JP6129666B2 - 気相成長装置及び気相成長用加熱装置 - Google Patents
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Description
基板の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように前記基板を支持する盤状のサセプタと、
前記サセプタの一方の面に対して対向する位置に配置され、前記サセプタを加熱するヒータと、
前記ヒータを覆うヒータケースと、
前記ヒータケースを支持する複数の支持部と、
を備え、
前記ヒータケースは、前記ヒータと対向して配置された面状の対向部を有し、
前記対向部には、前記複数の支持部の各々と対応する貫通穴が形成され、
前記複数の支持部は、それぞれ対応する前記貫通穴を貫通しているとともに、前記対向部における前記貫通穴の周囲縁部を支持しており、
前記貫通穴の各々は、前記対向部の面直方向に前記ヒータケースを見たときの前記ヒータケースの外形線上の一点から、前記外形線に囲まれる形状の重心へ向かう方向へと、前記支持部が相対的に移動することを許容する形状に形成されている気相成長装置を提供する。
ヒータと、
前記ヒータを覆うヒータケースと、
前記ヒータケースを支持する複数の支持部と、
を備え、
前記ヒータケースは、前記ヒータと対向して配置された面状の対向部を有し、
前記対向部には、前記複数の支持部の各々と対応する貫通穴が形成され、
前記複数の支持部は、それぞれ対応する前記貫通穴を貫通しているとともに、前記対向部における前記貫通穴の周囲縁部を支持しており、
前記貫通穴の各々は、前記対向部の面直方向に前記ヒータケースを見たときの前記ヒータケースの外形線上の一点から、前記外形線に囲まれる形状の重心へ向かう方向へと、前記支持部が相対的に移動することを許容する形状に形成されている気相成長用加熱装置を提供する。
すなわち、気相成長用加熱装置150は、ヒータ10と、ヒータ10を覆うヒータケース80と、ヒータケース80を支持する複数の支持部120と、を備えている。ヒータケース80は、ヒータ10と対向して配置された面状の対向部(例えば底板部81)を有し、対向部には、複数の支持部120の各々と対応する貫通穴84が形成されている。複数の支持部120は、それぞれ対応する貫通穴84を貫通しているとともに、対向部における貫通穴84の周囲縁部を支持している。貫通穴84の各々は、対向部の面直方向にヒータケース80を見たときのヒータケース80の外形線上の一点から、この外形線に囲まれる形状の重心Gへ向かう方向へと、支持部120が相対的に移動することを許容する形状に形成されている。
11 第1部分
12 第2部分
13 第3部分
15 止着部材
19 固定穴
20 反射板
30 サセプタ
31 基板載置用ポケット
41 棒状電極
41a 止着穴
50 基板
60 回転軸部
70 電力供給部
80 ヒータケース
81 底板部(対向部)
82 外周壁部
83 内周壁部
83a 回転軸挿通穴
84(84a、84b、84c) 貫通穴
85 電極挿通穴
86 絶縁部材
86a 挿通穴
86b フランジ部
86c 筒状部
87 ナット
88 ナット
89 連結部材
90 金属棒
100 気相成長装置
110 チャンバ
111、112 原料ガス供給配管
113 ガス分散部材
113a ガス導出口
114 排気管
120 支持部
121 本体部
122 絶縁部
122a 挿通穴
123 第2絶縁部
124 第3絶縁部
125 絶縁部材
125a 挿通穴
125b 座繰り部
130 固定ネジ(固定部)
131 軸部
132 頭部
150 気相成長用加熱装置
Claims (8)
- 基板の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように前記基板を支持する盤状のサセプタと、
前記サセプタの一方の面に対して対向する位置に配置され、前記サセプタを加熱するヒータと、
前記ヒータを覆うヒータケースと、
前記ヒータケースを支持する複数の支持部と、
を備え、
前記ヒータケースは、前記ヒータと対向して配置された面状の対向部を有し、
前記対向部には、前記複数の支持部の各々と対応する貫通穴が形成され、
前記複数の支持部は、それぞれ対応する前記貫通穴を貫通しているとともに、前記対向部における前記貫通穴の周囲縁部を支持しており、
前記貫通穴の各々は、前記対向部の面直方向に前記ヒータケースを見たときの前記ヒータケースの外形線上の一点から、前記外形線に囲まれる形状の重心へ向かう方向へと、前記支持部が相対的に移動することを許容する形状に形成されている気相成長装置。 - 少なくとも2つの前記貫通穴の各々は、前記対向部の面直方向に前記ヒータケースを見たときの前記ヒータケースの外形線上の互いに異なる一点から、前記外形線に囲まれる形状の重心へ向かう方向において、長尺に形成された長穴であり、それぞれ対応する前記支持部を前記方向にガイド可能である請求項1に記載の気相成長装置。
- 前記ヒータケースは金属からなり、
前記支持部は、絶縁材料からなり前記ヒータケースを支持する絶縁部を有する請求項1又は2に記載の気相成長装置。 - 前記支持部は、
柱状の本体部と、
前記対向部を挟んで前記絶縁部とは反対側に配置された第2絶縁部と、
前記第2絶縁部と前記絶縁部との間に挟まれているとともに、前記貫通穴を貫通して配置されている第3絶縁部と、
前記絶縁部、前記第2絶縁部及び前記第3絶縁部を前記本体部に対して固定する固定部と、
を有し、
前記第3絶縁部は、前記第2絶縁部と前記絶縁部との間隔を前記対向部の厚みよりも大きい間隔に維持させるスペーサを兼ねている請求項3に記載の気相成長装置。 - 前記第2絶縁部と前記第3絶縁部とは、互いに一体形成されている請求項4に記載の気相成長装置。
- 前記固定部は、前記本体部に螺入される軸部と、前記軸部の一端に形成された頭部とを有する雄ネジであり、
前記絶縁部は平板なワッシャ形状に形成され、
前記第2絶縁部には、前記頭部を収容する座繰り部が形成されている請求項4又は5に記載の気相成長装置。 - 前記対向部の面直方向に前記ヒータおよび前記ヒータケースを見たとき、前記ヒータケースの外形形状と前記ヒータの外形形状とは、互いに相似形であり、且つ、前記ヒータケースの外形形状における重心と前記ヒータの外形形状における重心が一致している請求項1乃至6の何れか一項に記載の気相成長装置。
- ヒータと、
前記ヒータを覆うヒータケースと、
前記ヒータケースを支持する複数の支持部と、
を備え、
前記ヒータケースは、前記ヒータと対向して配置された面状の対向部を有し、
前記対向部には、前記複数の支持部の各々と対応する貫通穴が形成され、
前記複数の支持部は、それぞれ対応する前記貫通穴を貫通しているとともに、前記対向部における前記貫通穴の周囲縁部を支持しており、
前記貫通穴の各々は、前記対向部の面直方向に前記ヒータケースを見たときの前記ヒータケースの外形線上の一点から、前記外形線に囲まれる形状の重心へ向かう方向へと、前記支持部が相対的に移動することを許容する形状に形成されている気相成長用加熱装置。
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