JP6106988B2 - Transport device - Google Patents

Transport device Download PDF

Info

Publication number
JP6106988B2
JP6106988B2 JP2012183973A JP2012183973A JP6106988B2 JP 6106988 B2 JP6106988 B2 JP 6106988B2 JP 2012183973 A JP2012183973 A JP 2012183973A JP 2012183973 A JP2012183973 A JP 2012183973A JP 6106988 B2 JP6106988 B2 JP 6106988B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
conveying
facing
opposing
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012183973A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2014040315A (en
Inventor
鵬 王
鵬 王
芳幸 和田
芳幸 和田
研吾 松尾
研吾 松尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP2012183973A priority Critical patent/JP6106988B2/en
Priority to KR1020147029617A priority patent/KR101610215B1/en
Priority to CN201380021075.1A priority patent/CN104245547B/en
Priority to PCT/JP2013/054989 priority patent/WO2013161376A1/en
Priority to TW102106991A priority patent/TWI495607B/en
Publication of JP2014040315A publication Critical patent/JP2014040315A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6106988B2 publication Critical patent/JP6106988B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Belt Conveyors (AREA)

Description

本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に関する。   The present invention relates to a transport device that transports a relatively thin plate glass or the like.

従来、板ガラス等の薄板状のワークの搬送には、ワークを搬送する際の接触面積を抑制した空気浮上型の搬送装置が用いられる。例えば、搬送装置がローラコンベアの場合、ワークに空気を吹き付けて浮上させつつ、ワークの搬送方向に垂直な幅方向(以下、単に幅方向と称す)の両端をそれぞれ対向するローラに載せて、ローラを回転させることでワークを搬送する(例えば、特許文献1)。   Conventionally, for transporting a thin plate-shaped workpiece such as a plate glass, an air-floating type transport device that suppresses a contact area when the workpiece is transported is used. For example, when the conveying device is a roller conveyor, both ends of the width direction (hereinafter simply referred to as the width direction) perpendicular to the conveying direction of the workpiece are placed on the rollers facing each other while blowing air on the workpiece and floating. The workpiece is transported by rotating (see Patent Document 1).

このとき、ワークがローラから滑り落ちないように、空気を吸引する吸引ユニットが、ローラの対向方向の内側に間隔を空けて配される。吸引ユニットは、ワークの鉛直下方から吸引力を作用させることで、ワークとローラとの摩擦力を高めている。   At this time, a suction unit for sucking air is arranged at an inner side in the opposite direction of the roller so that the work does not slide off the roller. The suction unit increases the frictional force between the workpiece and the roller by applying a suction force from below the workpiece.

また、ベルトコンベアの一種であって、ワークへの接触面積をより小さくするため、コンベアのベルトから突出するピン(突出部)を設け、ピンの先端部のみをワークに接触させて、ワークを支持および搬送する、所謂ピンアップコンベアが知られている。特に、ピンアップコンベアは、ワークとの接触面積を小さくできるものの、ワークとピンの先端部との摩擦力が弱くなる。そこで、特許文献1に記載の吸引ユニットを、ピンアップコンベアの対向方向の内側に設けることも想定される。   Also, it is a type of belt conveyor, and in order to reduce the contact area to the workpiece, a pin (protruding portion) that protrudes from the belt of the conveyor is provided, and only the tip of the pin contacts the workpiece to support the workpiece In addition, so-called pin-up conveyors for conveying are known. In particular, although the pin-up conveyor can reduce the contact area with the workpiece, the frictional force between the workpiece and the tip of the pin becomes weak. Therefore, it is also assumed that the suction unit described in Patent Document 1 is provided inside the opposing direction of the pin-up conveyor.

特開2008−260591号公報JP 2008-260591 A

ところで、ワークの厚みや材質によっては、ワークの自重が大きく、ワークの慣性力が大きくなる。そのため、上述したピンアップコンベアの場合、ワークを搬送する加減速時において、ワークが突出部から滑って、ベルトとの相対位置がずれてしまうおそれがある。   By the way, depending on the thickness and material of the workpiece, the weight of the workpiece is large, and the inertia force of the workpiece becomes large. Therefore, in the case of the pin-up conveyor described above, the workpiece may slip from the protruding portion during acceleration / deceleration for conveying the workpiece, and the relative position with respect to the belt may shift.

そこで、吸引ユニットの吸引力を高めれば、突出部とワークとの摩擦力を高めて、ワークの滑動を抑止できるが、単に、吸引ユニットを構成するファンなどの機器の出力を高めるだけでは、消費電力が不要に増加してしまう。   Therefore, if the suction force of the suction unit is increased, the frictional force between the protruding part and the workpiece can be increased to prevent the workpiece from sliding, but simply increasing the output of a device such as a fan that constitutes the suction unit will result in consumption. Electric power increases unnecessarily.

本発明の目的は、消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送することが可能な搬送装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a transfer device that can increase the frictional force between a workpiece and a protruding portion and stably transfer the workpiece without increasing power consumption.

上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、複数の回転体と、ワークを接触支持する複数の突出部を有し複数の回転体によって無端状に張架されワークを搬送するベルトと、を有し、ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、搬送部によって搬送されるワークに対して搬送部側に配され、ワークと対向する対向面を有する対向部と、少なくとも縁の一部が対向部によって形成される開口部と、ベルトのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆い、開口部から連通するカバー部と、カバー部内を減圧し、開口部を通じて突出部近傍であってワークの対向部側の気体を吸引する減圧部と、を備え、対向部は、カバー部の側壁から、対向する側壁との対向方向の逆側に突出することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a conveying device of the present invention includes a plurality of rotating bodies, a belt that has a plurality of protrusions that contact and support the workpiece, and is stretched endlessly by the plurality of rotating bodies and conveys the workpiece. And a plurality of conveying units arranged opposite to each other in parallel with the conveying direction, and an opposing unit arranged on the conveying unit side with respect to the workpiece conveyed by the conveying unit and having an opposing surface facing the workpiece. , an opening portion of at least the edge is formed by opposed portions, of the belt covers at least a side surface and a vertical lower surface, and a cover portion communicating from the opening, reducing the pressure in the cover portion, through the opening, projecting a part near comprising a pressure reducing unit for sucking the opposite side of the gas of the work, and the opposing portion from the side wall of the cover portion, and wherein Rukoto protruding on the opposite side of the opposing direction of the opposing side walls To do.

対向面は、搬送部によって搬送されるワークと平行に形成されてもよい。   The opposing surface may be formed in parallel with the workpiece conveyed by the conveyance unit.

対向面は、複数の搬送部の対向方向の中心側が鉛直下方に撓むワークの想定される傾きに沿って水平方向に対し傾斜していてもよい。   The opposing surface may be inclined with respect to the horizontal direction along the assumed inclination of the workpiece in which the center side in the opposing direction of the plurality of conveying units bends vertically downward.

対向面の水平方向に対する傾斜角を調整する角度調整部をさらに備えてもよい。   You may further provide the angle adjustment part which adjusts the inclination-angle with respect to the horizontal direction of an opposing surface.

対向面の端部には、開口部から離れるほど、ワークからの距離が漸増する漸増部が形成されていてもよい。   A gradually increasing portion in which the distance from the workpiece gradually increases as the distance from the opening portion increases may be formed at the end of the facing surface.

カバー部は、ベルトの搬送方向に移動する搬送部位および搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位のいずれも覆てもよい。 Cover may Tsu covered either non conveying portion which moves in the opposite direction of the conveying portion and the conveying direction to move in the transport direction of the belt.

本発明によれば、消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送することができる。   According to the present invention, without increasing power consumption, the frictional force between the workpiece and the protruding portion can be increased, and the workpiece can be transported stably.

搬送装置の構造を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the structure of a conveying apparatus. カバー部および減圧部の構造を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the structure of a cover part and a pressure reduction part. ワークに対する吸引効果を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the suction effect with respect to a workpiece | work. 変形例を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating a modification. 他の変形例を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating another modification.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The dimensions, materials, and other specific numerical values shown in the embodiments are merely examples for facilitating the understanding of the invention, and do not limit the present invention unless otherwise specified. In the present specification and drawings, elements having substantially the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted, and elements not directly related to the present invention are not illustrated. To do.

本実施形態の搬送装置は、薄板状のワークを搬送するものであり、ここでは、ガラス板をワークとして搬送する搬送装置について説明する。   The conveyance apparatus of this embodiment conveys a thin plate-shaped workpiece | work, Here, the conveyance apparatus which conveys a glass plate as a workpiece | work is demonstrated.

図1は、搬送装置100の構造を説明するための説明図である。特に、図1(a)は、搬送装置100の上面図を示し、図1(b)は、搬送装置100の正面図を示し、図1(c)は、搬送装置100の側面図を示す。ただし、図1においては、説明の便宜上、後述するカバー部114を破線で示し、搬送方向の長さを短く示している。   FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining the structure of the transport apparatus 100. In particular, FIG. 1A shows a top view of the transport apparatus 100, FIG. 1B shows a front view of the transport apparatus 100, and FIG. 1C shows a side view of the transport apparatus 100. However, in FIG. 1, for convenience of explanation, a cover portion 114 described later is indicated by a broken line, and the length in the transport direction is indicated short.

搬送装置100は、搬送部110と、浮上部112と、カバー部114と、減圧部116とを含んで構成される。   The transport apparatus 100 includes a transport unit 110, a floating part 112, a cover part 114, and a decompression part 116.

また、搬送部110は、回転体110aと、ベルト110bと、突出部110cと、を含んで構成される。   Moreover, the conveyance part 110 is comprised including the rotary body 110a, the belt 110b, and the protrusion part 110c.

回転体110aは、中央に貫通孔を有する環状部材であって、搬送方向に複数(本実施形態では2つ)配置される。また、回転体110aは、水平かつ搬送方向に垂直な方向に対向して複数(本実施形態では2つ)配置され、シャフト110dの一端に固定されてシャフト110dと一体となって回転する。回転体110aの回転軸は、水平かつ搬送方向に垂直となる。   The rotating body 110a is an annular member having a through hole in the center, and a plurality (two in this embodiment) are arranged in the transport direction. A plurality of rotating bodies 110a (two in the present embodiment) are arranged facing each other in the horizontal direction and perpendicular to the conveying direction, are fixed to one end of the shaft 110d, and rotate integrally with the shaft 110d. The rotating shaft of the rotating body 110a is horizontal and vertical to the transport direction.

ベース102は、搬送装置100の土台である。支持脚104は、搬送方向の上流側と下流側にそれぞれ2本ずつ、ベース102に直立して固定されている。また、ベース102には、搬送方向の上流側にモータ等の駆動装置110eが配置されている。この駆動装置110eのシャフトには、軸継手110fを介してシャフト110gが連結され、シャフト110gに駆動装置110eの回転力が伝達される。   The base 102 is a foundation of the transfer device 100. Two support legs 104 are fixed upright on the base 102, two on each of the upstream side and the downstream side in the transport direction. The base 102 is provided with a drive device 110e such as a motor on the upstream side in the transport direction. The shaft 110g is connected to the shaft of the drive device 110e via a shaft coupling 110f, and the rotational force of the drive device 110e is transmitted to the shaft 110g.

支持脚104の下部には貫通孔104aが設けられており、シャフト110gは、対向する貫通孔104aの両方に挿通され、貫通孔104aの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。   A through hole 104a is provided in the lower portion of the support leg 104, and the shaft 110g is inserted into both of the opposing through holes 104a and is freely rotatable through a bearing provided on the inner peripheral surface of the through hole 104a. Be supported.

また、シャフト110gには、プーリ110hが取り付けられており、プーリ110hは、シャフト110gと一体となって回転する。   Further, a pulley 110h is attached to the shaft 110g, and the pulley 110h rotates integrally with the shaft 110g.

そして、支持脚104の上部にも貫通孔104bが設けられている。シャフト110dは、この貫通孔104bの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。   A through hole 104 b is also provided in the upper part of the support leg 104. The shaft 110d is rotatably supported through a bearing provided on the inner peripheral surface of the through hole 104b.

搬送方向の上流側に配された2本のシャフト110dのうち、回転体110aが固定された一端と反対側の他端には、プーリ110iが取り付けられている。ベルト110jは、鉛直上方に位置するプーリ110iと鉛直下方に位置するプーリ110hによって無端状に張架され、プーリ110hの回転力をプーリ110iに伝達する。   A pulley 110i is attached to the other end of the two shafts 110d arranged on the upstream side in the transport direction on the opposite side to the one end to which the rotating body 110a is fixed. The belt 110j is stretched endlessly by a pulley 110i positioned vertically upward and a pulley 110h positioned vertically downward, and transmits the rotational force of the pulley 110h to the pulley 110i.

そして、プーリ110iの回転に伴い、シャフト110dと回転体110aが一体回転する。   As the pulley 110i rotates, the shaft 110d and the rotating body 110a rotate integrally.

回転体110aには、このような機構によって駆動装置110eの回転力が伝達される。ここでは、1つの駆動装置110eが回転体110aを回転させる構成を例に挙げたが、例えば、複数の駆動装置110eが同期して回転体110aを回転させるとしてもよい。また、ここでは、プーリ110h、110iが、回転体110aの対向方向の内側に配される構成を例に挙げたが、回転体110aの対向方向の外側に配されてもよい。   The rotational force of the driving device 110e is transmitted to the rotating body 110a by such a mechanism. Here, the configuration in which one driving device 110e rotates the rotating body 110a has been described as an example. However, for example, a plurality of driving devices 110e may rotate the rotating body 110a in synchronization. In addition, here, the pulleys 110h and 110i are described as an example in which the pulleys 110h and 110i are arranged on the inner side in the facing direction of the rotating body 110a, but may be arranged on the outer side in the facing direction of the rotating body 110a.

ベルト110bは、複数の回転体110aによって無端状に張架されて、回転体110aの回転に伴って、図1(c)に示す白抜き矢印Yの方向に回転する。図1(a)に示すように、ベルト110bは、搬送方向に平行に、複数(本実施形態では2つ)対向配置される。また、ベルト110bは、複数の突出部110cを有する。   The belt 110b is stretched endlessly by the plurality of rotating bodies 110a, and rotates in the direction of the white arrow Y shown in FIG. 1C as the rotating body 110a rotates. As shown in FIG. 1A, a plurality (two in the present embodiment) of the belt 110b are arranged opposite to each other in parallel with the transport direction. Further, the belt 110b has a plurality of protrusions 110c.

突出部110cは、例えば樹脂等で構成され、ベルト110bの表面に搬送方向に沿って複数配されてワークを接触支持する。   The protrusions 110c are made of, for example, resin, and a plurality of protrusions 110c are arranged on the surface of the belt 110b along the conveyance direction to support and support the workpiece.

搬送部110は、ベルト110bが図1(c)に示す白抜き矢印Yの方向へ回転することで、突出部110cに接触支持されたワークを図1(a)に示す白抜き矢印Xの方向に搬送する。   The conveyance unit 110 rotates the belt 110b in the direction indicated by the white arrow Y shown in FIG. 1C, so that the work supported by the protrusion 110c in the direction indicated by the white arrow X shown in FIG. Transport to.

浮上部112は、例えば、圧縮空気を噴出する噴出装置等で構成され、搬送方向に平行に配置された複数の搬送部110間のベース102上に配された浮上台112aに載置されている。浮上部112は、長手方向を搬送方向に沿わせて、かつ、短手方向に複数(本実施形態では3つ)、並置されている。そして、浮上部112は、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる。   The levitation portion 112 is composed of, for example, an ejection device that ejects compressed air, and is placed on a levitation table 112a disposed on a base 102 between a plurality of conveyance units 110 arranged in parallel to the conveyance direction. . A plurality of floating portions 112 (three in the present embodiment) are juxtaposed along the longitudinal direction along the conveying direction and in the lateral direction. The floating portion 112 causes a gas flow upward in the vertical direction, and part of the work is lifted.

具体的には、ワークを突出部110cで接触支持した状態で、浮上部112が気体(圧縮空気)を噴出して鉛直上方への気体の流れを生じさせると、浮上部112とワークの間の空気の圧力が高まる。ワークは、搬送中、この空気の圧力による鉛直上方への力と、ワークの自重に対する突出部110cからの反力で支持されることとなる。   Specifically, when the floating part 112 spouts gas (compressed air) in a state where the work is in contact with and supported by the projecting portion 110c to generate a gas flow vertically upward, a gap between the floating part 112 and the work is obtained. Air pressure increases. During the conveyance, the workpiece is supported by a force vertically upward due to the pressure of the air and a reaction force from the projecting portion 110c with respect to the weight of the workpiece.

このとき、浮上部112は、ワークを支持する空気の圧力として、圧縮空気の噴出方向の動圧ではなく、ワークの下方の空間が狭く四方に分散しようとする空気の動きが抑制された結果生じる静圧を利用するため、少ない出力でワークを支持可能となる。   At this time, the floating part 112 is not the dynamic pressure in the jet direction of the compressed air as the pressure of the air that supports the work, but is generated as a result of the movement of the air that tends to be dispersed in all directions in a narrow space below the work. Since static pressure is used, the workpiece can be supported with a small output.

図2は、カバー部114および減圧部116の構造を説明するための説明図であり、ワークWの搬送時における搬送装置100について、図1(b)中、右側の搬送部110、カバー部114、および、減圧部116を図1(b)と同じ向きから捉えた図を示す。ただし、理解を容易とするため、カバー部114と、減圧部116の筐体を断面図で示し、搬送部110を正面図で示す。   FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the structure of the cover unit 114 and the decompression unit 116. Regarding the transfer device 100 during transfer of the workpiece W, the transfer unit 110 and the cover unit 114 on the right side in FIG. The figure which caught the decompression part 116 from the same direction as FIG.1 (b) is shown. However, for easy understanding, the casing of the cover unit 114 and the decompression unit 116 is shown in a sectional view, and the transport unit 110 is shown in a front view.

カバー部114は、2つの搬送部110それぞれに設けられ、ベルト110b全体を囲繞する覆いである。ここで、ベルト110b全体には、図1(b)に示すように、ベルト110bのうち、鉛直上側であって、搬送方向に移動する搬送部位Aと、鉛直下側であって、搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位Bのいずれも含むものとする。   The cover part 114 is a cover that is provided in each of the two transport parts 110 and surrounds the entire belt 110b. Here, as shown in FIG. 1 (b), the entire belt 110b has a conveying portion A that moves vertically in the belt 110b and moves in the conveying direction, and a vertically lower portion that moves in the conveying direction. All of the non-conveyance sites B that move in the reverse direction are included.

また、カバー部114のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部110によって搬送されるワークWと対向する対向面114aを有する対向部114bとなる。すなわち、対向部114bは、カバー部114の一部であって、対向面114aは、カバー部114の鉛直上側の端面である。   Further, in the cover portion 114, the vertically upper wall portion becomes a facing portion 114 b having a facing surface 114 a facing the workpiece W transported by the transporting portion 110. That is, the facing portion 114 b is a part of the cover portion 114, and the facing surface 114 a is an end surface on the vertical upper side of the cover portion 114.

開口部114cは、対向部114bの対向面114aに形成された孔であって、開口部114cの縁は対向部114bによって形成される。また、開口部114cは、カバー部114の内部と外部とを連通する。開口部114cは、対向部114bに、搬送方向の突出部110cの移動軌跡に沿って、カバー部114が突出部110cと干渉しないように設けられている。   The opening 114c is a hole formed in the facing surface 114a of the facing portion 114b, and the edge of the opening 114c is formed by the facing portion 114b. Moreover, the opening part 114c connects the inside and the outside of the cover part 114. The opening 114c is provided in the facing portion 114b along the movement locus of the protruding portion 110c in the transport direction so that the cover portion 114 does not interfere with the protruding portion 110c.

突出部110cは、開口部114cから鉛直上方に突出し、その先端が開口部114cより鉛直上方に位置している。そのため、突出部110cは、ワークWに接触可能となっている。   The protrusion 110c protrudes vertically upward from the opening 114c, and its tip is positioned vertically upward from the opening 114c. Therefore, the protrusion 110c can contact the workpiece W.

減圧部116は、ファン、ブロア、ポンプなどで構成され、カバー部114の鉛直下側の端面である下端114dに、搬送方向に亘って複数配される。そして、減圧部116は、カバー部114の下端114dに設けられた排出孔114eから、カバー部114の内部の空気を吸引して、カバー部114の内部の圧力を減圧する。そして、減圧部116は、開口部114cを通じて突出部110c近傍の空気(気体)を吸引する。ここで、カバー部114は、開口部114cから減圧部116まで連通する連通路となる。   The decompression unit 116 includes a fan, a blower, a pump, and the like, and a plurality of the decompression units 116 are arranged on the lower end 114d that is the end surface on the vertically lower side of the cover unit 114 in the transport direction. The decompression unit 116 sucks the air inside the cover unit 114 from the discharge hole 114e provided at the lower end 114d of the cover unit 114, and decompresses the pressure inside the cover unit 114. The decompression unit 116 sucks air (gas) in the vicinity of the protrusion 110c through the opening 114c. Here, the cover 114 serves as a communication path that communicates from the opening 114 c to the decompression unit 116.

図3は、ワークWに対する吸引効果を説明するための説明図である。図3(a)には、本実施形態の搬送部110、カバー部114、および、減圧部116を図2と同様に図示し、図3(b)には、比較例としての搬送部1、カバー部2、および、減圧部3を図2と同様に図示する。   FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining the suction effect on the workpiece W. FIG. FIG. 3A illustrates the transport unit 110, the cover unit 114, and the decompression unit 116 of the present embodiment in the same manner as FIG. 2, and FIG. 3B illustrates the transport unit 1 as a comparative example. The cover part 2 and the decompression part 3 are illustrated similarly to FIG.

また、図3(c)には、図3(a)中、左右方向の位置を横軸、ワークWに作用する負圧の絶対値の大きさを縦軸とするグラフを示し、図3(d)には、図3(b)中、左右方向の位置を横軸、ワークWに作用する負圧の絶対値の大きさを縦軸とするグラフを示す。   FIG. 3C shows a graph in which the horizontal axis in FIG. 3A is the horizontal axis and the absolute value of the negative pressure acting on the workpiece W is the vertical axis. FIG. 3 (d) shows a graph with the horizontal axis representing the position in the left-right direction and the vertical axis representing the magnitude of the absolute value of the negative pressure acting on the workpiece W in FIG.

図3(b)に示すように、比較例においては、カバー部2には鉛直上側ほど先細りとなる傾斜部2aが設けられており、この傾斜部2aの先端に開口部2bが形成されている。この場合、図3(d)に示すように、ワークWに作用する負圧の絶対値は、開口部2bの中心位置(図3(d)中、破線aで示す)において最大となり、開口部2bから左右方向に離隔すると、カバー部2の側壁2cの位置(図3(d)中、破線bおよび破線cで示す)に至るまでに急峻に低下してしまう。   As shown in FIG. 3 (b), in the comparative example, the cover portion 2 is provided with an inclined portion 2a that tapers toward the upper vertical side, and an opening 2b is formed at the tip of the inclined portion 2a. . In this case, as shown in FIG. 3D, the absolute value of the negative pressure acting on the workpiece W becomes maximum at the center position of the opening 2b (indicated by the broken line a in FIG. 3D), and the opening When separated from 2b in the left-right direction, the position of the side wall 2c of the cover portion 2 decreases sharply until reaching the position of the side wall 2c (shown by broken lines b and c in FIG. 3D).

一方、本実施形態の対向部114bは、図3(a)に示すように、対向面114aが、搬送部110によって搬送されるワークWと平行に形成される。具体的に、対向面114aは、例えば、搬送されるワークWに対する傾斜角が例えば5度以内、望ましくは1度以内となっている。そのため、図3(a)中、左右方向に亘って、ワークWとの距離が大凡等しい。そして、開口部114cから空気が吸引されると、対向部114bとワークWとの間の流路fに空気が流れる。   On the other hand, as shown in FIG. 3A, the facing portion 114 b of the present embodiment has a facing surface 114 a formed in parallel with the workpiece W transported by the transporting portion 110. Specifically, the opposing surface 114a has, for example, an inclination angle with respect to the workpiece W to be conveyed within, for example, 5 degrees, and preferably within 1 degree. Therefore, in FIG. 3A, the distance from the workpiece W is approximately equal in the left-right direction. And if air is attracted | sucked from the opening part 114c, air will flow into the flow path f between the opposing part 114b and the workpiece | work W. FIG.

この空気の流れは、流路fに流入するときに流路断面積が狭められることから、流路fに流入することで流速が速くなり、その速い流速を維持したまま開口部114cに吸引される。   Since the flow cross-sectional area is narrowed when this air flow flows into the flow channel f, the flow velocity increases by flowing into the flow channel f, and the air flow is sucked into the opening 114c while maintaining the high flow velocity. The

その結果、ベルヌーイの定理に従って、流路f全長に亘って、流路fに流入する前よりも空気の圧力が低下する。こうして、図3(c)に示すように、流路fを形成するワークWに対し、開口部114cの中心位置(図3(c)中、破線aで示す)を含め、流路fの全長に亘って(図3(c)中、破線bから破線cまでの範囲に亘って)負圧が作用することとなる。   As a result, according to Bernoulli's theorem, the air pressure is lowered over the entire length of the flow channel f than before flowing into the flow channel f. Thus, as shown in FIG. 3C, the entire length of the flow path f including the center position of the opening 114c (indicated by the broken line a in FIG. 3C) with respect to the workpiece W forming the flow path f. The negative pressure is applied over the range (in the range from the broken line b to the broken line c in FIG. 3C).

ここで、ワークWに作用する負圧によって、ワークWを鉛直下方に吸引する力の大きさは、例えば、図3(c)、(d)に示す負圧の積分値で評価できる。図3(c)、(d)を比較すると、図3(c)に示す本実施形態の方が、負圧の絶対値が大きい区間が長いことから、ワークWに対する吸引力が大きい。   Here, the magnitude of the force for attracting the workpiece W vertically downward by the negative pressure acting on the workpiece W can be evaluated by, for example, the integrated value of the negative pressure shown in FIGS. Comparing FIGS. 3C and 3D, the present embodiment shown in FIG. 3C has a larger suction force with respect to the workpiece W because the section where the absolute value of the negative pressure is larger is longer.

このように、本実施形態の搬送装置100は、減圧部116の出力を上げるなどして消費電力を増加させることなく、ワークWに作用する吸引力を上昇させる。その結果、ワークWと突出部110cとの摩擦力を高めて、ワークWを安定して搬送することが可能となる。   As described above, the transport apparatus 100 according to the present embodiment increases the suction force acting on the workpiece W without increasing the power consumption by increasing the output of the decompression unit 116 or the like. As a result, it is possible to increase the frictional force between the workpiece W and the projecting portion 110c and to transport the workpiece W stably.

また、開口部114cから突出部110cが突出しており、ワークWに対し、突出部110cを中心に吸引力が均等に作用することから、バランスよくワークWを吸引することが可能となると共に、開口部114cと突出部110cが近接しているため、ワークWに作用する曲げモーメントを抑え、吸引力によるワークWの変形を小さくできる。   In addition, since the protruding portion 110c protrudes from the opening 114c, and the suction force acts uniformly on the workpiece W around the protruding portion 110c, the workpiece W can be sucked in a balanced manner, and the opening is opened. Since the portion 114c and the projecting portion 110c are close to each other, the bending moment acting on the workpiece W can be suppressed, and the deformation of the workpiece W due to the suction force can be reduced.

また、上述したように、搬送部110は、カバー部114で覆われており、減圧部116が搬送部110の周囲の空気を吸引している。そのため、搬送装置100は、例えば、フィルタを設けるなどして、排気中に含まれるゴミを除去すれば、カバー部114の内部にある搬送部110に付着したゴミや搬送部110の周囲に浮いた埃などのゴミのワークWへの付着を抑制することが可能となる。   Further, as described above, the transport unit 110 is covered with the cover unit 114, and the decompression unit 116 sucks the air around the transport unit 110. For this reason, for example, if the dust contained in the exhaust is removed by providing a filter or the like, the transport device 100 floats around the transport unit 110 and the dust attached to the transport unit 110 inside the cover unit 114. It becomes possible to suppress adhesion of dust such as dust to the workpiece W.

図4は、変形例を説明するための説明図であり、図4(a)〜図4(d)は、それぞれ、変形例1〜4の対向部についての図2と同じ位置の正面図を示す。以下、図4を参照しながら、変形例1〜4について詳述する。   FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining a modification. FIGS. 4A to 4D are front views of the same positions as those in FIG. Show. Hereinafter, modifications 1 to 4 will be described in detail with reference to FIG.

(変形例1)
上述した実施形態では、ワークWの撓みがほとんどない場合に適した搬送装置100について説明した。変形例1においては、ワークWの板厚が薄く、2つの搬送部110における対向方向の中心側が鉛直下方に撓むものとする。そして、図4(a)に示すカバー部214のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部110によって搬送されるワークWと対向する対向面214aを有する対向部214bとなり、鉛直下方に空気が吸引される開口部214cと連続している。
(Modification 1)
In the above-described embodiment, the transport apparatus 100 suitable for the case where the workpiece W is hardly bent has been described. In the first modification, it is assumed that the thickness of the workpiece W is thin, and the center sides in the opposing direction of the two transfer units 110 are bent vertically downward. The vertical upper wall portion of the cover portion 214 shown in FIG. 4A becomes a facing portion 214b having a facing surface 214a facing the workpiece W conveyed by the conveying portion 110, and air is sucked vertically downward. The opening 214c is continuous.

このとき、対向部214b、および、対向面214aは、図4(a)に示すように、水平方向に対して傾斜している。具体的には、ワークWのうち、対向面214aに対向する部位の傾斜角について、例えば、予め、ワークWの撓み曲線から導いておいたり、実際にワークWを搬送部110に設置して測定しておいたりする。そして、対向部214b、および、対向面214aを、その傾斜角に合わせて傾斜させる。   At this time, the opposing part 214b and the opposing surface 214a are inclined with respect to the horizontal direction as shown in FIG. Specifically, the inclination angle of the part of the workpiece W that faces the facing surface 214a is, for example, previously derived from the bending curve of the workpiece W, or actually measured by installing the workpiece W on the conveyance unit 110. I keep it. And the opposing part 214b and the opposing surface 214a are inclined according to the inclination angle.

このように、対向面214aを想定されるワークWの傾きに沿って傾斜させることで、板厚が薄く撓みやすいワークWを搬送する場合に、対向面214aの水平方向に対する傾斜方向に亘って、対向面214aとワークWの離隔距離が大凡一定に保たれる。   In this way, when the workpiece W is thin and easily bent by inclining the opposing surface 214a along the assumed inclination of the workpiece W, the opposing surface 214a is inclined over the horizontal direction of the opposing surface 214a. The separation distance between the facing surface 214a and the workpiece W is kept substantially constant.

そのため、流路fに流入して高速化した空気は、流速が速いまま開口部214cに吸引され、ワークWに対する吸引力が上昇することから、板厚が薄く撓みやすいワークWの安定搬送が可能となる。   Therefore, the air that has flowed into the flow path f and increased in speed is sucked into the opening 214c with a high flow velocity, and the suction force to the work W is increased, so that the work W can be stably conveyed with a thin plate thickness that is easy to bend. It becomes.

(変形例2)
変形例1では、対向面214aが水平方向に対して傾斜する構成について説明した。変形例2では、例えば、複数のロットごとにワークWの板厚や材質が変更され、ワークWの撓み角が変化する場合にも、対応することができる構成について説明する。
(Modification 2)
In the first modification, the configuration in which the facing surface 214a is inclined with respect to the horizontal direction has been described. In the second modification, for example, a configuration that can cope with a case where the thickness or material of the workpiece W is changed for each of a plurality of lots and the deflection angle of the workpiece W changes will be described.

変形例2において、搬送装置は、上述した実施形態の搬送装置100の構成に加え、図4(b)に示すように、角度調整部320をさらに備える。角度調整部320は、本体320aと、本体320aに固定されたシャフト320bと、を含んで構成される。   In Modification 2, the transport apparatus further includes an angle adjustment unit 320 as shown in FIG. 4B in addition to the configuration of the transport apparatus 100 of the above-described embodiment. The angle adjustment unit 320 includes a main body 320a and a shaft 320b fixed to the main body 320a.

また、本体320aは、カバー部114の外壁に固定され、搬送部110と減圧部116は、カバー部114に一部が固定されている。すなわち、本体320a、搬送部110、カバー部114、および、減圧部116は、シャフト320bを回転中心として、図4(b)中、両矢印で示すいずれの方向にも、一体的に傾斜可能となっている。   The main body 320 a is fixed to the outer wall of the cover part 114, and a part of the transport part 110 and the decompression part 116 is fixed to the cover part 114. That is, the main body 320a, the conveyance unit 110, the cover unit 114, and the decompression unit 116 can be integrally tilted in any direction indicated by a double-pointed arrow in FIG. 4B with the shaft 320b as the rotation center. It has become.

さらに、上述した実施形態で説明した搬送部110を構成する構成部は、ベース102や支持脚104に固定されず、カバー部114を介して角度調整部320に支持される。そして、傾斜する際、傾斜する軌道上に障害が配されないように、カバー部114は、例えば、地面などから離隔している。   Further, the components constituting the transport unit 110 described in the above-described embodiment are not fixed to the base 102 and the support legs 104 but are supported by the angle adjustment unit 320 via the cover unit 114. And when it inclines, the cover part 114 is separated from the ground etc., for example so that a disorder | damage | failure may not be distribute | arranged on the inclining orbit.

そして、シャフト320bは、不図示のモータによって、図4(b)中、両矢印で示すいずれの方向にも回転し、任意の回転位置で、固定部材や係合部材などで固定される。   The shaft 320b is rotated in any direction indicated by a double arrow in FIG. 4B by a motor (not shown), and is fixed by a fixing member, an engaging member, or the like at an arbitrary rotational position.

このように、角度調整部320は、対向面114aの水平方向に対する傾斜角を調整する。そのため、ワークWの撓み角が変化する場合であっても、角度調整部320によって傾斜角を調整することで、ワークWと対向面114aを平行に保つことができる。こうして、流路fに流入する空気の流速が高速で維持され、ワークWに対する吸引力が上昇してワークWの安定搬送が可能となる。   Thus, the angle adjustment unit 320 adjusts the inclination angle of the facing surface 114a with respect to the horizontal direction. Therefore, even if the deflection angle of the workpiece W changes, the workpiece W and the facing surface 114a can be kept parallel by adjusting the tilt angle by the angle adjusting unit 320. Thus, the flow velocity of the air flowing into the flow path f is maintained at a high speed, the suction force with respect to the workpiece W is increased, and the workpiece W can be stably conveyed.

(変形例3)
上述した実施形態では、空気の流速を高めることによってワークWに対する吸引力を上昇させる構成について説明した。変形例3では、空気の流速をさらに高速化して、ワークWに対する吸引力を上昇させることができる構成について説明する。
(Modification 3)
In the above-described embodiment, the configuration in which the suction force with respect to the workpiece W is increased by increasing the air flow rate has been described. In the third modification, a configuration in which the suction force for the workpiece W can be increased by further increasing the air flow rate will be described.

図4(c)に示すように、変形例3において、カバー部314のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部110によって搬送されるワークWと対向する対向面314aを有する対向部314bとなり、鉛直下方に空気が吸引される開口部314cと連続している。そして、対向面314aの端部には、漸増部314fが形成されている。   As shown in FIG. 4C, in the third modification, the vertical upper wall portion of the cover portion 314 is a facing portion 314b having a facing surface 314a facing the workpiece W transported by the transporting portion 110. It continues to the opening 314c from which air is sucked vertically downward. A gradually increasing portion 314f is formed at the end of the facing surface 314a.

漸増部314fは、開口部314cから離れるほど、ワークWからの距離が漸増する部位であって、例えば、カバー部314の内側に曲率中心が位置する曲面となる、所謂R(フィレット)形状となっている。   The gradually increasing portion 314f is a portion where the distance from the workpiece W gradually increases as the distance from the opening 314c increases. For example, the gradually increasing portion 314f has a so-called R (fillet) shape in which the center of curvature is located inside the cover portion 314. ing.

そのため、対向面314aによって、流路fの入り口近傍において、渦流などの空気の流れの乱れが生じにくく、圧力損失が抑制されて、空気の流速が高められることから、ワークWに対する吸引力が上昇してワークWの安定搬送が可能となる。   Therefore, the opposing surface 314a hardly disturbs the air flow such as a vortex in the vicinity of the entrance of the flow path f, and the pressure loss is suppressed and the air flow rate is increased. Accordingly, the workpiece W can be stably conveyed.

(変形例4)
上述した実施形態では、対向部114bがカバー部114の鉛直上側の壁部で構成される場合について説明した。変形例4では、対向部414bの対向面414aの面積を拡大して、ワークWに対する吸引力を上昇させることができる構成について説明する。
(Modification 4)
In the above-described embodiment, the case has been described in which the facing portion 114b is configured by the vertically upper wall portion of the cover portion 114. In the fourth modification, a configuration in which the area of the facing surface 414a of the facing portion 414b can be enlarged to increase the suction force with respect to the workpiece W will be described.

図4(d)に示すように、変形例4では、対向部414bは、ベルト110bのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆うカバー部414の一部であって、カバー部414のうち、鉛直上側の端部において、カバー部414の側壁414gから水平方向に突出する、所謂フランジ形状となっている。   As shown in FIG. 4 (d), in Modification 4, the facing portion 414b is a part of the cover portion 414 that covers at least the side surface and the vertical lower surface of the belt 110b, and the upper portion of the cover portion 414 is vertically upper. At the end of this, a so-called flange shape is formed that protrudes horizontally from the side wall 414g of the cover portion 414.

そして、対向部414bのうち、搬送部110によって搬送されるワークWに対して対向する側が対向面414aとなる。また、カバー部414の側壁414gの鉛直上側であって、対向部414bの中心側に鉛直下方に空気が吸引される開口部414cが形成されている。対向部414bは、開口部414cと連続している。   And the side which opposes the workpiece | work W conveyed by the conveyance part 110 among the opposing parts 414b becomes the opposing surface 414a. In addition, an opening 414c is formed on the vertically upper side of the side wall 414g of the cover 414 and on the center side of the facing portion 414b. The facing portion 414b is continuous with the opening 414c.

このように、対向部414bを、側壁414gから突出して形成することで、対向面414aの面積を拡大して、ワークWに対する吸引力を上昇させ、ワークWの安定搬送が可能となる。   In this manner, by forming the facing portion 414b so as to protrude from the side wall 414g, the area of the facing surface 414a is increased, the suction force with respect to the workpiece W is increased, and the workpiece W can be stably conveyed.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Is done.

上述した実施形態では、対向面114aが搬送部110によって搬送されるワークWと平行に形成されている場合について説明したが、図5(a)に示す対向面514aのように、ワークWと平行ではなくワークWに対して傾斜した平面であってもよい。この場合、例えば、水平方向に対する傾斜角が5度以内であるとよい。また、5(b)に示す対向面614aのように、開口部114cを中心とするテーパ形状であったりしてもよい。この場合、それぞれのテーパ面について、水平方向に対する傾斜角が5度以内であるとよい。ただし、上述した実施形態のように、対向面114aを、搬送部110によって搬送されるワークWと平行に形成することで、流路fの全長に亘って空気の流速を高速化でき、負圧の絶対値が大きい区間を長く維持することが可能となる。   In the above-described embodiment, the case where the facing surface 114a is formed in parallel with the workpiece W conveyed by the conveying unit 110 has been described. However, as in the facing surface 514a illustrated in FIG. Instead, it may be a plane inclined with respect to the workpiece W. In this case, for example, the inclination angle with respect to the horizontal direction is preferably within 5 degrees. Moreover, it may have a tapered shape with the opening 114c as the center, like a facing surface 614a shown in 5 (b). In this case, for each tapered surface, the inclination angle with respect to the horizontal direction is preferably within 5 degrees. However, as in the above-described embodiment, by forming the facing surface 114a in parallel with the workpiece W conveyed by the conveying unit 110, the air flow velocity can be increased over the entire length of the flow path f, and the negative pressure is increased. It is possible to maintain a section where the absolute value of is long.

また、上述した実施形態および変形例では、カバー部を備え、カバー部の対向部における対向面に開口部が形成される場合について説明したが、カバー部を設けずともよい。   In the above-described embodiment and modification, the case where the cover portion is provided and the opening is formed on the facing surface of the facing portion of the cover portion has been described. However, the cover portion may not be provided.

例えば、図5(c)に示すように、搬送部110と支持脚104との間に吸引管714を設ける。吸引管714の鉛直上側の端部には、ワークWに対向する対向面714aを有する対向部714bが設けられ、この対向部714bによって開口部714cの縁の一部が形成される。そして、減圧部116が吸引管714の内部(連通路)を減圧し、開口部714cを通じて突出部110c近傍の気体を吸引する。   For example, as shown in FIG. 5C, a suction tube 714 is provided between the transport unit 110 and the support leg 104. A facing portion 714b having a facing surface 714a facing the workpiece W is provided at an end portion on the vertical upper side of the suction pipe 714, and a part of the edge of the opening 714c is formed by the facing portion 714b. The decompression unit 116 decompresses the inside (communication path) of the suction pipe 714 and sucks the gas in the vicinity of the projection 110c through the opening 714c.

このように、カバー部を設けない構成であっても、上述した実施形態と同様、流路fを流れる空気の圧力が低下し、ワークWに作用する吸引力を上昇させ、ワークWと突出部110cとの摩擦力を高めて、ワークWを安定して搬送することが可能となる。   As described above, even in the configuration in which the cover portion is not provided, the pressure of the air flowing through the flow path f is reduced, the suction force acting on the workpiece W is increased, and the workpiece W and the protruding portion, as in the above-described embodiment. The frictional force with 110c can be increased, and the workpiece W can be stably conveyed.

また、上述した変形例3では、漸増部314fがR(フィレット)形状となる場合について説明したが、漸増部は、開口部314cから離れるほど、ワークWからの距離が漸増すれば、テーパ形状であってもよいし、他の形状であってもよい。   Further, in the above-described modification 3, the case where the gradually increasing portion 314f has an R (fillet) shape has been described, but the gradually increasing portion has a tapered shape as the distance from the workpiece W gradually increases as the distance from the opening 314c increases. There may be other shapes.

また、上述した実施形態および変形例では、搬送装置が浮上部112を備える場合について説明したが、搬送装置は、浮上部112を備えず搬送部110のみでワークWを下方支持してもよい。特に、ワークWの剛性が低くワークWが撓んで支持が困難な場合、搬送部110が、水平かつ搬送方向に垂直な方向に3つ以上配され、ワークWの中央側を下方支持する構成であってもよい。   Further, in the embodiment and the modification described above, the case where the transfer device includes the floating portion 112 has been described. However, the transfer device may not support the floating portion 112 and may support the workpiece W downward only with the transfer portion 110. In particular, when the workpiece W is low in rigidity and difficult to support because the workpiece W is bent, three or more transport units 110 are arranged in the horizontal and vertical directions to support the center side of the workpiece W. There may be.

また、上述した変形例3にのみ、漸増部314fを設ける構成を挙げて説明したが、実施形態および変形例1、2、4についても、対向面の端部に漸増部314fを設けてもよい。   Further, only the modified example 3 described above is described with the configuration in which the gradually increasing portion 314f is provided. However, in the embodiment and the modified examples 1, 2, and 4, the gradually increasing portion 314f may be provided at the end of the facing surface. .

また、減圧部116は、真空装置やエゼクタなどの減圧装置で構成されてもよく、これらの減圧装置を、カバー部に近接して配する空間の確保が困難であれば、減圧装置に連通する配管の端部を、減圧部116の代わりに配置してもよい。   The decompression unit 116 may be configured by a decompression device such as a vacuum device or an ejector. If it is difficult to secure a space for arranging these decompression devices close to the cover unit, the decompression unit 116 communicates with the decompression device. The end of the pipe may be arranged instead of the decompression unit 116.

本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a transport device that transports a relatively thin plate glass or the like.

W …ワーク
100 …搬送装置
110 …搬送部
110a …回転体
110b …ベルト
110c …突出部
114、214、314、414 …カバー部(連通路)
114a、214a、314a、414a、514a、614a、714a …対向面
114b、214b、314b、414b、714b …対向部
114c、214c、314c、414c、714c …開口部
116 …減圧部
314f …漸増部
320 …角度調整部
414g …側壁
714 …吸引管(連通路)
W ... Workpiece 100 ... Conveying device 110 ... Conveying part 110a ... Rotating body 110b ... Belt 110c ... Projection part 114, 214, 314, 414 ... Cover part (communication path)
114a, 214a, 314a, 414a, 514a, 614a, 714a ... opposing surfaces 114b, 214b, 314b, 414b, 714b ... opposing parts 114c, 214c, 314c, 414c, 714c ... opening 116 ... decompression part 314f ... gradually increasing part 320 ... Angle adjustment part 414g ... side wall 714 ... suction pipe (communication path)

Claims (6)

複数の回転体と、ワークを接触支持する複数の突出部を有し該複数の回転体によって無端状に張架され前記ワークを搬送するベルトと、を有し、該ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、
前記搬送部によって搬送されるワークに対して該搬送部側に配され、該ワークと対向する対向面を有する対向部と、
少なくとも縁の一部が前記対向部によって形成される開口部と、
前記ベルトのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆い、前記開口部から連通するカバー部と、
前記カバー部内を減圧し、前記開口部を通じて前記突出部近傍であって前記ワークの前記対向部側の気体を吸引する減圧部と、
を備え
前記対向部は、前記カバー部の側壁から、対向する側壁との対向方向の逆側に突出することを特徴とする搬送装置。
A plurality of rotating bodies, and a belt having a plurality of projecting portions that contact and support the workpiece and stretched endlessly by the plurality of rotating bodies to convey the workpiece, the belt being parallel to the conveying direction A plurality of conveying units arranged opposite to each other;
A facing portion that is disposed on the transporting portion side with respect to the work transported by the transporting portion and has a facing surface facing the work ;
An opening in which at least a part of the edge is formed by the facing portion;
A cover portion that covers at least a side surface and a vertical lower surface of the belt and communicates with the opening,
A pressure reducing unit for reducing the pressure in the cover portion, through the opening, to suck the opposite side of the gas in the workpiece to a said protrusion near,
Equipped with a,
The opposing portion from the side wall of the cover portion, conveying apparatus according to claim Rukoto protruding on the opposite side of the opposing direction of the opposing side walls.
前記対向面は、前記搬送部によって搬送されるワークと平行に形成されることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。   The transport apparatus according to claim 1, wherein the facing surface is formed in parallel with a workpiece transported by the transport unit. 前記対向面は、前記複数の搬送部の対向方向の中心側が鉛直下方に撓むワークの想定される傾きに沿って水平方向に対し傾斜していることを特徴とする請求項1または2に記載の搬送装置。   The said opposing surface inclines with respect to a horizontal direction along the assumed inclination of the workpiece | work in which the center side of the opposing direction of these some conveyance parts bends vertically downwards, It is characterized by the above-mentioned. Transport device. 前記対向面の水平方向に対する傾斜角を調整する角度調整部をさらに備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の搬送装置。   The conveyance device according to any one of claims 1 to 3, further comprising an angle adjustment unit that adjusts an inclination angle of the facing surface with respect to a horizontal direction. 前記対向面の端部には、前記開口部から離れるほど、前記ワークからの距離が漸増する漸増部が形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の搬送装置。   5. The transport according to claim 1, wherein a gradually increasing portion is formed at an end portion of the facing surface so that a distance from the workpiece gradually increases as the distance from the opening portion increases. apparatus. 前記カバー部は、前記ベルトの搬送方向に移動する搬送部位および搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位のいずれも覆うことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の搬送装置。 The cover portion according to any one of claims 1-5, wherein the both covering TURMERIC non conveying portion which moves in the opposite direction of the conveying portion and the conveying direction to move in the conveying direction of the belt Conveying device.
JP2012183973A 2012-04-26 2012-08-23 Transport device Active JP6106988B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012183973A JP6106988B2 (en) 2012-08-23 2012-08-23 Transport device
KR1020147029617A KR101610215B1 (en) 2012-04-26 2013-02-26 Conveyance device
CN201380021075.1A CN104245547B (en) 2012-04-26 2013-02-26 Conveyer device
PCT/JP2013/054989 WO2013161376A1 (en) 2012-04-26 2013-02-26 Conveyance device
TW102106991A TWI495607B (en) 2012-04-26 2013-02-27 Handling device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012183973A JP6106988B2 (en) 2012-08-23 2012-08-23 Transport device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014040315A JP2014040315A (en) 2014-03-06
JP6106988B2 true JP6106988B2 (en) 2017-04-05

Family

ID=50392934

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012183973A Active JP6106988B2 (en) 2012-04-26 2012-08-23 Transport device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6106988B2 (en)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001196438A (en) * 2000-01-14 2001-07-19 Toray Eng Co Ltd Apparatus for conveying thin plate-like material
JP4183525B2 (en) * 2003-02-14 2008-11-19 シーケーディ株式会社 Thin plate support device
JP5028919B2 (en) * 2006-09-11 2012-09-19 株式会社Ihi Substrate transport apparatus and substrate transport method
JP5549311B2 (en) * 2010-03-26 2014-07-16 株式会社Ihi Levitation transport device and direction change device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014040315A (en) 2014-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5871366B2 (en) Levitation transfer device
JP2004345744A (en) Pneumatic floating device and pneumatic floating type carrier
JP4349101B2 (en) Substrate transfer device
JP5915358B2 (en) Transport device
TWI675788B (en) Substrate suspension transport device
JP6106988B2 (en) Transport device
JP2004345814A (en) Floatation transport device
JP2004123254A (en) Method of carrying large sheet material and its device
TW200918427A (en) Levitation device and levitation transportation device
JP2007250871A (en) Substrate transport apparatus
JP5924018B2 (en) Conveying apparatus and conveying method
TWI495607B (en) Handling device
JP2007153542A (en) Substrate carrying device and substrate drying device
JP5902909B2 (en) Mobile device
JP5949129B2 (en) Conveying apparatus and conveying method
JP2004196435A (en) Method and device for conveying large-sized thin plate-shaped material
JP2012101897A (en) Conveying device
JP5915212B2 (en) Transport device
ITMI932523A1 (en) DEVICE FOR THE TRANSPORT OF OBJECTS ALONG A CLOSED GUIDED ROUTE
JP2013116804A (en) Conveyance device
CN105632986B (en) Substrate conveyance system and the annealing device for using the substrate conveyance system
JP2012001374A (en) Turntable, turn conveyor using the same, and conveyor saucer
JP2013148221A (en) Cleanroom
JP2006290595A (en) Turn table, and turn conveyer and conveyer saucer using the turn table
JP5632216B2 (en) Device and method for supporting plate member

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150625

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160628

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160818

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170207

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170220

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6106988

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250