得られた化合物である前項(1)〜(6)のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物、
(8)光半導体装置を構成する光反射部材形成用である(1)〜(7)のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物、
(9)(1)〜(8)のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物を硬化させてなる光半導体装置用反射部材であり、光半導体装置用反射部材の少なくとも一部を、(1)〜(8)のいずれか一項に記載の光反射用熱硬化性樹脂組成物をトランスファー成形により形成する光半導体装置用反射部材の製造方法。
(10)(1)〜(8)のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物を硬化させてなる光反射部材と、光半導体素子とを有する光半導体装置、
に関する。
ここで、本発明におけるエポキシ樹脂としては透明性、耐変色性に優れるという点から、脂環式エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート骨格を有するエポキシ樹脂を単独もしくは併せて用いることが好ましい。
尚、トリグリシジルイソシアヌレート骨格を有するエポキシ樹脂としては、例えば下記式(A)
の構造を有するエポキシ樹脂を好適に使用することができる。具体的にはTEPIC−S(日産化学工業社製)等が挙げられる。
また、好適な脂環式エポキシ樹脂としては、例えばSEJ−01R(日本化薬社製)、セロキサイド2021(株式会社ダイセル社製)、EHPE3150(株式会社ダイセル社製)等が挙げられる。化合物名としては、エポキシシクロヘキシル骨格を有するものであれば特に限定されないが、2官能の例としては2つのエポキシシクロヘキシル骨格が酸素原子又はエステル結合を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基で結合しているエポキシ樹脂が挙げられ、単官能の例としては、エポキシシクロヘキシル骨格に置換基として酸素原子を有してもよい炭素数1〜10のアルキル基又は水酸基を有するエポキシ樹脂が挙げられる。具体的な好ましいものの例としては、3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル 3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等が挙げられる。
具体的な構造式としては、下記式(1)
の構造を有し、分子内にエステル構造(好ましくは2つのエステル構造)を有する化合物である。また末端に複数のカルボキシル基を有する化合物である。
中でも、前記式(1)の末端カルボン酸のオリゴエステルが炭素数6以上の2〜6官能の多価アルコールと飽和脂肪族環状酸無水物とのエステル化反応により得られた化合物であることが好ましい。
より具体的には、前記式(1)に記載の末端カルボン酸のオリゴエステルにおいて、連結基Rは炭素数4〜10のシクロアルカン骨格、もしくはノルボルナン骨格が好ましく、シクロアルカン骨格においては置換、もしくは無置換のシクロヘキサン構造、特にメチル基を具備するメチルシクロヘキサン構造がその硬化物における光学特性から好ましい。またノルボルナン骨格としてはノルボルナン、メチルノルボルナン構造が好ましい。
連結基Pは炭素数2〜10の多価アルコールの残基(反応に用いた多価アルコールから水酸基を除いた残基)であるが、分岐鎖状の架橋基、もしくはシクロアルキル基が好ましく、特にPは下記(a)又は(b)で定義される2価の架橋基であることが好ましい。
(a)炭素数6〜20の分岐構造を有する鎖状アルキル鎖であり、該鎖状アルキル鎖が炭素数3〜12の直鎖の主鎖と、2〜4個の側鎖を有し、かつその側鎖の少なくとも1つが炭素数2〜10である架橋基、
又は、
(b)シクロ環上にメチル基を有してもよい、トリシクロデカンジメタノール又はペンタシクロペンタデカンジメタノール、から選ばれる少なくとも1種の架橋多環ジオールから、2つの水酸基を取り除いた2価の架橋基、
但し、Pが(b)の場合、好ましいものは連結基Rが炭素数4〜10のシクロアルカン骨格又はノルボルナン骨格のときは、後述する式(2)において置換基R3が水素原子以外の基を表す。
尚、上記オリゴエステルの軟化点は通常50℃以上であるが、60℃以上が好ましく、80℃以上がより好ましい。上限値に特に制限はないが通常500℃以下であり、300℃以下であることが好ましく、200℃以下であることがより好ましい。
本発明における末端カルボン酸のオリゴエステルは、2種の多価カルボン酸を含む組成物であってもよい。末端カルボン酸のオリゴエステルを少なくとも2種含む末端カルボン酸のオリゴエステル組成物を得る方法としては、上記方法で得られた単一の末端カルボン酸のオリゴエステルを少なくとも2種を混合する方法、または、上記の末端カルボン酸のオリゴエステルを合成する際に、上記ヘキサヒドロ無水フタル酸として、少なくとも2種の混合物を使用するか、前記多価アルコールを2種使用して、付加反応を行う方法がある。
具体的にはヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種の酸無水物が挙げられる。
前記式(1)において、Pで表される架橋基は、好ましくは前記(a)または(b)で定義される2価の架橋基であり、それらについて以下に具体的に説明する。
前記(a)で定義される2価の架橋基は、炭素数6〜20の分岐構造を有する2価のアルコール(ジオール)から、水酸基を除いた2価の鎖状アルキル鎖であり、ジオールの2個のアルコール性水酸基に挟まれたアルキル鎖を主鎖とし、該アルキル鎖から分岐したアルキル鎖(側鎖という)を有する構造である。該側鎖は、主鎖を構成するいずれの炭素原子から分岐していてもよく、例えばアルコール性水酸基が結合していた炭素原子(主鎖の末端炭素原子)から分岐している場合も含む。該構造を有する架橋基であれば何れでもよく、このような架橋基の具体例を下記式(a1)に示す。
より具体的な化合物としては前記式(a1)に記載した架橋基において、*印の位置にヒドロキシル基が結合した化合物を挙げることができる。
原料として使用する多価アルコールの中では、少なくとも2個の側鎖を有し、該側鎖の中で少なくとも2個が炭素数2〜4の側鎖である多価アルコールが好ましい。
このような骨格の中で特に好ましい多価アルコールとしては2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオール、2−エチル−2−ブチル−1,3−プロパンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオールなどが挙げられ、特に2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールが好ましい。
具体的にはトリシクロデカンジメタノール、メチルトリシクロデカンジメタノール、ペンタシクロペンタデカンジメタノールなどが挙げられる。
触媒を用いる場合、使用しうる触媒としては、例えば塩酸、硫酸、メタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、硝酸、トリフルオロ酢酸、トリクロロ酢酸等の酸性化合物、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン等のアミン化合物、ピリジン、ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデカ−7−エン、イミダゾール、トリアゾール、テトラゾール等の複素環式化合物、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルエチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルプロピルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルブチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルセチルアンモニウムヒドロキシド、トリオクチルメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラメチルアンモニウムクロリド、テトラメチルアンモニウムブロミド、テトラメチルアンモニウムヨージド、テトラメチルアンモニウムアセテート、トリオクチルメチルアンモニウムアセテート等の4級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの触媒は1種又は2種以上を混合して用いても良い。これらの中で、トリエチルアミン、ピリジン、ジメチルアミノピリジンが好ましい。
本反応においては無溶剤での反応が好ましいが、有機溶剤を使用しても構わない。有機溶剤の使用量としては、反応基質である前記酸無水物と前記多価アルコールの総量1部に対し、重量比で0.005〜1部であり、好ましくは0.005〜0.7部、より好ましくは0.005〜0.5部(すなわち50重量%以下)である。有機溶剤の使用量が上記反応基質1重量部に対して、重量比で1部を超える場合、反応の進行が極度に遅くなることから好ましくない。使用できる有機溶剤の具体的な例としてはヘキサン、シクロヘキサン、ヘプタン等のアルカン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素化合物、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、アノン等のケトン類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、蟻酸メチルなどのエステル化合物などが使用できる。
反応させる際の具体的な両者の仕込み比率としては、その官能基当量で、該酸無水物基1当量に対して、該多価アルコールを、その水酸基当量で、0.001〜2当量、より好ましくは0.01〜1.5当量、さらに好ましくは0.1〜1.2当量となる割合で仕込むのが好ましい。
本発明においては得られる末端カルボン酸のオリゴエステルが固形であることが好ましく、固形の樹脂状末端カルボン酸のオリゴエステルを得るためには、理想的には等モル当量以上の多価アルコールを使用することが好ましいが、フィラーを添加するため流動性が重要となり、この流動性を確保する為に、その粘度バランスから、固形を保つ範囲(軟化点50℃以上)で多少のバランスを崩しても構わない。
具体的には、酸無水物当量に対し、アルコール性水酸基の当量比において0.85〜1.20モル当量が好ましく、特に0.90〜1.1.0モル当量が好ましい。
通常、架橋基が、(a)で定義される側鎖を有するアルキレン基である場合、無色〜淡黄色の固形の樹脂状を示す。
本発明においては、末端カルボン酸のオリゴエステルを含む熱硬化性樹脂組成物を使用する最適な方法が、トランスファーで成形であることから、末端カルボン酸のオリゴエステルは固形の樹脂状である。
架橋基が(b)で定義される架橋基の場合、脂肪族炭化水素基が炭素数4〜10のシクロアルカン骨格又はノルボルナン骨格であるとき、脂環式の置換基の全てが水素原子の末端カルボン酸のオリゴエステルは、硬化時の着色が見られ、特に厳しい光学用途には好適ではない。脂肪族炭化水素基が炭素数4〜10のシクロアルカン骨格又はノルボルナン骨格であるとき、置換基がメチル基またはカルボキシル基の化合物ではそのような着色は少なく、その光学特性が向上する。
前記(a)で定義される架橋基の化合物においても、脂肪族炭化水素基が炭素数4〜10のシクロアルカン骨格又はノルボルナン骨格であるとき、置換基がメチル基またはカルボキシル基の化合物の場合の方が、光学特性が向上し、好ましい。
すなわち、本発明の末端カルボン酸のオリゴエステル組成物として、炭素数4〜10のシクロアルカン骨格又はノルボルナン骨格であるとき、置換基は好ましくはメチル基もしくはカルボキシル基、又は両者を有する式(1)の末端カルボン酸のオリゴエステルを含む組成物が好ましい。該末端カルボン酸のオリゴエステルを2種以上含む末端カルボン酸のオリゴエステル組成物の場合、少なくとも当該置換基が水素原子でない式(1)の末端カルボン酸のオリゴエステル(当該置換基が前記アルキル基、好ましくはメチル基、又はカルボキシル基の末端カルボン酸のオリゴエステル)、を、末端カルボン酸のオリゴエステルの総量に対して、50モル%以上含む組成物が好ましい。より好ましくは、当該置換基が水素原子でない式(1)の末端カルボン酸のオリゴエステルを70モル%以上、最も好ましくは90モル%以上含む末端カルボン酸のオリゴエステル組成物が好ましい。残部が、Rが水素原子である式(1)の末端カルボン酸のオリゴエステルである。
本発明において好適な末端カルボン酸のオリゴエステルとしては、下記式(2)で表される末端カルボン酸のオリゴエステルが用いられる。
ここで、上記式(2)においては、上記に記載の通りの理由により、R3が炭素数1〜3のアルキル基またはカルボキシル基を好適に使用できる。
末端カルボン酸のオリゴエステルに併用しうる硬化剤としては、例えばアミン系化合物、不飽和環構造を有する酸無水物系化合物、オルガノシロキサン骨格を有する酸無水物、アミド系化合物、フェノール系化合物、カルボン酸系化合物などが挙げられる。用いうる硬化剤の具体例としては、ジアミノジフェニルメタン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ジアミノジフェニルスルホン、イソホロンジアミン、ジシアンジアミド、リノレン酸の2量体とエチレンジアミンより合成されるポリアミド樹脂、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、無水ナジック酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、ブタンテトラカルボン酸無水物、ビシクロ[2,2,1]ヘプタン−2,3−ジカルボン酸無水物、メチルビシクロ[2,2,1]ヘプタン−2,3−ジカルボン酸無水物、シクロヘキサン−1,3,4−トリカルボン酸−3,4−無水物、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フルオレンビスフェノール、テルペンジフェノール、4,4’−ビフェノール、2,2’−ビフェノール、3,3’,5,5’−テトラメチル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジオール、ハイドロキノン、レゾルシン、ナフタレンジオール、トリス−(4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、フェノール類(フェノール、アルキル置換フェノール、ナフトール、アルキル置換ナフトール、ジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシナフタレン等)とホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、p−ヒドロキシベンズアルデヒド、o−ヒドロキシベンズアルデヒド、p−ヒドロキシアセトフェノン、o−ヒドロキシアセトフェノン、ジシクロペンタジエン、フルフラール、4,4’−ビス(クロロメチル)−1,1’−ビフェニル、4,4’−ビス(メトキシメチル)−1,1’−ビフェニル、1,4’−ビス(クロロメチル)ベンゼン、1,4’−ビス(メトキシメチル)ベンゼン等との重縮合物及びこれらの変性物、テトラブロモビスフェノールA等のハロゲン化ビスフェノール類、イミダゾール、トリフルオロボラン−アミン錯体、グアニジン誘導体、テルペンとフェノール類の縮合物などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらは単独で用いてもよく、2種以上を用いてもよい。
また、白色顔料の含有量は、樹脂組成物全体に対して、10重量%〜85重量%の範囲であることが好ましい。合計含有量が10重量%未満であると硬化物の光反射特性が十分得られない傾向にあり、85重量%を超えると樹脂組成物の成型性が悪くなり、基板の作製が困難となる傾向にある。
硬化促進剤は、エポキシ樹脂100重量部に対し通常0.001〜15重量部、好ましくは0.01〜5重量部の範囲で使用される。
無機充填剤の配合量は、白色顔料との合計量が(A)成分および(B)成分の合計量100重量部に対して、1〜1000重量部であることが好ましく、1〜800重量部であることがより好ましい。
本発明の半導体装置は、代表的な構造について具体例を例示すると、国際公開第2012/124147号に記載の通り、基板上に円筒状の中空部を有する光反射防止部材を配置し、円筒状の中空部の内部空間において基板上に光半導体素子を配置する。そして、光半導体素子の一端部と基板をワイヤーで繋げ、上記中空部に封止樹脂が封入された構成を有している。
撹拌機、還流冷却管、撹拌装置を備えたフラスコに、窒素パージを施しながらトリシクロデカンジメタノール98.1部、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物とヘキサヒドロフタル酸無水物の混合物(新日本理化(株)製、リカシッドMHT、比率 7:3)117.6部、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸-1,2-無水物(三菱ガス化学製 H−TMAn)59.4部、MEK275.2部を加え、60℃で1時間反応後80℃で5時間加熱撹拌を行い、硬化剤を得た。得られた硬化剤は下記式で表され、無色、固形であった。また、官能基当量は225.2g/eq.であった。軟化点は105.6℃であった。
各硬化剤について、下記試験方法により硬化物の揮発性を評価した。結果を表1に示す。TG/DTAの測定方法を記載する。
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製熱重量分析装置(TG/DTA7200)を用いて、空気中、昇温速度10℃/分で、150℃、180℃、200℃の各温度での減量(%)を測定した。
表2に示した配合表に従って各成分を配合し、ミキサーによって十分混練した後、ミキシングロールにより所定条件で溶融混練し、冷却、粉砕を行い、実施例1および比較例1の熱硬化性光反射用樹脂組成物を調製した。なお、表中の各成分の配合量の単位は重量部であり、空欄は当該成分を使用していないことを表す。
各実施例及び各比較例の樹脂組成物について、下記試験方法により硬化物の光反射性を評価した。結果を表2(72時間後)、表3(144時間後)に示す。
各実施例及び各比較例の樹脂組成物を、成型型温度150℃、成型圧力10.4MPa、キュア時間300秒の条件でトランスファー成型した後、150℃で3時間ポストキュアすることにより、厚み1.0mmのテストピースを作製した。ついで、積分球型分光光度計UV−3600型(株式会社島津製作所製)にて波長460nmにおける光反射率を測定し、下記の評価基準により各テストピースの光反射性を評価した。
なお、本願は、2013年12月18日付で出願された日本国特許出願(2013−260903)に基づいており、その全体が引用により援用される。また、ここに引用されるすべての参照は全体として取り込まれる。
Claims (9)
- エポキシ樹脂、硬化剤、および白色顔料からなる光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物であって、前記硬化剤が、軟化点が50℃以上である末端カルボン酸のオリゴエステルであり、熱硬化後の波長460〜800nmにおける光反射率が80%以上である光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物。
- 前記末端カルボン酸のオリゴエステル末端カルボン酸のオリゴエステルが、少なくとも2つ以上のカルボキシル基を有し、脂肪族炭化水素基を主骨格とする請求項1に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物。
- 前記白色顔料が、二酸化チタン粉末である請求項1または請求項2に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物。
- 前記白色顔料の含有量が、熱硬化性樹脂組成物全体に対して5〜95重量%である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物。
- 請求項1記載の末端カルボン酸のオリゴエステル末端カルボン酸のオリゴエステルが炭素数6以上の2〜6官能の多価アルコールと飽和脂肪族環状酸無水物との反応により得られた化合物である請求項1〜4のいずれか一項に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物。
- 前記飽和脂肪族環状酸無水物が、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種の酸無水物との反応により得られた化合物である請求項1〜5のいずれか一項に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物。
- 光半導体装置を構成する光反射部材形成用である請求項1〜6のいずれか一項に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物を硬化させてなる光半導体装置用反射部材であり、光半導体装置用反射部材の少なくとも一部を、請求項1〜7のいずれか一項に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物をトランスファー成形により形成する光半導体装置用反射部材の製造方法。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の光反射部材形成用熱硬化性樹脂組成物を硬化させてなる光反射部材と、光半導体素子とを有する光半導体装置。
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