JP6110191B2

JP6110191B2 - 検査装置および検査処理装置

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Publication number: JP6110191B2
Application number: JP2013080347A
Authority: JP
Inventors: 隆幸寺島; 信幸斎藤
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2013-04-08
Filing date: 2013-04-08
Publication date: 2017-04-05
Anticipated expiration: 2033-04-08
Also published as: TWI609186B; CN104101797A; TW201506417A; JP2014202668A

Description

本発明は、同一の検査対象についての同一の物理量を異なるタイミングで測定して得られる２つの測定値に基づいてこの検査対象の良否を検査する検査装置および検査処理装置に関するものである。

本願出願人は、この種の検査装置（検査処理装置）として、下記の特許文献１に開示された良否判別装置を既に提案している。この良否判別装置は、検査対象（例えばコンデンサ）を搬送するベルトコンベア、ベルトコンベアによる検査対象の搬送方向に沿って規定された２つの測定ステージ（第１測定ステージおよび第２測定ステージ）に配設された２つの検査装置、および処理装置を備えている。

この良否判別装置では、各検査装置は、ベルトコンベアで搬送されてそれぞれの測定ステージに位置した検査対象についての同一の物理量（例えば、検査対象がコンデンサのときには静電容量値）を順次測定すると共に、測定した物理量と予め設定された同一の判別用基準値（良品の範囲を規定する上限容量値および下限容量値）とを比較することによって検査対象の良否を検査する。また、各検査装置は、この検査の結果を処理装置に出力する。処理装置は、各検査装置から出力された検査の結果を入力して記憶すると共に、同一の検査対象についての各検査装置での検査の結果に基づいて、各検査装置による検査の結果が共に良品のときには、この検査対象を最終的に良品であると判別し、これ以外のとき（つまり、各検査装置による検査の結果の少なくとも一方が不良品であるとき）には、この検査対象を最終的に不良品であると判別する。

この良否判別装置によれば、同一の検査対象（１つの検査対象）に対する二重チェック（ダブルチェック）を実行することが可能になっている。

特開２０１１−５９０４９号公報（第５−９頁、第１図）

ところで、上記の良否判別装置には、以下の改善すべき課題が存在している。すなわち、検査対象の中には、検査装置による物理量の測定の際の測定用信号（例えば、測定電圧）の印加に起因して物理量が変化するものが存在している。このような検査対象は、製造不良などが原因で発生すると考えられ、市場に出回っている状態や、最終ユーザによって使用されている状態でも物理量が変化する場合（つまり、出荷後に物理量が変化する場合）があり、将来的に検査対象が満たすべきこの物理量についての製品仕様を満足しない状態に至ることもある。このため、このような検査対象は、本来、不良品と判別されるべきものである。

しかしながら、このような不良品と判別されるべき検査対象であっても、１つ目の検査装置での測定用信号の印加による物理量の変化の程度によっては、２つ目の検査装置で測定される物理量が判別用基準値を満たす場合がある。このような場合には、上記の良否判別装置では、２つの検査装置での検査対象についての物理量が共に判別用基準値を満たすことになり、上記の検査対象を良品と判別することになる。したがって、上記の良否判別装置には、市場に出回っている状態や、最終ユーザによって使用されている状態において物理量が変化して将来的にこの物理量についての製品仕様を満足しない状態に至るおそれのある検査対象を不良品として判別することが困難であるという改善すべき課題が存在している。

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、将来的に所定の物理量についての製品仕様を満足しない状態に至るおそれのある検査対象を不良品としてより確実に判別し得る検査装置および検査処理装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の検査装置は、検査対象を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による前記検査対象の搬送方向に沿って規定された２つの測定ステージにそれぞれ配設されて、当該測定ステージに搬送された前記検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した前記物理量の測定値を当該２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、前記他方の測定装置は、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記測定処理で自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、前記処理装置は、前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果のときには前記検査対象を良品として判別し、当該基準差分範囲に当該差分値が含まれていないとの判別結果のときには当該検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する。
また、請求項９記載の検査処理装置は、検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した前記物理量の測定値を当該２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、前記他方の測定装置は、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記測定処理で自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、前記処理装置は、前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果のときには前記検査対象を良品として判別し、当該基準差分範囲に当該差分値が含まれていないとの判別結果のときには当該検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する。

また、請求項２記載の検査装置は、検査対象を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による前記検査対象の搬送方向に沿って規定された２つの測定ステージにそれぞれ配設されて、当該測定ステージに搬送された前記検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、および当該測定値を前記２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、前記他方の測定装置は、自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、前記処理装置は、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果であるときには、前記一の検査対象を良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する。
また、請求項１０記載の検査処理装置は、検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、および当該測定値を前記２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、前記他方の測定装置は、自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、前記処理装置は、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果であるときには、前記一の検査対象を良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する。

また、請求項３記載の検査装置は、請求項２記載の検査装置において、前記処理装置は、前記判別処理において予め規定された個数以上連続して前記検査対象を不良品と判別したとき、および前記判別処理において不良品と判別する比率が予め規定された比率以上のときの少なくとも一方のときには、この後の予め規定された個数の前記一の検査対象に対して、前記判別処理に代えて、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるとき、および前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるときの少なくとも一方のときには、当該一の検査対象を不良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象の良否を判別しない判別処理を実行する。
また、請求項１１記載の検査処理装置は、請求項１０記載の検査処理装置において、前記処理装置は、前記判別処理において予め規定された個数以上連続して前記検査対象を不良品と判別したとき、および前記判別処理において不良品と判別する比率が予め規定された比率以上のときの少なくとも一方のときには、この後の予め規定された個数の前記一の検査対象に対して、前記判別処理に代えて、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるとき、および前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるときの少なくとも一方のときには、当該一の検査対象を不良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象の良否を判別しない判別処理を実行する。

また、請求項４記載の検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の検査装置において、前記他方の測定装置は、前記受信処理で測定した前記測定値を記憶させるＦＩＦＯメモリを備えると共に、前記差分値算出処理において当該ＦＩＦＯメモリに記憶されている前記一方の測定装置での複数の前記測定値のうちから前記一の検査対象についての前記測定値を読み出して前記差分値を算出する。
また、請求項１２記載の検査処理装置は、請求項９から１１のいずれかに記載の検査処理装置において、前記他方の測定装置は、前記受信処理で測定した前記測定値を記憶させるＦＩＦＯメモリを備えると共に、前記差分値算出処理において当該ＦＩＦＯメモリに記憶されている前記一方の測定装置での複数の前記測定値のうちから前記一の検査対象についての前記測定値を読み出して前記差分値を算出する。

また、請求項５記載の検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の検査装置において、前記搬送方向に沿った前記２つの測定ステージ間に規定された電圧印加ステージに配設されて、前記検査対象に対して試験電圧を印加する電圧印加装置を備えている。

また、請求項６記載の検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の検査装置において、前記一方の測定装置は、前記搬送方向に沿って前記他方の測定装置の上流側に配設されると共に、前記測定処理の実行後の前記検査対象に対して試験電圧を印加する電圧印加処理を実行する

また、請求項７記載の検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の検査装置において、前記他方の測定装置は、前記搬送方向に沿って前記一方の測定装置の下流側に配設されると共に、自らの前記測定処理の実行前の前記検査対象に対して試験電圧を印加する電圧印加処理を実行する。

また、請求項８記載の検査装置は、請求項１から７のいずれかに記載の検査装置において、前記処理装置は、前記判別処理において前記検査対象を良品として判別したときには、前記２つの測定値のうちの一方を最終的な測定値として出力する出力処理を実行する。
また、請求項１３記載の検査処理装置は、請求項９から１２のいずれかに記載の検査処理装置において、前記処理装置は、前記判別処理において前記検査対象を良品として判別したときには、前記２つの測定値のうちの一方を最終的な測定値として出力する出力処理を実行する。

請求項１記載の検査装置および請求項９記載の検査処理装置では、同一の検査対象についての２つの測定値間の差分値と基準差分範囲とを比較して基準差分範囲に差分値が含まれているか否かを判別する差分値比較処理と、この差分値比較処理での判別結果に基づいて検査対象の良否を判別する判別処理とを実行する。

したがって、この検査装置および検査処理装置によれば、差分値に基づく差分値比較処理での判別結果を使用して検査対象の良否を判別するため、市場に出回っている状態や、最終ユーザによって使用されている状態において物理量が変化して、良品の検査対象が満たすべきこの物理量についての製品仕様を満足しない状態に至る可能性のある検査対象を不良品として確実に判別することができる。

請求項２記載の検査装置および請求項１０記載の検査処理装置では、同一の検査対象についての２つの測定値と基準範囲とを比較して基準範囲に各測定値が共に含まれているか否かを判別する測定値比較処理と、２つの測定値間の差分値と基準差分範囲とを比較して基準差分範囲に差分値が含まれているか否かを判別する差分値比較処理と、測定値比較処理での判別結果と差分値比較処理での判別結果とに基づいて検査対象の良否を判別する判別処理とを実行する。

したがって、この検査装置および検査処理装置によれば、測定値に基づく測定値比較処理での判別結果を使用したダブルチェックによる判別結果と、差分値に基づく差分値比較処理での判別結果とを使用して検査対象の良否を判別するため、基準範囲に測定値が含まれていない検査対象を不良品であると確実に判別することができると共に、市場に出回っている状態や、最終ユーザによって使用されている状態において物理量が変化して、良品の検査対象が満たすべきこの物理量についての製品仕様を満足しない状態に至る可能性のある検査対象についても不良品として確実に判別することができる。

請求項３記載の検査装置および請求項１１記載の検査処理装置では、処理装置は、判別処理において予め規定された個数以上連続して検査対象を不良品と判別したとき、および判別処理において不良品と判別する比率が予め規定された比率以上のときの少なくとも一方のときには、この後の予め規定された個数の一の検査対象に対して、上記の判別処理に代えて、一方の測定装置から受信した測定値比較処理での判別結果が、基準範囲に測定値が含まれていないとの判別結果であるとき、および他方の測定装置から受信した測定値比較処理での判別結果が、基準範囲に測定値が含まれていないとの判別結果であるときの少なくとも一方のときには、一の検査対象を不良品として判別し、これ以外のときには一の検査対象の良否を判別しない判別処理を実行する。

したがって、この検査装置および検査処理装置によれば、例えば、一方の測定装置での測定値の送信処理、および他方の測定装置での測定値の受信処理の少なくとも一方において不具合が発生したときのように、他方の測定装置において正確な差分値比較処理を実行できない状況が生じたときには、処理装置は、差分値比較処理での判別の結果を使用する判別処理に代えて、測定値比較処理での判別の結果を使用する別の判別処理を実行することで、不良品を市場に流出させないようにすることができる。

請求項４記載の検査装置および請求項１２記載の検査処理装置では、他方の測定装置は、受信処理で測定した一方の測定装置からの測定値を記憶させるＦＩＦＯメモリを備えると共に、差分値算出処理においてＦＩＦＯメモリに記憶されている一方の測定装置での複数の測定値のうちから一の検査対象についての測定値を読み出して差分値を算出する。したがって、この検査装置および検査処理装置によれば、一般的なメモリを用いて一方の測定装置からの測定値をバッファリングする構成と比較して、他方の測定装置を簡易に構成することができる。

請求項５，６，７記載の検査装置では、１回目の測定処理が実行された検査対象に対して、２回目の測定処理の実行前に、試験電圧を印加する。したがって、これらの検査装置によれば、検査対象における電圧印加に起因した物理量の変化の度合いを加速させることができ、これによって他方の測定装置で算出される差分値の値を大きくすることができるため、将来的に物理量が変化して、良品が満たすべき物理量についての製品仕様を満足しない状態に至る可能性のある検査対象を不良品としてより確実に判別することができる。

請求項８記載の検査装置および請求項１３記載の検査処理装置では、処理装置が、判別処理において検査対象を良品として判別したときには、２つの測定値のうちの一方を最終的な測定値として出力する出力処理を実行する。したがって、この検査装置および検査処理装置によれば、検査対象についての良否の判別を実行しつつ、良品の検査対象についてはその測定値についても測定することができる。

検査装置１の構成図である。図１の各測定装置４，５の構成図である。抵抗値Ｒと基準範囲ＲＡ１との関係、および抵抗値Ｒの差分値ΔＲと基準差分範囲ＲＡ２との関係を説明するための説明図である（差分値ΔＲが小さい状態）。抵抗値Ｒと基準範囲ＲＡ１との関係、および抵抗値Ｒの差分値ΔＲと基準差分範囲ＲＡ２との関係を説明するための他の説明図である（差分値ΔＲが大きい状態）。各測定装置４，５の動作を説明するための説明図である。各測定装置４，５の動作を説明するための他の説明図である。他の検査装置１Ａの構成図である。

以下、検査装置および検査処理装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。なお、本例では一例として、検査対象としての電子部品（抵抗、コンデンサ、インダクタ）の一つである抵抗２を例に挙げて、その物理量としての抵抗値Ｒを測定値として測定し、測定した抵抗値Ｒに基づいて抵抗２を検査する例について説明する。

検査装置１は、一例として、図１に示すように、抵抗２を搬送する搬送装置３、複数（本例では一例として２つ）の測定装置４，５、選別装置６、処理装置７および出力装置８を備えている。なお、本例では、測定装置４，５および処理装置７によって「検査処理装置」が構成されている。

搬送装置３は、一例としてモータで駆動されるベルトコンベアを含んで構成されて、処理装置７によってモータが制御されることで、不図示の投入装置によってベルトコンベア上に投入された抵抗２を一定の距離Ｌずつ間欠的に搬送方向（抵抗２の搬送方向（図１中の白抜きの矢印方向））に搬送する。具体的には、搬送装置３は、処理装置７から予め規定された一定周期で出力される外部トリガ信号Ｓｔｇを入力する都度、モータを一定時間（外部トリガ信号Ｓｔｇの周期よりも短時間）だけ駆動して停止させることで、ベルトコンベア上の抵抗２を距離Ｌだけ搬送して停止させる（定寸送りする）。これにより、搬送装置３は、投入された抵抗２を、後述する第１測定ステージＳＴ１および第２測定ステージＳＴ２を経由して、最下流側の排出位置ＥＸ（選別装置６によって搬送のために把持される位置）まで搬送する。

なお、搬送方向に沿った各測定ステージＳＴ１，ＳＴ２間の距離、および測定ステージＳＴ１，ＳＴ２のうちの下流側に位置する第２測定ステージＳＴ２と排出位置ＥＸとの間の距離（または、各測定ステージＳＴ１，ＳＴ２と排出位置ＥＸとの間の距離）は、距離Ｌの整数倍である既知の距離に予め規定されている。

測定装置４，５は、一例として、図２に示すように、測定部１１、ＦＩＦＯメモリ（以下、単に「ＦＩＦＯ」ともいう）１２、制御部１３および記憶部１４を共に備えて同一に構成されて、抵抗２の抵抗値Ｒを測定する測定処理を実行する。

本例では、一方の測定装置４は、他方の測定装置５に対して搬送方向に沿った上流側に規定された第１測定ステージＳＴ１に配設され、他方の測定装置５は、第１測定ステージＳＴ１から距離Ｌの複数倍（本例では一例として４倍）だけ離間した下流側の第２測定ステージＳＴ２に配設されている。また、下流側の第２測定ステージＳＴ２から排出位置ＥＸまでの距離は、距離Ｌの複数倍（本例では一例として２倍）に規定されている。

また、各測定装置４，５は、それぞれの測定ステージＳＴ１，ＳＴ２に抵抗２が搬送されて来る都度、測定処理を実行してその抵抗２の抵抗値Ｒを測定する。これにより、各抵抗２は、まず、測定装置４によって１回目の抵抗値Ｒの測定が行われ、次いで、外部トリガ信号Ｓｔｇの４周期後に、測定装置５によって２回目の抵抗値Ｒの測定が行われる。また、一例として、各測定装置４，５は、測定処理において、図５に示すように、それぞれの測定ステージＳＴ１，ＳＴ２に最初に搬送されて来た抵抗２を番号１とするシリアル番号を各抵抗２に付与しつつ抵抗２の抵抗値Ｒ（同図では、発明の理解を容易にするため、例えば、シリアル番号１，２，３，・・・の抵抗２の各抵抗値Ｒを「Ｒ１」，「Ｒ２」，「Ｒ３」，・・・と表記している）を測定し、測定した抵抗値Ｒおよび後述する各判別データＤ１，Ｄ２をこのシリアル番号と共に処理装置７に送信する。この構成により、各抵抗２は各測定装置４，５によって同じシリアル番号が付与されることから、処理装置７は、このシリアル番号に基づいて、各抵抗２についての各測定装置４，５での抵抗値Ｒおよび各判別データＤ１，Ｄ２を認識することが可能になっている。

以下、測定装置４，５の各構成要素について説明する。なお、この検査装置１では、上流側の測定装置４はＦＩＦＯ１２を使用せずに、下流側の測定装置５のみがＦＩＦＯ１２を使用する構成のため、ＦＩＦＯ１２を含むすべての構成要素が動作する測定装置５を例に挙げて各構成要素について説明する。

測定部１１は、不図示の移動機構によって抵抗２の各電極に接離させられる一対のプローブＰ１，Ｐ２を備え、測定処理では、第２測定ステージＳＴ２に位置している抵抗２に各プローブＰ１，Ｐ２を接触させて抵抗値Ｒを測定する。

この抵抗値Ｒの測定に際しては、測定部１１は、移動機構を作動させて一対のプローブＰ１，Ｐ２を抵抗２に接触させる動作、一対のプローブＰ１，Ｐ２を介して抵抗２に測定用の電圧信号（例えば、直流電圧信号）を印加すると共にこのときに抵抗２に流れる電流信号を一対のプローブＰ１，Ｐ２を介して測定する動作、印加した電圧信号の電圧値と測定した電流信号の電流値とに基づいて抵抗２の抵抗値Ｒを算出する動作、および算出した抵抗値Ｒを制御部１３に出力する動作というこれら一連の動作を、制御部１３によって制御されて実行する。

ＦＩＦＯ１２は、予め規定された数の格納領域を有すると共に外部トリガ信号Ｓｔｇの立ち上がりまたは立ち下がり（本例では一例として、立ち上がり）に同期して作動するバッファメモリであって、測定装置４から出力されるデータＤｂｆ（本例では、測定装置４で測定された抵抗値Ｒ）を外部トリガ信号Ｓｔｇに同期して順次格納する（測定装置５における受信処理を実行する）と共に、各格納領域に格納されているデータＤｂｆを外部トリガ信号Ｓｔｇに同期して次の格納領域に移動させる。これにより、ＦＩＦＯ１２は、測定装置４から出力されるデータＤｂｆを、格納領域の個数に等しい外部トリガ信号Ｓｔｇの周期分だけ遅延させて、初めに格納したデータＤｂｆから制御部１３に順次出力する。

具体的には、ＦＩＦＯ１２は、第１測定ステージＳＴ１に位置している抵抗２を、第２測定ステージＳＴ２まで搬送するのに要する外部トリガ信号Ｓｔｇの周期の数（クロック数）に等しい数の格納領域を有している。本例では、上記したように、測定装置４によって１回目の抵抗値Ｒの測定が行われた抵抗２（つまり、第１測定ステージＳＴ１に位置している抵抗２）は、外部トリガ信号Ｓｔｇの４周期後に、測定装置５によって２回目の抵抗値Ｒの測定が行われる（つまり、第２測定ステージＳＴ２に搬送される）。このため、ＦＩＦＯ１２は、本例では、４つの格納領域を有している（図５，６参照）。

この構成により、測定装置５では、ＦＩＦＯ１２は、測定装置４によって抵抗値Ｒの測定が行われた抵抗２が第１測定ステージＳＴ１から１つ下流側の位置に搬送装置３によって搬送される外部トリガ信号Ｓｔｇに同期して、この抵抗値ＲをデータＤｂｆとして最初の格納領域に格納し、この外部トリガ信号Ｓｔｇを含めた外部トリガ信号Ｓｔｇの４周期後に（すなわち、この抵抗値Ｒの測定が行われた抵抗２が第２測定ステージＳＴ２に搬送されたときに）、この抵抗値Ｒを最終（本例では４つ目）の格納領域に移動（シフト）させる（図５，６参照）。

制御部１３は、ＣＰＵなどで構成されて、記憶部１４に予め記憶されている動作プログラムに従って作動して、測定部１１に抵抗値Ｒを測定させる制御処理、測定部１１で測定された抵抗値Ｒを他の測定装置に送信する第１送信処理、測定部１１で測定された抵抗値Ｒと記憶部１４に記憶されている基準範囲ＲＡ１とを比較して基準範囲ＲＡ１にこの抵抗値Ｒが含まれているか否かを判別する測定値比較処理、測定部１１で測定された抵抗値ＲとＦＩＦＯ１２から読み出した他の測定装置での抵抗値Ｒ（ＦＩＦＯ１２の最終（本例では４つ目）の格納領域に格納されている抵抗値Ｒ）との間の差分値ΔＲ（両抵抗値Ｒの差分の絶対値）を算出する差分値算出処理（「処理装置」として実行する「差分値算出処理」）、および算出した差分値ΔＲと記憶部１４に記憶されている基準差分範囲ＲＡ２とを比較して基準差分範囲ＲＡ２にこの差分値ΔＲが含まれているか否かを判別する差分値比較処理を実行可能に構成されている。また、制御部１３は、測定値比較処理での判別結果を示す第１判別データＤ１、差分値比較処理での判別結果を示す第２判別データＤ２および抵抗値Ｒを処理装置７に送信する第２送信処理についても実行可能に構成されている。

この場合、基準範囲ＲＡ１とは、正常な抵抗２の抵抗値Ｒが含まれる範囲（抵抗値許容差で示される範囲）をいい、抵抗２の公称抵抗値を中心として規定された範囲（例えば±０．１％の範囲。この例では、公称抵抗値×１．００１を上限値ＶＵとし、公称抵抗値×９９．９９９を下限値ＶＬとする範囲）をいう（図３，４参照）。

また、基準差分範囲ＲＡ２とは、正常な抵抗２の抵抗値Ｒをタイミングをずらして（本例では一例として、外部トリガ信号Ｓｔｇの４周期分の時間（例えば、数秒程度）を空けて）、測定装置４，５で１回ずつ、合計２回測定したときの２つの抵抗値Ｒの差分値ΔＲが含まれる範囲を示したものである。抵抗２は、抵抗値Ｒの測定の際に測定用信号（例えば、測定電圧）が印加されることで、この測定用信号の印加時間が数秒程度の短期間であっても、抵抗値Ｒが変化する場合があるが、良品の抵抗２では、図３に示すように、この変化は極めて小さい。例えば、良品の抵抗２についての差分値ΔＲのばらつく範囲は通常、抵抗２の抵抗値Ｒ自体の上記のばらつき（公称抵抗値を中心とした抵抗値許容差で示される範囲）の１／１０〜１／１００程度の極めて狭い範囲になる。

しかしながら、不良品の抵抗２では、図４に示すように、測定用信号の印加による抵抗値Ｒの変化が大きいため、上記の差分値ΔＲがこの範囲（抵抗２の抵抗値Ｒ自体の上記のばらつきの１／１０〜１／１００程度の極めて狭い範囲）を超える。したがって、本例では、基準差分範囲ＲＡ２を、図３に示すように、良品の抵抗２の差分値ΔＲについては含むが、図４に示すように、不良品の抵抗２の差分値ΔＲについては含まない（外れる）ように、正常な抵抗２の抵抗値Ｒについての公称抵抗値の±０．０２％の範囲に規定している。

記憶部１４は、ＲＯＭやＲＡＭなどの半導体メモリで構成されて、制御部１３のための動作プログラム、基準範囲ＲＡ１および基準差分範囲ＲＡ２を記憶する。

選別装置６は、処理装置７によって制御される不図示の移動機構、良品回収箱６ａおよび不良品回収箱６ｂを備え、各測定ステージＳＴ１，ＳＴ２を経て搬送装置３の最下流位置に搬送された抵抗２を、移動機構を作動させることにより、良品回収箱６ａおよび不良品回収箱６ｂのいずれかに移動させる。

処理装置７は、コンピュータなどで構成されて、一定の周期の外部トリガ信号Ｓｔｇを生成して、搬送装置３、測定装置４，５および選別装置６に出力するトリガ出力処理を実行する。また、処理装置７は、測定装置４，５から受信した第１判別データＤ１および第２判別データＤ２に基づいて抵抗２の良否を判別する判別処理と、選別装置６を制御して、良品と判別された抵抗２を良品回収箱６ａに移動させると共に不良品と判別された抵抗２を不良品回収箱６ｂに移動させる移動処理と、判別処理において良品として判別した抵抗２の抵抗値Ｒをこの抵抗２の最終的な測定値として、この抵抗２の判別結果を示す判別データＤ３と共に出力装置８に出力する出力処理とを実行する。

出力装置８は、一例としてＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などの表示装置で構成されて、抵抗２の抵抗値Ｒとその判別データＤ３を画面上に表示する。なお、表示装置に代えて、外部機器との間でデータ通信を行う通信装置で出力装置８を構成して、検査対象の良否を示す判別結果およびその測定値を外部機器に出力するようにしてもよい。

次に、検査装置１の動作について説明する。

処理装置７は、トリガ出力処理を実行して、搬送装置３、第１測定ステージＳＴ１および第２測定ステージＳＴ２に外部トリガ信号Ｓｔｇを出力する。これにより、搬送装置３は、外部トリガ信号Ｓｔｇを入力する都度、ベルトコンベアを一定の距離Ｌずつ動かして停止させる（つまり、ベルトコンベア上に投入された抵抗２を定寸送りする）搬送動作を実行する。

一方、測定装置４は、図５に示すように、外部トリガ信号Ｓｔｇを入力する都度、搬送装置３によって第１測定ステージＳＴ１に搬送されてきた抵抗２に対する測定処理を実行する。本例では、この測定処理では、測定装置４の制御部１３が、上記した制御処理、第１送信処理、測定値比較処理、差分値算出処理、差分値比較処理および第２送信処理のうちの、制御処理、第１送信処理、測定値比較処理および第２送信処理を実行する。

具体的には、測定装置４の制御部１３は、制御処理を実行することにより、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの入力までに、第１測定ステージＳＴ１上の抵抗２についての抵抗値Ｒを測定部１１に測定させると共に、この抵抗値Ｒを取得する。なお、抵抗２が存在しない状態で測定される抵抗値Ｒは、無限大の抵抗値になる。このため、制御部１３は、抵抗２の公称抵抗値よりも十分に大きな閾値（例えば、公称抵抗値の数倍の抵抗値）と、測定部１１で測定された抵抗値Ｒとを比較することにより、取得した抵抗値Ｒが初めて閾値未満となったときに、第１測定ステージＳＴ１に最初の抵抗２が搬送されて来たと判別して、シリアル番号の付与を開始する。

また、制御部１３は、第１送信処理を実行することにより、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの入力までに、測定部１１で測定された抵抗値Ｒを測定装置５に出力する。また、制御部１３は、測定値比較処理および第２送信処理を実行することにより、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの入力までに、測定部１１で測定された抵抗値Ｒと記憶部１４に記憶されている基準範囲ＲＡ１とを比較して基準範囲ＲＡ１にこの抵抗値Ｒが含まれているか否かを判別し、その判別結果を示す第１判別データＤ１および抵抗値Ｒをシリアル番号と共に処理装置７に送信する。

抵抗２が劣化または破損しているときや、本来の抵抗２とは異なる公称抵抗値の抵抗が抵抗２として搬送されて来たときなどのように、抵抗２が不良品のときには、測定された抵抗値Ｒは常に基準範囲ＲＡ１には含まれず、一方、抵抗２が良品である可能性の高いときには、測定された抵抗値Ｒは常に基準範囲ＲＡ１に含まれている。制御部１３は、このような抵抗２の良否を判別するための基準となる判別結果を示す第１判別データＤ１を処理装置７に出力する。

他方、測定装置５も測定装置４と同様にして、図５に示すように、外部トリガ信号Ｓｔｇを入力する都度、搬送装置３によって第２測定ステージＳＴ２に搬送されてきた抵抗２に対する測定処理を実行する。本例では、この測定処理では、測定装置５の制御部１３が、上記した制御処理、第１送信処理、測定値比較処理、差分値算出処理、差分値比較処理および第２送信処理のうちの、制御処理、測定値比較処理、差分値算出処理、差分値比較処理および第２送信処理を実行する。

具体的には、測定装置５の制御部１３は、制御処理を実行することにより、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの入力までに、第２測定ステージＳＴ２上の抵抗２についての抵抗値Ｒを測定部１１に測定させると共に、この抵抗値Ｒを取得する。また、測定装置４と同様にして、第１測定ステージＳＴ１に最初の抵抗２が搬送されて来たと判別したときには、シリアル番号の付与を開始する。

また、制御部１３は、測定値比較処理を実行することにより、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの入力までに、測定部１１で測定された抵抗値Ｒと記憶部１４に記憶されている基準範囲ＲＡ１とを比較して基準範囲ＲＡ１にこの抵抗値Ｒが含まれているか否かを判別する。また、制御部１３は、差分値算出処理および差分値比較処理を実行することにより、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの入力までに、測定部１１で測定された抵抗値ＲとＦＩＦＯ１２から読み出した測定装置４での抵抗値Ｒとの間の差分値ΔＲを算出すると共に、算出した差分値ΔＲと記憶部１４に記憶されている基準差分範囲ＲＡ２とを比較して基準差分範囲ＲＡ２にこの差分値ΔＲが含まれているか否かを判別する。また、制御部１３は、第２送信処理を実行することにより、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの入力までに、測定値比較処理での判別結果（基準範囲ＲＡ１に抵抗値Ｒが含まれているか否かを示す判別結果）を示す第１判別データＤ１、差分値比較処理での判別結果（基準差分範囲ＲＡ２に差分値ΔＲが含まれているか否かを示す判別結果）を示す第２判別データＤ２および抵抗値Ｒをシリアル番号と共に処理装置７に送信する。

本例の測定装置５では、ＦＩＦＯ１２が、外部トリガ信号Ｓｔｇを入力する都度、この外部トリガ信号Ｓｔｇに同期して、測定装置４からの最新の抵抗値ＲをデータＤｂｆとして最初の格納領域に格納すると共に、各格納領域（本例では４つの格納領域）に格納されている抵抗値Ｒ（今までに測定装置４で測定された抵抗値Ｒ）を次の格納領域に移動させる動作を実行する。このため、ＦＩＦＯ１２からデータＤｂｆとして出力されている抵抗値Ｒ（各格納領域のうちの最後の格納領域に格納されている抵抗値Ｒ）は、第２測定ステージＳＴ２に現在位置している抵抗２が第１測定ステージＳＴ１に位置しているときに測定装置４によって測定された抵抗値Ｒである。

これにより、測定装置５の制御部１３は、差分値算出処理において、現在、第２測定ステージＳＴ２に位置している抵抗２についての差分値ΔＲを算出し、差分値比較処理において、この算出した差分値ΔＲが基準差分範囲ＲＡ２に含まれているか否かを判別する。

抵抗２の抵抗値Ｒが、測定用信号の印加によって許容範囲を超えて変化したとき（測定用信号の印加の前後での抵抗値Ｒの変化を示す差分値ΔＲが基準差分範囲ＲＡ２に含まれていないとき）には、検査装置１において測定された抵抗値Ｒが基準範囲ＲＡ１に含まれていたとしても、市場に出回っている状態や、最終ユーザによって使用されている状態において特性（本例では抵抗値Ｒ）が変化して、良品の抵抗２が満たすべき製品仕様（抵抗値Ｒが基準範囲ＲＡ１に含まれるという仕様）を満足しない状態に至ることがある。測定装置５の制御部１３は、差分値算出処理および差分値比較処理を実行することにより、このような状態に至る可能性の高い抵抗２を不良品と判別するための基準となる判別結果を示す第２判別データＤ２を処理装置７に出力する。

処理装置７は、測定装置４から出力される第１判別データＤ１、抵抗値Ｒおよびシリアル番号を外部トリガ信号Ｓｔｇに同期して取得して記憶する。また、処理装置７は、測定装置５から出力される第１判別データＤ１、第２判別データＤ２、抵抗値Ｒおよびシリアル番号についても外部トリガ信号Ｓｔｇに同期して取得して記憶する。なお、処理装置７は、測定装置５から取得した各データの記憶に際しては、測定装置４から取得したデータと同じシリアル番号のデータは同じ抵抗２のデータであるため、測定装置４のシリアル番号に対応させて記憶する。

また、処理装置７は、測定装置４または測定装置５（本例では一例として測定装置５）からシリアル番号と共に抵抗値Ｒ等のデータを受信した抵抗２について、受信後における外部トリガ信号Ｓｔｇの生成回数をカウントすることにより、このカウント値に基づいてベルトコンベア上でのこの抵抗２の現在の位置を特定して、排出位置ＥＸに搬送されたか否かを判別する。例えば、本例のように、測定装置５からシリアル番号と共に抵抗値Ｒ等のデータを受信した抵抗２については、測定装置５と排出位置ＥＸとの間の距離が距離Ｌの２倍であるため、受信後における外部トリガ信号Ｓｔｇのカウント値が２に達したときに、この抵抗２が排出位置ＥＸに達したと判別する。

処理装置７は、排出位置ＥＸに達した抵抗２について、次の外部トリガ信号Ｓｔｇの生成までに、判別処理、移動処理および出力処理をこの順に実行する。まず、判別処理では、処理装置７は、この抵抗２のシリアル番号に対応させて記憶した測定装置４からの第１判別データＤ１、並びに測定装置５からの第１判別データＤ１および第２判別データＤ２に基づいて抵抗２の良否を判別する判別処理を実行する。

具体的には、この判別処理において、処理装置７は、測定装置４および測定装置５からの各第１判別データＤ１で示される判別結果が、基準範囲ＲＡ１に抵抗値Ｒが共に含まれていることを示す判別結果であり、かつ、測定装置５からの第２判別データＤ２で示される判別結果が、基準差分範囲ＲＡ２に差分値ΔＲが含まれていることを示す判別結果であるときには、この抵抗２は良品であると判別する。

一方、この判別処理において、処理装置７は、測定装置４および測定装置５からの各第１判別データＤ１で示される判別結果、および測定装置５からの第２判別データＤ２で示される判別結果が上記のようにして抵抗２を良品と判別したときの判別結果以外のとき、すなわち、測定装置４からの第１判別データＤ１で示される判別結果が基準範囲ＲＡ１に抵抗値Ｒが含まれていないことを示す判別結果、測定装置５からの第１判別データＤ１で示される判別結果が基準範囲ＲＡ１に抵抗値Ｒが含まれていないことを示す判別結果、および測定装置５からの第２判別データＤ２で示される判別結果が基準差分範囲ＲＡ２に差分値ΔＲが含まれていないことを示す判別結果の少なくとも１つであるときには、この抵抗２は不良品であると判別する。

次いで、移動処理では、処理装置７は、選別装置６に対する制御を実行することにより、良品と判別された抵抗２については、ベルトコンベア上の排出位置ＥＸから良品回収箱６ａに移動させる。一方、処理装置７は、不良品と判別された抵抗２については、排出位置ＥＸから不良品回収箱６ｂに移動させる。このようにして、検査装置１は、部品選別装置として機能して、搬送装置３に投入された抵抗２についての良否を判別して、良品回収箱６ａと不良品回収箱６ｂとに分別して回収する（抵抗２を選別する）。

続いて、出力処理では、処理装置７は、良品と判別して選別作業を行った抵抗２については、その判別結果（良品を示す判別結果）を示す判別データＤ３を出力装置８に出力すると共に、各測定装置４，５で測定された抵抗値Ｒのうちの一方（本例では一例として、最後に測定された測定装置５での抵抗値Ｒ）を最終的な抵抗値Ｒとして出力装置８に出力する。したがって、検査装置１は、電気的特性（本例では抵抗値Ｒ）測定装置としても機能して、良品として判別された抵抗２の最終的な抵抗値Ｒを出力（本例では表示）する。一方、処理装置７は、不良品と判別して選別作業を行った抵抗２については、その判別結果（不良品を示す判別結果）を示す判別データＤ３を出力装置８に出力する。なお、この不良品として判別した場合においても、例えば、最後に測定された測定装置５での抵抗値Ｒを出力装置８に出力するようにしてもよい。本例では出力装置８は表示装置で構成されているため、出力装置８は、処理装置７から入力した抵抗値Ｒを判別データＤ３で示される判別結果と共に画面上に表示する。

このように、この検査装置１では、同一の抵抗２に対して同一の物理量（本例では抵抗値Ｒ）を異なるタイミングで２回測定して、基準範囲ＲＡ１に各抵抗値Ｒが含まれているか否かを判別する測定値比較処理を実行すると共に、基準差分範囲ＲＡ２に各抵抗値Ｒ間の差分値ΔＲ（両抵抗値Ｒの差分の絶対値）が含まれているか否かを判別する差分値比較処理を実行し、さらに、基準範囲ＲＡ１に２つの抵抗値Ｒが共に含まれ、かつ基準差分範囲ＲＡ２に差分値ΔＲが含まれているときに抵抗２を良品として判別し、これ以外のときには抵抗２を不良品として判別する。

したがって、この検査装置１によれば、異なるタイミングで測定された各抵抗値Ｒに基づく測定値比較処理での判別結果を使用したダブルチェックによって各抵抗２の良否を判別するため、基準範囲ＲＡ１（正常な抵抗２の抵抗値Ｒが含まれる範囲）に含まれていない抵抗２を不良品であると確実に判別（選別）することができると共に、各抵抗値Ｒ間の差分値ΔＲに基づく差分値比較処理での判別結果を使用して抵抗２の良否を判別するため、２回の測定で測定された抵抗値Ｒが共に基準範囲ＲＡ１（正常な抵抗２の抵抗値Ｒが含まれる範囲）に含まれている抵抗２であっても、市場に出回っている状態や、最終ユーザによって使用されている状態において特性（本例では抵抗値Ｒ）が変化して、良品の抵抗２が満たすべき製品仕様を満足しない状態に至る可能性のある抵抗２についても不良品として確実に判別することができる。

また、この検査装置１によれば、出力処理を実行して、良品であると判別した抵抗２については、各測定装置４，５で測定された抵抗値Ｒのうちの一方（本例では２回目の抵抗値Ｒ）を最終的な抵抗値Ｒとして出力装置８に出力するため、抵抗２についての良否の判別（選別）を実行しつつ、良品の抵抗２についてはその抵抗値Ｒについても測定することができる。

また、この検査装置１によれば、各抵抗２に対して最初に抵抗値Ｒの測定を行った測定装置４から送信された抵抗値Ｒを、次に抵抗値Ｒの測定を行う測定装置５において受信する構成として、ＦＩＦＯ１２を使用する構成を採用したことにより、一般的なメモリを用いて測定装置４からの抵抗値Ｒをバッファリングする構成と比較して、測定装置５（本例では、各測定装置４，５が同一の構成のため、測定装置４，５の双方）を簡易に構成することができる。

なお、上記の検査装置１では、差分値ΔＲに基づく差分値比較処理だけでなく、各抵抗値Ｒに基づく測定値比較処理を実行する構成を採用しているが、他の装置によって抵抗値Ｒが基準範囲ＲＡ１に含まれていることが既に検査されている抵抗２を検査対象とするときには、差分値ΔＲに基づく差分値比較処理だけを抵抗２に対して実行し、判別処理において、この差分値比較処理での判別結果のみに基づいて抵抗２の良否を判別する構成を採用することもできる。

また、上記の検査装置１では、各測定装置４，５が測定値比較処理を実行してその判別結果を示す第１判別データＤ１を処理装置７に出力し、かつ測定装置５が差分値算出処理および差分値比較処理を実行してその判別結果を示す第２判別データＤ２を処理装置７に出力する構成を採用しているが、各測定装置４，５が抵抗２について測定した抵抗値Ｒのみを処理装置７に出力すると共に、処理装置７がこの２つの抵抗値Ｒに基づいて、測定値比較処理、差分値算出処理および差分値比較処理を実行して抵抗２の良否を判別する構成を採用することもできる。

また、このように、各測定装置４，５が測定した抵抗値Ｒのみを処理装置７に送信する構成を採用したときであって、他の装置によって抵抗値Ｒが基準範囲ＲＡ１に含まれていることが既に検査されている抵抗２を検査対象とするときには、処理装置７がこの２つの抵抗値Ｒに基づいて、差分値算出処理および差分値比較処理を実行して抵抗２の良否を判別する構成を採用することもできる。

また、上記の検査装置１のように、測定装置４からの抵抗値Ｒを測定装置５が受信する構成（上記の例では、ＦＩＦＯ１２を使用して受信する構成）を採用したときには、測定装置４からの抵抗値Ｒの送信処理や、測定装置５での抵抗値Ｒの受信処理において何らかの原因により不具合が発生したときには、この不具合の発生に起因して、測定装置５において、自ら抵抗値Ｒを測定している抵抗２と、ＦＩＦＯ１２から読み出した抵抗値Ｒに対応する抵抗２とがずれるという現象が発生する。

この場合には、図６において一点鎖線で囲んだデータＤｂｆ（本例では抵抗値Ｒ）のように、ＦＩＦＯ１２に格納されている抵抗値Ｒが、本来であれば、２番目の格納領域に抵抗値Ｒ（Ｒ１６）、３番目の格納領域に抵抗値Ｒ（Ｒ１５）、最終の格納領域に抵抗値Ｒ（Ｒ１４）がそれぞれ格納されるべきところ、実際には、２番目の格納領域に抵抗値Ｒ（Ｒ１５）、３番目の格納領域に抵抗値Ｒ（Ｒ１４）、最終の格納領域に抵抗値Ｒ（Ｒ１３）がそれぞれ格納された状態（ずれた状態）になり、この結果として、測定装置５において、制御部１３がＦＩＦＯ１２から読み出す抵抗値Ｒ（Ｒ１３）に対応する抵抗２（シリアル番号が１３の抵抗２）が、測定部１１で抵抗値Ｒ（Ｒ１４）を測定された抵抗２（シリアル番号が１４の抵抗２）とずれるという不具合が生じる。

この状態においては、測定装置５の制御部１３が差分値算出処理において算出する差分値ΔＲは、異なる抵抗２の抵抗値Ｒ（この例では、シリアル番号が１３の抵抗２の抵抗値Ｒ（Ｒ１３）と、シリアル番号が１４の抵抗２の抵抗値Ｒ（Ｒ１４））間の差分値となる。このため、算出した差分値ΔＲは、異なる抵抗２間に生じている抵抗値Ｒのバラツキを含んだ値になることから、同じ抵抗２を異なるタイミングで２回測定して得られた２つの抵抗値Ｒ間のバラツキよりも一般的に遙かに大きな値になる。したがって、制御部１３は、差分値比較処理において、基準差分範囲ＲＡ２に差分値ΔＲが含まれていないと判別して、この判別結果を示す第２判別データＤ２を処理装置７に出力する。これにより、処理装置７は、判別処理において、測定装置５で抵抗値Ｒが測定された抵抗２を不良品と判別する。

また、このように測定装置４での抵抗値Ｒの送信処理、および測定装置５での抵抗値Ｒの受信処理の少なくとも一方において不具合が発生したとき（本例では、上記のようにＦＩＦＯ１２に記憶される抵抗値Ｒがずれるという不具合が発生したとき）には、図６に示すように、通常は、測定装置５において、制御部１３がＦＩＦＯ１２から読み出す抵抗値Ｒに対応する抵抗２と、測定部１１で抵抗値Ｒを測定した抵抗２とがずれるという不具合が複数回連続して発生することになる。

この場合には、測定装置５の制御部１３が算出する差分値ΔＲは不正確な値となるため、差分値比較処理において、誤った第２判別データＤ２を処理装置７に出力する。これにより、処理装置７では、この誤った第２判別データＤ２に基づいて、測定装置５に搬送装置３によって搬送されて来る抵抗２を連続して不良品と判別するという現象が生じる。

このような現象が処理装置７に生じたとき、すなわち、処理装置７が判別処理において、予め規定された個数以上連続して抵抗２を不良品と判別したとき、およびその結果として、不良品と判別する比率が予め規定された比率以上になったときのいずれか一方のときには、処理装置７は、その後、測定装置４からの第１判別データＤ１と、測定装置５からの第１判別データＤ１および第２判別データＤ２とを用いて抵抗２の良否を判別する上記の判別処理を継続したとしても、抵抗２の良否を正確に判別できないという状況が複数回連続して発生する可能性が高い。

したがって、このように、処理装置７が判別処理において、第２判別データＤ２が原因となって、予め規定された個数以上連続して抵抗２を不良品と判別したとき、および不良品と判別する比率が予め規定された比率以上になったときのいずれか一方のときには、処理装置７は、上記の判別処理（第１判別データＤ１と共に第２判別データＤ２を使用する判別処理）に代えて、第１判別データＤ１のみを使用する別の判別処理を実行して、抵抗２が不良品であるか否かを判別するようにする。

具体的には、処理装置７は、この別の判別処理では、測定装置４から受信した第１判別データＤ１で示される測定値比較処理での判別結果が、基準範囲ＲＡ１に抵抗値Ｒが含まれていないとの判別結果であるとき、および測定装置５から受信した第１判別データＤ１で示される測定値比較処理での判別結果が、基準範囲ＲＡ１に抵抗値Ｒが含まれていないとの判別結果であるときの少なくとも一方のときには、この抵抗２（一の検査対象）を不良品として判別して、移動処理を実行して不良品回収箱６ｂに移動させる。一方、これ以外のときには、抵抗２の良否を正確に判別できないため、処理装置７は、この抵抗２の良否を判別しないようにする。なお、この場合には、例えば、処理装置７は、移動処理を実行して、不図示の未検査品回収箱にこの抵抗２を移動させる。

この構成を採用することにより、検査装置１は、第１判別データＤ１と共に第２判別データＤ２を使用する判別処理を実行している状態において、予め規定された個数以上連続して抵抗２を不良品と判別したとき、および不良品と判別する比率が予め規定された比率以上になったときの少なくとも一方のとき以降において、この同じ判別処理を継続した場合に発生する不具合（良品も不良品もすべて不良品として判別するという不具合）を回避して、第１判別データＤ１に基づいて不良品であると確実に判別できる抵抗２については不良品回収箱６ｂに移動させることができ、また、これ以外の抵抗２については未検査品回収箱に移動させることができるため、不良品を市場に流出させないようにすることができる。

この別の判別処理を予め規定された回数だけ繰り返している間に、測定装置４での抵抗値Ｒの送信処理、および測定装置５での抵抗値Ｒの受信処理の少なくとも一方において発生していた不具合が解消されたときには、図６に示すように、測定装置５において、制御部１３がＦＩＦＯ１２から読み出す抵抗値Ｒが測定された抵抗２と、測定部１１で抵抗値Ｒを測定した抵抗２とのずれが解消されるため（周期２１目に解消される）、これ以降は、通常の動作を実行することで、抵抗２に対する検査を続行することができる。

また、別の判別処理を予め規定された回数だけ繰り返した後に、基準差分範囲ＲＡ２に差分値ΔＲが含まれていることを示す第２判別データＤ２が測定装置５から出力されているときには、処理装置７は、この別の判別処理（第１判別データＤ１のみを使用する判別処理）から、元の判別処理（第１判別データＤ１と共に第２判別データＤ２を使用する判別処理）に切り替えるようにする。これにより、上記したように、抵抗２に対する正確な良否判別を実行することができる。

また、上記の検査装置１では、測定装置５から抵抗２への試験用信号の印加を利用して、不良品の抵抗２における差分値ΔＲを測定する構成を採用しているが、図７に示す検査装置１Ａのように、搬送装置３の搬送方向に沿った２つの測定ステージＳＴ１，ＳＴ２に電圧印加ステージＳＴ３を規定し、抵抗２に試験電圧Ｖｔｓを印加する電圧印加装置２１をこの電圧印加ステージＳＴ３に配設するようにすることもできる。

この構成の検査装置１Ａによれば、試験電圧Ｖｔｓの電圧値を測定装置４，５が抵抗２に印加する試験用信号の電圧値以上に規定することで、抵抗２における電圧印加による抵抗値Ｒの変化の度合いを加速させることができ、これによって測定装置５で算出される差分値ΔＲの値を大きくすることができるため、出荷後に抵抗値Ｒが変化して、良品が満たすべき抵抗値Ｒについての製品仕様を満足しない状態に至る可能性のある抵抗２を不良品としてより確実に判別することができる。なお、検査装置１と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略した。

なお、図示はしないが、測定装置４にこの電圧印加装置２１の機能を内蔵させて、抵抗値Ｒの測定が完了した（測定処理の実行後の）抵抗２に、一対のプローブＰ１，Ｐ２を介して試験電圧を印加する構成を採用することもできる。また、測定装置５にこの電圧印加装置２１の機能を内蔵させて、自らによる抵抗値Ｒの測定前（自らの測定処理の実行前）の抵抗２に、一対のプローブＰ１，Ｐ２を介して試験電圧を印加する構成を採用することもできる。

また、上記の検査装置１，１Ａでは、搬送装置３に規定された２つの測定ステージＳＴ１，ＳＴ２に配設された２つの測定装置４，５を有する構成を採用しているが、図示はしないが、搬送装置に３つ以上の測定ステージを規定して、各測定ステージに測定装置をそれぞれ配設する構成を採用することもできる。この構成の検査装置では、これら３つ以上の測定装置のうちの任意の２つを上記した検査装置１，１Ａにおける測定装置４，５と同様に作動させることにより、処理装置において抵抗２の良否を判別することができる。

また、上記の検査装置１，１Ａでは、搬送方向に沿った上流側の測定装置４から下流側の測定装置５に抵抗値Ｒを送信し、測定装置５において差分値算出処理および差分値比較処理を実行しているが、逆に、下流側の測定装置５から上流側の測定装置４に抵抗値Ｒを送信する構成を採用することもできる。この構成を採用した検査装置では、測定装置４において、自ら測定した抵抗値ＲをＦＩＦＯ１２に入力してバッファリングすると共に、ＦＩＦＯ１２から出力される抵抗値Ｒと、測定装置５から受信した抵抗値Ｒとに基づいて差分値算出処理を実行して差分値ΔＲを算出し、この差分値ΔＲに基づいて差分値比較処理を実行して第２判別データＤ２を生成し、処理装置７に出力する。この検査装置においても、上記の検査装置１，１Ａと同様の抵抗２に対する検査を実行することができる。

また、処理装置７が、測定装置４，５から抵抗値Ｒを入力して、差分値比較処理および判別処理を実行する構成を採用することもできる。

また、上記の検査装置１，１Ａでは、各測定装置４，５は、測定処理を実行して、１つの抵抗２に対して抵抗値Ｒを１回測定する構成を採用しているが、制御部１３が、測定部１１に対して、各抵抗２の抵抗値Ｒをタイミングをずらして（異なるタイミングで）２回測定させる測定処理を実行し、かつ測定された２つの抵抗値Ｒから差分値ΔＲを算出する差分値算出処理を実行し、かつこの差分値ΔＲに基づいて差分値比較処理を実行して第２判別データＤ２を生成する構成や、さらに、制御部１３がこの第２判別データＤ２に基づいて抵抗２の良否を判別する判別処理を実行する構成を採用することもできる。このようにして各測定装置４，５自体を単独で検査装置として機能させる構成を採用したときには、２つの測定ステージＳＴ１，ＳＴ２のうちのいずれか一方にのみ測定装置４，５のうちのいずれか１つを配置すればよいため、装置全体の構成を簡略化することができる。

また、上記の各測定装置４，５は、一対のプローブＰ１，Ｐ２を備えた測定部１１を１つ有する構成を採用しているが、この構成に代えて、一対のプローブＰ１，Ｐ２を備えた測定部１１をさらにもう一つ備えた構成や、測定部１１を上記の１チャネルでの測定に代えて多チャンネル（例えば、２チャンネル）での測定を可能とする構成（一対のプローブＰ１，Ｐ２を複数セット（２セット）接続し得る構成）を採用することもできる。これらの構成を採用したときには、測定装置４，５のうちのいずれか１つを使用しつつ、上記したように測定装置４，５を共に使用したときと同様にして、２つの測定ステージＳＴ１，ＳＴ２において各抵抗２の抵抗値Ｒを合計２回測定することができる。したがって、この構成を採用した測定装置４（または測定装置５）を備えた検査装置によれば、測定装置の台数を１台に低減しつつ、上記した検査装置１，１Ａと同様にして、抵抗２の検査を実行することができる。

また、測定装置４，５が、このように一対のプローブＰ１，Ｐ２を備えた測定部１１をさらにもう一つ備えた構成や、多チャンネル（例えば、２チャンネル）での測定を可能とする測定部（一対のプローブＰ１，Ｐ２を複数セット（２セット）接続し得る測定部）を備えた構成を採用しつつ、制御部１３が、測定部に対して各抵抗２の抵抗値Ｒをタイミングをずらして（異なるタイミングで）２回測定させる測定処理、各抵抗２の２つの抵抗値Ｒから差分値ΔＲを算出する差分値算出処理、この差分値ΔＲに基づいて差分値比較処理を実行して第２判別データＤ２を生成する構成を採用することもできる。さらには、制御部１３がこの第２判別データＤ２に基づいて抵抗２の良否を判別する判別処理を実行する構成を採用することもできる。

１検査装置
２抵抗
３搬送装置
４，５測定装置
７処理装置
８出力装置
Ｒ抵抗値
ＲＡ１基準範囲
ＲＡ２基準差分範囲

Claims

検査対象を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による前記検査対象の搬送方向に沿って規定された２つの測定ステージにそれぞれ配設されて、当該測定ステージに搬送された前記検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、
前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、
前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した前記物理量の測定値を当該２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、
前記他方の測定装置は、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記測定処理で自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、
前記処理装置は、前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果のときには前記検査対象を良品として判別し、当該基準差分範囲に当該差分値が含まれていないとの判別結果のときには当該検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する検査装置。
検査対象を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による前記検査対象の搬送方向に沿って規定された２つの測定ステージにそれぞれ配設されて、当該測定ステージに搬送された前記検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、
前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、
前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、および当該測定値を前記２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、
前記他方の測定装置は、自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、
前記処理装置は、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果であるときには、前記一の検査対象を良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する検査装置。
前記処理装置は、前記判別処理において予め規定された個数以上連続して前記検査対象を不良品と判別したとき、および前記判別処理において不良品と判別する比率が予め規定された比率以上のときの少なくとも一方のときには、この後の予め規定された個数の前記一の検査対象に対して、前記判別処理に代えて、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるとき、および前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるときの少なくとも一方のときには、当該一の検査対象を不良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象の良否を判別しない判別処理を実行する請求項２記載の検査装置。
前記他方の測定装置は、前記受信処理で測定した前記測定値を記憶させるＦＩＦＯメモリを備えると共に、前記差分値算出処理において当該ＦＩＦＯメモリに記憶されている前記一方の測定装置での複数の前記測定値のうちから前記一の検査対象についての前記測定値を読み出して前記差分値を算出する請求項１から３のいずれかに記載の検査装置。
前記搬送方向に沿った前記２つの測定ステージ間に規定された電圧印加ステージに配設されて、前記検査対象に対して試験電圧を印加する電圧印加装置を備えている請求項１から４のいずれかに記載の検査装置。
前記一方の測定装置は、前記搬送方向に沿って前記他方の測定装置の上流側に配設されると共に、前記測定処理の実行後の前記検査対象に対して試験電圧を印加する電圧印加処理を実行する請求項１から４のいずれかに記載の検査装置。
前記他方の測定装置は、前記搬送方向に沿って前記一方の測定装置の下流側に配設されると共に、自らの前記測定処理の実行前の前記検査対象に対して試験電圧を印加する電圧印加処理を実行する請求項１から４のいずれかに記載の検査装置。
前記処理装置は、前記判別処理において前記検査対象を良品として判別したときには、前記２つの測定値のうちの一方を最終的な測定値として出力する出力処理を実行する請求項１から７のいずれかに記載の検査装置。
検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、
前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、
前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した前記物理量の測定値を当該２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、
前記他方の測定装置は、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記測定処理で自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、
前記処理装置は、前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果のときには前記検査対象を良品として判別し、当該基準差分範囲に当該差分値が含まれていないとの判別結果のときには当該検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する検査処理装置。
検査対象についての同一の物理量を測定する測定処理を実行する２つの測定装置と、
前記２つの測定装置によって異なるタイミングで測定された同一の前記検査対象についての前記物理量の測定値に基づいて当該同一の検査対象の良否を判別する処理装置とを備え、
前記２つの測定装置のうちの一方の測定装置は、自ら測定した一の前記検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、および当該測定値を前記２つの測定装置のうちの他方の測定装置に送信する送信処理を実行可能に構成され、
前記他方の測定装置は、自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量の測定値と当該測定値に対して予め規定された基準範囲とを比較して当該基準範囲に当該測定値が含まれているか否かを判別すると共に判別の結果を前記処理装置に送信する測定値比較処理、前記一方の測定装置から送信された前記測定値を受信する受信処理、前記自ら測定した前記一の検査対象の前記物理量についての測定値と当該受信処理で受信した前記一方の測定装置での当該一の検査対象についての前記測定値との間の差分値を算出する差分値算出処理、および当該算出した差分値と予め規定された基準差分範囲とを比較して当該基準差分範囲に当該差分値が含まれているか否かを判別して前記処理装置に送信する差分値比較処理を実行可能に構成され、
前記処理装置は、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれているとの判別結果であり、かつ前記他方の測定装置から受信した前記差分値比較処理での判別結果が、前記基準差分範囲に前記差分値が含まれているとの判別結果であるときには、前記一の検査対象を良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象を不良品として判別する判別処理を実行する検査処理装置。
前記処理装置は、前記判別処理において予め規定された個数以上連続して前記検査対象を不良品と判別したとき、および前記判別処理において不良品と判別する比率が予め規定された比率以上のときの少なくとも一方のときには、この後の予め規定された個数の前記一の検査対象に対して、前記判別処理に代えて、前記一方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるとき、および前記他方の測定装置から受信した前記測定値比較処理での判別結果が、前記基準範囲に前記測定値が含まれていないとの判別結果であるときの少なくとも一方のときには、当該一の検査対象を不良品として判別し、これ以外のときには当該一の検査対象の良否を判別しない判別処理を実行する請求項１０記載の検査処理装置。
前記他方の測定装置は、前記受信処理で測定した前記測定値を記憶させるＦＩＦＯメモリを備えると共に、前記差分値算出処理において当該ＦＩＦＯメモリに記憶されている前記一方の測定装置での複数の前記測定値のうちから前記一の検査対象についての前記測定値を読み出して前記差分値を算出する請求項９から１１のいずれかに記載の検査処理装置。
前記処理装置は、前記判別処理において前記検査対象を良品として判別したときには、前記２つの測定値のうちの一方を最終的な測定値として出力する出力処理を実行する請求項９から１２のいずれかに記載の検査処理装置。