CN104101797A - 检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查装置，能更可靠地将未来有可能变成不满足关于规定物理量的产品规格的状态的检查对象判定为不良品。设置在搬送装置（3）的测定平台（ST1、ST2）上来对电阻（2）的电阻值（R）进行测定的测定装置（4、5）中的测定装置（4）对本身测定到的一个电阻（2）的电阻值（R）是否包含在基准范围内进行判定，将该判断数据D1发送到处理装置（7），并将该电阻值（R）发送到测定装置（5）。测定装置（5）对本身测定到的该一个电阻（2）的电阻值（R）是否包含在基准范围内进行判定，并将该判断数据（D1）发送到处理装置（7），并对从测定装置（4）接收到的一个电阻（2）的电阻值（R）与本身测定到的该一个电阻（2）的电阻值（R）的差分值（ΔＲ）是否包含在基准差分范围内进行判定，并将该判断数据D2发送到处理装置（7）。处理装置（7）基于各判断数据（D1）和判断数据（D2）来判定电阻（2）的质量。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及基于在不同的时刻对同一检查对象的同一物理量进行测定而得到的两个测定值来检测该检查对象的质量的检查装置。

背景技术

本发明申请人已提出了下述专利文献1所公开的质量判断装置作为这种检查装置。该质量判断装置包括：搬送检查对象（例如电容器）的带式输送机；沿着带式输送机对检查对象的搬送方向而规定的两个测定平台（第一测定平台以及第二测定平台）上所设置的两个检查装置；以及处理装置。

在该质量判断装置中，各检查装置依次测定由带式输送机搬送并位于各个测定平台的检查对象的同一物理量（例如在检查对象为电容器时为静电电容值），并且将测定到的物理量与预先设定的同一判断用基准值（对质量的范围进行规定的上限电容值和下限电容值）进行比较，从而对检查对象的质量进行检查。各检查装置将该检查的结果输出到处理装置。处理装置输入并储存从各检查装置输出的检查结果，并基于各检查装置对同一检查对象的检查结果，当各检查装置的检查结果均为良品时，判断该检查对象最终为良品，其它情况下（即，各检查装置的检查结果的至少一个为不良品时），判断该检查对象最终为不良品。

根据该质量判断装置，能对同一检查对象（一个检查对象）执行双重检查（二次检查）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011－59049号公报(第5-9页、第1图)

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，上述质量判断装置中存在如下需要改善的问题。即，在检查对象中，存在着因检查装置测定物理量时施加的测定用信号（例如测定电压）而引起物理量产生变化的检查对象。可以认为这种检查对象是由于制造不良等原因而产生，存在物理量在市场上流通的状态、或最终由用户使用的状态下物理量产生变化的情况（即，物理量在出厂后产生变化的情况），可能在未来变为不满足检查对象应当满足的对于该物理量的产品规格的状态。因此，这种检查对象原本就应判断为不良品。

然而，即使是这种应当判断为不良品的检查对象，由于第一个检查装置施加测定用信号所引起的物理量的变化程度，会存在第二个检查装置所测定到的物理量满足判断用基准值的情况。这种情况下，上述质量判断装置中，两个检查装置中的对于检查对象的物理量均满足判断用基准值，从而将上述检查对象判断为良品。因此，上述质量判断装置存在如下需要改善的问题：难以将如下这种检查对象判断为不良品，即，在市场上流通的状态、或在最终由用户使用的状态下，物理量有可能会产生变化，从而检查对象在未来变成不满足对于该物理量的产品规格的状态

本发明是为了解决上述问题而完成的，其主要目的在于提供一种检查装置，能更准确地将在未来有可能变为不满足对于规定物理量的产品规格的状态的检查对象判断为不良品。

解决技术问题所采用的技术方案

为实现上述目的，权利要求1所述的检查装置执行以下处理：差分值比较处理，该差分值比较处理将以不同时刻对同一检查对象的同一物理量进行测定得到的两个测定值之间的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较，并判定该差分值是否包含在该基准差分范围内；以及判定处理，该判定处理在该差分值包含在该基准差分范围内时将所述检查对象判定为良品，并在该差分值未包含在该基准差分范围内时将所述检查对象判定为不良品。

权利要求2所述的检查装置执行以下处理：测定值比较处理，该测定值比较处理将以不同时刻对同一检查对象的同一物理量进行测定得到的两个测定值与对每个该测定值预先规定的基准范围进行比较，并判定该各个测定值是否均包含在该基准范围内；差分值比较处理，该差分值比较处理将所述两个测定值之间的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较，并判定该差分值是否包含在该基准差分范围内；以及判定处理，该判定处理在所述两个测定值均包含在所述基准范围内、且所述差分值包含在所述基准差分范围内时将所述检查对象判定为良品，在其它情况下将所述检查对象判定为不良品。

权利要求3所述的检查装置在权利要求1所述的检查装置中，包括FIFO存储器，该FIFO存储器依次输入并存储对多个所述检查对象依次测定得到的所述物理量的测定值，并按照存储的顺序将其作为所述两个测定值的其中一个测定值进行输出，该检查装置执行以下测定处理：与对从所述FIFO存储器输出的所述一个测定值进行了测定的所述检查对象相同的检查对象的所述物理量依次进行测定，从而作为所述两个测定值中的另一个测定值获得。权利要求4所述的检查装置在权利要求2所述的检查装置中，包括FIFO存储器，该FIFO存储器依次输入并存储对多个所述检查对象依次测定得到的所述物理量的测定值，并按照存储顺序将其作为所述两个测定值的其中一个测定值进行输出，该检查装置执行以下测定处理：与对从所述FIFO存储器输出的所述一个测定值进行了测定的所述检查对象相同的检查对象的所述物理量依次进行测定，从而作为所述两个测定值中的另一个测定值获得。

权利要求5所述的检查装置包括：搬送装置，对检查对象进行搬送；两个测定装置，分别设置在沿着所述搬送装置搬送所述检查对象的方向而规定的两个测定平台上，并执行对搬送到该测定平台上的所述检查对象的同一物理量进行测定的测定处理；以及处理装置，基于由所述两个测定装置在不同时刻对同一所述检查对象测定到的所述物理量的测定值来判定该同一检查对象的质量，所述两个测定装置中的一个测定装置构成为能执行将其本身测定到的所述物理量的测定值发送给该两个测定装置中的另一个测定装置的发送处理，所述另一个测定装置构成为能执行以下处理：对从所述一个测定装置发送来的所述测定值进行接收的接收处理；对所述测定处理中其本身测定到的一个所述检查对象的所述物理量的测定值、与该接收处理中接收到的所述一个测定装置测得的该一个检查对象的所述测定值之间的差分值进行计算的差分值计算处理；以及将该计算出的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较从而判定该差分值是否包含在该基准差分范围内、并发送给所述处理装置的差分值比较处理，所述处理装置执行以下判定处理：在从所述另一个测定装置接收到的所述差分值比较处理的判定结果为所述差分值包含在所述基准差分范围内的判定结果时，将所述检查对象判定为良品，在判定结果为该差分值未包含在该基准差分范围内的判定结果时，将该检查对象判定为不良品。

权利要求6所述的检查装置包括：搬送装置，对检查对象进行搬送；两个测定装置，分别设置在沿着所述搬送装置搬送所述检查对象的方向而规定的两个测定平台上，并执行对搬送到该测定平台上的所述检查对象的同一物理量进行测定的测定处理；以及处理装置，基于由所述两个测定装置在不同时刻对同一所述检查对象测定到的所述物理量的测定值来判定该同一检查对象的质量，所述两个测定装置的其中一个测定装置构成为能执行以下处理：将其本身测定到的一个所述检查对象的所述物理量的测定值与对该测定值预先规定的基准范围进行比较、从而判定该测定值是否包含在该基准范围内、并将判定结果发送给所述处理装置的测定值比较处理；以及将该测定值发送给所述两个测定装置中的另一个测定装置的发送处理，所述另一个测定装置构成为能执行以下处理：将其本身测定到的所述一个检查对象的所述物理量的测定值与对该测定值预先规定的基准范围进行比较、从而判定该测定值是否包含在该基准范围内、并将判定结果发送给所述处理装置的测定值比较处理；对从所述一个测定装置发送来的所述测定值进行接收的接收处理；对所述本身测定到的所述一个检查对象的所述物理量的测定值与该接收处理中接收到的所述一个测定装置对该一个检查对象测得的所述测定值之间的差分值进行计算的差分值计算处理；以及将该计算出的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较、从而判定该差分值是否包含在该基准差分范围内、并发送给所述处理装置的差分值比较处理，所述处理装置在从所述一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值包含在所述基准范围内的判定结果、且从所述另一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值包含在所述基准范围的判定结果、且从所述另一个测定装置接收到的所述差分值比较处理的判定结果为所述差分值包含在所述基准差分范围内的判定结果时，将所述一个检查对象判定为良品，并在其它情况下将该一个检查对象判定为不良品。

权利要求7所述的检查装置在权利要求6所述的检查装置中，所述处理装置在所述判定处理中连续地将预先规定的个数以上的所述检查对象判定为不良品时、以及在所述判定处理中判定为不良品的比率达到预先规定的比率以上时的至少一种情况下执行以下判定处理来代替所述判定处理：对于此后的预先规定的个数的所述一个检测对象，当从所述一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值未包含在所述基准范围内的判定结果时、以及从所述另一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值未包含在所述基准范围内的判定结果时的至少一种情况下，将该一个检查对象判定为不良品，并在其它情况下不对该一个检查对象的质量进行判定。

权利要求8所述的检查装置在权利要求5所述的检查装置中，所述另一个测定装置包括在所述接收处理中对测定到的所述测定值进行存储的FIFO存储器，并在所述差分值计算处理中，从存储到该FIFO存储器中的所述一个测定装置的多个所述测定值中、读取所述一个检查对象的所述测定值，并计算所述差分值。权利要求9所述的检查装置在权利要求6所述的检查装置中，所述另一个测定装置包括在所述接收处理中对测定到的所述测定值进行存储的FIFO存储器，并在所述差分值计算处理中，从存储到该FIFO存储器中的所述一个测定装置的多个所述测定值中、读取所述一个检查对象的所述测定值，并计算所述差分值。权利要求10所述的检查装置在权利要求7所述的检查装置中，所述另一个测定装置包括在所述接收处理中对测定到的所述测定值进行存储的FIFO存储器，并在所述差分值计算处理中，从存储到该FIFO存储器中的所述一个测定装置的多个所述测定值中、读取所述一个检查对象的所述测定值，并计算所述差分值。

权利要求11所述的检查装置在权利要求5所述的检查装置中，包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。权利要求12所述的检查装置在权利要求6所述的检查装置中，包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。权利要求13所述的检查装置在权利要求7所述的检查装置中，包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。权利要求14所述的检查装置在权利要求8所述的检查装置中，包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。权利要求15所述的检查装置在权利要求9所述的检查装置中，包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。权利要求16所述的检查装置在权利要求10所述的检查装置中，包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。

权利要求17所述的检查装置在权利要求5所述的检查装置中，所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求18所述的检查装置在权利要求6所述的检查装置中，所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求19所述的检查装置在权利要求7所述的检查装置中，所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求20所述的检查装置在权利要求8所述的检查装置中，所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求21所述的检查装置在权利要求9所述的检查装置中，所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求22所述的检查装置在权利要求10所述的检查装置中，所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

权利要求23所述的检查装置在权利要求5所述的检查装置中，所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求24所述的检查装置在权利要求6所述的检查装置中，所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求25所述的检查装置在权利要求7所述的检查装置中，所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求26所述的检查装置在权利要求8所述的检查装置中，所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求27所述的检查装置在权利要求9所述的检查装置中，所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。权利要求28所述的检查装置在权利要求10所述的检查装置中，所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

权利要求29所述的检查装置在权利要求1至28的任一项所述的检查装置中，所述处理装置在所述判定处理中将所述检查对象判定为良品时，执行将所述两个测定值的其中一个作为最终测定值进行输出的输出处理。

发明效果

在权利要求1、5所述的检查装置中，执行以下处理：将同一检查对象的两个测定值之间的差分值与基准差分范围进行比较从而判定差分值是否包含在基准差分范围内的差分值比较处理；以及基于该差分值比较处理的判定结果判定检查对象的质量的判定处理。

因此，根据上述检查装置，由于使用基于差分值的差分值比较处理的判定结果来判定检查对象的质量，因此能可靠地将在市场上流通的状态、或最终由用户使用的状态下物理量可能产生变化、从而变成不满足良品的检查对象应当满足的该物理量的产品规格的状态的检查对象判定为不良品。

在权利要求2、6所述的检查装置中，执行以下处理：将同一检查对象的两个测定值与基准范围进行比较、从而判定各测定值是否均包含在基准范围内的测定值比较处理；将两个测定值之间的差分值与基准差分范围进行比较、从而判定差分值是否包含在基准差分范围内的差分值比较处理；以及基于测定值比较处理的判定结果以及差分值比较处理的判定结果来判定检查对象的质量的判定处理。

因此，根据上述检查装置，由于利用使用了基于测定值的测定值比较处理的判定结果的二次检查的判定结果、以及基于差分值的差分值比较处理的判定结果，来判定检查对象的质量，因此能可靠地将测定值未包含在基准范围内的检查对象判定为不良品，并且对于在市场上流通的状态、或最终由用户使用的状态下物理量可能产生变化、从而变成不满足良品的检查对象应当满足的该物理量的产品规格的状态的检查对象，也能可靠地将其判定为不良品。

在权利要求3、4所述的检查装置中，由于包括依次输入对多个检查对象依次测定得到的物理量的测定值、并将其作为两个测定值的其中一个测定值进行输出的FIFO存储器，因此，通过执行本身的测定处理，依次对相同的多个检查对象的物理量进行测定，将测定得到的测定值用作为两个测定值中的另一个测定值，从而能基于以不同时刻对同一检查对象的同一物理量进行测定得到的两个测定值之间的差分值，来判定检查对象的质量。此外，由于是具备FIFO存储器的结构，因此与使用通常的存储器对一个测定值进行缓存的结构相比，能简单地构成装置。

在权利要求7所述的检查装置中，处理装置在判定处理中连续地将预先规定的个数以上的检查对象判定为不良品时、以及在判定处理中判定为不良品的比率达到预先规定的比率以上时的至少一种情况下执行以下判定处理来代替上述判定处理：对于此后预先规定的个数的一个检查对象，当从一个测定装置接收到的测定值比较处理的判定结果为测定值未包含在基准范围内的判定结果时、以及从另一个测定装置接收到的测定值比较处理的判定结果为测定值未包含在基准范围内的判定结果时的至少一种情况下，将该一个检查对象判定为不良品，并在其它情况下不对该一个检查对象的质量进行判定。

因此，根据该检查装置，能在例如一个测定装置对测定值的发送处理、以及另一个测定装置对测定值的接收处理的至少一方产生问题那样产生无法在另一个测定装置中执行正确的差分值比较处理的状况时，处理装置执行使用测定值比较处理的判定结果的其它判定处理来代替使用差分值比较处理的判定结果的判定处理，从而能防止不良品流出至市场。

在权利要求8到10所述的检查装置中，另一个测定装置包括在接收处理中对测定到的来自一个测定装置的测定值进行存储的FIFO存储器，并在差分值计算处理中，从存储在FIFO存储器中的一个测定装置的多个测定值中、读取一个检查对象的测定值，并计算差分值。因此，根据该检查装置，与使用通常的存储器对来自一个测定装置的测定值进行缓存的结构相比，能简单地构成另一个测定装置。

在权利要求11至28所述的检查装置中，在对执行了第一次测定处理的检查对象执行第二次测定处理之前，施加实验电压。因此，根据上述检查装置，能加快检查对象因施加电压而引起的物理量的变化程度，由此能增大另一个测定装置计算出的差分值的值，因此能更可靠地将物理量在未来可能产生变化、从而变成不满足良品应当满足的物理量的产品规格的状态的检查对象判定为不良品。

在权利要求29所述的检查装置中，当处理装置在判定处理中将检查对象判定为良品时，执行将两个测定值的其中一方作为最终的测定值进行输出的输出处理。因此，根据该检查装置，能对检查对象执行质量的判定，并且对于良品的检查对象，也能测定其测定值。

附图说明

图1是检查装置1的结构图。

图2是图1的各测定装置4、5的结构图。

图3是用于对电阻值R与基准范围RA1的关系、以及电阻值R的差分值ΔＲ与基准差分范围RA2的关系进行说明的说明图（差分值ΔＲ较小的状态）。

图4是用于对电阻值R与基准范围RA1的关系、以及电阻值R的差分值ΔＲ与基准差分范围RA2的关系进行说明的其它说明图（差分值ΔＲ较大的状态）。

图5是用于说明各测定装置4、5的动作的说明图。

图6是用于说明各测定装置4、5的动作的其它说明图。

图7是其它检查装置1A的结构图。

具体实施方式

下面，参照附图对检查装置1的实施方式进行说明。

首先，参照附图，对检查装置1的结构进行说明。另外，该例中以如下示例为一个例子进行说明：以作为检查对象的电子元器件（电阻、电容器、电感器）的其中之一即电阻2为例，将作为其物理量的电阻值R作为测定值进行测定，并基于测定到的电阻值R来检查电阻2。

如图1所示，作为一个示例，检查装置1包括对电阻2进行搬送的搬送装置3、多个（该例中以两个作为一个例子）测定装置4、5、分类装置6、处理装置7以及输出装置8。

搬送装置3例如包括由电动机驱动的带式输送机而构成，通过由处理装置7控制电动机，从而在搬送方向（电阻2的搬送方向（图1中的空芯箭头方向））上以一定距离L间歇地对通过未图示的投入装置投入到带式输送机上的电阻2进行搬送。具体而言，搬送装置3在每次输入由处理装置7以预先规定的一定周期输出的外部触发信号Stg时，在一定时间（比外部触发信号Stg的周期要短的时间）内驱动电动机并使其停止，从而使带式输送机上的电阻2搬送距离L并停止（定量搬送）。由此，搬送装置3经由后述的第一测定平台ST1和第二测定平台ST2将所投入的电阻2搬送到最下游侧的排出位置EX（由分类装置6把持以进行搬送的位置）。

另外，预先将搬送方向上各测定平台ST1、ST2间的距离、以及测定平台ST1、ST2中位于下游侧的第二测定平台ST2与排出位置EX之间的距离（或者各测定平台ST1、ST2与排出位置EX之间的距离）规定为距离L的整数倍、即已知的距离。

如图2所示，作为一个示例，测定装置4、5例如均包括测定部11、FIFO存储器（以下也简称为“FIFO”）12、控制部13以及存储部14而构成为相同的结构，执行对电阻2的电阻值R进行测定的测定处理。

该例中，一个测定装置4相对于另一测定装置5设置于搬送方向上规定在上游侧的第一测定平台ST1上，另一测定装置5设置在与第一测定平台ST1隔开距离L的整数倍（该例中例如为4倍）的下游侧的第二测定平台ST2上。下游侧的第二测定平台ST2到排出位置EX为止的距离规定为距离L的整数倍（该例中例如为2倍）。

每当各个测定平台ST1、ST2上有电阻2搬送过来时，各测定装置4、5执行测定处理来测定该电阻2的电阻值R。由此，首先由测定装置4对各电阻2进行第一次电阻值R的测定，接着，在外部触发信号Stg的四周期后，由测定装置5来进行第二次电阻值R的测定。此外，例如如图5所示，各测定装置4、5在测定处理中对各电阻2赋予序列号，并测定电阻2的电阻值R（该图中，为了便于理解发明，例如将序列号1、2、3、...的电阻2的各电阻值标记为“R1”、“R2”、“R3”、...），并将测定到的电阻值R以及后述的各判断数据D1、D2与该序列号一起发送给处理装置7，其中，序列号将最初搬送到各个测定平台ST1、ST2上的电阻2设为编号1。利用该结构，各电阻2被各测定装置4、5赋予了相同的序列号，因此，处理装置7能基于该序列号来识别各测定装置4、5测定到该电阻2的电阻值R以及各判断数据D1、D2。

以下对测定装置4、5的各结构要素进行说明。另外，该检查装置1采用上游侧的测定装置4不使用FIFO12、仅下游侧的测定装置5使用FIFO12的结构，因此以包含FIFO12的所有结构要素进行动作的测定装置5为例来说明各结构要素。

测定部11包括通过未图示的移动机构来与电阻2的各电极接触、分离的一对探针P1、P2，在测定处理中，使各探针P1、P2与位于第二测定平台ST2上的电阻2接触来测定电阻值R。

在测定该电阻值R时，测定部11通过控制部13控制来执行如下一系列的动作：使移动机构动作来使一对探针P1、P2与电阻2接触的动作；经由一对探针P1、P2对电阻2施加测定用的电压信号（例如直流电压信号），并经由一对探针P1、P2对此时流过电阻2的电流信号进行测定的动作；基于施加的电压信号的电压值与测定到的电流信号的电流值来计算电阻2的电阻值R的动作；以及将计算出的电阻值R输出到控制部13的动作。

FIFO12是具有预先规定数量的存储区域、并与外部触发信号Stg的上升或下降（该例中例如为上升）同步地进行动作的缓冲存储器，其与外部触发信号Stg同步地依次对从测定装置4输出的数据Dbf（该例中为测定装置4所测定到的电阻值R）进行存储（执行测定装置5中的接收处理），并与外部触发信号Stg同步地将存储在该存储区域中的数据Dbf移动到下一存储区域中。由此，FIFO12使从测定装置4输出的数据Dbf延迟与存储区域的个数相等的外部触发信号Stg的周期，从首先存储的数据Dbf开始依次输出到控制部13。

具体而言，FIFO12具有与将位于第一测定平台ST1上的电阻2搬送到第二测定平台ST2所需的外部触发信号Stg的周期数（时钟数）相等数量的存储区域。该例中，如上所述，由测定装置4进行了第一次电阻值R的测定的电阻2（即，位于第一测定平台ST1上的电阻2）在外部触发信号Stg的四个周期后，由测定装置5来进行第二次电阻值R的测定（即，搬送到第二测定平台ST2上）。因此，FIFO12在该例中具有四个存储区域（参照图5、图6）。

通过该结构，在测定装置5中，FIFO12与由测定装置4进行了电阻值R的测定的电阻2被搬送装置3从第一测定平台ST1搬送到下游侧下一位置的外部触发信号Stg同步地将该电阻值R作为数据Dbf存储到最初的存储区域中，并在包含该外部触发信号Stg在内的外部触发信号Stg的四个周期后（即，该进行了电阻值R的测定的电阻2被搬送到第二测定平台ST2时），将该电阻值R移动（转移）到最终（该例中为第四个）存储区域中（参照图5、图6）。

控制部13由CPU等构成，根据预先存储在存储部14中的动作程序来进行动作，从而能执行以下处理：使测定部11测定电阻值R的控制处理；将测定部11测定到的电阻值R发送给其它测定装置的第一发送处理；对测定部11测定到的电阻值R与存储在存储部14中的基准范围RA1进行比较来判断该电阻值R是否包含在基准范围RA1中的测定值比较处理；对由测定部11测定到的电阻值R与从FIFO12读取到的其它测定装置测到的电阻值R（FIFO12的最终（该例中为第四个）存储区域所存储的电阻值R）之间的差分值ΔＲ（两电阻值R的差分的绝对值）进行计算的差分值计算处理（作为“处理装置”执行的“差分值计算处理”）；以及将计算出的差分值ΔＲ与存储在存储部14中的基准差分范围RA2进行比较来判断该差分值ΔＲ是否包含在基准差分范围RA2内的差分值比较处理。此外，控制部13还能执行将表示测定值比较处理的判定结果的第一判断数据D1、表示差分值比较处理的判定结果的第二判断数据D2、以及电阻值R发送到处理装置7的第二发送处理。

此时，基准范围RA1是指包含正常的电阻2的电阻值R的范围（电阻值容许差所表示的范围），是以电阻2的标称电阻值为中心而规定的范围（例如±0.1％的范围。该例中，是以标称电阻值×1.001为上限值VU、以标称电阻值×99.999为下限值VL的范围）（参照图3、图4）。

此外，基准差分范围RA2表示包含错开时序（该例中例如隔开外部触发信号Stg的四个周期的时间（例如几秒左右））、由测定装置4、5分别对正常的电阻2的电阻值R各测定一次、一共两次时的两个电阻值R的差分值ΔＲ的范围。对于电阻2，若在测定电阻值R时施加测定用信号（例如测定电压），则即使该测定用信号的施加时间为几秒左右的短期间，电阻值R也可能产生变化，如图3所示，在良品的电阻2中，该变化极小。例如，关于良品的电阻2的差分值ΔＲ的偏差范围通常为电阻2的电阻值R本身的上述偏差（以标称电阻值为中心的电阻值允许差所表示的范围）的1/10～1/100左右的极小范围。

然而，如图4所示，在不良品的电阻2中，因施加测定用信号而引起的电阻值R的变化较大，因此上述差分值ΔＲ超过该范围（电阻2的电阻值R本身的上述偏差的1/10～1/100左右的较小范围）。因此，该例中，将基准差分范围RA2规定为正常的电阻2的标称电阻值的±0.02％的范围，从而包含图3所示的良品的电阻2的差分值ΔＲ，但不包含（排除）图4所示的不良品的电阻2的差分值ΔＲ。

存储部14由ROM、RAM等半导体存储器构成，对控制部13所需的动作程序、基准范围RA1、以及基准差分范围RA2进行存储。

分类装置6包括由处理装置7控制的未图示的移动机构、良品回收箱6a、以及不良品回收箱6b，通过使移动机构动作，从而使经过各测定平台ST1、ST2搬送到搬送装置3的最下游位置的电阻2移动到良品回收箱6a以及不良品回收箱6b中的某一个。

处理装置7由计算机等构成，执行生成一定周期的外部触发信号Stg并输出到搬送装置3、测定装置4、5以及分类装置6的触发输出处理。此外，处理装置7还执行如下处理：基于从测定装置4、5接收到的第一判断数据D1以及第二判断数据D2来判断电阻2的质量的判断处理；控制分类装置6，将判断为良品的电阻2移动到良品回收箱6a，并将判断为不良品的电阻2移动到不良品回收箱6b的移动处理；以及将判断处理中判断为良品的电阻2的电阻值R作为该电阻2的最终测定值，与表示该电阻2的判断结果的判断数据D3一同输出到输出装置8的输出处理。

输出装置8例如由LCD（Liquid Crystal Display：液晶显示器）等显示装置构成，在画面上显示电阻2的电阻值R及其判断数据D3。另外，也可以由与外部设备进行数据通信的通信装置代替显示装置来构成输出装置8，从而将表示检查对象质量的判断结果及其测定值输出到外部设备。

接着，对检查装置1的动作进行说明。

处理装置7执行触发输出处理，将外部触发信号Stg输出到搬送装置3、第一测定平台ST1、以及第二测定平台ST2。由此，搬送装置3在每次输入外部触发信号Stg时，执行使带式输送机运动一定的距离L并停止（即，对投入到带式输送机上的电阻2进行定量搬送）的搬送动作。

另一方面，如图5所示，测定装置4在每次输入外部触发信号Stg时，对通过搬送装置3搬送到第一测定平台ST1上的电阻2执行测定处理。该例中，在该测定处理中，测定装置4的控制部13执行上述控制处理、第一发送处理、测定值比较处理、差分值计算处理、差分值比较处理、以及第二发送处理中的控制处理、第一发送处理、测定值比较处理、以及第二发送处理。

具体而言，测定装置4的控制部13通过执行控制处理来使测定部11测定第一测定平台ST1上的电阻2的电阻值R，并获取该电阻值R，直到输入下一个外部触发信号Stg为止。另外，在不存在电阻2的状态下测定到的电阻值R为无限大。因此，控制部13将比电阻2的标称电阻值足够大的阈值（例如标称电阻值数倍的电阻值）与由测定部11测定到的电阻值R进行比较，从而在获取到的电阻值R首次不足阈值时，判断为首个电阻2被搬送到第一测定平台ST1上，并开始赋予序列号。

此外，控制部13通过执行第一发送处理从而将测定部11测定到的电阻值R输出到测定装置5，直到输入下一个外部触发信号Stg为止。此外，控制部13通过执行测定值比较处理和第二发送处理，从而将测定部11测定到的电阻值R与存储部14所存储的基准范围RA1进行比较，来判断该电阻值R是否包含在基准范围RA1中，并将表示该判断结果的第一判断数据D1以及电阻值R与序列号一同发送给处理装置7，直到输入下一个外部触发信号Stg为止。

在电阻2劣化或破损、或将标称电阻值与本来的电阻2不同的电阻作为电阻2搬送过来等电阻2为不良品时，测定到的电阻值R始终不包含在基准范围RA1内，另一方面，当电阻2为良品的可能性较高时，测定到的电阻值R始终包含在基准范围RA1内。控制部13将这种表示成为用于判断电阻2的质量的基准的判断结果的第一判断数据D1输出到处理装置7。

另一方面，如图5所示，测定装置5也与测定装置4同样，在每次输入外部触发信号Stg时，对通过搬送装置3搬送到第二测定平台ST2上的电阻2执行测定处理。该例中，在该测定处理中，测定装置5的控制部13执行上述控制处理、第一发送处理、测定值比较处理、差分值计算处理、差分值比较处理以及第二发送处理中的控制处理、测定值比较处理、差分值计算处理、差分值比较处理以及第二发送处理。

具体而言，测定装置5的控制部13通过执行控制处理来使测定部11测定第二测定平台ST2上的电阻2的电阻值R，并获取该电阻值R，直到输入下一个外部触发信号Stg为止。此外，也与测定装置4同样，在判断为首个电阻2搬送到第一测定平台ST1上时，开始赋予序列号。

此外，控制部13通过执行测定值比较处理，从而将测定部11所测定到的电阻值R与存储部14所存储的基准范围RA1进行比较，来判断该电阻值R是否包含在基准范围RA1内，直到输入下一个外部触发信号Stg为止。此外，控制部13通过执行差分值计算处理和差分值比较处理，从而对测定部11所测定到的电阻值R与从FIFO12读取到的由测定装置4测得的电阻值R之间的差分值ΔＲ进行计算，并将计算出的差分值ΔＲ与存储部14所存储的基准差分范围RA2进行比较，来判断该差分值ΔＲ是否包含在基准差分范围RA2中，直到输入下一个外部触发信号Stg为止。此外，控制部13通过执行第二发送处理，从而将表示测定值比较处理的判定结果（表示电阻值R是否包含在基准范围RA1内的判断结果）的第一判断数据D1、表示差分值比较处理的判断结果（表示差分值ΔＲ是否包含在基准差分范围RA2内的判断结果）的第二判断数据D2、以及电阻值R与序列号一起发送到处理装置7，直到输入下一个外部触发信号Stg为止。

该例的测定装置5中，FIFO12在每次输入外部触发信号Stg时，执行如下动作：与该外部触发信号Stg同步地将来自测定装置4的最新的电阻值R作为数据Dbf存储到最前的存储区域中，并使存储在各存储区域（该例中为四个存储区域）中的电阻值R（至此由测定装置4测定到的电阻值R）移动到下一个存储区域中。因此，从FIFO12作为数据Dbf输出的电阻值R（各存储区域中最后一个存储区域所存储的电阻值R）是当前位于第二测定平台ST2的电阻2位于第一测定平台ST1时由测定装置4测定到的电阻值R。

由此，测定装置5的控制部13在差分值计算处理中，计算当前位于第二测定平台ST2的电阻2的差分值ΔＲ，并在差分值比较处理中判断该计算出的差分值ΔＲ是否包含在基准差分范围RA2中。

当电阻2的电阻值R由于施加测定用信号而超过容许范围、产生变化时（表示施加测定用信号前后电阻值R的变化的差分值ΔＲ不包含在基准差分范围RA2中时），即使检测装置1中测定到的电阻值R包含在基准范围RA1中，在市场上流通的状态、或最终由用户使用的状态下，特性（该例中为电阻值R）可能也会产生变化，从而变成不满足良品的电阻2应当满足的产品规格（电阻值R包含在基准范围RA1内的规格）的状态。测定装置5的控制部13通过执行差分值计算处理和差分值比较处理，从而将第二判断数据D2输出到处理装置7,该第二判断数据D2表示成为用于将达到上述状态的可能性较高的电阻2判断为不良品的基准的判断结果。

处理装置7与外部触发信号Stg同步地获取并存储从测定装置4输出的第一判断数据D1、电阻值R、以及序列号。处理装置7与外部触发信号Stg同步地获取并存储从测定装置5输出的第一判断数据D1、第二判断数据D2、电阻值R、以及序列号。另外，处理装置7在对从测定装置5获取到的各数据进行存储时，由于序列号与从测定装置4获取到的数据相同的数据是相同电阻2的数据，因此与测定装置4的序列号对应起来进行存储。

此外，处理装置7对于从测定装置4或测定装置5（该例中例如为测定装置5）接收到序列号和电阻值R等的电阻2，对接收后外部触发信号Stg的生成次数进行计数，由此基于该计数值确定该电阻2在带式输送机上的当前位置，从而判断是否已搬送到排出位置EX。例如，如该例那样，对于从测定装置5接收到序列号和电阻值R等数据的电阻2，由于测定装置5与排出位置EX之间的距离为距离L的两倍，因此当接收后外部触发信号Stg的计数值达到2时，判断为该电阻2到达排出位置EX。

处理装置7对于到达排出位置EX的电阻2，依次执行判断处理、移动处理、以及输出处理，直到生成下一个外部触发信号Stg为止。首先，在判断处理中，处理装置7基于与该电阻2的序列号对应起来存储的来自测定装置4的第一判断数据D1、来自测定装置5的第一判断数据D1、以及第二判断数据D2来执行判断电阻2质量的判断处理。

具体而言，在该判断处理中，当来自测定装置4以及测定装置5的各个第一判断数据D1所表示的判断结果是表示电阻值R包含在基准范围RA1内的判断结果、且来自测定装置5的第二判断数据D2所表示的判断结果是表示差分值ΔＲ包含在基准差分范围RA2内的判断结果时，处理装置7判断该电阻2为良品。

另一方面，在该判断处理中，当来自测定装置4以及测定装置5的各个第一判断数据D1所表示的判断结果、以及来自测定装置5的第二判断数据D2所表示的判断结果如上述那样为判断电阻2为良品时的判断结果以外的情况下，即，当来自测定装置4的第一判断数据D1所表示的判断结果是表示电阻值R不包含在基准范围RA1内的判断结果、来自测定装置5的第一判断数据D1所表示的判断结果是表示电阻值R不包含在基准范围RA1内的判断结果、以及来自测定装置5的第二判断数据D2所表示的判断结果是表示差分值ΔＲ不包含在基准差分范围RA2内的判断结果中的至少一个时，处理装置7判断该电阻2为不良品。

接着，在移动处理中，处理装置7通过对分类装置6执行控制，从而使判断为良品的电阻2从带式输送机上的判处位置EX移动到良品回收箱6a。另一方面，处理装置7使判断为不良品的电阻2从排出位置EX移动到不良品回收箱6b。由此，检查装置1起到元器件分类装置的作用，对投入到搬送装置3的电阻2的质量进行判断，从而区分并回收到良品回收箱6a和不良品回收箱6b（对电阻2进行分类）。

接着，在输出处理中，处理装置7对于判断为良品并进行了分类作业的电阻2，将表示其判断结果（表示良品的判断结果）的判断数据D3输出到输出装置8，并将各测定装置4、5所测定到的电阻值R的其中一个（该例中例如为最后由测定装置5测定到的电阻值R）作为最终的电阻值R输出到输出装置8。因此，检查装置1也起到电特性（该例中为电阻值R）测定装置的作用，对判断为良品的电阻2的最终电阻值R进行输出（该例中为显示）。另一方面，处理装置7对于判断为不良品而进行了分类作业的电阻2，将表示其判断结果（表示不良品的判断结果）的判断数据D3输出到输出装置8。另外，即使在判断为不良品的情况下，例如也可以将最后由测定装置5测定到的电阻值R输出到输出装置8。该例中，由于输出装置8由显示装置构成，因此，输出装置8将从处理装置7输入的电阻值R与由判断数据D3表示的判断结果一同显示在画面上。

由此，在该检查装置1中，在不同时刻对同一电阻2的同一物理量（该例中为电阻值R）进行两次测定，来执行判断各电阻值R是否包含在基准范围RA1内的测定值比较处理，并执行判断各电阻值R之间的差分值ΔＲ（两电阻值R的差分的绝对值）是否包含在基准差分范围RA2内的差分值比较处理，并在两个电阻值R均包含在基准范围RA1内、且差分值ΔＲ包含在基准差分范围RA2内时，将电阻2判断为良品，在其它情况下将电阻2判断为不良品。

因此，根据该检查装置1，由于通过使用了基于在不同时刻测定到的各电阻值R的测定值比较处理中的判断结果的二次检查，来判断各电阻2的质量，因此能可靠地将未包含在基准范围RA1（包含正常的电阻2的电阻值R的范围）的电阻2判断（分类）为不良品，并且，由于使用基于各电阻值R之间的差分值ΔＲ的差分值比较处理的判断结果来判断电阻2的质量，因此，即使是两次测定所测定到的电阻值R均包含在基准范围RA1（包含正常的电阻2的电阻值R的范围）的电阻2，也能可靠地将特性（该例中为电阻值R）在市场上流通、或最终由用户使用的状态下可能会发生变化、从而变为不满足良品的电阻2应当满足的产品规格的状态的电阻2判断为不良品。

此外，根据该检查装置1，由于执行输出处理，从而对于判断为良品的电阻2，将由各测定装置4、5所测定到的电阻值R的其中一个（该例中为第二个电阻值R）作为最终的电阻值R输出到输出装置8，因此能执行电阻2的质量判断（分类），而且也能测定良品的电阻2的电阻值R。

此外，根据该检查装置1，采用从最初对各电阻2测定电阻值R的测定装置4发送的电阻值R由接下来测定电阻值R的测定装置5来接收的结构，并通过采用使用FIFO12的结构，从而与使用一般的存储器对来自测定装置4的电阻值R进行缓存的结构相比，能使测定装置5的结构简化（该例中，由于各测定装置4、5的结构相同，因此测定装置4、5的结构均得到简化）。

另外，在上述检查装置1中，采用了不仅执行基于差分值ΔＲ的差分值比较处理、还执行基于各电阻值R的测定值比较处理的结构，但也可以采用如下结构：在以已经有其它装置检查出电阻值R包含在基准范围RA1内的电阻2为检查对象时，仅对电阻2执行基于差分值ΔＲ的差分值比较处理，且在判断处理中，仅基于该差分值比较处理的判断结果来判断电阻2的质量。

此外，在上述检查装置1中，采用了如下结构：各测定装置4、5执行测定值比较处理，并将表示其判定结果的第一判断数据D1输出到处理装置7，且测定装置5执行差分值计算处理和差分值比较处理，并将表示其判定结果的第二判断数据D2输出到处理装置7，但也可以采用如下结构：各测定装置4、5仅将对电阻2测定到的电阻值R输出到处理装置7，并且处理装置7基于这两个电阻值R来执行测定值比较处理、差分值计算处理、以及差分值比较处理，判断电阻2的质量。

此外，也可以采用如下结构：在如上述那样采用仅将各测定装置4、5测定到电阻值R发送到处理装置7的结构、且将已经由其它装置检查到电阻值R包含在基准范围RA1内的电阻2作为检查对象时，处理装置7基于这两个电阻值R来执行差分值计算处理以及差分值比较处理，从而判断电阻2的质量。

此外，在采用如上述检查装置1那样由测定装置5接收来自测定装置4的电阻值R的结构（上例中为使用FIFO12进行接收的结构）时，若在来自测定装置4的电阻值R的发送处理、或测定装置5对电阻值R的接受处理中，由于某些原因而产生问题，则该问题的产生会导致在测定装置5中产生如下现象：自身测定电阻值R的电阻2、与从FIFO12读取到的电阻值R所对应的电阻2产生错位。

该情况下，如图6中由单点划线包围的数据Dbf（该例中为电阻值R）那样，存储在FIFO12中的电阻值R原本应该是电阻值R(R16)存储在第二个存储区域中，电阻值R(R15)存储在第三个存储区域中，电阻值R(R14)存储在最后一个存储区域中，但实际则变成电阻值R(R15)存储在第二个存储区域中、电阻值R(R14)存储在第三个存储区域中、电阻值R(R13)存储在最后一个存储区域中的状态（错位状态），其结果是，在测定装置5中产生如下问题：控制部13从FIFO12读取到的电阻值R(R13)所对应的电阻2（序列号为13的电阻2）与由测定部11测定了电阻值R(R14)的电阻2（序列号为13的电阻2）产生错位。

该状态下，测定装置5的控制部13在差分值计算处理中计算出的差分值ΔＲ变为不同的电阻2的电阻值R（该例中为序列号为13的电阻2的电阻值R(R13)和序列号为14的电阻2的电阻值R(R14)）之间的差分值。因此，计算出的差分值ΔＲ成为包含不同的电阻2之间产生的电阻值R的偏差的值，因此通常是远大于在不同时刻对相同的电阻2测定两次而得到的两个电阻值R之间的偏差的值。因此，控制部13在差分值比较处理中，判断差分值ΔＲ未包含在基准差分范围RA2中，并将表示该判定结果的第二判断数据D2输出到处理装置7。由此，处理装置7在判定处理中判定由测定装置5测定了电阻值R的电阻2为不良品。

此外，在如上述那样测定装置4对电阻值R的发送处理、以及测定装置5对电阻值R的接受处理中至少一个处理产生了问题时（该例中为产生如上述那样存储在FIFO12中的电阻值R产生错位的问题时），如图6所示，通常会在测定装置5中多次连续地产生控制部13从FIFO12读取的电阻值R所对应的电阻2、与由测定部11测定了电阻值R的电阻2产生错位的问题。

该情况下，测定装置5的控制部13所计算出的差分值ΔＲ不正确，因此会在差分值比较处理中将错误的第二判断数据D2输出到处理装置7。从而在处理装置7中产生如下现象：基于该错误的第二判断数据D2，连续地将通过搬送装置3搬送到测定装置5上的电阻2判定为不良品。

当在处理装置7中产生上述现象时、即处理装置7在判定处理中连续地将预先规定的个数以上的电阻2判定为不良品时、以及由此导致判定为不良品的比率达到预先规定的比率以上时的任何一种情况下，处理装置7即使在此后持续利用来自测定装置4的第一判断数据D1、以及来自测定装置5的第一判断数据D1和第二判断数据D2来判断电阻2的质量、即进行上述判断处理，也很有可能多次连续地产生无法准确判断电阻2的质量的状况。

因此，在如上述那样、处理装置7在判定处理中由于第二判断数据D2而连续地将预先规定的个数以上的电阻2判定为不良品时、以及判定为不良品的比率达到预先规定的比率以上时的任何一种情况下，处理装置7执行仅使用第一判断数据D1的其它判定处理代替上述判定处理（使用第一判断数据D1和第二判断数据D2的判定处理），来判定电阻2是否为不良品。

具体而言，处理装置7在该其它判定处理中，当从测定装置4接收到的第一判断数据D1所表示的测定值比较处理的判定结果是电阻值R未包含在基准范围RA1内的判定结果时、以及从测定装置5接收到的第一判断数据D1所表示的测定值比较处理的判定结果是电阻值R未包含在基准范围RA1内的判定结果时的至少一种情况下，将该电阻2（一个检测对象）判定为不良品，并执行移动处理使其移动到不良品回收箱6b。另一方面，在其它情况下，由于无法准确判定电阻2的质量，因此处理装置7不对该电阻2的质量进行判定。另外，该情况下，例如处理装置7执行移动处理，使该电阻2移动到未图示的未检查品回收箱中。

通过采用该结构，检查装置1能够在执行了使用第一判断数据D1和第二判断数据D2的判定处理的状态下，当连续地将预先规定的个数以上的电阻2判定为不良品时、以及判定为不良品的比率达到预先规定的比率以上时的至少一种情况之后，避免持续该相同的判定处理时产生的问题（无论是良品还是不良品都判定为不良品的问题），将能够基于第一判断数据D1可靠地判定为不良品的电阻2移动到不良品回收箱6b中，还能使其它电阻2移动到未检查品回收箱中，因此能防止不良品流出道市场上。

在以预先规定的次数重复该其它判定处理的期间，当测定装置4对电阻值R的发送处理、以及测定装置5对电阻值R的接受处理的至少其中一个处理中产生的问题被消除时，如图6所示，测定装置5中，控制部13从FIFO12读取出的测定了电阻值R的电阻2与由测定部11测定了电阻值R的电阻2之间的错位被消除（在第21个周期被消除），因此此后能通过执行常规的动作来继续对电阻2进行检查。

此外，在以预先规定的次数重复其它判定处理后，在从测定装置5输出表示差分值ΔＲ包含在基准差分范围RA2中的第二判断数据D2时，处理装置7从其它判定处理（仅使用第一判断数据D1的判定处理）切换为原始的判定处理（使用第一判断数据D1和第二判断数据D2的判定处理）。由此，能如上述那样对电阻2执行准确的质量判定。

此外，在上述检查装置1中，采用了如下结构：利用由测定装置5施加给电阻2的实验用信号来测定不良品的电阻2的差分值ΔＲ，但也可以如图7所示的检查装置1A那样，在搬送装置3的搬送方向上的两个测定平台ST1、ST2上规定电压施加平台ST3，并在该电压施加平台ST3上设置向电阻2施加实验电压Vts的电压施加装置21。

根据该结构的检查装置1A，通过将实验电压Vts的电压值规定在测定装置4、5施加给电阻2的实验用信号的电压之以上，从而能加快电阻2因施加电压而产生的电阻值R的变化程度，由此能增大测定装置5计算出的差分值ΔＲ的值，因此能更可靠地将电阻值R可能在出厂后产生变化、从而变成不满足良品应当满足的电阻值R的产品规格的状态的电阻2判定为不良品。另外，对于与检查装置1相同的结构标注相同的标号并省略重复说明。

另外，虽然没有图示，但也可以采用如下结构：将该电压施加装置21的功能内置在测定装置4中，经由一对探针P1、P2对电阻值R的测定结束了的（执行了测定处理后的）电阻2施加实验电压。此外，也可以采用如下结构：将该电压施加装置21的功能内置在测定装置5中，经由一对探针P1、P2在由自身对电阻值R进行测定前的（执行自身的测定处理之前的）电阻2施加实验电压。

此外，在上述检查装置1、1A中采用了具有两个设置在由搬送装置3规定的两个测定平台ST1、ST2上的测定装置4、5的结构，但也可以采用如下未图示的结构：在搬送装置上规定三个以上的测定平台，并在各测定平台上分别设置测定装置。在该结构的检查装置中，通过使上述三个以上的测定装置中的任意两个进行与上述检查装置1、1A中的测定装置4、5相同的动作，从而能在处理装置中判定电阻2的质量。

此外，在上述检查装置1、1A中，由搬送方向上的上游侧的测定装置4向下游侧的测定装置5发送电阻值R，并在测定装置5中执行差分值计算处理和差分值比较处理，但也可以反过来采用由下游侧的测定装置5向上游侧的测定装置4发送电阻值R的结构。在采用该结构的检查装置中，在测定装置4中将自身测定到的电阻值R输入并缓存至FIFO12，并且基于从FIFO12输出的电阻值R以及从测定装置5接收到的电阻值R来执行差分值计算处理从而计算出差分值ΔＲ，并基于该差分值ΔＲ来执行差分值比较处理从而生成第二判断数据D2，并输出到处理装置7。该检查装置也能与上述检查装置1、1A同样地对电阻2执行检查。

此外，也可以采用处理装置7从测定装置4、5输入电阻值R来进行差分值比较处理和判定处理的结构。

此外，在上述检查装置1、1A中采用了各测定装置4、5执行测定处理并对一个电阻2测定一次电阻值R的结构，但也可以采用如下结构：控制部13对测定部11执行错开时刻地（以不同的时刻）对各电阻2的电阻值R测定两次的测定处理，并执行根据测定到的两个电阻值R计算差分值ΔＲ的差分值计算处理，并基于该差分值ΔＲ执行差分值比较处理，从而生成第二判断数据D2，此外，还可以采用如下结构：控制部13基于该第二判断数据D2来执行判定电阻2的质量的判定处理。由此，在采用各测定装置4、5本身单独起到检查装置的作用的结构时，只需将测定装置4、5中的任一个配置在两个测定平台ST1、ST2中的任一个上即可，因此能简化整个装置的结构。

此外，上述各测定装置4、5采用了具有一个具备一对探针P1、P2的测定部11的结构，但也可以采用如下结构来代替该结构：具备另一个具备一对探针P1、P2的测定部11的结构；或者使测定部11能够在多个通道（例如双通道）下进行测定来代替上述单通道下的测定（能将一对探针P1、P2与多个组（两组）相连的结构）。在采用上述结构时，能使用测定装置4、5中的某一个，并且与上述那样一起使用测定装置4、5时同样，能在两个测定平台ST1、ST2中对各电阻2的电阻值R进行总共两次的测定。因此，根据采用该结构的具备测定装置4（或测定装置5）的检查装置，能使测定装置的台数减少为一台，并能与上述检查装置1、1A同样地执行电阻2的检查。

此外，也可以采用如下结构：测定装置4、5如上述那样采用具备另一个具有一对探针P1、P2的测定部11的结构、或具备能在多通道（例如双通道）下进行测定的测定部（能将一对探针P1、P2与多个组（两组）相连的测定部）的结构，并且，控制部13执行使测定部错开时间地（以不同的时刻）对各电阻2的电阻值R测定两次的测定处理、根据各电阻2的两个电阻值R计算出差分值ΔＲ的差分计算处理、以及基于该差分值ΔＲ执行差分值比较处理，来生成第二判断数据D2。另外，控制部13还可以采用基于该第二判断数据D2来执行判定电阻2的质量的判定处理的结构。

标号说明

1  检查装置

2  电阻

3  搬送装置

4、5  检查装置

7  处理装置

8  输出装置

R  电阻值

RA1  基准范围

RA2  基准差分范围

Claims (29)

1.一种检查装置，其特征在于，

该检查装置执行以下处理：差分值比较处理，该差分值比较处理将以不同时刻对同一检查对象的同一物理量进行测定得到的两个测定值之间的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较，并判定该差分值是否包含在该基准差分范围内；以及判定处理，该判定处理在该差分值包含在该基准差分范围内时将所述检查对象判定为良品，并在该差分值未包含在该基准差分范围内时将所述检查对象判定为不良品。

2.一种检查装置，其特征在于，

该检查装置执行以下处理：测定值比较处理，该测定值比较处理将以不同时刻对同一检查对象的同一物理量进行测定得到的两个测定值与对每个该测定值预先规定的基准范围进行比较，并判定该各个测定值是否均包含在该基准范围内；差分值比较处理，该差分值比较处理将所述两个测定值之间的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较，并判定该差分值是否包含在该基准差分范围内；以及判定处理，该判定处理在所述两个测定值均包含在所述基准范围内、且所述差分值包含在所述基准差分范围内时将所述检查对象判定为良品，在其它情况下将所述检查对象判定为不良品。

3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

包括FIFO存储器，该FIFO存储器依次输入并存储对多个所述检查对象依次测定得到的所述物理量的测定值，并按照存储的顺序将其作为所述两个测定值的其中一个测定值进行输出，

该检查装置执行以下测定处理：与对从所述FIFO存储器输出的所述一个测定值进行了测定的所述检查对象相同的检查对象的所述物理量依次进行测定，从而作为所述两个测定值中的另一个测定值获得。

4.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

包括FIFO存储器，该FIFO存储器依次输入并存储对多个所述检查对象依次测定得到的所述物理量的测定值，并按照存储顺序将其作为所述两个测定值的其中一个测定值进行输出，

该检查装置执行以下测定处理：与对从所述FIFO存储器输出的所述一个测定值进行了测定的所述检查对象相同的检查对象的所述物理量依次进行测定，从而作为所述两个测定值中的另一个测定值获得。

5.一种检查装置，其特征在于，包括：

搬送装置，对检查对象进行搬送；

两个测定装置，分别设置在沿着所述搬送装置搬送所述检查对象的方向而规定的两个测定平台上，并执行对搬送到该测定平台上的所述检查对象的同一物理量进行测定的测定处理；以及

处理装置，基于由所述两个测定装置在不同时刻对同一所述检查对象测定到的所述物理量的测定值来判定该同一检查对象的质量，

所述两个测定装置中的一个测定装置构成为能执行将其本身测定到的所述物理量的测定值发送给该两个测定装置中的另一个测定装置的发送处理，

所述另一个测定装置构成为能执行以下处理：对从所述一个测定装置发送来的所述测定值进行接收的接收处理；对所述测定处理中其本身测定到的一个所述检查对象的所述物理量的测定值、与该接收处理中接收到的所述一个测定装置测得的该一个检查对象的所述测定值之间的差分值进行计算的差分值计算处理；以及将该计算出的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较从而判定该差分值是否包含在该基准差分范围内、并发送给所述处理装置的差分值比较处理，

所述处理装置执行以下判定处理：在从所述另一个测定装置接收到的所述差分值比较处理的判定结果为所述差分值包含在所述基准差分范围内的判定结果时，将所述检查对象判定为良品，在判定结果为该差分值未包含在该基准差分范围内的判定结果时，将该检查对象判定为不良品。

6.一种检查装置，其特征在于，包括：

搬送装置，对检查对象进行搬送；

两个测定装置，分别设置在沿着所述搬送装置搬送所述检查对象的方向而规定的两个测定平台上，并执行对搬送到该测定平台上的所述检查对象的同一物理量进行测定的测定处理；以及

处理装置，基于由所述两个测定装置在不同时刻对同一所述检查对象测定到的所述物理量的测定值来判定该同一检查对象的质量，

所述两个测定装置的其中一个测定装置构成为能执行以下处理：将其本身测定到的一个所述检查对象的所述物理量的测定值与对该测定值预先规定的基准范围进行比较、从而判定该测定值是否包含在该基准范围内、并将判定结果发送给所述处理装置的测定值比较处理；以及将该测定值发送给所述两个测定装置中的另一个测定装置的发送处理，

所述另一个测定装置构成为能执行以下处理：将其本身测定到的所述一个检查对象的所述物理量的测定值与对该测定值预先规定的基准范围进行比较、从而判定该测定值是否包含在该基准范围内、并将判定结果发送给所述处理装置的测定值比较处理；对从所述一个测定装置发送来的所述测定值进行接收的接收处理；对所述本身测定到的所述一个检查对象的所述物理量的测定值与该接收处理中接收到的所述一个测定装置对该一个检查对象测得的所述测定值之间的差分值进行计算的差分值计算处理；以及将该计算出的差分值与预先规定的基准差分范围进行比较、从而判定该差分值是否包含在该基准差分范围内、并发送给所述处理装置的差分值比较处理，

所述处理装置在从所述一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值包含在所述基准范围内的判定结果、且从所述另一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值包含在所述基准范围的判定结果、且从所述另一个测定装置接收到的所述差分值比较处理的判定结果为所述差分值包含在所述基准差分范围内的判定结果时，将所述一个检查对象判定为良品，并在其它情况下将该一个检查对象判定为不良品。

7.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

所述处理装置在所述判定处理中连续地将预先规定的个数以上的所述检查对象判定为不良品时、以及在所述判定处理中判定为不良品的比率达到预先规定的比率以上时的至少一种情况下执行以下判定处理来代替所述判定处理：对于此后的预先规定的个数的所述一个检测对象，当从所述一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值未包含在所述基准范围内的判定结果时、以及从所述另一个测定装置接收到的所述测定值比较处理的判定结果为所述测定值未包含在所述基准范围内的判定结果时的至少一种情况下，将该一个检查对象判定为不良品，并在其它情况下不对该一个检查对象的质量进行判定。

8.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置包括在所述接收处理中对测定到的所述测定值进行存储的FIFO存储器，并在所述差分值计算处理中，从存储到该FIFO存储器中的所述一个测定装置的多个所述测定值中、读取所述一个检查对象的所述测定值，并计算所述差分值。

9.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置包括在所述接收处理中对测定到的所述测定值进行存储的FIFO存储器，并在所述差分值计算处理中，从存储到该FIFO存储器中的所述一个测定装置的多个所述测定值中、读取所述一个检查对象的所述测定值，并计算所述差分值。

10.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置包括在所述接收处理中对测定到的所述测定值进行存储的FIFO存储器，并在所述差分值计算处理中，从存储到该FIFO存储器中的所述一个测定装置的多个所述测定值中、读取所述一个检查对象的所述测定值，并计算所述差分值。

11.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。

12.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。

13.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。

14.如权利要求8所述的检查装置，其特征在于，

包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。

15.如权利要求9所述的检查装置，其特征在于，

包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。

16.如权利要求10所述的检查装置，其特征在于，

包括：电压施加装置，该电压施加装置设置在电压施加平台上，并对所述检查对象施加实验电压，其中，该电压施加平台规定在沿着所述搬送方向上的所述两个测定平台之间。

17.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

18.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

19.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

20.如权利要求8所述的检查装置，其特征在于，

所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

21.如权利要求9所述的检查装置，其特征在于，

所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

22.如权利要求10所述的检查装置，其特征在于，

所述一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述另一个测定装置的上游侧，并执行对执行了所述测定处理后的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

23.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

24.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

25.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

26.如权利要求8所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

27.如权利要求9所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

28.如权利要求10所述的检查装置，其特征在于，

所述另一个测定装置沿着所述搬送方向设置在所述一个测定装置的下游侧，并执行对执行本身的所述测定处理前的所述检查对象施加实验电压的电压施加处理。

29.如权利要求1至28的任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述处理装置在所述判定处理中将所述检查对象判定为良品时，执行将所述两个测定值的其中一个作为最终测定值进行输出的输出处理。