JP6110907B2 - 音響波プローブ用組成物、これを用いた音響波プローブ用シリコーン樹脂、音響波プローブおよび超音波プローブ、ならびに、音響波測定装置、超音波診断装置、光音響波測定装置および超音波内視鏡 - Google Patents

Description

本発明は、音響波プローブ用組成物ならびにこれを用いた音響波プローブ用シリコーン樹脂、音響波プローブおよび超音波プローブに関する。さらに、本発明は、音響波測定装置、超音波診断装置、光音響波測定装置および超音波内視鏡に関する。

音響波測定装置においては、音響波を、対象物若しくは部位（以下、単に対象物という）に照射し、その反射波（エコー）を受信して信号を出力する音響波プローブが用いられる。この音響波プローブで受信した反射波から変換された電気信号を画像として表示する。これにより、対象物内部が映像化して観察される。

音響波としては、超音波や光音響波など、被検対象や測定条件などに応じて適切な周波数が選択される。
例えば、超音波診断装置は、被検体内部に向けて超音波を送信し、被検体内部の組織で反射された超音波を受信し、画像として表示する。光音響波測定装置は、光音響効果によって被検体内部から放射される音響波を受信し、画像として表示する。光音響効果とは、可視光、近赤外光、マイクロ波等の電磁波パルスを被検体に照射した際に、被検体が電磁波を吸収して発熱し熱膨張することにより、音響波（典型的には超音波）が発生する現象である。
音響波測定装置は、披検対象である生体との間で音響波の送受信を行うため、生体との音響インピーダンスの整合性や、音響波減衰量の低減といった要件を満たすことが求められる。

例えば、音響波プローブの一種である超音波診断装置用探触子（超音波プローブとも称される）は、超音波を送受信する圧電素子と、生体に接触する部分である音響レンズを備える。圧電素子から発振される超音波は音響レンズを透過して生体に入射される。音響レンズの音響インピーダンス（密度×音速）と生体の音響インピーダンスとの差が大きいと、超音波が生体表面で反射されるため、超音波が効率良く生体内に入射されず、高い分解能を得ることが困難である。また、超音波を高感度で送受信するためには、音響レンズの超音波減衰量は小さいことが望まれる。
このため、音響レンズの材料の１つとして、生体の音響インピーダンス（１．４〜１．７×１０^６ｋｇ／ｍ^２／ｓｅｃ）に近く、超音波減衰量の小さいシリコーン樹脂が主に用いられている。

例えば、特許文献１等においては、音響レンズ用組成物として、シリコン系ゴム（オルガノポリシロキサン）やブタジエン系ゴム等を主成分とし、シリカ等の無機充填剤を配合することが提案されている。
また、音響レンズは、被検体に当接して使用するものであるため、音響レンズには長期使用に耐え得る機械強度が求められる。そのため、特許文献２においては、音響レンズ特性（音響インピーダンス、超音波減衰量、機械強度等）を満たす音響レンズ用組成物として、シリコーンゴム、酸化イッテルビウム等の粉末およびシリカ粒子を含む組成物が提案されている。

特開２０１０−２１３９８３号公報 特開２００９−０７２６０５号公報

シリコーン樹脂は、単独では柔らかく機械強度が低い。そのため、硬度および機械強度の向上を目的として、両末端ビニルシリコーン樹脂の分子量を大きくしつつ、シリカ等の無機フィラー（無機充填剤とも称される）やビニル基含有レジン（補強剤とも称される）を配合することが行われている。しかしながら、必要とされる機械強度を達成しようとすると、シリコーン樹脂に対する無機フィラーやビニル基含有レジンの添加量は必然的に多くなり、逆に音響波減衰量の大きいシリコーン樹脂になってしまうという問題があった。
そのため、これまでのシリコーン樹脂は、高い樹脂硬度および機械強度ならびに音響波減衰量の低減の全てを高いレベルで満足することは困難であった。
従って、本発明では、上記事情に鑑みて、音響波減衰量を低く維持したまま、シリコーン樹脂の硬度および機械強度を大幅に向上させることができる音響波プローブ用組成物、これを用いた音響波プローブ用シリコーン樹脂、音響波プローブ、音響波測定装置および超音波診断装置を提供することを課題とする。

また、感度が不十分である容量性マイクロマシン超音波振動子（ｃＭＵＴ：Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒｓ）を超音波診断用トランスデューサアレイとして用いることができる超音波プローブを提供することを課題とする。また、光音響波によって発生する超音波量が僅かであるため感度が低く、人体深部の観察が困難である光音響波測定装置において、感度を向上させることが可能な、音響波プローブ用組成物および音響波プローブ用シリコーン樹脂を提供することを課題とする。またこれに加えて、信号線ケーブルが体表用と比べて長いために感度が低く、構造・物理特性・プロセス適性上感度向上が困難である超音波内視鏡において、感度を向上させることが可能な、音響波プローブ用組成物および音響波プローブ用シリコーン樹脂を提供することを課題とする。

本発明者らは、音響波プローブ用組成物用のシリコーン樹脂組成物についての検討を行った結果、音響波プローブ用組成物中に特定の平均一次粒子径のシリカ粒子（以下、単にシリカともいう）を含有させることにより、上記課題を解決できることを見出し、この知見に基づき本発明をなすに至った。

上記の課題は以下の手段により解決された。
＜１＞ビニル基を有するポリシロキサン、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンおよび平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子を含むポリシロキサン混合物を含有する音響波プローブ用組成物。
＜２＞ポリシロキサン混合物の合計１００質量部中に、平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子を０．１〜３０質量部含有する＜１＞に記載の音響波プローブ用組成物。
＜３＞ポリシロキサン混合物の合計１００質量部中に、ビニル基を有するポリシロキサンを１０〜９９．４質量部、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンを０．５〜９０質量部含有する＜１＞または＜２＞に記載の音響波プローブ用組成物。
＜４＞平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子が、シラン化合物で表面処理されたものである＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物。
＜５＞平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子が、トリメチルシリル化剤で表面処理されたものである＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物。
＜６＞ビニル基を有するポリシロキサンが、フェニル基を有する＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物。
＜７＞ビニル基を有するポリシロキサンの質量平均分子量が、１０，０００〜２００，０００である＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物。
＜８＞ビニル基を有するポリシロキサンの質量平均分子量が、３０，０００〜１５０，０００である＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物。
＜９＞分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンが、フェニル基を有する＜１＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物。
＜１０＞ポリシロキサン混合物１００質量部に対し、白金または白金化合物を０．００００１〜０．０１質量部含有する請求項＜１＞〜＜９＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物。
＜１１＞ ＜１＞〜＜１０＞のいずれか１つに記載の音響波プローブ用組成物を硬化した音響波プローブ用シリコーン樹脂。
＜１２＞ ＜１１＞に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂からなる音響レンズおよび音響整合層からなる群から選択される少なくとも１つを有する音響波プローブ。
＜１３＞超音波トランスデューサアレイとしての容量性マイクロマシン超音波振動子、および、＜１１＞に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂を含んでなる音響レンズを備える超音波プローブ。
＜１４＞ ＜１２＞に記載の音響波プローブを備える音響波測定装置。
＜１５＞ ＜１２＞に記載の音響波プローブを備える超音波診断装置。
＜１６＞ ＜１１＞に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂を含んでなる音響レンズを備える光音響波測定装置。
＜１７＞ ＜１１＞に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂を含んでなる音響レンズを備える超音波内視鏡。

本発明の説明において、特に断りがない限り、化合物を示す一般式に複数の同一符号の基が存在する場合、これらは互いに同一であっても異なってもよく、また、各基で特定する基（例えば、アルキル基）はさらに置換基を有していてもよい。また、「Ｓｉ−Ｈ基」はケイ素原子上に３つの結合手を有する基を意味するが、この結合手の記載を省き、表記を簡略化している。
また、本発明の説明において、「〜」とは、その前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
なお、本発明における質量平均分子量は、特に断りがない限り、ゲル透過クロマトグラフィー（Ｇｅｌ Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ：ＧＰＣ）による測定値（ポリスチレン換算）である。

本発明により、音響波（特に好ましくは超音波）減衰量を低く維持したまま、シリコーン樹脂の硬度と機械強度を大幅に向上することが可能な音響波プローブ用組成物、これを用いた音響波プローブ用シリコーン樹脂、音響波プローブ、音響波測定装置および超音波診断装置を提供することができる。
また、ｃＭＵＴを超音波診断用トランスデューサアレイとして用いる超音波プローブ、光音響波測定装置および超音波内視鏡における感度を向上させることが可能な音響波プローブ用シリコーン樹脂を提供することができる。

このような効果は、平均一次粒子径が特定の範囲の小さいシリカ粒子が、音響波プローブ用シリコーン樹脂に機械的応力が加わった際に発生した微小クラックのストッパーとして機能するためと考えられる。特に、平均一次粒子径が小さいことで粒子間距離が小さくなるため、ストッパーとしての機能をより発揮し、シリコンーン樹脂の引裂強度が大幅に向上するものと考えられる。
この結果、音響波減衰量の上昇が抑制され、かつ音響波プローブ用シリコーン樹脂の硬度および機械強度が向上するものと思われる。

音響波プローブの一態様であるコンベックス型超音波プローブの一例についての斜視透過図である。

＜＜音響波プローブ用組成物＞＞
本発明の音響波プローブ用組成物（以下、単に組成物とも称す。）は、ビニル基を有するポリシロキサン、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンおよび平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子を少なくとも含むポリシロキサン混合物を含有する音響波プローブ用組成物である。

ポリシロキサン混合物の合計１００質量部中の、平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子の含有量は、０．１〜３０質量部が好ましく、１〜２５質量部がより好ましく、５〜２０質量部がさらに好ましい。
また、ポリシロキサン混合物の合計１００質量部中の、ビニル基を有するポリシロキサンの含有量は１０〜９９．４質量部が好ましく、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンの含有量は０．５〜９０質量部が好ましい。なお、ビニル基を有するポリシロキサンの含有量は、５０〜９０質量部がより好ましく、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンの含有量は、１〜５０質量部がより好ましい。
なお、ポリシロキサン混合物とは、ビニル基を有するポリシロキサンと分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンとを架橋重合（硬化）させる触媒を含まない混合物である。従って、ポリシロキサン混合物中には、平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子が含まれるが、触媒は含まれない。
また、ポリシロキサン混合物の合計１００質量部とは、ポリシロキサン混合物に含まれる個々の成分の合計が１００質量部であることを意味する。

ポリシロキサン混合物中に含有する上記の各ポリシロキサンは、ビニル基や分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するものであれば、どのようなポリシロキサンでも構わない。ただし、本発明では、ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）および分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）が好ましい。
従って、本発明では、ポリオルガノシロキサン混合物中に、ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）および平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子（Ｃ）を成分として少なくとも含有する組成物が好ましい。
以下の詳細な説明においては、好ましい態様である、ポリシロキサン混合物がビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）および分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）を含有するものについて記載する。ただし、ポリシロキサン混合物中に含有する各ポリシロキサンは、このポリシロキサン（Ａ）、（Ｂ）に限定されるものではない。

＜ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）＞
本発明に用いられるビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）（以下、単にポリオルガノシロキサン（Ａ）とも称す。）は、分子鎖中に２個以上のビニル基を有する。
ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）としては、例えば、少なくとも分子鎖両末端にビニル基を有するポリオルガノシロキサン（ａ）（以下、単にポリオルガノシロキサン（ａ）とも称す。）、または分子鎖中に−Ｏ−Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ＝ＣＨ_２）を少なくとも２つ有するポリオルガノシロキサン（ｂ）（以下、単にポリオルガノシロキサン（ｂ）とも称す。）が挙げられる。なかでも、少なくとも分子鎖両末端にビニル基を有するポリオルガノシロキサン（ａ）が好ましい。
ポリオルガノシロキサン（ａ）は直鎖状が好ましく、ポリオルガノシロキサン（ｂ）は、−Ｏ−Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ＝ＣＨ_２）が主鎖を構成するＳi原子に結合しているポリオルガノシロキサン（ｂ）が好ましい。

ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）は、例えば白金触媒の存在下、２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）との反応によりヒドロシリル化される。このヒドロシリル化反応（付加反応）により、架橋（硬化）構造が形成される。

ポリオルガノシロキサン（Ａ）のビニル基の含有量は、特に限定されない。なお、音響波プローブ用組成物に含まれる各成分との間に十分なネットワークを形成する観点から、例えば、ビニル基の含有量は０．０１〜５モル％が好ましく、０．０５〜２モル％がより好ましい。
ここで、ビニル基の含有量とは、ポリオルガノシロキサン（Ａ）を構成する全ユニットを１００モル％としたときのビニル基含有シロキサンユニットのモル％である。例えば、主鎖を構成するＳｉ−Ｏ単位および末端のＳｉの全てのＳｉ原子がビニル基を１つずつ有する場合、１００モル％となる。

また、ポリオルガノシロキサン（Ａ）は、フェニル基を有することも好ましく、ポリオルガノシロキサン（Ａ）のフェニル基の含有量は、特に限定されない。音響波プローブ用シリコーン樹脂としたときの機械的強度の観点から、例えば、１〜８０モル％であり、好ましくは２〜４０モル％である。
ここで、フェニル基の含有量とは、ポリオルガノシロキサン（Ａ）を構成する全ユニットを１００モル％としたときのフェニル基含有シロキサンユニットのモル％である。例えば、主鎖を構成するＳｉ−Ｏ単位および末端のＳｉの全てのＳｉ原子がフェニル基を１つずつ有する場合、１００モル％となる。
なお、ユニットとは、主鎖を構成するＳｉ−Ｏ単位および末端のＳｉを言う。

重合度および比重は、特に限定されるものではない。なお、得られる音響波プローブ用シリコーン樹脂（以下、単にシリコーン樹脂とも称す。）の機械的特性、硬度、化学的安定性等の向上の点から、重合度は２００〜３０００が好ましく、４００〜２０００がより好ましく、比重は０．９〜１．１が好ましい。

ビニル基を有するポリオルガノシロキサンの質量平均分子量は、機械強度、硬度、加工のしやすさの点から、１０，０００〜２００，０００が好ましく、３０，０００〜１５０，０００がより好ましく、４５，０００〜１２０，０００がさらに好ましい。
質量平均分子量は、例えば、ＧＰＣ装置ＨＬＣ−８２２０（東ソー株式会社製）を用意し、溶離液としてトルエン（湘南和光純薬株式会社製）を用い、カラムとしてＴＳＫｇｅｌ（登録商標）Ｇ３０００ＨＸＬ＋ＴＳＫｇｅｌ（登録商標）Ｇ２０００ＨＸＬを用い、温度２３℃、流量１ｍＬ／ｍｉｎの条件下、ＲＩ検出器を用いて測定することができる。

２５℃における動粘度は、１×１０^−５〜１０ｍ^２／ｓが好ましく、１×１０^−４〜１ｍ^２／ｓがより好ましく、１×１０^−３〜０．５ｍ^２／ｓがさらに好ましい。
なお、動粘度は、ＪＩＳ Ｚ８８０３に従い、ウベローデ型粘度計（例えば、柴田化学社製、商品名ＳＵ）を用い、温度２５℃にて測定して求めることができる。

少なくとも分子鎖両末端にビニル基を有するポリオルガノシロキサン（ａ）は、下記一般式（Ａ）で表されるポリオルガノシロキサンが好ましい。

一般式（Ａ）において、Ｒ^ａ１はビニル基を表し、Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３は各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基またはアリール基を表す。ｘ１およびｘ２は各々独立に１以上の整数を表す。ここで、複数のＲ^ａ２、複数のＲ^ａ３は各々において、互いに同一でも異なってもよい。また、Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３の各基はさらに置換基を有していてもよい。

Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３におけるアルキル基の炭素数は１〜１０が好ましく、１〜４がより好ましく、１または２がさらに好ましく、１が特に好ましい。アルキル基は、例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｎ−ヘキシル、ｎ−オクチル、２−エチルへキシル、ｎ−デシルが挙げられる。

Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３におけるシクロアルキル基の炭素数は３〜１０が好ましく、５〜１０がより好ましく、５または６さらに好ましい。また、シクロアルキル基は、３員環、５員環または６員環が好ましく、５員環または６員環がより好ましい。シクロアルキル基は、例えば、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロへキシルが挙げられる。

Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３におけるアルケニル基の炭素数は２〜１０が好ましく、２〜４がより好ましく、２がさらに好ましい。アルケニル基は、例えば、ビニル、アリル、ブテニルが挙げられる。

Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３におけるアリール基の炭素数は６〜１２が好ましく、６〜１０がより好ましく、６〜８がさらに好ましい。アリール基は、例えば、フェニル、トリル、ナフチルが挙げられる。

これらのアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基およびアリール基は置換基を有していてもよい。このような置換基は、例えば、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、シリル基、シアノ基が挙げられる。
置換基を有する基としては、例えば、ハロゲン化アルキル基が挙げられる。

Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３は、アルキル基、アルケニル基またはアリール基が好ましく、炭素数１〜４のアルキル基、ビニル基またはフェニル基がより好ましく、メチル基、ビニル基またはフェニル基がさらに好ましい。
Ｒ^ａ２はなかでもメチル基が好ましく、Ｒ^ａ３はなかでもフェニル基が好ましい。また、ｘ１の繰り返し中のＲ^ａ３が両方ともフェニル基であることが好ましい。

ｘ１は１〜３０００の整数が好ましく、５〜１０００の整数がより好ましい。
ｘ２は、１〜３０００の整数が好ましく、４０〜１０００の整数がより好ましい。

少なくとも分子鎖両末端にビニル基を有するポリオルガノシロキサンは、例えば、いずれもＧｅｌｅｓｔ社製の商品名で、ＤＭＳシリーズ（例えば、ＤＭＳ−Ｖ３１、ＤＭＳ−Ｖ３１Ｓ１５、ＤＭＳ−Ｖ３３、ＤＭＳ−Ｖ３５、ＤＭＳ−Ｖ３５Ｒ、ＤＭＳ−Ｖ４１、ＤＭＳ−Ｖ４２、ＤＭＳ−Ｖ４６、ＤＭＳ−Ｖ５１、ＤＭＳ−Ｖ５２）、ＰＤＶシリーズ（例えば、ＰＤＶ−０３４１、ＰＤＶ−０３４６、ＰＤＶ−０５３５、ＰＤＶ−０５４１、ＰＤＶ−１６３１、ＰＤＶ−１６３５、ＰＤＶ−１６４１、ＰＤＶ−２３３５）、ＰＭＶ−９９２５、ＰＶＶ−３５２２、ＦＭＶ−４０３１、ＥＤＶ−２０２２が挙げられる。
なお、ＤＭＳ−Ｖ３１Ｓ１５は、予めフュームドシリカが配合されているため、特別な装置での混練は不要である。

本発明におけるビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）は、１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

＜分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）＞
本発明に用いられる分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）（以下、単にポリオルガノシロキサン（Ｂ）とも称す。）は、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有する。
分子鎖中にＳｉ−Ｈ基を２つ以上有することで、ビニル基を少なくとも２つ有するポリオルガノシロキサンを架橋することができる。

ポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、直鎖状構造と分岐状構造が存在し、直鎖状構造が好ましい。
直鎖状構造の質量平均分子量は、機械強度および硬度の点から、５００〜１００，０００が好ましく、１，５００〜５０，０００がより好ましい。

また、ポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、フェニル基を有することも好ましく、フェニル基の含有量は、特に限定されない。音響波プローブ用シリコーン樹脂としたときの機械強度の観点から、例えば、２０〜８０モル％であり、好ましくは３０〜７０モル％である。
ここで、フェニル基の含有量は、上記ポリオルガノシロキサン（Ａ）におけるフェニル基の含有量において、ポリオルガノシロキサン（Ａ）をポリオルガノシロキサン（Ｂ）に置き換えて算出される含有量である。

ポリオルガノシロキサン（Ｂ）のＳｉ−Ｈ当量は、１，３００ｇ／ｍｏｌ以下が好ましく、５００ｇ／ｍｏｌ以下がより好ましい。また、このＳｉ−Ｈ当量は、５０ｇ／ｍｏｌ以上が好ましく、１００ｇ／ｍｏｌ以上がより好ましい。

本発明において、ポリオルガノシロキサン（Ａ）および（Ｂ）が両方ともフェニル基を有することが互いの相溶性を向上させるため好ましい。
本発明のシリコーン音響波プローブ用シリコーン樹脂は、嵩高いフェニル基を有することで、音速を高め、かつ、硬度および比重を大きくすることができる。そのため、音響インピーダンスを高めることができる。

分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有する、直鎖状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、下記一般式（Ｂ）で表されるポリオルガノシロキサンが好ましい。

一般式（Ｂ）において、Ｒ^ｂ１およびＲ^ｂ２は各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基または−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ６）_２（Ｒ^ｂ５）を表す。Ｒ^ｂ５およびＲ^ｂ６は各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基またはアリール基を表す。Ｒ^ｂ３およびＲ^ｂ４は各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリール基または−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ８）_２（Ｒ^ｂ７）を表す。Ｒ^ｂ７およびＲ^ｂ８は各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基またはアリール基を表す。ｙ１は０以上の整数を表し、ｙ２は１以上の整数を表す。ここで、複数のＲ^ｂ１、複数のＲ^ｂ２、複数のＲ^ｂ３、複数のＲ^ｂ４、複数のＲ^ｂ５、複数のＲ^ｂ６、複数のＲ^ｂ７および複数のＲ^ｂ８は各々において、互いに同一でも異なってもよく、また、Ｒ^ｂ１〜Ｒ^ｂ８の各基はさらに置換基で置換されていてもよい。ただし、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有する。

Ｒ^ｂ１およびＲ^ｂ２におけるアルキル基およびシクロアルキル基は、Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３におけるアルキル基およびシクロアルキル基と同義であり、好ましい範囲も同じである。Ｒ^ｂ３およびＲ^ｂ４におけるアルキル基、シクロアルキル基およびアルケニル基は、Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３におけるアルキル基、シクロアルキル基およびアルケニル基と同義であり、好ましい範囲も同じである。Ｒ^ｂ１〜Ｒ^ｂ４におけるアリール基の炭素数は６〜１２が好ましく、６〜１０がより好ましく、６〜８がさらに好ましい。アリール基は、例えば、フェニル基、トリル基、ナフチル基が挙げられる。

−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ６）_２（Ｒ^ｂ５）のＲ^ｂ５およびＲ^ｂ６におけるアルキル基、シクロアルキル基およびアリール基は、Ｒ^ｂ１およびＲ^ｂ２におけるアルキル基、シクロアルキル基およびアリール基と同義であり、好ましい範囲も同じである。

−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ８）_２（Ｒ^ｂ７）のＲ^ｂ７およびＲ^ｂ８におけるアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基およびアリール基は、Ｒ^ｂ３およびＲ^ｂ４におけるアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基およびアリール基と同義であり、好ましい範囲も同じである。

Ｒ^ｂ１およびＲ^ｂ２は水素原子、アルキル基、アリール基または−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ６）_２（Ｒ^ｂ５）が好ましく、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基または−Ｏ−Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｈがより好ましい。
Ｒ^ｂ３およびＲ^ｂ４は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基または−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ８）_２（Ｒ^ｂ７）が好ましく、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、ビニル基、フェニル基または−Ｏ−Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｈがより好ましい。

このうち、Ｒ^ｂ１およびＲ^ｂ２は、水素原子、アルキル基またはアリール基が好ましく、水素原子またはアルキル基がより好ましく、水素原子またはメチル基がさらに好ましい。また、Ｒ^ｂ１が水素原子、Ｒ^ｂ２がメチル基の組み合わせが好ましい。
Ｒ^ｂ３は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基または−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ８）_２（Ｒ^ｂ７）が好ましく、水素原子またはアルキル基がより好ましく、水素原子が特に好ましい。

Ｒ^ｂ４は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基または−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ^ｂ８）_２（Ｒ^ｂ７）が好ましく、水素原子、アルキル基またはアリール基がより好ましく、水素原子、メチル基またはフェニル基がさらに好ましく、メチル基またはフェニル基がさらに好ましく、フェニル基が特に好ましい。

ｙ１は１以上の整数が好ましい。
ｙ１＋ｙ２は５〜２０００の整数が好ましく、７〜１０００の整数がより好ましく、１０〜５０がさらに好ましく、１５〜３０の整数がなかでも好ましい。

Ｒ^ｂ１〜Ｒ^ｂ３の組み合わせとしては、Ｒ^ｂ１が水素原子または炭素数１〜４のアルキル基、Ｒ^ｂ２が炭素数１〜４のアルキル基、Ｒ^ｂ３が水素原子の組み合わせが好ましく、Ｒ^ｂ１が炭素数１〜４のアルキル基、Ｒ^ｂ２が炭素数１〜４のアルキル基、Ｒ^ｂ３が水素原子の組み合わせがより好ましい。

直鎖状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、例えば、いずれもＧｅｌｅｓｔ社製のメチルヒドロシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー（トリメチルシロキサン末端）である、ＨＭＳ−０６４（ＭｅＨＳｉＯ：５−７ｍｏｌ％）、ＨＭＳ−０８２（ＭｅＨＳｉＯ：７−８ｍｏｌ％）、ＨＭＳ−３０１（ＭｅＨＳｉＯ：２５−３０ｍｏｌ％）およびＨＭＳ−５０１（ＭｅＨＳｉＯ：５０−５５ｍｏｌ％）、メチルヒドロシロキサンポリマー（トリメチルシロキシ末端）であるＨＭＳ−９９１（Ｓｉ−Ｈ当量６７ｇ／ｍｏｌ）ならびにメチルヒドロシロキサン−フェニルメチルシロキサンコポリマー（水素末端）であるＨＰＭ−５０２（Ｓｉ−Ｈ当量１６５ｇ／ｍｏｌ）（いずれも商品名）が挙げられる。
ここで、ＭｅＨＳｉＯのｍｏｌ％は、上記Ｒ^ｂ１〜Ｒ^ｂ３の好ましい組み合わせにおけるｙ２／（ｙ１＋ｙ２）に１００を乗じたものと同義である。

なお、直鎖状構造、分岐状構造ともに、分子内における架橋反応の進行を防止する点から、ビニル基を有さないことが好ましく、なかでも分岐状構造のものは、ビニル基を有さないことが好ましい。

分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有する、分岐状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、分岐構造と２個以上のヒドロシリル基（Ｓｉ−Ｈ基）を有する。
比重は、０．９〜０．９５が好ましい。
分岐状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、下記平均組成式（ｂ）で表されるものが好ましい。

平均組成式（ｂ）：［Ｈ_ａ（Ｒ^ｂ６）_３‐ａＳｉＯ_１／２］_ｙ３［ＳｉＯ_４／２］_ｙ４

ここで、Ｒ^ｂ６は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基またはアリール基を表し、ａは０．１〜３を表し、ｙ３およびｙ４は各々独立に１以上の整数を表す。

Ｒ^ｂ６におけるアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基およびアリール基は、Ｒ^ａ２およびＲ^ａ３におけるアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基およびアリール基と同義であり、好ましい範囲も同じである。
ａは、好ましくは１である。
ａ／３で表されるヒドロシリル基の含有量は、０．１を超え０．６未満が好ましく、０．１を超え０．４未満がより好ましい。

一方、分岐状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）を化学構造式で表すと、−Ｏ−Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（Ｈ）が主鎖を構成するＳi原子に結合しているポリオルガノシロキサンが好ましく、下記一般式（Ｂｂ）で表される構造を有するものがより好ましい。

一般式（Ｂｂ）において、＊は少なくともシロキサンのＳｉ原子と結合することを意味する。

分岐状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、例えば、ＨＱＭ−１０７（商品名、Ｇｅｌｅｓｔ社製、水素化Ｑレジン）、ＨＤＰ−１１１（商品名、Ｇｅｌｅｓｔ社製、ポリフェニル−（ジメチルヒドロキシ）シロキサン（水素末端）、［（ＨＭｅ_２ＳｉＯ）（Ｃ_６Ｈ_３Ｓｉ）Ｏ］：９９−１００ｍｏｌ％）が挙げられる。

本発明に用いられる分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、直鎖状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）と分岐状構造のポリオルガノシロキサン（Ｂ）を組み合わせて用いてもよい。

＜平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ（Ｃ）＞
本発明に用いられる平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子（Ｃ）は、得られるシリコーン樹脂の硬度や機械強度の向上、特に引裂強度の向上を目的として添加される成分である。

本発明においては、シリカ粒子（Ｃ）の平均一次粒子径を１２ｎｍ未満と小さくすることにより、音響波減衰量の上昇が抑制され、かつシリコーン樹脂の引裂強度を向上させることが可能となったものと思われる。
すなわち、機械的応力によるシリコーン樹脂のクラックが、微細なシリカ粒子（Ｃ）がストッパーとして機能することで抑制されていると考えられる。特に、平均一次粒子径が小さいことで粒子間距離が小さくなるため、ストッパーとしての機能をより発揮し、シリコーン樹脂の引裂強度が大幅に向上するものと推定される。

シリカ粒子（Ｃ）としては、例えば、フュームドシリカ、焼成シリカ、沈降シリカ、ビニル基含有シリコーンレジンが挙げられる。シリカ粒子（Ｃ）は、１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

本発明におけるシリカ粒子（Ｃ）の平均一次粒子径は、シリコーン樹脂の音響波減衰量の上昇を抑制し、かつ引裂強度を向上させる観点から１２ｎｍ未満であり、３ｎｍを超え１２ｎｍ未満が好ましく、３ｎｍを超え１０ｎｍ未満がより好ましい。
なお、平均一次粒子径は、シリカ粒子の製造メーカーのカタログに記載されている。ただし、カタログに平均一次粒子径が記載されていないもの、または、新たに製造したものは、透過型電子顕微鏡（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ：ＴＥＭ）により測定した粒子径を平均することで求めることができる。すなわち、ＴＥＭにより撮影した電子顕微鏡写真の１つの粒子について、短径と長径を測定し、その平均値を１つの粒子の粒子径として求める。本明細書においては、３００個以上の粒子の粒子径を平均し、平均一次粒子径として求める。
また、シリカ粒子（Ｃ）に後述する表面処理が施されている場合は、表面処理された状態での平均一次粒子径を意味する。

本発明に用いられるシリカ粒子（Ｃ）は、得られるシリコーン樹脂の硬度や機械強度の向上の点から、比表面積は５０〜４００ｍ^２／ｇが好ましく、１００〜４００ｍ^２／ｇがより好ましい。

本発明に用いられるシリカ粒子（Ｃ）は、粒子の表面が表面処理されたシリカ粒子が好ましい。表面処理としては、飽和脂肪酸やシランで処理されたシリカ粒子が好ましく、なかでもシラン処理されたシリカ粒子が好ましい。

シラン処理は、シランカップリング剤でシリカ粒子表面を処理することが好ましい。なかでも、シリコーン樹脂の硬度や機械強度の向上の点から、加水分解性基を有するシランカップリング剤が好ましい。シランカップリング剤における加水分解性基は、水により加水分解されて水酸基となり、この水酸基がシリカ粒子表面の水酸基と脱水縮合反応することで、シリカ粒子の表面改質が行われ、得られるシリコーン樹脂の硬度や機械強度が向上される。加水分解性基は、例えば、アルコキシ基、アシルオキシ基、ハロゲン原子が挙げられる。
なお、シリカ粒子の表面が疎水性に表面改質されていると、シリカ粒子（Ｃ）とポリオルガノシロキサン（Ａ）および（Ｂ）との親和性が良好となり、得られるシリコーン樹脂の硬度および機械強度が向上するため好ましい。

官能基として疎水性基を有するシランカップリング剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシランのようなアルコキシシラン；メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン（ＤＤＳ）、トリメチルクロロシラン、フェニルトリクロロシランのようなクロロシラン；ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）が挙げられる。
また、官能基としてビニル基を有するシランカップリング剤としては、例えば、メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシランのようなアルコキシシラン；ビニルトリクロロシラン、ビニルメチルジクロロシランのようなクロロシラン；ジビニルテトラメチルジシラザンが挙げられる。

本発明に用いられるシリカ粒子（Ｃ）は、表面がシラン化合物で処理されたシリカ粒子が好ましく、トリアルキルシリル化剤で処理されたシリカ粒子がより好ましく、トリメチルシリル化剤で処理されたシリカ粒子がさらに好ましい。
シラン化合物としては、例えば、上記シランカップリング剤や、シランカップリング剤における官能基がアルキル基で置換されたシランカップリング剤が挙げられる。
また、トリアルキルシリル化剤としては、例えば、上記シランカップリング剤に記載のトリメチルクロロシラン、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）や、官能基がアルキル基で置換されたシランカップリング剤であるトリメチルメトキシシランが挙げられる。

市販のシランカップリング剤としては、例えば、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）（商品名：ＨＥＸＡＭＥＴＨＹＬＤＩＳＩＬＡＺＡＮＥ（ＳＩＨ６１１０．１）、Ｇｅｌｅｓｔ社製）が挙げられる。
シリカ粒子表面に存在するシラノール基（Ｓｉ−ＯＨ基）は、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）との反応によりトリメチルシリル基で覆われ、シリカ粒子表面が疎水性に改質される。

市販のシリカ粒子（Ｃ）としては、例えば、いずれも日本アエロジル株式会社製の疎水性フュームドシリカである、アエロジル（登録商標）Ｒ８１２（平均一次粒子径７ｎｍ、ＨＭＤＳ表面処理）、アエロジル（登録商標）Ｒ８１２Ｓ（平均一次粒子径７ｎｍ、ＨＭＤＳ表面処理）、アエロジル（登録商標）ＲＸ３００（平均一次粒子径７ｎｍ、ＨＭＤＳ表面処理）、アエロジル（登録商標）ＲＸ３８０Ｓ（平均一次粒子径５ｎｍ、ＨＭＤＳ表面処理）、アエロジル（登録商標）Ｒ９７６Ｓ（平均一次粒子径７ｎｍ、ＤＤＳ表面処理）や、いずれも日本アエロジル株式会社製の親水性フュームドシリカである、アエロジル（登録商標）３００（平均一次粒子径７ｎｍ）、アエロジル（登録商標）３００ＣＦ（平均一次粒子径７ｎｍ）、アエロジル（登録商標）３８０（平均一次粒子径７ｎｍ）が挙げられる。

ポリオルガノシロキサン（Ａ）の有するビニル基とポリオルガノシロキサン（Ｂ）の有するＳｉ−Ｈ基は、通常、化学量論的には１：１で反応するものである。
しかしながら、本発明においては、シリカ粒子（Ｃ）の平均一次粒子径が小さく、ポリオルガノシロキサン（Ａ）および（Ｂ）の隙間に密に充填されているため、ポリオルガノシロキサン（Ａ）および（Ｂ）の分子鎖の運動は制限されている。
従って、全てのビニル基がＳｉ−Ｈ基と反応するためには、ポリオルガノシロキサン（Ａ）の有するビニル基に対するポリオルガノシロキサン（Ｂ）の有するＳｉ−Ｈ基の当量は、ビニル基：Ｓｉ−Ｈ基＝１：１．１〜１：８が好ましく、１：１．２〜１：５がより好ましい。

＜その他の成分＞
本発明の音響波プローブ用組成物は、ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）および平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子（Ｃ）以外に、付加重合反応のための白金触媒、硬化遅延剤、溶媒、分散剤、顔料、染料、帯電防止剤、酸化防止剤、難燃剤、熱伝導性向上剤等を適宜配合することができる。

− 触媒 −
触媒としては、例えば、白金または白金含有化合物（以下、白金化合物ともいう。）が挙げられる。白金または白金化合物としては、任意のものを使用することができる。
具体的には、白金黒、白金をシリカやカーボンブラック等に担持させたもの、塩化白金酸または塩化白金酸のアルコール溶液、塩化白金酸とオレフィンの錯塩、塩化白金酸とビニルシロキサンとの錯塩等が挙げられる。触媒は１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

触媒の含有量は、触媒量の範囲で適宜設定することができる。
触媒は、ポリオルガノシロキサン（Ｂ）のＳｉ−Ｈ基が、ポリオルガノシロキサン（Ａ）のビニル基に対して付加するヒドロシリル化反応において必要である。ヒドロシリル化による付加硬化反応によって、ポリオルガノシロキサン（Ａ）がポリオルガノシロキサン（Ｂ）により架橋され、シリコーン樹脂が形成される。
ここで、触媒は本発明の音響波プローブ用組成物中に含有させてもよく、また、音響波プローブ用組成物に含有させずに、音響波プローブ用組成物と接触させてもよい。なお、後者の方が好ましい。

市販の白金触媒としては、例えば、白金化合物（商品名：ＰＬＡＴＩＮＵＭ ＣＹＣＬＯＶＩＮＹＬＭＥＴＨＹＬＳＩＬＯＸＡＮＥ ＣＯＭＰＬＥＸ ＩＮ ＣＹＣＬＩＣ ＭＥＴＨＹＬＶＩＮＹＬＳＩＬＯＸＡＮＥＳ（ＳＩＰ６８３２．２）、Ｐｔ濃度２質量％、Ｇｅｌｅｓｔ社製）が挙げられる。

触媒を本発明の音響波プローブ用組成物に含有させる場合、触媒の含有量は、反応性の観点から、ポリシロキサン混合物１００質量部に対し、０．００００１〜０．０５質量部が好ましく、０．００００１〜０．０１質量部がより好ましく、０．００００２〜０．０１質量部がさらに好ましく、０．００００５〜０．００５質量部が特に好ましい。

また、適切な白金触媒を選択することにより硬化温度を調節することができる。例えば、白金−ビニルジシロキサンは５０℃以下での室温硬化（ＲＴＶ）に、白金−環状ビニルシロキサンは１３０℃以上での高温硬化（ＨＴＶ）に使用される。

− 硬化遅延剤 −
本発明において、硬化反応に対する硬化遅延剤を適宜に用いることができる。硬化遅延剤は、白金触媒による付加硬化反応を遅らせる用途で使用され、例えば、低分子量のビニルメチルシロキサンホモポリマー（商品名：ＶＭＳ−００５、Ｇｅｌｅｓｔ社製）が挙げられる。
硬化遅延剤の含有量により、硬化速度、すなわち作業時間を調整することができる。

＜音響波プローブ用組成物および音響波プローブ用シリコーン樹脂の製造方法＞
本発明の音響波プローブ用組成物は、公知の方法で作製することが可能である。
例えば、音響波プローブ用組成物を構成する成分を、ニーダー、加圧ニーダー、バンバリーミキサー（連続ニーダー）、２本ロールの混練装置で混練りすることにより得ることができる。各成分の混合順序は特に限定されない。
なお、均一な組成物を得る観点からは、まず、ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（Ａ）および分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリオルガノシロキサン（Ｂ）に平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子（Ｃ）を分散させたポリオルガノシロキサン混合物とすることが好ましい。その後、シリカ粒子（Ｃ）を分散させたポリオルガノシロキサン混合物に触媒を添加し、減圧脱泡することで、音響波プローブ用組成物を作製することができる。

このようにして得られた本発明の音響波プローブ用組成物を硬化させることにより、本発明の音響波プローブ用シリコーン樹脂を得ることができる。具体的には、例えば、２０〜２００℃で５分〜５００分加熱硬化させることにより、音響波プローブ用シリコーン樹脂を得ることができる。

＜シリコーン樹脂の機械強度および音響波特性＞
以下に、シリコーン樹脂の機械強度および音響波特性について詳細に記載する。
ここで、音響波特性は、超音波特性について記載する。ただし、音響波特性は超音波特性に限定されるものではなく、被検対象や測定条件等に応じて選択される、適切な周波数の音響波特性に関するものである。
［硬度］
厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、ＪＩＳ Ｋ６２５３−３（２０１２）に従い、タイプＡデュロメータ硬さを、ゴム硬度計（例えば、エクセル社製、商品名「ＲＨ−２０１Ａ」）を用いて測定する。
硬度は２０以上が好ましく、３０以上がより好ましい。なお、現実的な上限値は８０以下である。上記範囲内にあることで、音響波プローブの一部として組み込み使用する際の変形を防止することができるため好ましい。

［引張試験］
厚み１ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、ＪＩＳ Ｋ６２５１に従い破断強度および伸度（伸び）を測定する。
引張破断強度は２．０ＭＰａ以上が好ましく、引張破断伸びは３００％以上が好ましい。なお、現実的な上限値は、引張破断強度は１０ＭＰａ以下であり、引張破断伸びは１５００％以下である。

［引裂強度試験］
厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、ＪＩＳ Ｋ６２５２（２００７）に従い、トラウザー型試片を作製し、引裂強度を測定する。
引裂強度は２０Ｎ／ｃｍ以上が好ましく、３０Ｎ／ｃｍ以上がより好ましい。なお、現実的な上限値は１００Ｎ／ｃｍ以下である。

［ウィリアムス摩耗試験］
縦２０ｍｍ×横２０ｍｍ×厚み１０ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、ＪＩＳ Ｋ６２６４−２に従い、ウィリアムス摩耗試験機を用いて、試験前後の質量を測定する。下記式から算出する質量減少分（％）をウィリアムス摩耗量［％］として評価する。

（試験前のシリコーン樹脂シートの質量−試験後のシリコーン樹脂シートの質量）／試験前のシリコーン樹脂シートの質量×１００

ウィリアムス摩耗量は、１％以下が好ましく、０．７％以下がより好ましく、０．５％以下がさらに好ましく、値が小さい程好ましい。

［音響インピーダンス］
厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、２５℃における密度をＪＩＳ Ｋ７１１２（１９９９）に記載のＡ法（水中置換法）の密度測定方法に準じて、電子比重計（例えば、アルファミラージュ社製、商品名「ＳＤ−２００Ｌ」）を用いて測定する。音響波の音速は、ＪＩＳ Ｚ２３５３（２００３）に従い、シングアラウンド式音速測定装置（例えば、超音波工業株式会社製、商品名「ＵＶＭ−２型」）を用いて２５℃において測定し、測定した密度と音速の積から音響インピーダンスを求める。

［音響波（超音波）減衰量、感度］
超音波発振器（例えば、岩通計測株式会社製、ファンクション・ジェネレータ、商品名「ＦＧ−３５０」）から出力された５ＭＨｚの正弦波信号（１波）を超音波プローブ（例えば、ジャパンプローブ株式会社製）に入力し、超音波プローブから中心周波数が５ＭＨｚの超音波パルス波を水中に発生させる。発生させた超音波が、厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートを通過する前と後の振幅の大きさを超音波受信機（例えば、松下電器産業株式会社製、オシロスコープ、商品名「ＶＰ−５２０４Ａ」）により、水温２５℃の環境で測定し、音響波（超音波）感度を比較することで、各シートの音響波（超音波）減衰量を比較する。
なお、音響波（超音波）感度とは、下記計算式で与えられる数値とする。
下記計算式において、Ｖｉｎは、超音波発振器による、半値幅５０ｎｓｅｃ以下の入力波の電圧ピーク値を表す。Ｖｓは、発生させた音響波（超音波）がシートを通過し、シートの対面から反射してきた音響波（超音波）を超音波発振器が受信したときに得られる電圧値を表す。

音響波（超音波）感度＝２０×Ｌｏｇ（Ｖｓ／Ｖｉｎ）

本発明における評価系においては、音響波（超音波）感度は−７２ｄＢ以上が好ましく、−７１ｄＢ以上がより好ましい。

本発明の音響波プローブ用組成物は、医療用部材に有用であり、例えば、音響波プローブや音響波測定装置に好ましく用いることができる。なお、本発明の音響波測定装置とは、超音波診断装置や光音響波測定装置に限らず、対象物で反射または発生した音響波を受信し、画像または信号強度として表示する装置を称する。
特に、本発明の音響波プローブ用組成物は、超音波診断装置の音響レンズ、あるいは圧電素子と音響レンズの間に設けられて圧電素子と音響レンズとの間の音響インピーダンスを整合させる役割を有する音響整合層の材料、光音響波測定装置や超音波内視鏡における音響レンズの材料ならびに超音波トランスデューサアレイとして容量性マイクロマシン超音波振動子（ｃＭＵＴ：Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒｓ）を備える超音波プローブにおける音響レンズの材料等に好適に用いることができる。
本発明の音響波プローブ用シリコーン樹脂は、具体的には、例えば、特開２００５−２５３７５１号公報、特開２００３−１６９８０２号公報などに記載の超音波診断装置や、特開２０１３−２０２０５０号公報、特開２０１３−１８８４６５号公報、特開２０１３−１８０３３０号公報、特開２０１３−１５８４３５号公報、特開２０１３−１５４１３９号公報などに記載の光音響波測定装置などの音響波測定装置に好ましく適用される。

＜＜音響波探触子（プローブ）＞＞
以下に、本発明の音響波プローブの構成を、図１に記載する、超音波診断装置における超音波プローブの構成に基づき、より詳細に説明する。なお、超音波プローブとは、音響波プローブにおける音響波として、特に超音波を使用するプローブである。そのため、超音波プローブの基本的な構造は音響波プローブにそのまま適用することができる。

− 超音波プローブ −
超音波プローブ１０は、超音波診断装置の主要構成部品であって、超音波を発生するとともに、超音波ビームを送受信する機能を有するものである。超音波プローブ１０の構成は、図１に示すように、先端（被検体である生体に接する面）部分から音響レンズ１、音響整合層２、圧電素子層３、バッキング材４の順に設けられている。なお、近年、高次高調波を受信することを目的に、送信用超音波振動子（圧電素子）と、受信用超音波振動子（圧電素子）を異なる材料で構成し、積層構造としたものも提案されている。

＜圧電素子層＞
圧電素子層３は、超音波を発生する部分であって、圧電素子の両側に電極が貼り付けられており、電圧を加えると圧電素子が伸縮と膨張を繰り返し振動することにより、超音波が発生する。

圧電素子を構成する材料としては、水晶、ＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＴａＯ_３、ＫＮｂＯ_３などの単結晶、ＺｎＯ、ＡｌＮなどの薄膜、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３系などの焼結体を分極処理した、いわゆるセラミックスの無機圧電体が広く利用されている。一般的には、変換効率のよいＰＺＴ：チタン酸ジルコン酸鉛等の圧電セラミックスが使用されている。
また、高周波側の受信波を検知する圧電素子には、より広い帯域幅の感度が必要である。このため、高周波、広帯域に適した圧電素子として、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などの有機系高分子物質を利用した有機圧電体が使用されている。
さらに、特開２０１１−０７１８４２号公報等には、優れた短パルス特性、広帯域特性を示し、量産性に優れ、特性ばらつきの少ないアレイ構造が得られる、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を利用したｃＭＵＴが記載されている。
本発明においては、いずれの圧電素子材料も好ましく用いることができる。

＜バッキング材＞
バッキング材４は、圧電素子層３の背面に設けられており、余分な振動を抑制することにより超音波のパルス幅を短くし、超音波診断画像における距離分解能の向上に寄与する。

＜音響整合層＞
音響整合層２は、圧電素子層３と被検体間での音響インピーダンスの差を小さくし、超音波を効率よく送受信するために設けられる。
本発明の、超音波プローブ用組成物は、生体の音響インピーダンス（１．４〜１．７×１０^６ｋｇ／ｍ^２・ｓｅｃ）との差が小さいことから、音響整合層の材料として好ましく用いることができる。本発明の音響整合層は、本発明の音響波プローブ用組成物を硬化反応させてなる音響波プローブ用シリコーン樹脂を１０質量％以上含むことが好ましい。

＜音響レンズ＞
音響レンズ１は、屈折を利用して超音波をスライス方向に集束し、分解能を向上させるために設けられる。また、被検体である生体と密着し、超音波を生体の音響インピーダンス（人体では、１．４〜１．７×１０^６ｋｇ／ｍ^２・ｓｅｃ）と整合させること、および、音響レンズ１自体の超音波減衰量が小さいことが求められている。
すなわち、音響レンズ１の材料としては、音速が人体の音速よりも十分小さく、超音波の減衰が少なく、また、音響インピーダンスが人体の皮膚の値に近い材料を使用することで、超音波の送受信感度がよくなる。
本発明の超音波プローブ用組成物である音響波プローブ用組成物は、音響レンズ材としても、好ましく用いることができる。

このような構成の超音波プローブ１０の動作を説明する。圧電素子の両側に設けられた電極に電圧を印加して圧電素子層３を共振させ、超音波信号を音響レンズから被検体に送信する。受信時には、被検体からの反射信号（エコー信号）によって圧電素子層３を振動させ、この振動を電気的に変換して信号とし、画像を得る。

特に、本発明の超音波プローブ用組成物から得られる音響レンズは、一般的な医療用超音波トランスデューサとしては、およそ５ＭＨｚ以上の超音波の送信周波数で、顕著な感度改善効果を確認できる。特に１０ＭＨｚ以上の超音波の送信周波数で、特に顕著な感度改善効果が期待できる。
以下、本発明の超音波プローブ用組成物から得られる音響レンズが、従来の課題に対し特に機能を発揮する装置について、詳細に記載する。
なお、下記に記載する以外の装置に対しても、本発明の超音波プローブ用組成物は優れた効果を示す。

− ｃＭＵＴ（容量性マイクロマシン超音波振動子）を備える超音波プローブ −
特開２００６−１５７３２０号公報、特開２０１１−７１８４２号公報などに記載のｃＭＵＴデバイスを超音波診断用トランスデューサアレイに用いる場合、一般的な圧電セラミックス（ＰＺＴ）を用いたトランスデューサと比較して、一般的には、その感度が低くなる。
しかし、本発明の音響波プローブ用組成物から得られる音響レンズを用いることで、ｃＭＵＴの感度不足を補うことが可能である。これにより、ｃＭＵＴの感度を、従来のトランスデューサの性能に近づけることができる。
なお、ｃＭＵＴデバイスはＭＥＭＳ技術により作製されるため、圧電セラミックスプローブよりも量産性が高く、低コストな超音波プローブを市場に提供することができる。

− 光超音波イメージングによる光音響波測定装置 −
特開２０１３−１５８４３５号公報などに記載の光超音波イメージング（ＰＡＩ：Ｐｈｏｔｏ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｉｍａｇｉｎｇ）は、人体内部へ光（電磁波）を照射し、照射した光によって人体組織が断熱膨張する際に発生する超音波を画像化したもの、または超音波の信号強度を表示する。
ここで、光照射によって発生する超音波の音圧は微量であるため、人体深部の観察が困難であるという課題がある。
しかし、本発明の音響波プローブ用組成物から得られる音響レンズを用いることで、この課題に対して有効な効果を発揮することができる。

− 超音波内視鏡 −
特開２００８−３１１７００号公報などに記載の超音波内視鏡における超音波は、その構造上、信号線ケーブルが体表用トランスデューサと比較して長いため、ケーブル損失によるトランスデューサの感度向上が課題である。また、この課題に対しては、下記の理由により、効果的な感度向上手段がないと言われている。

第一に、体表用の超音波診断装置であれば、トランスデューサ先端にアンプ回路、ＡＤ変換ＩＣ等の設置が可能である。これに対して、超音波内視鏡は体内に挿入して使用するため、トランスデューサの設置スペースが狭く、トランスデューサ先端へのアンプ回路、ＡＤ変換ＩＣ等の設置は困難である。
第二に、体表用の超音波診断装置におけるトランスデューサで採用されている圧電単結晶は、その物理特性・プロセス適性上、超音波の送信周波数７〜８ＭＨｚ以上のトランスデューサへの適用は困難である。しかしながら、内視鏡用超音波は概して超音波の送信周波数７〜８ＭＨｚ以上のプローブであるため、圧電単結晶材による感度向上も困難である。

しかし、本発明の音響波プローブ用組成物から得られる音響レンズを用いることで、
内視鏡超音波トランスデューサの感度を向上させることが可能である。
また、同一の超音波の送信周波数（例えば１０ＭＨｚ）を使用する場合でも、内視鏡用超音波トランスデューサにおいて本発明の音響波プローブ用組成物から得られる音響レンズ用いる場合には、特に有効性が発揮される。

以下に本発明を、音響波として超音波を用いた実施例に基づいてさらに詳細に説明する。なお、本発明は超音波に限定されるものではなく、被検対象や測定条件等に応じて適切な周波数を選択してさえいれば、可聴周波数の音響波を用いてもよい。

［実施例１］
ビニル末端ポリジメチルシロキサン（Ｇｅｌｅｓｔ社製、商品名「ＤＭＳ−Ｖ４２」、質量平均分子量７２，０００）７９．６質量部、メチルヒドロシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー（Ｇｅｌｅｓｔ社製、商品名「ＨＭＳ−３０１」、質量平均分子量２，０００、メチルヒドロシロキサン比率２７ｍｏｌ％）２．４質量部、フュームドシリカ（日本アエロジル社製、商品名「アエロジルＲＸ３００」、平均一次粒子径７ｎｍ、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）表面処理）１８質量部をニーダーで２時間混練りし、均一なペーストとした。これに白金触媒溶液（Ｇｅｌｅｓｔ社製、商品名「ＳＩＰ６８２１．３」）を５００ｐｐｍ添加し混合した後、減圧脱泡し、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの金属型に入れ、６０℃で３時間熱処理をして、厚みが各々１ｍｍおよび２ｍｍのシリコーン樹脂シートを各々得た。

［実施例２〜１８、比較例１〜３］
実施例１のポリシロキサン混合物の成分、組成を下記表１および２に示すように変えた以外は、実施例１と同様にして所定のシリコーン樹脂シートを得た。

＜機械強度および超音波特性の評価＞
実施例１〜１８および比較例１〜３のシリコーン樹脂シートについて、以下の評価を行った。

［硬度］
得られた厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、ＪＩＳ Ｋ６２５３−３（２０１２）に従い、タイプＡデュロメータ硬さを、ゴム硬度計（エクセル社製、商品名「ＲＨ−２０１Ａ」）を用いて測定した。

［引張試験］
得られた厚み１ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、ＪＩＳ Ｋ６２５１に従い破断強度および伸度を測定した。

［引裂強度試験］
得られた厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、ＪＩＳ Ｋ６２５２（２００７）に従い、トラウザー型試験片を作製し、引裂強度を測定した。

［ウィリアムス摩耗試験］
実施例１〜１８および比較例１〜３において、同様に２０ｍｍ×２０ｍｍ×１０ｍｍの試験片を作製した。得られた試験片について、ＪＩＳ Ｋ６２６４−２に従い、安田精機製作所社製ウィリアムス摩耗試験機（Ｎｏ．２７５）を用いて、試験前後の質量を測定し、下記式から質量減少分（％）を算出した。下記表１および２において、質量減少分をウィリアムス摩耗量［％］と記載した。

（試験前のシリコーン樹脂シートの質量−試験後のシリコーン樹脂シートの質量）／試験前のシリコーン樹脂シートの質量×１００

［音響インピーダンス］
得られた厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートについて、２５℃における密度をＪＩＳ Ｋ７１１２（１９９９）に記載のＡ法（水中置換法）の密度測定方法に準じて、電子比重計（アルファミラージュ社製、商品名「ＳＤ−２００Ｌ」）を用いて測定した。超音波音速は、ＪＩＳ Ｚ２３５３（２００３）に従い、シングアラウンド式音速測定装置（超音波工業株式会社製、商品名「ＵＶＭ−２型」）を用いて２５℃において測定し、測定した密度と音速の積から音響インピーダンスを求めた。

［音響波（超音波）感度］
超音波発振器（岩通計測株式会社製、ファンクション・ジェネレータ、商品名「ＦＧ−３５０」）から出力された５ＭＨｚの正弦波信号（１波）を超音波プローブ（ジャパンプローブ株式会社製）に入力し、超音波プローブから中心周波数が５ＭＨｚの超音波パルス波を水中に発生させた。発生させた超音波が、得られた厚み２ｍｍのシリコーン樹脂シートを通過する前と後の振幅の大きさを超音波受信機（松下電器産業株式会社製、オシロスコープ、商品名「ＶＰ−５２０４Ａ」）により、水温２５℃の環境で測定し、音響波（超音波）感度を比較することで、各シートの音響波（超音波）減衰量を比較した。
なお、音響波（超音波）感度とは、下記計算式で与えられる数値とする。
下記計算式において、Ｖｉｎは、超音波発振器による、半値幅５０ｎｓｅｃ以下の入力波の電圧ピーク値を表す。Ｖｓは、発生させた音響波（超音波）がシートを通過し、シートの対面から反射してきた音響波（超音波）を超音波発振器が受信したときに得られる電圧値を表す。

音響波（超音波）感度＝２０×Ｌｏｇ（Ｖｓ／Ｖｉｎ）

得られた結果をまとめて、下記表１および２に示す。
なお、下記表１および２では、ポリオルガノシロキサン（Ａ）および（Ｂ）の質量平均分子量を単に分子量として記載した。また、各成分の種類は商品名を記載した。

＜表の注＞
［ポリオルガノシロキサン成分（Ａ）］
いずれもＧｅｌｅｓｔ社製のＤＭＳ（商品名）、ＰＤＶ（商品名）シリーズ
・ＤＭＳ−Ｖ３１：商品名、ビニル末端ポリジメチルシロキサン、質量平均分子量２８，０００
・ＤＭＳ−Ｖ３５：商品名、ビニル末端ポリジメチルシロキサン、質量平均分子量４９，５００
・ＤＭＳ−Ｖ４２：商品名、ビニル末端ポリジメチルシロキサン、質量平均分子量７２，０００
・ＤＭＳ−Ｖ４６：商品名、ビニル末端ポリジメチルシロキサン、質量平均分子量１１７，０００
・ＤＭＳ−Ｖ５２：商品名、ビニル末端ポリジメチルシロキサン、質量平均分子量１５５，０００
・ＰＤＶ−０５４１：商品名、ビニル末端ジフェニルシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量６０，０００、ジフェニルシロキサン量５ｍｏｌ％
・ＰＤＶ−０５３５：商品名、ビニル末端ジフェニルシロキサン−ジメチルシロキサンコ
ポリマー、質量平均分子量４７，５００、ジフェニルシロキサン量５ｍｏｌ％
・ＰＤＶ−１６４１：商品名、ビニル末端ジフェニルシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量５５，０００、ジフェニルシロキサン量１６ｍｏｌ％
・ＰＤＶ−１６３５：商品名、ビニル末端ジフェニルシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量３５，３００、ジフェニルシロキサン量１６ｍｏｌ％
・ＰＤＶ−１６３１：商品名、ビニル末端ジフェニルシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量１９，０００、ジフェニルシロキサン量１６ｍｏｌ％
［ポリオルガノシロキサン成分（Ｂ）］
いずれもＧｅｌｅｓｔ社製のＨＭＳ（商品名）、ＨＰＭ（商品名）シリーズ
・ＨＭＳ−０６４：商品名、メチルヒドロシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量６０，０００、メチルヒドロシロキサン比率６ｍｏｌ％
・ＨＭＳ−３０１：商品名、メチルヒドロシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量２，０００、メチルヒドロシロキサン比率２７ｍｏｌ％
・ＨＭＳ−５０１：商品名、メチルヒドロシロキサン−ジメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量１，１００、Ｓｉ−Ｈ当量１３５ｇ／ｍｏｌ
・ＨＭＳ−９９１：商品名、メチルヒドロシロキサンポリマー、質量平均分子量１，６００、Ｓｉ−Ｈ当量６７ｇ／ｍｏｌ
・ＨＰＭ−５０２：商品名、メチルヒドロシロキサン−フェニルメチルシロキサンコポリマー、質量平均分子量４，５００、Ｓｉ−Ｈ当量１６５ｇ／ｍｏｌ
［シリカ粒子（Ｃ）］
いずれも日本アエロジル株式会社製のフュームドシリカ、アエロジル（商品名）シリーズ（上記表では「アエロジル」を省略して記載してある。）
・アエロジルＲＸ３００：商品名、平均一次粒子径７ｎｍ、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）表面処理
・アエロジルＲＸ２００：商品名、平均一次粒子径１２ｎｍ、ＨＭＤＳ表面処理
・アエロジルＲＸ３８０Ｓ：商品名、平均一次粒子径５ｎｍ、ＨＭＤＳ表面処理
・アエロジルＲ９７６Ｓ：商品名、平均一次粒子径７ｎｍ、ジメチルジクロロシラン（ＤＤＳ）表面処理
・アエロジル３００：商品名、平均一次粒子径７ｎｍ、表面処理なし
・アエロジル２００：商品名、平均一次粒子径１２ｎｍ、表面処理なし
旭化成ワッカーシリコーン社製の燃焼法・乾式シリカ、ＨＤＫ（商品名）シリーズ（上記表では「ＨＤＫ」を省略して記載してある。）
・ＨＤＫ Ｈ ２０：商品名、平均一次粒子径１０ｎｍ、ＨＭＤＳ表面処理

表１および２に示すように、実施例１〜１２の音響波プローブ用シリコーン樹脂は、いずれも音響波（超音波）感度が−７２ｄＢ以上を維持しつつ、樹脂硬度、引張破断強度、引裂強度および耐摩耗性に優れることがわかった。また、シリコーンがフェニル基を有する実施例１３〜１８の音響波プローブ用シリコーン樹脂は、音響波（超音波）感度、樹脂硬度、引張破断強度、引裂強度および耐摩耗性に加え、高い音響インピーダンスを有することがわかった。なかでも、ポリオルガノシロキサン（Ａ）および（Ｂ）がいずれもフェニル基を有する実施例１５〜１８の音響波プローブ用シリコーン樹脂は、より良好な音響インピーダンスを有することがわかった。これに対して、比較例１〜３の音響波プローブ用シリコーン樹脂は、いずれも十分な引裂強度および耐摩耗性が得られなかった。

この結果から、本発明の音響波プローブ用組成物は、医療用部材に有用であることがわかる。また、本発明のシリコーン樹脂は、音響波プローブの音響レンズおよび／または音響整合層、ならびに、音響波測定装置および超音波診断装置にも好適に用いることができる。特に、音響波プローブ用組成物および音響波プローブ用シリコーン樹脂は、ｃＭＵＴを超音波診断用トランスデューサアレイとして用いる超音波プローブ、光音響波測定装置および超音波内視鏡において、感度向上を目的として、好適に用いることができる。

１ 音響レンズ
２ 音響整合層
３ 圧電素子層
４ バッキング材
７ 筐体
９ コード
１０ 超音波探触子（プローブ）

Claims (17)

1. ビニル基を有するポリシロキサン、分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンおよび平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子を含むポリシロキサン混合物を含有する音響波プローブ用組成物。
2. 前記ポリシロキサン混合物の合計１００質量部中に、前記平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子を０．１〜３０質量部含有する請求項１に記載の音響波プローブ用組成物。
3. 前記ポリシロキサン混合物の合計１００質量部中に、前記ビニル基を有するポリシロキサンを１０〜９９．４質量部、前記分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンを０．５〜９０質量部含有する請求項１または２に記載の音響波プローブ用組成物。
4. 前記平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子が、シラン化合物で表面処理されたものである請求項１〜３のいずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物。
5. 前記平均一次粒子径が１２ｎｍ未満のシリカ粒子が、トリメチルシリル化剤で表面処理されたものである請求項１〜４のいずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物。
6. 前記ビニル基を有するポリシロキサンが、フェニル基を有する請求項１〜５のいずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物。
7. 前記ビニル基を有するポリシロキサンの質量平均分子量が、１０，０００〜２００，０００である請求項１〜６いずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物。
8. 前記ビニル基を有するポリシロキサンの質量平均分子量が、３０，０００〜１５０，０００である請求項１〜７いずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物。
9. 前記分子鎖中に２個以上のＳｉ−Ｈ基を有するポリシロキサンが、フェニル基を有する請求項１〜８のいずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物。
10. 前記ポリシロキサン混合物１００質量部に対し、白金または白金化合物を０．００００１〜０．０１質量部含有する請求項１〜９のいずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物。
11. 請求項１〜１０のいずれか１項に記載の音響波プローブ用組成物を硬化した音響波プローブ用シリコーン樹脂。
12. 請求項１１に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂からなる音響レンズおよび音響整合層からなる群から選択される少なくとも１つを有する音響波プローブ。
13. 超音波トランスデューサアレイとしての容量性マイクロマシン超音波振動子、および、請求項１１に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂を含んでなる音響レンズを備える超音波プローブ。
14. 請求項１２に記載の音響波プローブを備える音響波測定装置。
15. 請求項１２に記載の音響波プローブを備える超音波診断装置。
16. 請求項１１に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂を含んでなる音響レンズを備える光音響波測定装置。
17. 請求項１１に記載の音響波プローブ用シリコーン樹脂を含んでなる音響レンズを備える超音波内視鏡。

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