JP6131427B2 - 熱伝導性樹脂組成物、熱伝導部材とその製造方法、および熱伝導性接着シート - Google Patents
熱伝導性樹脂組成物、熱伝導部材とその製造方法、および熱伝導性接着シート Download PDFInfo
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Description
本発明は、電子機器の熱を逃がすための熱伝導性部材の形成に好適に使用できる熱伝導性樹脂組成物、熱伝導部材とその製造方法、および熱伝導性接着シートに関する。
近年、エレクトロニクス分野の発展が目覚しく、特に電子機器の小型化、軽量化、高密度化、高出力化が進み、これらの性能に対する要求がますます高度なものとなっている。電子回路の高密度化のために高絶縁性信頼性や小型化が求められるほか、特に、電子機器の高出力化に伴う発熱による電子機器の劣化防止のための放熱性向上が強く求められている。
エレクトロニクス分野では絶縁材として高分子材料が好適に用いられているため、放熱性を向上させるため、高分子材料の熱伝導性の向上が望まれるようになった。しかし、高分子材料の熱伝導性向上には限界があったため、熱伝導性粒子を高分子材料に混合し、放熱性を向上させる方法が開発された。また、近年は、熱伝導性部材として、それらをシート状に成形した熱伝導性を有する接着シートや、粘着シートとしての利用も検討されている。
エレクトロニクス分野では絶縁材として高分子材料が好適に用いられているため、放熱性を向上させるため、高分子材料の熱伝導性の向上が望まれるようになった。しかし、高分子材料の熱伝導性向上には限界があったため、熱伝導性粒子を高分子材料に混合し、放熱性を向上させる方法が開発された。また、近年は、熱伝導性部材として、それらをシート状に成形した熱伝導性を有する接着シートや、粘着シートとしての利用も検討されている。
例えば、特許文献１には、層状珪酸塩が均一分散されたナノコンポジットポリアミド樹脂と、熱伝導性無機フィラーとを含有する成形用樹脂が開示されている。熱伝導性無機フィラーとしては、アルミナ、酸化マグネシウム、シリカ、酸化亜鉛、窒化ホウ素、炭化珪素、窒化珪素などが開示されている。
従来よりも少ない使用量で成形体に熱伝導性を付与できるよう、熱伝導性無機フィラーには、熱伝導性の向上が求められている。
従来よりも少ない使用量で成形体に熱伝導性を付与できるよう、熱伝導性無機フィラーには、熱伝導性の向上が求められている。
特許文献２には、平均粒子径が１０μｍ以下の高熱伝導性粒子を、造粒、焼結することにより、熱伝導性を向上させた平均粒子径が３〜８５μｍの球状の複合粒子を得、前記複合粒子の利用が提案されている。
具体的には、アルミナや窒化アルミニウムや結晶性シリカ等の熱伝導性粒子を、シランカップリング剤や熱硬化性樹脂でコーティング処理した後、低くても８００℃、通常は１０００〜２８００℃の熱伝導性粒子の融点近い温度で焼結し、球状の複合粒子を得る方法が提案されている（［０００９］、［００２１］〜「００２２」、［００２８］〜［００３２］参照）。
特許文献２によれば、複合粒子の凝集力を高めるために焼結すると開示する。しかし、造粒後、熱伝導性粒子の融点近い温度で焼結する結果、造粒の際使用したバインダーは消失してしまい、焼結後の複合粒子の凝集力は決して高くなく、むしろ焼結後の複合粒子は脆くて造粒状態を維持できず、崩壊し易い。
あるいは、融点以上の温度で十分焼結すれば、熱伝導性粒子同士が融着一体化するので、凝集力の高いものを得ることはできる。しかし、融着一体化の結果、巨大な硬い粒子となってしまう。
具体的には、アルミナや窒化アルミニウムや結晶性シリカ等の熱伝導性粒子を、シランカップリング剤や熱硬化性樹脂でコーティング処理した後、低くても８００℃、通常は１０００〜２８００℃の熱伝導性粒子の融点近い温度で焼結し、球状の複合粒子を得る方法が提案されている（［０００９］、［００２１］〜「００２２」、［００２８］〜［００３２］参照）。
特許文献２によれば、複合粒子の凝集力を高めるために焼結すると開示する。しかし、造粒後、熱伝導性粒子の融点近い温度で焼結する結果、造粒の際使用したバインダーは消失してしまい、焼結後の複合粒子の凝集力は決して高くなく、むしろ焼結後の複合粒子は脆くて造粒状態を維持できず、崩壊し易い。
あるいは、融点以上の温度で十分焼結すれば、熱伝導性粒子同士が融着一体化するので、凝集力の高いものを得ることはできる。しかし、融着一体化の結果、巨大な硬い粒子となってしまう。
特許文献３には、アルミナ、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム等の無機質粉末と熱硬化性樹脂組成物とを含み、粉末、造粒粉末、顆粒状態に加工されてなる粉体組成物の利用が提案されている。しかし、この方法で用いている無機質粉末はサイズが大きいほか、熱硬化性樹脂組成物を使用しているため、凝集体内で樹脂が硬化するため、得られるのは強固な結合をもった硬い粉体組成物である。
特許文献４には、アルミナ粒子粉末の表面を表面改質剤で被覆した後、前記表面改質剤被覆粒子表面に炭素粉末を付着させた複合粒子粉末を、窒素雰囲気下で１３５０〜１７５０℃にて加熱焼成する窒化アルミニウムの製造方法が開示されている（特許請求の範囲、［００３４］、［００４２］、［００４６］〜［００４９］」参照）。
特許文献５には、平均粒子径が１０〜５００μｍかつ気孔率が０．３％以上の球状窒化アルミニウム焼結粉が開示されている。具体的には一次粒子径が０．１〜０．８μｍの粉末を全量の１０重量％以上含む窒化アルミニウム粉末と、酸化リチウムや酸化カルシウム等の焼結助剤とを含むスラリーを噴霧乾燥し、さらに１４００〜１８００℃で焼成する、前記球状窒化アルミニウム焼結粉の製造方法が記載されている（請求項１、４、［００３５］参照）。
特許文献４、５の場合も、特許文献２の場合と同様に、非常に高温で焼結する上、焼結助剤等と窒化アルミニウムとが強固に結合するため、得られるのは、凝集体としては硬い窒化アルミニウムか、あるいは焼結して一体化された巨大で硬い窒化アルミニウム粒子である。
特許文献４、５の場合も、特許文献２の場合と同様に、非常に高温で焼結する上、焼結助剤等と窒化アルミニウムとが強固に結合するため、得られるのは、凝集体としては硬い窒化アルミニウムか、あるいは焼結して一体化された巨大で硬い窒化アルミニウム粒子である。
特許文献６には、鱗片状窒化ホウ素の一次粒子を等方的に凝集させた二次凝集粒子の利用が開示されている。
具体的には、鱗片状窒化ホウ素を１８００℃前後にて仮焼きした後、粉砕してなる一次粒子から形成される顆粒を２０００℃で焼成し、気孔率が５０％以下、平均気孔径が０．０５〜３μｍの二次凝集体を得る方法が開示されている（［００１４］、［００２６］、「００２７]参照）。
具体的には、鱗片状窒化ホウ素を１８００℃前後にて仮焼きした後、粉砕してなる一次粒子から形成される顆粒を２０００℃で焼成し、気孔率が５０％以下、平均気孔径が０．０５〜３μｍの二次凝集体を得る方法が開示されている（［００１４］、［００２６］、「００２７]参照）。
特許文献７には、不規則形状の非球状窒化ホウ素粒子を凝集させた球状窒化ホウ素凝集体の利用が開示されている。
特許文献８には、窒化珪素質焼結体の利用が開示され、特許文献９には焼結処理してなる球状酸化亜鉛粒子粉末の利用が開示されている。
一方、熱伝導性粒子を使用した熱伝導性部材としては、例えば、特許文献１０や１１には無機粒子を使用した熱伝導性接着シートが開示されている。これら熱伝導性部材の熱伝導性を高めるためには、粒子の充填率を上げることが効果的であるが、粒子量の増加に伴い、高分子材料成分が減少するため、成膜性、基材追従性の低下が起こってしまう。また、特に接着シート用途においては、充填率を高めることにより接着成分が減少し、接着性が失われてしまうといった課題があった。
そこで、特許文献１２や１３のように、粒子の充填率が低い状態で粒子の接触（熱伝パス）を形成させるため、熱伝導性部材に磁場や電場をかけて粒子の配向制御する方法が報告されている。しかし、これらの手法は、工業化を考えたときに実用的なものではない。
また、特許文献１４では、二次粒子を塗膜中に近接して配置させた三次集合体を形成し、低充填量で、高熱伝導性を発現する試みも報告されている。この報告でも、造粒のための結着剤にはシランカップリング剤が使用されており、該二次粒子を１５０℃、４時間以上乾燥させ、カップリング反応させることで、造粒体としての操作性を向上させている反面、粒子の柔軟性は失われている。そのため、熱伝導性、接着強度とも不十分である。
このように、従来の熱伝導性粒子やその二次粒子（凝集体）を用いた熱伝導性樹脂組成物や熱伝導性シートでは、高い熱伝導性を有し、かつ優れた成膜性、基材追従性および接着性を達成することは困難であった。
本発明の目的は、高い熱伝導性を有し、優れた成膜性および基材追従性を有する熱伝導性部材および、さらに接着性に優れる接着シートを作製するための、熱伝導性樹脂組成物を提供することである。
本発明は、球状の熱伝導性粒子を有機結着剤で凝集させた、圧力に対し変形し易いが、崩壊しにくい凝集体を使用した熱伝導性部材に関する。
すなわち、本発明は、易変形性凝集体（Ｄ）２０〜９０体積％とバインダー樹脂（Ｅ）１０〜８０体積％と前記バインダー樹脂（Ｅ）を溶解する溶剤（Ｆ）とを含有する熱伝導性樹脂組成物であって、前記易変形性凝集体（Ｄ）が、一次平均粒子径が０．１〜１０μｍの球状の熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と、有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部とを含む、平均粒子径が２〜１００μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力が５ｍＮ以下であり、前記易変形性凝集体（Ｄ）を構成する前記有機結着剤（Ｂ）が、前記溶剤（Ｆ）に溶解しない、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）に関する。
すなわち、本発明は、易変形性凝集体（Ｄ）２０〜９０体積％とバインダー樹脂（Ｅ）１０〜８０体積％と前記バインダー樹脂（Ｅ）を溶解する溶剤（Ｆ）とを含有する熱伝導性樹脂組成物であって、前記易変形性凝集体（Ｄ）が、一次平均粒子径が０．１〜１０μｍの球状の熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と、有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部とを含む、平均粒子径が２〜１００μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力が５ｍＮ以下であり、前記易変形性凝集体（Ｄ）を構成する前記有機結着剤（Ｂ）が、前記溶剤（Ｆ）に溶解しない、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）に関する。
前記発明の熱伝導性粒子（Ａ）が、酸化アルミニウム及び窒化アルミニウムからなる群より選ばれることが好ましい。
また、前記発明の易変形性凝集体（Ｄ）を構成する有機結着剤（Ｂ）が、水溶性樹脂であり、バインダー樹脂（Ｅ）が非水溶性樹脂であることが好ましい。
さらに本発明は、前記熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から溶剤（Ｆ）が除去されてなる、熱伝導性部材（Ｈ）に関する。
さらに本発明は、熱伝導性部材（Ｈ）の厚みに対する、易変形性凝集体（Ｄ）の平均粒子径の比率が２０％以上であることを特徴とする熱伝導性部材（Ｈ）に関する。
さらに本発明は、前記熱伝導性部材（Ｈ）を加圧してなる、熱伝導性部材（Ｉ）に関する。
さらに本発明は、前記熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から溶剤（Ｆ）を除去し、熱伝導率が１〜３（Ｗ／ｍＫ）の熱伝導性部材（Ｈ）を形成し、次いで、前記熱伝導性部材（Ｈ）を加圧する、ことを特徴とする熱伝導性部材（Ｉ）の製造方法に関する。
さらに本発明は、剥離フィルムと、上記熱伝導性部材（Ｈ）を具備する熱伝導性接着シートに関する。
本発明の熱伝導性部材は、熱伝導性の高い易変形性凝集体を使用しているため、高い熱伝導性を有する。また、前記易変形性凝集体を用いることにより、優れた成膜性、基材追従性を有する熱伝導性部材および、さらに接着性に優れる接着シートを作製するための、熱伝導性樹脂組成物を提供できる。
（易変形性凝集体（Ｄ））
本発明の樹脂組成物（Ｇ）に含まれる易変形性凝集体（Ｄ）は、平均一次粒子径が０．１〜１０μｍの球状の熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と、有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部とを含み、平均粒子径が２〜１００μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力が５ｍＮ以下である。
本発明の樹脂組成物（Ｇ）に含まれる易変形性凝集体（Ｄ）は、平均一次粒子径が０．１〜１０μｍの球状の熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と、有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部とを含み、平均粒子径が２〜１００μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力が５ｍＮ以下である。
本発明における「易変形性」とは、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力が５ｍＮ以下であることをいう。圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力とは、圧縮試験により測定した、粒子を１０％変形させるための荷重の平均値のことであり、例えば、微小圧縮試験機（株式会社島津製作所製、ＭＣＴ−２１０）で測定することができる。
具体的には、測定対象のごく少量の試料を顕微鏡にて拡大し、任意の一粒を選択し、該測定対象粒子を加圧圧子の下部に移動させ、前記加圧圧子に負荷を加え、前記測定対象粒子を圧縮変形させる。前記試験機は、前記測定対象粒子の圧縮変位を計測するための検出器を、前記加圧圧子の上部に備えている。前記検出器にて、前記測定対象粒子の圧縮変位を計測し、変形率を求める。そして、前記測定対象粒子を１０％圧縮変形するために要する圧縮力（以下、「１０％圧縮変形力」とも略す）を求める。任意の他の測定対象粒子について、同様にして「１０％圧縮変形力」を求め、１０個の測定対象粒子についての「１０％圧縮変形力」の平均値を「圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力」とする。
なお、本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は、後述するように小さな熱伝導性粒子（Ａ）が複数集合した状態のものであるが、圧縮変形率の測定においては凝集体を一粒の単位とする。
具体的には、測定対象のごく少量の試料を顕微鏡にて拡大し、任意の一粒を選択し、該測定対象粒子を加圧圧子の下部に移動させ、前記加圧圧子に負荷を加え、前記測定対象粒子を圧縮変形させる。前記試験機は、前記測定対象粒子の圧縮変位を計測するための検出器を、前記加圧圧子の上部に備えている。前記検出器にて、前記測定対象粒子の圧縮変位を計測し、変形率を求める。そして、前記測定対象粒子を１０％圧縮変形するために要する圧縮力（以下、「１０％圧縮変形力」とも略す）を求める。任意の他の測定対象粒子について、同様にして「１０％圧縮変形力」を求め、１０個の測定対象粒子についての「１０％圧縮変形力」の平均値を「圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力」とする。
なお、本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は、後述するように小さな熱伝導性粒子（Ａ）が複数集合した状態のものであるが、圧縮変形率の測定においては凝集体を一粒の単位とする。
図１は、図２および図４に示すような凝集させていない熱伝導性粒子（Ａ）と、図２に示すような熱伝導性粒子（Ａ）を凝集させた易変形性凝集体（Ｄ）、についての圧縮変形率と圧縮力との関係を示す図である。易変形性凝集体（Ｄ）の大きさは、図４に示す熱伝導性粒子（Ａ）の大きさと同程度である。
図１に示す通り、凝集させていない熱伝導性粒子（Ａ）は、ごく僅かに変形させるために大きな力を要する。一方、図２と同じの大きさの熱伝導性粒子（Ａ）を図４の熱伝導性粒子（Ａ）と同程度の大きさに凝集させた場合、図１に示す通り、はるかに小さな力で変形させることができる。
即ち、本発明の凝集体（Ｄ）は、「易変形性」凝集体である。
図３ａは、本発明の凝集体（Ｄ）を含む熱伝導性部材の一種である熱硬化性シートの平面のＳＥＭ写真であり、図３ｂは、熱伝導性部材を加圧下に熱硬化した硬化物の平面のＳＥＭ写真であり、図３ｃは硬化物の断面のＳＥＭ写真である。図３ａ、ｂ、ｃからも、本発明の凝集体（Ｄ）が「易変形性」凝集体であることが確認できる。
なお、本発明の凝集体（Ｄ）が「易変形性」であるが故に、熱伝導性に優れる理由については、後述する。
図１に示す通り、凝集させていない熱伝導性粒子（Ａ）は、ごく僅かに変形させるために大きな力を要する。一方、図２と同じの大きさの熱伝導性粒子（Ａ）を図４の熱伝導性粒子（Ａ）と同程度の大きさに凝集させた場合、図１に示す通り、はるかに小さな力で変形させることができる。
即ち、本発明の凝集体（Ｄ）は、「易変形性」凝集体である。
図３ａは、本発明の凝集体（Ｄ）を含む熱伝導性部材の一種である熱硬化性シートの平面のＳＥＭ写真であり、図３ｂは、熱伝導性部材を加圧下に熱硬化した硬化物の平面のＳＥＭ写真であり、図３ｃは硬化物の断面のＳＥＭ写真である。図３ａ、ｂ、ｃからも、本発明の凝集体（Ｄ）が「易変形性」凝集体であることが確認できる。
なお、本発明の凝集体（Ｄ）が「易変形性」であるが故に、熱伝導性に優れる理由については、後述する。
（熱伝導性粒子（Ａ））
熱伝導性粒子（Ａ）は熱伝導性を有するものであれば特に限定されず、例えば、
酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム等の金属酸化物、
窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の金属窒化物、
水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物、
炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム等の炭酸金属塩、
ケイ酸カルシウム等のケイ酸金属塩、
水和金属化合物、
結晶性シリカ、非結晶性シリカ、炭化ケイ素またはこれらの複合物、
金、銀等の金属、
カーボンブラック等の炭素化合物等が挙げられる。
これらは、１種を単独で用いても良く、２種以上を併用することもできる。
熱伝導性粒子（Ａ）は熱伝導性を有するものであれば特に限定されず、例えば、
酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム等の金属酸化物、
窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の金属窒化物、
水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物、
炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム等の炭酸金属塩、
ケイ酸カルシウム等のケイ酸金属塩、
水和金属化合物、
結晶性シリカ、非結晶性シリカ、炭化ケイ素またはこれらの複合物、
金、銀等の金属、
カーボンブラック等の炭素化合物等が挙げられる。
これらは、１種を単独で用いても良く、２種以上を併用することもできる。
電子回路用途で用いる場合は絶縁性を有していることが好ましく、金属酸化物、金属窒化物が好適に用いられ、なかでも熱伝導率の観点から、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素がより好適に用いられる。
得られる易変形性凝集体（Ｄ）を電子材料用途等に用いる場合には、熱伝導性粒子（Ａ）としては、加水分解されにくい酸化アルミニウムがより好ましい。
また、耐加水分解性を向上するための処理を予め施した窒化アルミニウム等の金属窒化物を用い、易変形性凝集体（Ｄ）を得れば、得られた易変形性凝集体（Ｄ）は、電子材料用途等に用いることもできる。
得られる易変形性凝集体（Ｄ）を電子材料用途等に用いる場合には、熱伝導性粒子（Ａ）としては、加水分解されにくい酸化アルミニウムがより好ましい。
また、耐加水分解性を向上するための処理を予め施した窒化アルミニウム等の金属窒化物を用い、易変形性凝集体（Ｄ）を得れば、得られた易変形性凝集体（Ｄ）は、電子材料用途等に用いることもできる。
熱伝導性粒子（Ａ）は、得られる易変形性凝集体（Ｄ）の空隙の少なさ、変形しやすさの点で球状であることが重要である。
つまり、球状粒子を用いると、空隙の少ない密な易変形性凝集体（Ｄ）を得ることができる。易変形性凝集体（Ｄ）内の空隙は、熱伝導性を悪化させるので、空隙の生成をできるだけ防止することは、熱伝導性向上の点で重要である。
また、熱伝導性粒子（Ａ）が球状であると、凝集体内の熱伝導性粒子（Ａ）同士の粒子間の摩擦係数が小さい。その結果、凝集体に力が加えられた際、凝集体内の熱伝導性粒子（Ａ）の位置関係が容易に変化し、凝集体が崩壊することなく変形し易い。
一方、板状や針状の熱伝導性粒子を用いた場合、得られるのは、空隙の多い凝集体であって、凝集体内の構成粒子同士の摩擦が大きく、変形しにくい凝集体となる。
つまり、球状粒子を用いると、空隙の少ない密な易変形性凝集体（Ｄ）を得ることができる。易変形性凝集体（Ｄ）内の空隙は、熱伝導性を悪化させるので、空隙の生成をできるだけ防止することは、熱伝導性向上の点で重要である。
また、熱伝導性粒子（Ａ）が球状であると、凝集体内の熱伝導性粒子（Ａ）同士の粒子間の摩擦係数が小さい。その結果、凝集体に力が加えられた際、凝集体内の熱伝導性粒子（Ａ）の位置関係が容易に変化し、凝集体が崩壊することなく変形し易い。
一方、板状や針状の熱伝導性粒子を用いた場合、得られるのは、空隙の多い凝集体であって、凝集体内の構成粒子同士の摩擦が大きく、変形しにくい凝集体となる。
なお、本発明において球状であるとは、例えば、「円形度」であらわすことができ、この円形度とは、粒子をＳＥＭ等で撮影した写真をから任意の数の粒子を選び、粒子の面積をＳ、周囲長をＬとしたとき、（円形度）＝４πＳ／Ｌ２として表すことができる。円形度を測定するには、各種画像処理ソフト、または画像処理ソフトを搭載した装置を使用することができるが、本発明では、東亜医用電子（株）製フロー式粒子像分析装置ＦＰＩＥ−１０００を用いて粒子の平均円形度を測定した際の平均円形度が０．９〜１のものをいう。好ましくは、平均円形度が０．９６〜１である。
易変形性凝集体（Ｄ）を得るために用いられる熱伝導性粒子（Ａ）は、平均一次粒子径が０．１〜１０μｍであり、０．３〜１０μｍであることが望ましい。一種類の大きさの熱伝導性粒子（Ａ）を用いる場合には、平均一次粒子径が０．３〜５μｍのものを用いることが好ましい。大きさの異なる複数の種類の熱伝導性粒子（Ａ）を用いることもでき、その場合には、比較的小さなものと比較的大きなものを組み合わせて用いることが、凝集体内の空隙率を減らすという点で好ましい。
平均一次粒子径が小さ過ぎると、凝集体内における一次粒子同士の接点が多くなり、接触抵抗が大きくなるため熱伝導性が低下する傾向にある。一方、平均一次粒子径が大き過ぎると凝集体を作成しようとしても崩壊し易く、凝集体自体が形成されにくい。
なお、本発明における熱伝導性粒子（Ａ）の平均一次粒子径は、粒度分布計（例えば、Malvern Instruments社製、マスターサイザー２０００）で測定したときの値である。
また、本発明の易変形性凝集体（Ｄ）が崩壊しにくいことは、例えば、ガラスサンプル管に易変形性凝集体（Ｄ）を空隙率７０％となるように入れ、振とう機にて２時間振とうしても、振とう後の平均粒子径が振とう前の平均粒子径の８０％以上であることからも支持される。
平均一次粒子径が小さ過ぎると、凝集体内における一次粒子同士の接点が多くなり、接触抵抗が大きくなるため熱伝導性が低下する傾向にある。一方、平均一次粒子径が大き過ぎると凝集体を作成しようとしても崩壊し易く、凝集体自体が形成されにくい。
なお、本発明における熱伝導性粒子（Ａ）の平均一次粒子径は、粒度分布計（例えば、Malvern Instruments社製、マスターサイザー２０００）で測定したときの値である。
また、本発明の易変形性凝集体（Ｄ）が崩壊しにくいことは、例えば、ガラスサンプル管に易変形性凝集体（Ｄ）を空隙率７０％となるように入れ、振とう機にて２時間振とうしても、振とう後の平均粒子径が振とう前の平均粒子径の８０％以上であることからも支持される。
（有機結着剤（Ｂ））
本発明における有機結着剤（Ｂ）は、熱伝導性粒子（Ａ）同士を結着させる「つなぎ」の役割を果たす。
有機結着剤（Ｂ）としては、特に制限されず、例えば、「つなぎ」の役割を果たせる範囲において分子量は問わず、例えば、
ポリエーテル樹脂、ポリウレタン樹脂、（不飽和）ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂、ブチラール樹脂、アセタール樹脂、ポリアミド樹脂、（メタ）アクリル樹脂、スチレン／（メタ）アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ニトロセルロース、ベンジルセルロース、セルロース（トリ）アセテート、カゼイン、シェラック、ゼラチン、ギルソナイト、ロジン、ロジンエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシメチルエチルセルロース、カルボキシメチルニトロセルロース、エチレン／ビニルアルコール樹脂、スチレン／無水マレイン酸樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリフッ化ビニリデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、エチレン／酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル／マレイン酸樹脂、フッ素樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹脂、マレイン酸樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ケトン樹脂、石油樹脂、塩素化ポリオレフィン樹脂、変性塩素化ポリオレフィン樹脂、塩素化ポリウレタン樹脂等が挙げられるが、これに制限されない。
有機結着剤（Ｂ）は、１種類を単独で用いても、２種類以上を混合して用いても良い。
本発明における有機結着剤（Ｂ）は、熱伝導性粒子（Ａ）同士を結着させる「つなぎ」の役割を果たす。
有機結着剤（Ｂ）としては、特に制限されず、例えば、「つなぎ」の役割を果たせる範囲において分子量は問わず、例えば、
ポリエーテル樹脂、ポリウレタン樹脂、（不飽和）ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂、ブチラール樹脂、アセタール樹脂、ポリアミド樹脂、（メタ）アクリル樹脂、スチレン／（メタ）アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ニトロセルロース、ベンジルセルロース、セルロース（トリ）アセテート、カゼイン、シェラック、ゼラチン、ギルソナイト、ロジン、ロジンエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシメチルエチルセルロース、カルボキシメチルニトロセルロース、エチレン／ビニルアルコール樹脂、スチレン／無水マレイン酸樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリフッ化ビニリデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、エチレン／酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル／マレイン酸樹脂、フッ素樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹脂、マレイン酸樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ケトン樹脂、石油樹脂、塩素化ポリオレフィン樹脂、変性塩素化ポリオレフィン樹脂、塩素化ポリウレタン樹脂等が挙げられるが、これに制限されない。
有機結着剤（Ｂ）は、１種類を単独で用いても、２種類以上を混合して用いても良い。
また、有機結着剤（Ｂ）は、溶剤（Ｆ）に不溶であることが好ましい。ここでいう不溶とは、有機結着剤（Ｂ）１gを、溶剤（Ｆ）１００ｇに入れ、２５℃で２４時間撹拌したと
きに、目視で沈殿が確認されることをいう。
有機結着剤（Ｂ）は、熱伝導性粒子同士の結着させる「つなぎ」の役割を果たしているため、溶剤（Ｆ）に不溶であると、熱伝導性樹脂組成物中で易変形性凝集体（Ｄ）がその凝集状態を保持することができるためである。
きに、目視で沈殿が確認されることをいう。
有機結着剤（Ｂ）は、熱伝導性粒子同士の結着させる「つなぎ」の役割を果たしているため、溶剤（Ｆ）に不溶であると、熱伝導性樹脂組成物中で易変形性凝集体（Ｄ）がその凝集状態を保持することができるためである。
また、有機結着剤（Ｂ）は水溶性樹脂であることが好ましい。後述の熱伝導性部材（Ｉ）が接着シートである場合は、好適に使用できる。ここでいう水溶性とは、樹脂１ｇを水１００ｇに入れ、２５℃で２４時間撹拌したときに、目視で沈殿が確認されないことをいう。
水溶性樹脂は、特に限定されないが、例えば澱粉、寒天、ゼラチン、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等が挙げられる。
水溶性樹脂は、特に限定されないが、例えば澱粉、寒天、ゼラチン、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等が挙げられる。
また、上記有機結着剤（Ｂ）は、得られる易変形性凝集体（Ｄ）の変形性にも影響を与えるため、非硬化性であることが好ましい。
非硬化性とは、有機結着剤（Ｂ）が２５℃で自己架橋しないことをいう。
なお、有機結着剤（Ｂ）に対して硬化剤として機能する成分は、使用しないことが好ましい。
非硬化性とは、有機結着剤（Ｂ）が２５℃で自己架橋しないことをいう。
なお、有機結着剤（Ｂ）に対して硬化剤として機能する成分は、使用しないことが好ましい。
本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は、上記熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部に対し、上記有機結着剤（Ｂ）を０．１〜３０重量部含有するものであり、１〜１０重量部含有することが好ましい。０．１重量部より少ないと、熱伝導性粒子（Ａ）を十分に結着することができず形態を維持するために十分な強度が得られないため好ましくない。また、３０重量部より多い場合は、熱伝導性粒子（Ａ）同士を結着させる効果は大きくなるが、熱伝導性粒子（Ａ）同士間に必要以上に結着剤が入り込み、熱伝導性を阻害する恐れがあるため好ましくない。
本発明の易変形性凝集体（Ｄ）の平均粒子径は２〜１００μｍが好ましく、より好ましくは５〜５０μｍである。平均粒子径が２μｍより小さい場合、凝集体（Ｄ）を構成する熱伝導性粒子（Ａ）の数が少なくなり、凝集体としての効果が低く、変形性にも劣るため好ましくない。平均粒子径が１００μｍを超えると、単位体積あたりの易変形性凝集体（Ｄ）の重量が大きくなり、分散体として用いた場合に沈降したりするため好ましくない。
なお、本発明における易変形性凝集体（Ｄ）の平均粒子径は、粒度分布計（例えば、Malvern Instruments社製、マスターサイザー２０００）で測定したときの値である。
なお、本発明における易変形性凝集体（Ｄ）の平均粒子径は、粒度分布計（例えば、Malvern Instruments社製、マスターサイザー２０００）で測定したときの値である。
また、易変形性凝集体（Ｄ）の比表面積は、特に制限されないが、１０ｍ２/ｇ以下で
あることが好ましく、５ｍ２/ｇ以上であることがさらに好ましい。１０ｍ２/ｇより大きい場合、バインダー樹脂（Ｅ）が粒子表面や凝集体内部に吸着し、成膜性の低下・接着力の低下する傾向にあるため、好ましくない。
あることが好ましく、５ｍ２/ｇ以上であることがさらに好ましい。１０ｍ２/ｇより大きい場合、バインダー樹脂（Ｅ）が粒子表面や凝集体内部に吸着し、成膜性の低下・接着力の低下する傾向にあるため、好ましくない。
上記比表面積は、ＢＥＴ比表面積計（例えば、日本ベル社製、ＢＥＬＳＯＲＰ−ｍｉｎｉ）で測定したときの値である。
（易変形性凝集体（Ｄ）の製造方法）
易変形性凝集体（Ｄ）は、例えば、平均一次粒子径が０．１〜１０μｍの球状の熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部と前記有機結着剤（Ｂ）を溶解する溶剤（Ｃ）とを含有するスラリーを得、次いで、前記スラリーから前記溶剤（Ｃ）を除去することによって、得ることができる。
あるいは、熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部とを混合することにより得たり、熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部に、有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部と前記有機結着剤（Ｂ）を溶解する溶剤（Ｃ）とを含有する有機結着剤溶液を吹き付けた後、もしくは吹き付けつつ、溶剤（Ｃ）を除去することによって、得たりすることもできる。
組成が均一な易変形性凝集体（Ｄ）を得るためには、熱伝導性粒子（Ａ）と有機結着剤（Ｂ）とを溶剤（Ｃ）中で予め混合してスラリーとする工程を経、その後溶剤（Ｃ）を除去することが好ましい。
易変形性凝集体（Ｄ）は、例えば、平均一次粒子径が０．１〜１０μｍの球状の熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部と前記有機結着剤（Ｂ）を溶解する溶剤（Ｃ）とを含有するスラリーを得、次いで、前記スラリーから前記溶剤（Ｃ）を除去することによって、得ることができる。
あるいは、熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部とを混合することにより得たり、熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部に、有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部と前記有機結着剤（Ｂ）を溶解する溶剤（Ｃ）とを含有する有機結着剤溶液を吹き付けた後、もしくは吹き付けつつ、溶剤（Ｃ）を除去することによって、得たりすることもできる。
組成が均一な易変形性凝集体（Ｄ）を得るためには、熱伝導性粒子（Ａ）と有機結着剤（Ｂ）とを溶剤（Ｃ）中で予め混合してスラリーとする工程を経、その後溶剤（Ｃ）を除去することが好ましい。
溶剤（Ｃ）は、熱伝導性粒子（Ａ）を分散し、かつ有機結着剤（Ｂ）を溶解するものである。
上記溶剤（Ｃ）は、有機結着剤（Ｂ）を溶解することができれば特に制限はなく、有機結着剤（Ｂ）の種類により適宜選択することができる。溶剤（Ｃ）としては、例えば、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、グリコールエーテル系溶剤、脂肪族系溶剤、芳香族系溶剤、アルコール系溶剤、エーテル系溶剤、水等を使用することができ、２種類以上を混合して使用することもできる。
上記溶剤（Ｃ）は、有機結着剤（Ｂ）を溶解することができれば特に制限はなく、有機結着剤（Ｂ）の種類により適宜選択することができる。溶剤（Ｃ）としては、例えば、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、グリコールエーテル系溶剤、脂肪族系溶剤、芳香族系溶剤、アルコール系溶剤、エーテル系溶剤、水等を使用することができ、２種類以上を混合して使用することもできる。
上記溶剤（Ｃ）は、除去し易さの点から、沸点は低いほうが好ましく、例えば、水、エタノール、メタノール、酢酸エチル等、沸点が１１０℃以下であると好ましい。
また、上記溶剤（Ｃ）の使用量は、除去し易さの点からは少ない方が好ましいが、有機結着剤（Ｂ）の溶解性や乾燥用の装置に合わせて適宜変更することができる。
また、上記溶剤（Ｃ）の使用量は、除去し易さの点からは少ない方が好ましいが、有機結着剤（Ｂ）の溶解性や乾燥用の装置に合わせて適宜変更することができる。
前記スラリーから溶剤（Ｃ）を除去する方法は特に制限はなく、市販の装置を用いて易変形性凝集体（Ｄ）を製造することができる。例えば、噴霧乾燥、攪拌乾燥、静置乾燥等の方法の中から選択することができる。中でも、比較的丸くて、粒子径の揃った易変形性凝集体（Ｄ）を生産性良く得られるという点、乾燥速度が速く、より変形しやすい易変形性凝集体（Ｄ）を得られるという点から、噴霧乾燥を好適に用いることができる。
具体的には、前記スラリーを霧状に噴霧しながら、溶剤（Ｃ）を揮発・除去すればよい。噴霧条件や揮発条件を適宜選択することができる。
具体的には、前記スラリーを霧状に噴霧しながら、溶剤（Ｃ）を揮発・除去すればよい。噴霧条件や揮発条件を適宜選択することができる。
＜熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）＞
本発明の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、易変形性凝集体（Ｄ）２０〜９０体積％と、バインダー樹脂（Ｅ）１０〜８０体積％と、バインダー樹脂（Ｅ）を溶解する溶剤（Ｆ）とを含有する。
本発明の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、易変形性凝集体（Ｄ）２０〜９０体積％と、バインダー樹脂（Ｅ）１０〜８０体積％と、バインダー樹脂（Ｅ）を溶解する溶剤（Ｆ）とを含有する。
（バインダー樹脂（Ｅ））
バインダー樹脂（Ｅ）は、熱伝導性部材を形成しうるものであれば特に限定されないが、例えば、
ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステルウレタン樹脂、アルキッド樹脂、ブチラール樹脂、アセタール樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂、スチレン−アクリル樹脂、スチレン樹脂、ニトロセルロース、ベンジルセルロース、セルロース（トリ）アセテート、カゼイン、シェラック、ギルソナイト、ゼラチン、スチレン−無水マレイン酸樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリフッ化ビニリデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、エチレン酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル／マレイン酸共重合体樹脂、フッ素樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹脂、マレイン酸樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ケトン樹脂、石油樹脂、ロジン、ロジンエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシメチルエチルセルロース、カルボキシメチルニトロセルロース、エチレン／ビニルアルコール樹脂、ポリオレフィン樹脂、塩素化ポリオレフィン樹脂、変性塩素化ポリオレフィン樹脂および塩素化ポリウレタン樹脂からなる郡より用途に応じて選ばれる１種または２種以上を適宜使用することができる。
中でも柔軟性の観点からウレタン系樹脂、電子部品として用いる際の、絶縁性、耐熱性等の観点からエポキシ系樹脂が好適に用いられる。
なお、易変形性凝集体（Ｄ）を構成する有機結着剤（Ｂ）は、易変形性を確保するために、非硬化性であることが好ましい。しかし、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）や熱伝導性部材（Ｈ）に含まれるバインダー樹脂（Ｅ）は、バインダー樹脂（Ｅ）自体硬化するか、もしくは適当な硬化剤との反応により硬化するものを用いることができる。
バインダー樹脂（Ｅ）は、熱伝導性部材を形成しうるものであれば特に限定されないが、例えば、
ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステルウレタン樹脂、アルキッド樹脂、ブチラール樹脂、アセタール樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂、スチレン−アクリル樹脂、スチレン樹脂、ニトロセルロース、ベンジルセルロース、セルロース（トリ）アセテート、カゼイン、シェラック、ギルソナイト、ゼラチン、スチレン−無水マレイン酸樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリフッ化ビニリデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、エチレン酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル／マレイン酸共重合体樹脂、フッ素樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹脂、マレイン酸樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ケトン樹脂、石油樹脂、ロジン、ロジンエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシメチルエチルセルロース、カルボキシメチルニトロセルロース、エチレン／ビニルアルコール樹脂、ポリオレフィン樹脂、塩素化ポリオレフィン樹脂、変性塩素化ポリオレフィン樹脂および塩素化ポリウレタン樹脂からなる郡より用途に応じて選ばれる１種または２種以上を適宜使用することができる。
中でも柔軟性の観点からウレタン系樹脂、電子部品として用いる際の、絶縁性、耐熱性等の観点からエポキシ系樹脂が好適に用いられる。
なお、易変形性凝集体（Ｄ）を構成する有機結着剤（Ｂ）は、易変形性を確保するために、非硬化性であることが好ましい。しかし、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）や熱伝導性部材（Ｈ）に含まれるバインダー樹脂（Ｅ）は、バインダー樹脂（Ｅ）自体硬化するか、もしくは適当な硬化剤との反応により硬化するものを用いることができる。
また、バインダー樹脂（Ｅ）は非水溶性樹脂であることが好ましい。ここでいう非水溶性とは、樹脂１ｇを水１００ｇに入れ、２５℃で２４時間撹拌したときに、目視で沈殿が確認されることをいい、具体的には、前記有機結着剤（Ｂ）における水溶性樹脂以外のものが挙げられる。
バインダー樹脂（Ｅ）は非水溶性樹脂であると、後述の熱伝導性部材（Ｉ）に接着性を付与する場合に好ましい。
バインダー樹脂（Ｅ）は非水溶性樹脂であると、後述の熱伝導性部材（Ｉ）に接着性を付与する場合に好ましい。
（溶剤（Ｆ））
溶剤（Ｆ）は、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）中に易変形性凝集体（Ｄ）及びバインダー樹脂（Ｅ）を均一に分散させるために用いられる。
溶剤（Ｆ）は、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）中に易変形性凝集体（Ｄ）及びバインダー樹脂（Ｅ）を均一に分散させるために用いられる。
用いられる溶剤（Ｆ）は、バインダー樹脂（Ｅ）を溶解し得るものであって、易変形性凝集体（Ｄ）を構成する有機結着剤（Ｂ）を溶解しないものを適宜選択することが重要である。熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を得る際、有機結着剤（Ｂ）を溶解してしまう溶剤（Ｆ）を用いると、易変形性凝集体（Ｄ）の凝集状態を保持できなくなる。
例えば、有機結着剤（Ｂ）としてポリビニルアルコールやポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂を選択した場合には、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を得る際の溶剤（Ｆ）として、トルエンやキシレン等の非水性溶剤を選択すれば良い。
有機結着剤（Ｂ）としてフェノキシ樹脂や石油樹脂等の非水溶性樹脂を選択した場合には、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を得る際の溶剤（Ｆ）として、水やアルコール等の水性溶剤を選択すれば良い。
なお、ここでいう「不溶」とは、有機結着剤（Ｂ）１ｇを、溶剤（Ｆ）１００ｇに入れ、２５℃で２４時間攪拌し、目視で沈殿が確認されることとする。
例えば、有機結着剤（Ｂ）としてポリビニルアルコールやポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂を選択した場合には、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を得る際の溶剤（Ｆ）として、トルエンやキシレン等の非水性溶剤を選択すれば良い。
有機結着剤（Ｂ）としてフェノキシ樹脂や石油樹脂等の非水溶性樹脂を選択した場合には、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を得る際の溶剤（Ｆ）として、水やアルコール等の水性溶剤を選択すれば良い。
なお、ここでいう「不溶」とは、有機結着剤（Ｂ）１ｇを、溶剤（Ｆ）１００ｇに入れ、２５℃で２４時間攪拌し、目視で沈殿が確認されることとする。
熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）中の易変形性凝集体（Ｄ）の含有量は、目標とする熱伝導性、用途に応じて適宜選択することができるが、高熱伝導性を得るためには、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）の固形分を基準として、２０〜９０体積％であることが好ましい。さらに好ましくは３０〜８０体積％の範囲であることが好ましい。２０体積％未満の含有量だと、易変形性凝集体（Ｄ）の添加効果が薄く十分な熱伝導性が得られない。一方、９０体積％を越えると相対的にバインダー樹脂（Ｅ）の含有量が少なくなり、形成される熱伝導性部材（Ｈ）や熱伝導性部材（Ｉ）が脆くなったり、熱伝導性部材（Ｉ）内に空隙が出来るおそれがあり、熱伝導性部材（Ｉ）を使用している間に熱伝導性が徐々に低下する可能性がある。ここでいう体積％とは、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）中の固形分に対する熱伝導性粒子（Ａ）、有機結着剤（Ｂ）、バインダー樹脂（Ｅ）の重量比と比重をもとに計算した理論値を示す。比重の値は、特に断りのない限り２５℃における値を使用した。
易変形性凝集体（Ｄ）は、１種を単独で用いることも、平均粒子径の異なるものや、構成する熱伝導性粒子（Ａ）の種類や平均一次粒子径の異なるものや、構成する有機結着剤（Ｂ）の種類や量の異なるものを、複数併用しても良い。
また、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、さらに凝集していない熱伝導性粒子も併用することができる。凝集していない熱伝導性粒子も併用することにより、易変形性凝集体（Ｄ）間の隙間を埋めたり、易変形性凝集体（Ｄ）が変形する際、隙間が生じた場合、熱伝導性粒子（Ａ）間の隙間を埋めたりし、更なる熱伝導性の向上効果が期待できる。
併用し得る熱伝導性粒子としては、例えば熱伝導性粒子（Ａ）として例示したものが挙げられる。
併用し得る熱伝導性粒子としては、例えば熱伝導性粒子（Ａ）として例示したものが挙げられる。
また、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、さらに必要に応じて、難燃剤等、その他充填剤を添加しても良い。
難燃剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等が挙げられる。
難燃剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等が挙げられる。
熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、易変形性凝集体（Ｄ）と、バインダー樹脂（Ｅ）と、必要に応じて溶剤（Ｆ）とを撹拌混合することで製造することが好ましい。撹拌混合には一般的な撹拌方法を用いることができ、例えば、スキャンデックス、ペイントコンディショナー、サンドミル、らいかい機、メディアレス分散機、三本ロール、ビーズミル等が挙げられ、これらを組み合わせて行うことができる。
撹拌混合後は、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から気泡を除去するために、脱泡工程を経ることが好ましい。脱泡の方法については特に限定されず、一般的な手法を用いて行うことができるが、例えば、真空脱泡、超音波脱泡等が挙げられる。
熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）には、必要に応じて各種添加剤を加えることができる。各種添加剤としては、例えば、基材密着性を高めるためのカップリング剤、吸湿時の絶縁信頼性を高めるためのイオン捕捉剤、レベリング剤等が挙げられる。これらは１種を用いてもよいし、複数種を併用することもできる。
＜熱伝導性部材（Ｈ）および熱伝導性部材（Ｉ）＞
熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から溶剤（Ｆ）を除去し、熱伝導性前駆部材（Ｈ）を得ることができる。次いで、前記熱伝導性前駆部材（Ｈ）に圧力を加え、含まれている易変形性凝集体（Ｄ）を変形させることによって、前記熱伝導性前駆部材（Ｈ）の熱伝導性を向上させた高熱伝導性部材（Ｉ）を得ることができる。
例えば、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を用いて、接着性や粘着性のある熱伝導性シート（熱伝導性前駆部材（Ｈ））を得、放熱対象の物品と放熱部材との間に前記熱伝導性シートを挟み圧力を加えることによって、放熱対象の物品と放熱部材とを貼り合わせると共に、前記熱伝導性シートの熱伝導性を向上させた高熱伝導性部材（Ｉ）とし、放熱対象の物品の熱を効率良く放熱部材に伝えることができる。
また、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から接着性や粘着性のない熱伝導性シート（熱伝導性前駆部材（Ｈ））を得、前述の接着性や粘着性のある熱伝導性シートの代わりに用いることによって、放熱対象の物品の熱を効率良く放熱部材に伝えることができる。
熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から溶剤（Ｆ）を除去し、熱伝導性前駆部材（Ｈ）を得ることができる。次いで、前記熱伝導性前駆部材（Ｈ）に圧力を加え、含まれている易変形性凝集体（Ｄ）を変形させることによって、前記熱伝導性前駆部材（Ｈ）の熱伝導性を向上させた高熱伝導性部材（Ｉ）を得ることができる。
例えば、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を用いて、接着性や粘着性のある熱伝導性シート（熱伝導性前駆部材（Ｈ））を得、放熱対象の物品と放熱部材との間に前記熱伝導性シートを挟み圧力を加えることによって、放熱対象の物品と放熱部材とを貼り合わせると共に、前記熱伝導性シートの熱伝導性を向上させた高熱伝導性部材（Ｉ）とし、放熱対象の物品の熱を効率良く放熱部材に伝えることができる。
また、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から接着性や粘着性のない熱伝導性シート（熱伝導性前駆部材（Ｈ））を得、前述の接着性や粘着性のある熱伝導性シートの代わりに用いることによって、放熱対象の物品の熱を効率良く放熱部材に伝えることができる。
あるいは、易変形性凝集体（Ｄ）とバインダー樹脂（Ｅ）とを含有する熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を得、前記熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）に圧力を加え、含まれている易変形性凝集体（Ｄ）を変形させることによって、高熱伝導性部材（Ｉ）を得ることもできる。
例えば、圧力を加え、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から熱伝導性シート等（高熱伝導性部材（Ｉ））を得ることができる。
例えば、圧力を加え、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から熱伝導性シート等（高熱伝導性部材（Ｉ））を得ることができる。
放熱対象の物品としては、集積回路、ＩＣチップ、ハイブリッドパッケージ、マルチモジュール、パワートランジスタやＬＥＤ用基板等の種々の電子部品が挙げられる他、建材、車両、航空機、船舶等に用いられる物品であって、熱を帯び易く、耐久性、性能劣化を防ぐためにその熱を外部に逃がす必要がある物品があげられる。
ところで、高熱伝導性を実現するためには、熱を伝えたい方向により多くの熱伝導経路を形成することが重要である。
本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は、熱伝導性粒子（Ａ）が凝集しているので、粒子間の距離が近く、熱伝導経路を予め形成しているので、効率良く熱伝導させることができる。
しかも、本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は「易変形性」であることによって、高熱伝導性を実現できる。即ち、易変形性凝集体（Ｄ）に力が加わった際に易変形性凝集体（Ｄ）は崩壊することなく、易変形性凝集体（Ｄ）内の熱伝導性粒子（Ａ）同士の密着性が向上することにより、予め形成された熱伝導経路を増強できる。あわせて、易変形性凝集体（Ｄ）を構成する熱伝導性粒子（Ａ）の位置が容易に変化できることによって、放熱対象の物品と放熱部材との間で、易変形性凝集体（Ｄ）が界面の形状に追従し、放熱対象の物品や放熱部材と熱伝導性粒子（Ａ）との接触面積が増え、熱流入面積や熱伝播経路を飛躍的に増大させることができる。
本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は、熱伝導性粒子（Ａ）が凝集しているので、粒子間の距離が近く、熱伝導経路を予め形成しているので、効率良く熱伝導させることができる。
しかも、本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は「易変形性」であることによって、高熱伝導性を実現できる。即ち、易変形性凝集体（Ｄ）に力が加わった際に易変形性凝集体（Ｄ）は崩壊することなく、易変形性凝集体（Ｄ）内の熱伝導性粒子（Ａ）同士の密着性が向上することにより、予め形成された熱伝導経路を増強できる。あわせて、易変形性凝集体（Ｄ）を構成する熱伝導性粒子（Ａ）の位置が容易に変化できることによって、放熱対象の物品と放熱部材との間で、易変形性凝集体（Ｄ）が界面の形状に追従し、放熱対象の物品や放熱部材と熱伝導性粒子（Ａ）との接触面積が増え、熱流入面積や熱伝播経路を飛躍的に増大させることができる。
このとき、効率良く熱を伝えるには、易変形性凝集体（Ｄ）間の接触抵抗はできるだけ小さいことが好ましい。熱伝導性部材（Ｈ）の厚みに対し適切なサイズの易変形性凝集体（Ｄ）を選択することで、熱伝導性部材（Ｈ）中でのトータルの接触抵抗を小さくすることができる。具体的には、熱伝導性部材（Ｈ）の厚みに対する、易変形性凝集体（Ｄ）の平均粒子径の比率が２０％以上であることが好ましい。さらに好ましくは、５０％以上であることが好ましい。また、１００％以上であった場合も、放熱対象の物品と放熱部材との間に熱伝導性部材（Ｈ)を挟み、圧力を加え、易変形性凝集体（Ｄ)を変形させることによって、熱伝導性部材（Ｉ)を貫通するような熱伝導パスを形成することができるため、好ましい
さらに、用途に応じて厚い熱伝導性部材（Ｈ）を構築する際には、前記比率が２０％以上の熱伝導性部材（Ｈ）を構築したあとに、前記熱伝導性部材（Ｈ）を積層させて熱伝導パスを効率良く形成することも可能である。
図に基づいてさらに詳細に説明する。
図３ａは、図２に示す平均一次粒子径が１μｍの熱伝導性粒子（Ａ）を有機結着剤（Ｂ）で凝集させた、平均粒子径１０μｍの易変形性凝集体（Ｄ）を含有する熱硬化性シートの平面のＳＥＭ写真であり、図３ｂ、ｃは、前記熱硬化性シートを加圧下に熱硬化した硬化物の、それぞれ平面、断面のＳＥＭ写真である。熱硬化性シートに圧力を加えることによって、易変形性凝集体（Ｄ）内の熱伝導性粒子（Ａ）同士がより密着すると共に、熱伝導性粒子（Ａ）が硬化物の表面に多く存在し、界面の形状に追従していることが確認できる。
これに対し、図４に示されるような、凝集させていない熱伝導性粒子（Ａ）であって、その大きさが図３ａに示す易変形性凝集体（Ｄ）と同程度のものは易変形性を有さないため、熱硬化性シートの加圧の前後で上記のような変化はほとんど確認できない。
このように本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は「易変形性」であるが故に、熱伝導性に優れ、より少ない使用量でも高い熱伝導性を有する。よって、本発明の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、基材追従性および成膜性に優れる熱伝導性部材（Ｈ）および熱伝導性部材（Ｉ）を得ることができ、さらには、接着性に優れる接着シートを得ることができる。
図３ａは、図２に示す平均一次粒子径が１μｍの熱伝導性粒子（Ａ）を有機結着剤（Ｂ）で凝集させた、平均粒子径１０μｍの易変形性凝集体（Ｄ）を含有する熱硬化性シートの平面のＳＥＭ写真であり、図３ｂ、ｃは、前記熱硬化性シートを加圧下に熱硬化した硬化物の、それぞれ平面、断面のＳＥＭ写真である。熱硬化性シートに圧力を加えることによって、易変形性凝集体（Ｄ）内の熱伝導性粒子（Ａ）同士がより密着すると共に、熱伝導性粒子（Ａ）が硬化物の表面に多く存在し、界面の形状に追従していることが確認できる。
これに対し、図４に示されるような、凝集させていない熱伝導性粒子（Ａ）であって、その大きさが図３ａに示す易変形性凝集体（Ｄ）と同程度のものは易変形性を有さないため、熱硬化性シートの加圧の前後で上記のような変化はほとんど確認できない。
このように本発明の易変形性凝集体（Ｄ）は「易変形性」であるが故に、熱伝導性に優れ、より少ない使用量でも高い熱伝導性を有する。よって、本発明の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、基材追従性および成膜性に優れる熱伝導性部材（Ｈ）および熱伝導性部材（Ｉ）を得ることができ、さらには、接着性に優れる接着シートを得ることができる。
本発明の熱伝導率（Ｗ/ｍ・Ｋ）は、試料中を熱が伝導する速度を表す熱拡散率（ｍｍ2/ｓ）に測定試料の比熱容量（Ｊ/（ｇ・Ｋ））と密度（ｇ/ｃｍ3）を乗じた下記式で得ることができる。
熱伝導率（Ｗ/ｍ・Ｋ）＝熱拡散率（ｍｍ2/ｓ）×比熱容量（Ｊ/（ｇ・Ｋ））×密度（ｇ/ｃｍ3）
熱拡散率の測定は、測定サンプルの形状や目的に応じて、例えば、周期加熱法、ホットディスク法、温度波分析法、フラッシュ法等を選択することができるが、本発明では、キセノンフラッシュアナライザーＬＦＡ４４７ ＮａｎｏＦｌａｓｈ（ＮＥＴＺＳＣＨ社製)を用いたフラッシュ法で熱
拡散率を測定した。
熱伝導率（Ｗ/ｍ・Ｋ）＝熱拡散率（ｍｍ2/ｓ）×比熱容量（Ｊ/（ｇ・Ｋ））×密度（ｇ/ｃｍ3）
熱拡散率の測定は、測定サンプルの形状や目的に応じて、例えば、周期加熱法、ホットディスク法、温度波分析法、フラッシュ法等を選択することができるが、本発明では、キセノンフラッシュアナライザーＬＦＡ４４７ ＮａｎｏＦｌａｓｈ（ＮＥＴＺＳＣＨ社製)を用いたフラッシュ法で熱
拡散率を測定した。
熱伝導性部材（Ｈ）の１つとして、熱伝導性シートを例にとって説明する。
熱伝導性シートは、基材上に溶剤（Ｆ）を含有する熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を塗工・乾燥し、形成できる。なお、熱伝導性シートは熱伝導性フィルムと称されることもある。
熱伝導性シートは、基材上に溶剤（Ｆ）を含有する熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を塗工・乾燥し、形成できる。なお、熱伝導性シートは熱伝導性フィルムと称されることもある。
塗工方法としては、特に限定されず、公知の手法を用いることができ、例えば、ナイフコート、ダイコート、リップコート、ロールコート、カーテンコート、バーコート、グラビアコート、フレキソコート、ディップコート、スプレーコート、スピンコート、スクリーンコート等が挙げられる。
基材は、例えば、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリイミドフィルム等のプラスチックフィルムや、前記プラスチックフィルムに離型処理したフィルム（以下、剥離フィルムという）等を使用することができる。さらに、アルミニウム、銅、ステンレス、ベリリウム銅などの金属や、これらの合金の箔状物を基材として使用することができる。
熱伝導層の厚さは、用途に応じて適宜決定しうるが、接着シートや粘着シート等のように、熱源とヒートシンク等の間に存在し、熱を逃がすために用いられるような場合には、熱伝導性や種々の物性の観点より、通常１０〜２００μｍ、好ましくは３０〜１５０μｍとするのが良い。また、筺体のように熱源からの熱がこもらないようなパッケージとして用いられるような場合には、強度等を鑑みて２００μm以上、場合によっては１ｍｍ程度
の厚さとすることもできる。
の厚さとすることもできる。
次いで、熱伝導性シートの熱伝導層の表面に他の基材を重ね、加熱下で加圧プレスすることによって、前駆部材であった熱伝導性シートの熱伝導性を高め、熱伝導性部材（Ｉ）とすることができる。
剥離フィルムに熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を塗工・乾燥した場合には、熱伝導層の表面に他の剥離フィルムを重ね、加熱下で加圧プレスし、２枚の剥離フィルムに挟まれたシート状の熱伝導性部材（Ｉ）を得、剥離フィルムを剥がしシート状の熱伝導性部材（Ｉ）を単離できる。あるいは熱伝導層の表面に剥離フィルム以外の他の基材を重ね、加熱下で加圧プレスし、熱伝導性部材（Ｉ）を得ることもできる。
剥離フィルムに熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）を塗工・乾燥した場合には、熱伝導層の表面に他の剥離フィルムを重ね、加熱下で加圧プレスし、２枚の剥離フィルムに挟まれたシート状の熱伝導性部材（Ｉ）を得、剥離フィルムを剥がしシート状の熱伝導性部材（Ｉ）を単離できる。あるいは熱伝導層の表面に剥離フィルム以外の他の基材を重ね、加熱下で加圧プレスし、熱伝導性部材（Ｉ）を得ることもできる。
加圧プレス処理は、特に限定されず、公知のプレス処理機を使用することができる。また、プレス時の温度は適宜選択することが出来るが、熱硬化性接着シートとして使用するのであれば、バインダー樹脂（Ｅ）の熱硬化が起こる温度以上で加熱することが望ましい。
プレス時の圧力は、易変形性凝集体（Ｄ）が変形できる圧力を加えることができれば適宜選択することができるが、１ＭＰａ以上であることが好ましい。
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、以下の実施例は本発明の権利範囲を何ら制限するものではない。なお、実施例における、「部」、「％」、及び「ｖｏｌ％」は、それぞれ「重量部」、「重量％」、及び「体積％」を表し、Ｍｗは重量平均分子量を意味する。
なお、平均一次粒子径、円形度、平均粒子径、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力、崩壊しにくさ等については以下のようにして求めた。
なお、平均一次粒子径、円形度、平均粒子径、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力、崩壊しにくさ等については以下のようにして求めた。
＜平均一次粒子径＞
Malvern Instruments社製粒度分布計マスターサイザー２０００を用いて測定した。測
定条件は乾式ユニットを用いて空気圧２．５バール、また、フィード速度はサンプルにより最適化を行った。
Malvern Instruments社製粒度分布計マスターサイザー２０００を用いて測定した。測
定条件は乾式ユニットを用いて空気圧２．５バール、また、フィード速度はサンプルにより最適化を行った。
＜円形度＞
東亜医用電子（株）製フロー式粒子像分析装置ＦＰＩＥ−１０００を用いて粒子の平均円形度を測定した。具体的にはトルエン１０ｍｌに測定したい粒子約５ｍｇを分散させて分散液を調製し、超音波（２０ｋＨｚ、５０Ｗ）を分散液に５分間照射し、分散液濃度を５，０００〜２万個／μｌとして、前記装置により測定を行い、円相当径粒子群の円形度を測定し、平均円形度を求めた。
東亜医用電子（株）製フロー式粒子像分析装置ＦＰＩＥ−１０００を用いて粒子の平均円形度を測定した。具体的にはトルエン１０ｍｌに測定したい粒子約５ｍｇを分散させて分散液を調製し、超音波（２０ｋＨｚ、５０Ｗ）を分散液に５分間照射し、分散液濃度を５，０００〜２万個／μｌとして、前記装置により測定を行い、円相当径粒子群の円形度を測定し、平均円形度を求めた。
＜平均粒子径＞
Malvern Instruments社製粒度分布計マスターサイザー２０００を用いて測定した。測定
条件は乾式ユニットを用いて空気圧２．５バール、また、フィード速度はサンプルにより最適化を行った。
Malvern Instruments社製粒度分布計マスターサイザー２０００を用いて測定した。測定
条件は乾式ユニットを用いて空気圧２．５バール、また、フィード速度はサンプルにより最適化を行った。
＜圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力＞
圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力は、微小圧縮試験機（株式会社島津製作所製、ＭＣＴ−２１０）圧縮試験により粒子を１０％変形させるための荷重を測定領域内で無作為に選んだ１０個の粒子について測定し、その平均値とした。
圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力は、微小圧縮試験機（株式会社島津製作所製、ＭＣＴ−２１０）圧縮試験により粒子を１０％変形させるための荷重を測定領域内で無作為に選んだ１０個の粒子について測定し、その平均値とした。
＜崩壊しにくさ：振とう試験後の平均粒子径の維持率＞
ガラスサンプル管に易変形性凝集体（Ｄ）を空隙率７０％となるように入れ、振とう機にて２時間振とうしたのちに粒子径分布を測定し、処理後の粒子径が処理前の平均粒子径の８０％以上であることを指標とし確認した。
ガラスサンプル管に易変形性凝集体（Ｄ）を空隙率７０％となるように入れ、振とう機にて２時間振とうしたのちに粒子径分布を測定し、処理後の粒子径が処理前の平均粒子径の８０％以上であることを指標とし確認した。
＜樹脂合成例１＞
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に、テレフタル酸とアジピン酸と３−メチル−１，５−ペンタンジオールから得られるポリエステルポリオール（（株）クラレ製「クラレポリオールＰ−１０１１」、Ｍｎ＝１００６）４０１．９重量部、ジメチロールブタン酸１２．７重量部、イソホロンジイソシアネート１５１．０重量部、トルエン４０.０重量部を仕込み、窒素雰囲気下９０℃、３時間反応させ、これ
にトルエン３００．０重量部を加えてイソシアネート基を有するウレタンプレポリマー溶液を得た。
次に、イソホロンジアミン２７．８重量部、ジ−ｎ−ブチルアミン３．２重量部、２−プロパノール３４２．０重量部、トルエン３９６．０重量部を混合したものに、得られたイソシアネート基を有するウレタンプレポリマー溶液８１５．１重量部を添加し、７０℃、３時間反応させ、トルエン１４４．０重量部、２−プロパノール７２．０重量部で希釈し、Ｍｗ＝５４，０００、酸価＝８ｍｇＫＯＨ／ｇのポリウレタンポリウレア樹脂の溶液Ｅ−１を得た。
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に、テレフタル酸とアジピン酸と３−メチル−１，５−ペンタンジオールから得られるポリエステルポリオール（（株）クラレ製「クラレポリオールＰ−１０１１」、Ｍｎ＝１００６）４０１．９重量部、ジメチロールブタン酸１２．７重量部、イソホロンジイソシアネート１５１．０重量部、トルエン４０.０重量部を仕込み、窒素雰囲気下９０℃、３時間反応させ、これ
にトルエン３００．０重量部を加えてイソシアネート基を有するウレタンプレポリマー溶液を得た。
次に、イソホロンジアミン２７．８重量部、ジ−ｎ−ブチルアミン３．２重量部、２−プロパノール３４２．０重量部、トルエン３９６．０重量部を混合したものに、得られたイソシアネート基を有するウレタンプレポリマー溶液８１５．１重量部を添加し、７０℃、３時間反応させ、トルエン１４４．０重量部、２−プロパノール７２．０重量部で希釈し、Ｍｗ＝５４，０００、酸価＝８ｍｇＫＯＨ／ｇのポリウレタンポリウレア樹脂の溶液Ｅ−１を得た。
＜樹脂合成例２＞
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、導入管、窒素導入管を備えた４口フラスコに、ポリカーボネートジオール（クラレポリオール Ｃ−２０９０：株式会社クラレ製）２９２．１重量部、テトラヒドロ無水フタル酸（リカシッドＴＨ：新日本理化株式会社製）４４．９重量部、溶剤としてトルエン３５０．０重量部を仕込み、窒素気流下、攪拌しながら６０℃まで昇温し、均一に溶解させた。続いてこのフラスコを１１０℃に昇温し、３時間反応させた。その後、４０℃に冷却後、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ＹＤ−８１２５：東都化成株式会社製）６２．９重量部、触媒としてトリフェニルホスフィン４．０重量部を添加して１１０℃に昇温し、８時間反応させた。室温まで冷却後、トルエンで固形分が３５％になるように調整し、Ｍｗ＝２５０００のカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２溶液を得た。
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、導入管、窒素導入管を備えた４口フラスコに、ポリカーボネートジオール（クラレポリオール Ｃ−２０９０：株式会社クラレ製）２９２．１重量部、テトラヒドロ無水フタル酸（リカシッドＴＨ：新日本理化株式会社製）４４．９重量部、溶剤としてトルエン３５０．０重量部を仕込み、窒素気流下、攪拌しながら６０℃まで昇温し、均一に溶解させた。続いてこのフラスコを１１０℃に昇温し、３時間反応させた。その後、４０℃に冷却後、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ＹＤ−８１２５：東都化成株式会社製）６２．９重量部、触媒としてトリフェニルホスフィン４．０重量部を添加して１１０℃に昇温し、８時間反応させた。室温まで冷却後、トルエンで固形分が３５％になるように調整し、Ｍｗ＝２５０００のカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２溶液を得た。
＜樹脂合成例３＞
攪拌機、還流冷却管、窒素導入管、温度計、滴下ロートを備えた４口フラスコに、ブチルアクリレート９８．５重量部、アクリル酸１．５重量部、酢酸エチル１５０．０重量部を仕込み、窒素置換下で７０℃まで加熱し、アゾビスイソブチロニトリル０．１５重量部を添加し重合を開始した。重合開始後３時間後から1時間おきに５時間後までそれぞれアゾ
ビスイソブチロニトリル０．１５重量部を添加し更に２時間重合を行った。その後、酢酸エチル１５０．０重量部を追加して重合を終了させ、固形分２５％、Ｍｗ＝８４０００のアクリル樹脂（Ｅ−３）を得た。
攪拌機、還流冷却管、窒素導入管、温度計、滴下ロートを備えた４口フラスコに、ブチルアクリレート９８．５重量部、アクリル酸１．５重量部、酢酸エチル１５０．０重量部を仕込み、窒素置換下で７０℃まで加熱し、アゾビスイソブチロニトリル０．１５重量部を添加し重合を開始した。重合開始後３時間後から1時間おきに５時間後までそれぞれアゾ
ビスイソブチロニトリル０．１５重量部を添加し更に２時間重合を行った。その後、酢酸エチル１５０．０重量部を追加して重合を終了させ、固形分２５％、Ｍｗ＝８４０００のアクリル樹脂（Ｅ−３）を得た。
＜易変形性凝集体（Ｄ）の製造例＞
（製造例１）
アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０２」、平均一次粒子径：約１μｍ、平均円形度：０．９９）１００重量部、ポリビニルアルコールの４重量％水溶液（日本合成化学工業株式会社製「ゴーセノールＮＬ−０５」）：１２５重量部（固形分：５重量部）、及びイオン交換水：２５重量部を、ディスパーで１０００ｒｐｍ、１時間、攪拌してスラリーを得た。
このスラリーをミニスプレードライヤー（日本ビュッヒ社製「Ｂ−２９０」）にて、１２５℃雰囲気下で、噴霧乾燥し、平均粒子径約１０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．６ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ−１を得た。
（製造例１）
アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０２」、平均一次粒子径：約１μｍ、平均円形度：０．９９）１００重量部、ポリビニルアルコールの４重量％水溶液（日本合成化学工業株式会社製「ゴーセノールＮＬ−０５」）：１２５重量部（固形分：５重量部）、及びイオン交換水：２５重量部を、ディスパーで１０００ｒｐｍ、１時間、攪拌してスラリーを得た。
このスラリーをミニスプレードライヤー（日本ビュッヒ社製「Ｂ−２９０」）にて、１２５℃雰囲気下で、噴霧乾燥し、平均粒子径約１０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．６ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ−１を得た。
（製造例２）
アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ｐ０２」、平均一次粒子径：約２μｍ、平均円形度：０．９８）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．５ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９３％の易変形性凝集体Ｄ−２を得た。
アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ｐ０２」、平均一次粒子径：約２μｍ、平均円形度：０．９８）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．５ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９３％の易変形性凝集体Ｄ−２を得た。
（製造例３）
アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０９」、平均一次粒子径：約１０μｍ、平均円形度：０．９９）１００部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：１２．５重量部（固形分：０．５重量部）、及びイオン交換水：１３７．５重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約５０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約４ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９０％の易変形性凝集体Ｄ−３を得た。
アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０９」、平均一次粒子径：約１０μｍ、平均円形度：０．９９）１００部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：１２．５重量部（固形分：０．５重量部）、及びイオン交換水：１３７．５重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約５０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約４ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９０％の易変形性凝集体Ｄ−３を得た。
（製造例４）
アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０２」、平均一次粒子径：約１μｍ、平均円形度：０．９９）７０重量部、アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０９」、平均一次粒子径：約１０μｍ、平均円形度：０．９９）３０重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約３０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約１ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９５％の易変形性凝集体Ｄ−４を得た。
アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０２」、平均一次粒子径：約１μｍ、平均円形度：０．９９）７０重量部、アルミナ粒子（株式会社アドマテックス製「ＡＯ−５０９」、平均一次粒子径：約１０μｍ、平均円形度：０．９９）３０重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約３０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約１ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９５％の易変形性凝集体Ｄ−４を得た。
（製造例５）
窒化アルミニウム（株式会社トクヤマ製「Ｈグレード」、平均一次粒子径：約１μｍ、平均円形度：０．９７）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約１５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約１ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ−５を得た。
窒化アルミニウム（株式会社トクヤマ製「Ｈグレード」、平均一次粒子径：約１μｍ、平均円形度：０．９７）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約１５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約１ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ−５を得た。
（製造例６）
アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ｐ０５」、平均一次粒子径：約５μｍ、平均円形度：０．９９）１００重量部、ポリビニルピロリドンの２０重量％水溶液（株式会社日本触媒製「Ｋ−８５Ｗ」）：２５重量部（固形分：１０重量部）、及びイオン交換水：１２５重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約４０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約２ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９２％の易変形性凝集体Ｄ−６を得た。
アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ｐ０５」、平均一次粒子径：約５μｍ、平均円形度：０．９９）１００重量部、ポリビニルピロリドンの２０重量％水溶液（株式会社日本触媒製「Ｋ−８５Ｗ」）：２５重量部（固形分：１０重量部）、及びイオン交換水：１２５重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約４０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約２ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９２％の易変形性凝集体Ｄ−６を得た。
（製造例７）
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を７５０重量部（固形分：３０重量部）とし、イオン交換水を１５０重量部とした以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．７ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９８％の易変形性凝集体Ｄ−７を得た。
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を７５０重量部（固形分：３０重量部）とし、イオン交換水を１５０重量部とした以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．７ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９８％の易変形性凝集体Ｄ−７を得た。
（製造例８）
アルミナ粒子（電気化学工業株式会社製「ＡＳＦＰ−２０」、平均一次粒子径：約０．３μｍ、平均円形度：０．９９）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．２ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９８％の易変形性凝集体Ｄ−８を得た。
アルミナ粒子（電気化学工業株式会社製「ＡＳＦＰ−２０」、平均一次粒子径：約０．３μｍ、平均円形度：０．９９）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：５０重量部（固形分：２重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．２ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９８％の易変形性凝集体Ｄ−８を得た。
（製造例９）
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液の代わりに、ポリエスエテル樹脂（東洋紡績株式会社：バイロン２００）の２０重量％トルエン溶液：１０重量部（固形分：２重量部）用い、イオン交換水の代わりにトルエンを１４０重量部用い、噴霧乾燥温度を１２５℃から１４０℃に変更した以外は、製造例２と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．７ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９３％の易変形性凝集体Ｄ−９を得た。
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液の代わりに、ポリエスエテル樹脂（東洋紡績株式会社：バイロン２００）の２０重量％トルエン溶液：１０重量部（固形分：２重量部）用い、イオン交換水の代わりにトルエンを１４０重量部用い、噴霧乾燥温度を１２５℃から１４０℃に変更した以外は、製造例２と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．７ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９３％の易変形性凝集体Ｄ−９を得た。
（製造例１０）
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液の代わりに、ポリウレタン樹脂（東洋紡績株式会社：バイロンＵＲ−１４００）の２０重量％トルエン溶液：１０重量部（固形分：２重量部）用い、イオン交換水の代わりにトルエンを１４０重量部用い、噴霧乾燥温度を１２５℃から１４０℃に変更した以外は、製造例２と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．５ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９３％の易変形性凝集体Ｄ−１０を得た。
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液の代わりに、ポリウレタン樹脂（東洋紡績株式会社：バイロンＵＲ−１４００）の２０重量％トルエン溶液：１０重量部（固形分：２重量部）用い、イオン交換水の代わりにトルエンを１４０重量部用い、噴霧乾燥温度を１２５℃から１４０℃に変更した以外は、製造例２と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．５ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９３％の易変形性凝集体Ｄ−１０を得た。
（製造例１１）
製造例２と同様のスラリーを得た後、ハイスピードミキサ（株式会社アーステクニカ製「ＬＦＳ−２」）にて、撹拌下乾燥し、水分を除去し、平均粒子径約１００μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約４ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ−１１を得た。
製造例２と同様のスラリーを得た後、ハイスピードミキサ（株式会社アーステクニカ製「ＬＦＳ−２」）にて、撹拌下乾燥し、水分を除去し、平均粒子径約１００μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約４ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ−１１を得た。
（製造例１２）
アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ｐ０２」、平均一次粒子径：約２μｍ、平均円形度：０．９８）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：２５重量部（固形分：１重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約５０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．４ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９２％の易変形性凝集体Ｄ−１２を得た。
アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ｐ０２」、平均一次粒子径：約２μｍ、平均円形度：０．９８）１００重量部、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液：２５重量部（固形分：１重量部）、及びイオン交換水：１００重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約５０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．４ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９２％の易変形性凝集体Ｄ−１２を得た。
（製造例１３）
「ＣＢ−Ｐ０２」の代わりに、アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ａ２０Ｓ」、平均一次粒子径：約２０μｍ、平均円形度：０．９８、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約２２０ｍＮ）を用い、製造例２と同様にして前記アルミナ粒子に対し、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を用い、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−１３を得た。
「ＣＢ−Ｐ０２」の代わりに、アルミナ粒子（昭和電工株式会社製「ＣＢ−Ａ２０Ｓ」、平均一次粒子径：約２０μｍ、平均円形度：０．９８、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約２２０ｍＮ）を用い、製造例２と同様にして前記アルミナ粒子に対し、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を用い、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−１３を得た。
（製造例１４）
前記ポリビニルアルコールを使用せず、イオン交換水を１５０重量部とした以外は製造例１と同様にして、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−１４を得た。
前記ポリビニルアルコールを使用せず、イオン交換水を１５０重量部とした以外は製造例１と同様にして、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−１４を得た。
（製造例１５）
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を１２５０重量部（固形分：５０重量部）とし、イオン交換水を５０重量部とした以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．８ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ‘−１５を得た。
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を１２５０重量部（固形分：５０重量部）とし、イオン交換水を５０重量部とした以外は製造例１と同様にして、平均粒子径約２０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約０．８ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９７％の易変形性凝集体Ｄ‘−１５を得た。
（製造例１６）
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液の代わりに、シランカップリング剤（信越化学社製「ＫＢＭ−０４」、テトラメトキシシラン（１０重量％溶液）：２０重量部（固形分：２重量部）を用い、イオン交換水を１３０重量部とした以外は製造例１と同様にして、スラリーを得、前記スラリーを１２５℃雰囲気下、噴霧乾燥・硬化し、平均粒子径約１５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約４２ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：７５％の易変形性凝集体Ｄ’−１６を得た。
前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液の代わりに、シランカップリング剤（信越化学社製「ＫＢＭ−０４」、テトラメトキシシラン（１０重量％溶液）：２０重量部（固形分：２重量部）を用い、イオン交換水を１３０重量部とした以外は製造例１と同様にして、スラリーを得、前記スラリーを１２５℃雰囲気下、噴霧乾燥・硬化し、平均粒子径約１５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約４２ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：７５％の易変形性凝集体Ｄ’−１６を得た。
（製造例１７）
製造例１６と同様のスラリーを得、前記スラリーを、１２５℃雰囲気下で、噴霧乾燥後、アルミナの融点以上の２１００℃で焼結し、平均粒子径約１５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約２００ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９８％の易変形性凝集体Ｄ’−１７を得た。
製造例１６と同様のスラリーを得、前記スラリーを、１２５℃雰囲気下で、噴霧乾燥後、アルミナの融点以上の２１００℃で焼結し、平均粒子径約１５μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約２００ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：９８％の易変形性凝集体Ｄ’−１７を得た。
（製造例１８）
製造例３と同様のスラリーを得、前記スラリーを１２５℃雰囲気下で噴霧乾燥後、有機結着剤の分解温度以上の８００℃で加熱し、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−１８を得た。
製造例３と同様のスラリーを得、前記スラリーを１２５℃雰囲気下で噴霧乾燥後、有機結着剤の分解温度以上の８００℃で加熱し、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−１８を得た。
（製造例１９）
「ＣＢ−Ｐ０２」の代わりに、板状のアルミナ（キンセイマテック株式会社製「セラフ０５０２５」、平均円形度：０．５）を用い、製造例２と同様にして前記アルミナ粒子に対し、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を用い、平均粒子径約３０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約１５ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：５０％の易変形性凝集体Ｄ‘−１９を得た。
「ＣＢ−Ｐ０２」の代わりに、板状のアルミナ（キンセイマテック株式会社製「セラフ０５０２５」、平均円形度：０．５）を用い、製造例２と同様にして前記アルミナ粒子に対し、前記ポリビニルアルコールの４ｗｔ％水溶液を用い、平均粒子径約３０μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力：約１５ｍＮ、振とう試験後の平均粒子径の維持率：５０％の易変形性凝集体Ｄ‘−１９を得た。
（製造例２０）
アルミナ粒子（住友化学（株）製、「ＡＬ−３３」、平均一次粒子径：約１２μｍ、平均円形度：０．９）１００重量部、エポキシ樹脂組成物（ジャパンエポキシレジン（株）製、「エピコート１０１０」２重量部、及びトルエン：１４８重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−２０を得た。
アルミナ粒子（住友化学（株）製、「ＡＬ−３３」、平均一次粒子径：約１２μｍ、平均円形度：０．９）１００重量部、エポキシ樹脂組成物（ジャパンエポキシレジン（株）製、「エピコート１０１０」２重量部、及びトルエン：１４８重量部を用いた以外は製造例１と同様にして、易変形性凝集体を得ようとしたが、崩壊し易く、凝集体の態を成さない生成物Ｄ’−２０を得た。
表１に示すように、凝集体を生成するには、熱伝導性粒子（Ａ）の平均一次粒子径が１０μｍ以下であり、有機結着剤（Ｂ）を使用することが必要である。また、溶剤（Ｃ）は、有機結着剤を溶解することができればよい。また、製造例１６、１７に示すように、Ｓｉカップリング剤を有機結着剤として使用したり、アルミナの融点以上で焼結したりと、熱伝導性粒子（Ａ）同士を強固に結着させると、易変形性に乏しくなることがわかる。
＜実施例１＞
製造例１で得られた易変形性凝集体Ｄ−１（平均粒子径１０μｍ）３７．１重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３１．５重量部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製「エピコート１００１）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが５０μｍの熱伝導性部材（Ｈ−１）を得た。後述する方法にて求めた熱伝導率は３（Ｗ／ｍ・Ｋ）であった。
製造例１で得られた易変形性凝集体Ｄ−１（平均粒子径１０μｍ）３７．１重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３１．５重量部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製「エピコート１００１）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが５０μｍの熱伝導性部材（Ｈ−１）を得た。後述する方法にて求めた熱伝導率は３（Ｗ／ｍ・Ｋ）であった。
＜実施例２＞
実施例１で得られた熱伝導性部材（Ｈ−１）の熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、易変形性凝集体Ｄ−１の含有量は５０ｖｏｌ％、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−２）を得た。
実施例１で得られた熱伝導性部材（Ｈ−１）の熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、易変形性凝集体Ｄ−１の含有量は５０ｖｏｌ％、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−２）を得た。
＜実施例３＞
製造例２で得られた易変形性凝集体Ｄ−２（平均粒子径２０μｍ）４０．５重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液１８．０重量部と、硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液１．８重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール８．３重量部、トルエン３３．４重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率７０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが６５μｍ、熱伝導率３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−３）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率１０（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−３）を得た。
製造例２で得られた易変形性凝集体Ｄ−２（平均粒子径２０μｍ）４０．５重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液１８．０重量部と、硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液１．８重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール８．３重量部、トルエン３３．４重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率７０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが６５μｍ、熱伝導率３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−３）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率１０（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−３）を得た。
＜実施例４＞
製造例３で得られた易変形性凝集体Ｄ−３（平均粒子径５０μｍ）３２．４重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液５０．４重量部と硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液５．０重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率４０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが６５μｍ、熱伝導率２．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−４）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率５．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−４）を得た。
製造例３で得られた易変形性凝集体Ｄ−３（平均粒子径５０μｍ）３２．４重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液５０．４重量部と硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液５．０重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率４０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが６５μｍ、熱伝導率２．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−４）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率５．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−４）を得た。
＜実施例５＞
製造例４で得られた易変形性凝集体Ｄ−４（平均粒子径３０μｍ）３６．０重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液３６．０重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）１重量部とを混合しディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．８重量部、トルエン２３．２重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率２．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−５）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−５）を得た。
製造例４で得られた易変形性凝集体Ｄ−４（平均粒子径３０μｍ）３６．０重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液３６．０重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）１重量部とを混合しディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．８重量部、トルエン２３．２重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率２．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−５）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−５）を得た。
＜実施例６＞
製造例５で得られた易変形性凝集体Ｄ−５（平均粒子径１５μｍ）２２．８重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液６８．８重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）１．７２重量部とを混合しディスパー撹拌し、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）１１．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率２５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−６）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率１．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−６）を得た。
製造例５で得られた易変形性凝集体Ｄ−５（平均粒子径１５μｍ）２２．８重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液６８．８重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）１．７２重量部とを混合しディスパー撹拌し、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）１１．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率２５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−６）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率１．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−６）を得た。
＜実施例７＞
製造例７で得られた易変形性凝集体Ｄ−７（平均粒子径２０μｍ）４２．３重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液１０．８重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）０．３重量部とを混合しディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール９．５重量部、トルエン３７．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率８０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−７）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率１２（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−７）を得た。
製造例７で得られた易変形性凝集体Ｄ−７（平均粒子径２０μｍ）４２．３重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液１０．８重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）０．３重量部とを混合しディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール９．５重量部、トルエン３７．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率８０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−７）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率１２（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−７）を得た。
＜実施例８＞
製造例８で得られた易変形性凝集体Ｄ−８（平均粒子径５μｍ）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製「エピコート１００１）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して異変形成凝集体の易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−８）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−８）を得た。
製造例８で得られた易変形性凝集体Ｄ−８（平均粒子径５μｍ）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製「エピコート１００１）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して異変形成凝集体の易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−８）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−８）を得た。
＜実施例９＞
製造例９で得られた易変形性凝集体Ｄ−９（平均粒子径２０μｍ）３８．３重量部と、水系エマルジョン樹脂（ポリゾールＡＸ−５９０、昭和電工株式会社製、固形分４９％）１３．８重量部とを混合しディスパー撹拌し、水４８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率１．２（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−９）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−９）を得た。
製造例９で得られた易変形性凝集体Ｄ−９（平均粒子径２０μｍ）３８．３重量部と、水系エマルジョン樹脂（ポリゾールＡＸ−５９０、昭和電工株式会社製、固形分４９％）１３．８重量部とを混合しディスパー撹拌し、水４８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率１．２（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−９）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−９）を得た。
＜実施例１０＞
製造例１０で得られた易変形性凝集体Ｄ−１０（平均粒子径２０μｍ）３６．０重量部と、水系エマルジョン樹脂（ポリゾールＡＤ−１１、昭和電工株式会社製、固形分５５％）１６．４重量部とを混合しディスパー撹拌し、水４７．６重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１０）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１０）を得た。
製造例１０で得られた易変形性凝集体Ｄ−１０（平均粒子径２０μｍ）３６．０重量部と、水系エマルジョン樹脂（ポリゾールＡＤ−１１、昭和電工株式会社製、固形分５５％）１６．４重量部とを混合しディスパー撹拌し、水４７．６重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１０）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１０）を得た。
＜実施例１１＞
製造例１で得られた易変形性凝集体Ｄ−1（平均粒子径１０μｍ）７．４重量部と、平均
一次粒子径が２０μｍの球状アルミナ（昭和電工株式会社製、ＣＢ−Ａ２０Ｓ）２９．７重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液３１．５重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製「エピコート１００１）の５０％ＭＥＫ溶液３．２重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール０．４重量部、トルエン１．６重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１１）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１１）を得た。
製造例１で得られた易変形性凝集体Ｄ−1（平均粒子径１０μｍ）７．４重量部と、平均
一次粒子径が２０μｍの球状アルミナ（昭和電工株式会社製、ＣＢ−Ａ２０Ｓ）２９．７重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液３１．５重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製「エピコート１００１）の５０％ＭＥＫ溶液３．２重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール０．４重量部、トルエン１．６重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１１）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１１）を得た。
＜実施例１２＞
製造例２で得られた易変形性凝集体Ｄ−２（平均粒子径２０μｍ）１９．２重量部と、平均一次粒子径が１０μｍの球状アルミナ（アドマテックス株式会社製、ＡＯ−５０９）１９．２重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２６．１重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）２．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール３．３重量部、トルエン１３．２重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１２）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率７．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１２）を得た。
製造例２で得られた易変形性凝集体Ｄ−２（平均粒子径２０μｍ）１９．２重量部と、平均一次粒子径が１０μｍの球状アルミナ（アドマテックス株式会社製、ＡＯ−５０９）１９．２重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２６．１重量部と、熱硬化助剤としてケミタイトＰＺ（株式会社日本触媒製）２．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール３．３重量部、トルエン１３．２重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率２．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１２）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率７．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１２）を得た。
＜実施例１３＞
製造例２で得られた易変形性凝集体Ｄ−２（平均粒子径２０μｍ）３４．０重量部、樹脂合成例３で得られたアクリル樹脂Ｅ−３の２５％酢酸エチル溶液６４．０重量部と、硬化剤としてエポキシ系硬化剤テトラッドＸ（三菱ガス化学株式会社製）０．８重量部とをディスパー撹拌し、トルエン２．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率３５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、剥離処理されたポリエステルフィルム上に均一に塗工して乾燥させ、厚みが５０μｍの接着性の熱伝導性部材（Ｈ−１３）を設けた。次に、剥離処理された別のポリエステルフィルムを粘着剤層側にラミネートし、粘着シートを得た。この熱伝導性部材（Ｈ−１３）の熱伝導率は２（Ｗ／ｍ・Ｋ）であった。
製造例２で得られた易変形性凝集体Ｄ−２（平均粒子径２０μｍ）３４．０重量部、樹脂合成例３で得られたアクリル樹脂Ｅ−３の２５％酢酸エチル溶液６４．０重量部と、硬化剤としてエポキシ系硬化剤テトラッドＸ（三菱ガス化学株式会社製）０．８重量部とをディスパー撹拌し、トルエン２．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率３５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、剥離処理されたポリエステルフィルム上に均一に塗工して乾燥させ、厚みが５０μｍの接着性の熱伝導性部材（Ｈ−１３）を設けた。次に、剥離処理された別のポリエステルフィルムを粘着剤層側にラミネートし、粘着シートを得た。この熱伝導性部材（Ｈ−１３）の熱伝導率は２（Ｗ／ｍ・Ｋ）であった。
＜実施例１４＞
製造例６で得られた易変形性凝集体Ｄ−６（平均粒子径４０μｍ）６１．６重量部とポリエステルウレタン樹脂バイロンＵＲ６１００（東洋紡績株式会社製）１８．７重量部、硬化剤として硬化剤としてエポキシ系硬化剤テトラッドＸ（三菱ガス化学株式会社製）０．０８重量部とをディスパー撹拌し、トルエン２０．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率６５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが１１０μｍ、熱伝導率２．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１４）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが１００μｍ、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１４）を得た。
＜実施例１５＞
製造例１１で得られた易変形性凝集体Ｄ−１1（平均粒子径１００μｍ）３７．１重量
部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３１．５重量部と、硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率７０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが１３０μｍ、熱伝導率２．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１５）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが１２０μｍ、熱伝導率６（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１５）を得た。
製造例６で得られた易変形性凝集体Ｄ−６（平均粒子径４０μｍ）６１．６重量部とポリエステルウレタン樹脂バイロンＵＲ６１００（東洋紡績株式会社製）１８．７重量部、硬化剤として硬化剤としてエポキシ系硬化剤テトラッドＸ（三菱ガス化学株式会社製）０．０８重量部とをディスパー撹拌し、トルエン２０．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率６５ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を、実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが１１０μｍ、熱伝導率２．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１４）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが１００μｍ、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１４）を得た。
＜実施例１５＞
製造例１１で得られた易変形性凝集体Ｄ−１1（平均粒子径１００μｍ）３７．１重量
部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３１．５重量部と、硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率７０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。得られた熱伝導性樹脂組成物を実施例３と同様にして、熱伝導性層の厚みが１３０μｍ、熱伝導率２．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１５）を得、さらに同様にして、熱伝導性層の厚みが１２０μｍ、熱伝導率６（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１５）を得た。
＜実施例１６＞
製造例１２で得られた易変形性凝集体Ｄ−１２（平均粒子径５０μｍ）３７．１重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３１．５重量部と、硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１６）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１６）を得た。
製造例１２で得られた易変形性凝集体Ｄ−１２（平均粒子径５０μｍ）３７．１重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３１．５重量部と、硬化剤としてエピコート１０３１Ｓ（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．１５重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール６．５重量部、トルエン２５．８重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して易変形性凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の熱伝導性樹脂組成物を得た。
得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１６）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが４５μｍ、熱伝導率９（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１６）を得た。
＜実施例１７＞
実施例１６で得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが１００μｍ、熱伝導率２．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１７）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが９０μｍ、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１７）を得た。
実施例１６で得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが１００μｍ、熱伝導率２．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１７）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが９０μｍ、熱伝導率６．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１７）を得た。
＜実施例１８＞
実施例１６で得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが３００μｍ、熱伝導率１．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１８）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが２９０μｍ、熱伝導率２．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１８）を得た。
実施例１６で得られた熱伝導性樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが３００μｍ、熱伝導率１．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ−１８）を得た。さらに、この熱伝導性層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、熱伝導性層の厚みが２９０μｍ、熱伝導率２．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｉ−１８）を得た。
＜比較例１＞
平均一次粒子径１μｍの球状の酸化アルミニウム粉末（アドマテックス株式会社製、ＡＯ-５０２）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ａ
−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して酸化アルミニウムの含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１）を得た。さらに、この塗布層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、厚みが４５μｍのシートを得た。このシートの熱伝導率は０．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）と低いものであった。
平均一次粒子径１μｍの球状の酸化アルミニウム粉末（アドマテックス株式会社製、ＡＯ-５０２）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ａ
−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して酸化アルミニウムの含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、コンマコーターを用いて剥離処理シート（厚さ７５μｍの離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム）に塗工し、１００℃で２分加熱乾燥し、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１）を得た。さらに、この塗布層に剥離処理シートを重ね、１５０℃、２ＭＰａで１時間プレスして、厚みが４５μｍのシートを得た。このシートの熱伝導率は０．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）と低いものであった。
＜比較例２＞
平均一次粒子径２０μｍの球状の酸化アルミニウム粉末（昭和電工株式会社製、ＣＢ−Ａ２０Ｓ）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して酸化アルミニウムの含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−２）を得、さらに同様にして、厚みが４５μｍ、熱伝導率が０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
平均一次粒子径２０μｍの球状の酸化アルミニウム粉末（昭和電工株式会社製、ＣＢ−Ａ２０Ｓ）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して酸化アルミニウムの含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−２）を得、さらに同様にして、厚みが４５μｍ、熱伝導率が０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例３＞
製造例１３で作製したＤ’−１３（凝集体を生成できず）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−３）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例１３で作製したＤ’−１３（凝集体を生成できず）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−３）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例４＞
製造例１４で作製したＤ’−１４（凝集体を生成できず）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−４）を得、さらに同様にして、厚みが４５μｍ、熱伝導率が０．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例１４で作製したＤ’−１４（凝集体を生成できず）３６．０重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液３６．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液３．６重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール５．７重量部、トルエン２２．７重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率５０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが５０μｍ、熱伝導率０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−４）を得、さらに同様にして、厚みが４５μｍ、熱伝導率が０．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例５＞
製造例１５で得られた凝集体Ｄ’−１５（平均粒子径２０μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−５）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例１５で得られた凝集体Ｄ’−１５（平均粒子径２０μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−５）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例６＞
製造例１６で得られた凝集体Ｄ’−１６（平均粒子径１５μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．２（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−６）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
また、このシートは粒子が破砕したことに起因するクラックが多く見られた。
製造例１６で得られた凝集体Ｄ’−１６（平均粒子径１５μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．２（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−６）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．４（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
また、このシートは粒子が破砕したことに起因するクラックが多く見られた。
＜比較例７＞
製造例１７で得られた凝集体Ｄ’−１７（平均粒子径１５μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−７）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例１７で得られた凝集体Ｄ’−１７（平均粒子径１５μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−７）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例８＞
製造例１８で作製したＤ’−１８（凝集体を生成できず）３８．３重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−８）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例１８で作製したＤ’−１８（凝集体を生成できず）３８．３重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−８）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例９＞
製造例１９で得られた凝集体Ｄ’−１９（平均粒子径３０μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−９）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例１９で得られた凝集体Ｄ’−１９（平均粒子径３０μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−９）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例１０＞
製造例２０で作製したＤ’−２０（凝集体を生成できず）３８．３重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１０）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例２０で作製したＤ’−２０（凝集体を生成できず）３８．３重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して非凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが６０μｍ、熱伝導率０．７（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１０）を得、さらに同様にして、厚みが５０μｍ、熱伝導率が０．９（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例１１＞
製造例１で得られた凝集体Ｄ−１（平均粒子径１０μｍ）１４．４重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液８２．６重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液８．３重量部とをディスパー撹拌し、ＭＥＫ６．６重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率１５ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率０．１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１１）を得、さらに同様にして、厚みが３５μｍ、熱伝導率が０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
製造例１で得られた凝集体Ｄ−１（平均粒子径１０μｍ）１４．４重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液８２．６重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液８．３重量部とをディスパー撹拌し、ＭＥＫ６．６重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率１５ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率０．１（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１１）を得、さらに同様にして、厚みが３５μｍ、熱伝導率が０．３（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜比較例１２＞
製造例１で得られた凝集体Ｄ−１（平均粒子径１０μｍ）４４．０重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液４．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液０．４重量部とをディスパー撹拌し、ＭＥＫ５２．１重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率９２ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、シート状熱伝導性部材を作製しようとしたが、膜を成さなかった。
製造例１で得られた凝集体Ｄ−１（平均粒子径１０μｍ）４４．０重量部と、樹脂合成例２で得られたカルボキシル基含有変性エステル樹脂Ｅ−２の２５％トルエン溶液４．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液０．４重量部とをディスパー撹拌し、ＭＥＫ５２．１重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率９２ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、シート状熱伝導性部材を作製しようとしたが、膜を成さなかった。
＜比較例１３＞
実施例１０で得られた易変形性凝集体Ｄ−１０（平均粒子径２０μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１３）を得、さらに同様にして、厚みが３５μｍ、熱伝導率が０．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
実施例１０で得られた易変形性凝集体Ｄ−１０（平均粒子径２０μｍ）３８．３重量部と、樹脂合成例１で得られたポリウレタンポリウレア樹脂Ｅ−１の２５％トルエン／２−プロパノール溶液２７．０重量部と、硬化剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂エピコート１００１（ジャパンエポキシレジン（株）製）の５０％ＭＥＫ溶液２．７重量部とをディスパー撹拌し、イソプロピルアルコール７．０重量部、トルエン２８．０重量部で粘度を調整した後、超音波脱泡して凝集体の含有率６０ｖｏｌ％の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、比較例１と同様にして、熱伝導性層の厚みが４０μｍ、熱伝導率０．５（Ｗ／ｍ・Ｋ）の熱伝導性部材（Ｈ’−１３）を得、さらに同様にして、厚みが３５μｍ、熱伝導率が０．８（Ｗ／ｍ・Ｋ）のシートを得た。
＜熱伝導率の測定方法＞
サンプル試料を１５ｍｍ角に切り出し、サンプル表面を金蒸着しカーボンスプレーでカーボン被覆した後、キセノンフラッシュアナライザーＬＦＡ４４７ ＮａｎｏＦｌａｓｈ（ＮＥＴＺＳＣＨ社製)にて
、試料環境25℃での熱拡散率を測定した。また、比熱容量はエスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製の高感度型示差走査熱量計ＤＳＣ２２０Ｃを用いて測定した。さらに、密度は水中置換法を用いて算出した。
サンプル試料を１５ｍｍ角に切り出し、サンプル表面を金蒸着しカーボンスプレーでカーボン被覆した後、キセノンフラッシュアナライザーＬＦＡ４４７ ＮａｎｏＦｌａｓｈ（ＮＥＴＺＳＣＨ社製)にて
、試料環境25℃での熱拡散率を測定した。また、比熱容量はエスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製の高感度型示差走査熱量計ＤＳＣ２２０Ｃを用いて測定した。さらに、密度は水中置換法を用いて算出した。
表２の溶剤（Ｆ）は、追加した溶剤のみ記載した。また、表中の略語は下記の通りである。
Ｔｏｌ：トルエン
ＩＰＡ：イソプロピルアルコール
ＭＥＫ：メチルエチルケトン
Ｔｏｌ：トルエン
ＩＰＡ：イソプロピルアルコール
ＭＥＫ：メチルエチルケトン
表２に示すように、本発明の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）は、熱伝導率に優れた熱伝導性部材（Ｉ）を提供する。比較例１、２、３、４、８、１０に示すように、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）中に、易変形性凝集体（Ｄ）を含まない樹脂組成物では、十分な熱伝導率を発現できない。また、比較例１３に示すように、易変形性凝集体（Ｄ）を構成する有機結着剤（Ｂ）が、溶剤（Ｆ）に溶解してしまうと、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）の作製中に、易変形性凝集体（Ｄ）が崩れてしまう。そのため、十分な熱伝導率を発現できない。
Claims (8)
- 易変形性凝集体（Ｄ）２０〜９０体積％とバインダー樹脂（Ｅ）１０〜８０体積％と前記バインダー樹脂（Ｅ）を溶解する溶剤（Ｆ）とを含有する熱伝導性樹脂組成物であって、
前記易変形性凝集体（Ｄ）が、平均一次粒子径が０．１〜１０μｍの球状の熱伝導性粒子（Ａ）１００重量部と、有機結着剤（Ｂ）０．１〜３０重量部とを含む、平均粒子径が２〜１００μｍ、圧縮変形率１０％に要する平均圧縮力が５ｍＮ以下であり、
前記易変形性凝集体（Ｄ）を構成する前記有機結着剤（Ｂ）が、前記溶剤（Ｆ）に溶解しない、熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）。 - 熱伝導性粒子（Ａ）が、酸化アルミニウム及び窒化アルミニウムからなる群より選ばれる、請求項１記載の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）。
- 易変形性凝集体（Ｄ）を構成する有機結着剤（Ｂ）が水溶性樹脂であり、バインダー樹脂（Ｅ）が非水溶性樹脂である、請求項１又は記載の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）。
- 請求項１〜３いずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から溶剤（Ｆ）が除去されてなる、熱伝導性部材（Ｈ）。
- 熱伝導性部材（Ｈ）の厚みに対する、易変形性凝集体（Ｄ）の平均粒子径の比率が２０％以上であることを特徴とする、請求項４記載の熱伝導性部材（Ｈ）。
- 請求項４または５記載の熱伝導性部材（Ｈ）を加圧してなる、熱伝導性部材（Ｉ）。
- 請求項１〜３いずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物（Ｇ）から溶剤（Ｆ）を除去し、熱伝導性部材（Ｈ）を形成し、
次いで、前記熱伝導性部材（Ｈ）を加圧する、ことを特徴とする、
熱伝導性部材（Ｉ）の製造方法。 - 剥離フィルムと、請求項４に記載の熱伝導性部材（Ｈ）を具備する熱伝導性接着シート。
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