JP6119138B2 - 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法 - Google Patents

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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6738588B2 (ja) * 2014-09-02 2020-08-12 セイコーエプソン株式会社 発振器、電子機器、および移動体
KR20160032600A (ko) 2014-09-16 2016-03-24 삼성전기주식회사 압전 진동편, 그 제조방법 및 압전 진동자
JP5908630B2 (ja) * 2015-03-17 2016-04-26 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の製造方法
JP6371733B2 (ja) 2015-04-02 2018-08-08 日本電波工業株式会社 Ａｔカット水晶片及び水晶振動子
JP6624803B2 (ja) 2015-04-15 2019-12-25 日本電波工業株式会社 Ａｔカット水晶片及び水晶振動子
JP6570388B2 (ja) * 2015-09-18 2019-09-04 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
JP6555779B2 (ja) 2015-12-28 2019-08-07 日本電波工業株式会社 Ａｔカット水晶片及び水晶振動子
JP6745883B2 (ja) 2016-07-28 2020-08-26 京セラ株式会社 水晶振動素子、水晶振動デバイスおよび水晶振動素子の製造方法
JP6797764B2 (ja) * 2017-08-09 2020-12-09 日本電波工業株式会社 水晶振動子およびその製造方法
WO2019059055A1 (ja) * 2017-09-22 2019-03-28 株式会社村田製作所 水晶振動子
JP6987589B2 (ja) * 2017-10-02 2022-01-05 京セラ株式会社 水晶振動子
JP6516891B2 (ja) * 2018-03-08 2019-05-22 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、および圧電振動子
JP7423231B2 (ja) * 2019-09-19 2024-01-29 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電振動子

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5349985A (en) * 1976-10-18 1978-05-06 Seiko Epson Corp Crystal oscillator
JPH04127709A (ja) * 1990-09-19 1992-04-28 Seiko Epson Corp Ａｔカット水晶振動子
JPH10107580A (ja) * 1996-09-25 1998-04-24 Daishinku Co 厚みすべり水晶振動板
JP4825952B2 (ja) * 2005-11-04 2011-11-30 セイコーエプソン株式会社 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス
JP4305542B2 (ja) * 2006-08-09 2009-07-29 エプソントヨコム株式会社 Ａｔカット水晶振動片及びその製造方法
JP4623321B2 (ja) * 2007-12-03 2011-02-02 セイコーエプソン株式会社 水晶ブランクの製造方法及び、水晶ブランクを利用した水晶振動子の製造方法
JP5228948B2 (ja) * 2009-01-30 2013-07-03 株式会社大真空 圧電振動デバイス
JP5507298B2 (ja) * 2010-03-12 2014-05-28 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 水晶振動板の製造方法
JP5505647B2 (ja) * 2010-11-19 2014-05-28 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子

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