JP6105638B2 - 発光装置の製造方法及び発光装置 - Google Patents

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Description

本発明は発光装置の製造方法及びその方法を用いて製造される発光装置に関する。
従来、例えばLED(Light Emitting Diode)チップなどの発光素子を用いた発光装置が知られる。LEDチップを用いた発光装置はLEDチップ自体やLEDチップに電気的に接続されるワイヤを保護するため、LEDチップが照射する光の取り出し効率を向上させるため及び蛍光体を分散させるためにLEDチップが透明樹脂からなる封止材で覆われる。LEDチップが照射する光は封止材の内部を透過して封止材の表面(光取り出し面)から外部に向かって放出される。このような従来の発光装置が特許文献1に記載されている。
特許文献1に記載された発光装置(発光素子パッケージ)は枠体(ボディー)の底部に配置された基板(反射カップ)上に発光素子が搭載され、発光素子と離隔する他の基板に対してワイヤを介して発光素子が電気的に接続されている。ワイヤの両端を発光素子と基板とに接合する際、第1にワイヤの一端を発光素子に接合(第1ボンディング)し、第2にワイヤの他端を発光素子と離隔する基板に接合(第2ボンディング)するボンディング工程が行われるのが一般的である。
特開2011−254080号公報
ここで、ワイヤの第1ボンディングにおいて、ワイヤの接合箇所直上のネック部が再結晶化することが知られている。ワイヤの再結晶化領域では金属が脆くなり、破断し易いことも知られている。
一方、発光素子を覆う封止材には熱膨張率が比較的大きい材料を使用することがある。そして、発光装置は外部環境や発光素子の点灯、消灯などに起因して温度変化或いは温度変化の繰り返しを受けることが考えられる。この温度変化により封止材が膨張収縮を繰り返すと、ワイヤに繰り返し応力が加わる可能性がある。この繰り返し応力がワイヤの再結晶化領域に悪影響を与え、ワイヤが一層破断し易くなることが懸念されている。
このような不具合は、発光装置の大型化に伴い封止材の量が多くなり、ワイヤの長さが長くなることでさらに顕著になることも懸念されている。
本発明は、上記の点に鑑みなされたものであり、発光素子に接合されるワイヤの破断をできるだけ抑制することが可能な発光装置の製造方法及びその方法を用いて製造される発光装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明の発光装置の製造方法は、発光素子が搭載される装置基板及び前記装置基板に対して離隔してワイヤにより前記発光素子と電気的に接続される端子部を有する枠体であって、前記端子部の前記ワイヤの接続面から前記枠体の上縁までの高さが前記発光素子の上面から前記枠体の上縁までの高さより低い前記枠体を形成する枠体形成工程と、前記ワイヤが接続される前記発光素子の電極にバンプを形成するバンプ形成工程と、前記ワイヤの一端を第1に前記端子部に接合する第1ボンディング工程と、前記ワイヤの他端を第2に前記バンプに接合する第2ボンディング工程と、前記枠体の内部に封止材を充填して前記発光素子を封止する封止工程と、を有することを特徴としている。
この構成によれば、ワイヤの第1ボンディングの箇所の上方の封止材の厚さが、ワイヤの第2ボンディングの箇所の上方の封止材の厚さより薄くなる。したがって、ワイヤの第1ボンディングの箇所、すなわちワイヤの再結晶化領域が受ける封止材の膨張収縮の影響が低減する。
また、上記構成の発光装置の製造方法において、前記バンプ形成工程は、前記発光素子のn電極に前記バンプを形成することを特徴としている。
また、上記の課題を解決するため、本発明は、上記方法を用いて製造される発光装置を特徴としている。
本発明の構成によれば、発光素子に接合されるワイヤの破断をできるだけ抑制することが可能な発光装置の製造方法及びその方法を用いて製造される発光装置を提供することができる。
本発明の実施形態に係る発光装置の断面図である。 本発明の実施形態に係る発光装置の発光素子の断面図である。 本発明の実施例1の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例1の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例1の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例1の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例1の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例1の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例1の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例2の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例2の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例2の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例2の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例2の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例2の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。 本発明の実施例3の発光装置の製造方法を説明するための断面図である。
以下、本発明の実施形態を図1〜図16に基づき説明する。
最初に、本発明の実施形態に係る発光装置について、図1及び図2を用いてその構造を説明する。図1は発光装置の断面図、図2は発光装置の発光素子の断面図である。
発光装置1は、図1に示すように枠体2に搭載される発光素子20を備える。発光素子20は例えば半導体を用いて形成されたLEDチップである。LEDチップを構成する半導体の種類は例えば所望するLEDチップの出射光の波長等に基づいて適宜決定される。例えば、LEDチップは紫外、青、緑、赤、赤外の任意の波長のものを用いて良い。
発光素子20は、図2に示すように例えばサファイアからなる素子基板21の上面の上に、複数の半導体層が結晶成長される。この素子基板21の上には、緩衝層22と、n型半導体層23と、発光層である活性層24と、p型半導体層25とが順に積層される。p型半導体層25の上にp電極26が設けられる。
n型半導体層23の一部と、活性層24と、p型半導体層25とはメサ状にエッチングされ、n型半導体層23の一部が上方に対して露出する。この露出したn型半導体層23の上にn電極27が設けられる。発光素子20の上面ほぼ全体には、p電極26及びn電極27が露出するように保護膜28が設けられる。
枠体2は、図1に示すように外形が略直方体形状をなし、窪み3を備える。窪み3は枠体2の内部から図1における枠体2の上面方向に向かって広口となるように傾斜した側面を有し、枠体2の上面において開口となる。発光素子20はこの窪み3の内底部に配置される。
発光素子20が照射する光の一部は窪み3の傾斜した側面で反射される。発光装置1の光の取り出し効率を向上させるため、枠体2は反射率がより高い材料であることが望ましく、例えばポリフタルアミド樹脂やポリエチレンテレフタレート樹脂等の硬質の白色樹脂や、酸化アルミニウム(Al)の焼結体からなるセラミックを用いても良い。
枠体2には装置基板4と、端子部5とが敷設される。装置基板4及び端子部5は、詳細には正負の電極として機能するように対をなして構成され、枠体2の一部である絶縁部2aを隔てて互いに離隔する。装置基板4及び端子部5はいずれもそれらの一端部が窪み3の内底部に位置するように設けられる。なお、装置基板4及び端子部5は枠体2と一体的に形成されるものであっても良い。
発光素子20は装置基板4の図1における上面であって、枠体2の水平方向における略中央部に載置される。発光素子20はワイヤ6a、6bにより端子部5と、装置基板4とに電気的に接続される。ここで、装置基板4及び端子部5は、端子部5のワイヤ6aの接続面から枠体2の上縁2bまでの高さH1が発光素子20の上面から枠体2の上縁2bまでの高さH2より低くなるように形成される。
発光素子20及びワイヤ6a、6bはそれらの周囲が封止材7によって覆われる。封止材7は枠体2の窪み3を満たすように窪み3に充填される。発光素子20が照射する光は窪み3から外部に露出する封止材7の表面であって図1における上面である光取り出し面7aから出射される。封止材7は例えば熱硬化性のエポキシ樹脂若しくはシリコーン樹脂からなる。これにより、封止材7の信頼性及び透明性が高まり、発光装置1の光の取り出し効率を向上させることができる。また、封止材7には例えば蛍光体や分散剤等の添加物を混入しても良い。
続いて、発光装置1の製造方法の実施例1について、図3〜図9を用いて説明する。図3〜図9は発光装置1の製造方法を説明するための断面図である。なお、実施例1の説明において適宜図1及び図2を参照することがある。
実施例1の発光装置1の製造方法では、まず図3に示す枠体形成工程において、枠体2を例えばインサート成形により装置基板4及び端子部5と一体的に形成する。装置基板4と端子部5とは絶縁部2aを隔てて互いに離隔する。装置基板4及び端子部5は、図3及び図4に示すように端子部5のワイヤ6a(図1参照)の接続面から枠体2の上縁2bまでの高さH1が発光素子20の上面から枠体2の上縁2bまでの高さH2より低くなるように形成する。
次に、図4に示す素子搭載工程において、枠体2の窪み3の内底部で露出する装置基板4の表面にダイボンド材料31を供給し、その上に発光素子20を搭載する。これにより、発光素子20が装置基板4の表面に固着される。
次に、図5に示すバンプ形成工程において、発光素子20のn電極27(図2参照)にバンプ32を形成する。このバンプ32は発光素子20から絶縁部2aを隔てて離隔する端子部5に対して延びるワイヤ6aのためのものである。
次に、図6に示すように発光素子20と端子部5との間を跨いで各々を電気的に接続するためのワイヤ6aを接合するボンディング工程を実行する。ワイヤ6aに係るボンディング工程では、ワイヤ6aの一端を第1に例えばボール部33を形成して端子部5に接合する第1ボンディング工程と、ワイヤ6aの他端を第2に発光素子20のバンプ32に接合する第2ボンディング工程と、が実行される。
引き続き、図7及び図8に示すボンディング工程において、発光素子20のp電極26(図2参照)と装置基板4とを電気的に接続するためのワイヤ6bを各々に対して接合する。ワイヤ6bに係るボンディング工程では、ワイヤ6bの一端を第1に例えばボール部34を形成して発光素子20のp電極26に接合し、ワイヤ6bの他端を第2に例えばボール部35を形成して装置基板4に接合する。
次に、図9に示す封止工程において、封止材7を枠体2の内部の窪み3に充填する。封止材7は例えばディスペンサ等を利用して所定量が発光素子20に向けて滴下される。これにより、発光素子20が封止材7で封止される。
続いて、発光装置1の製造方法の実施例2について、図10〜図15を用いて説明する。図10〜図15は発光装置1の製造方法を説明するための断面図である。この実施例の基本的な構成は図3〜図9を用いて説明した前記実施例1と同じであるので、実施例1と共通する構成要素には前と同じ符号を付し、工程毎の図面の記載を省略することがある。
実施例2の発光装置1は、図15に示すように装置基板4に2個の発光素子20A、20Bを搭載する。2個の発光素子20A、20Bは装置基板4と端子部5との間でワイヤ6a、6b、6cを用いて電気的に直列接続される。
実施例2の発光装置1の製造方法では、まず枠体形成工程において、枠体2を例えばインサート成形により装置基板4及び端子部5と一体的に形成する(図10参照)。装置基板4と端子部5とは絶縁部2aを隔てて互いに離隔する。装置基板4及び端子部5は、図10に示すように端子部5のワイヤ6a(図11参照)の接続面から枠体2の上縁2bまでの高さH1が発光素子20A、20Bの上面から枠体2の上縁2bまでの高さH2より低くなるように形成する。
次に、素子搭載工程において、枠体2の窪み3の内底部で露出する装置基板4の表面にダイボンド材料31を供給し、その上に2個の発光素子20A、20Bを搭載する(図10参照)。これにより、発光素子20A、20Bが装置基板4の表面に固着される。
次に、第1バンプ形成工程において、端子部5に近い側の発光素子20Aのn電極27(図2参照)にバンプ32を形成する(図10参照)。このバンプ32は発光素子20Aから絶縁部2aを隔てて離隔する端子部5に対して延びるワイヤ6aのためのものである。
次に、図11に示すように発光素子20Aと端子部5との間を跨いで各々を電気的に接続するためのワイヤ6aを接合するボンディング工程を実行する。ワイヤ6aに係るボンディング工程では、ワイヤ6aの一端を第1に例えばボール部33を形成して端子部5に接合する第1ボンディング工程と、ワイヤ6aの他端を第2に発光素子20Aのバンプ32に接合する第2ボンディング工程と、が実行される。
次に、図12に示す第2バンプ形成工程において、端子部5に近い側の発光素子20Aのp電極26(図2参照)にバンプ34を形成する。このバンプ34はともに装置基板4に搭載された発光素子20Aと発光素子20Bとを電気的に接続するワイヤ6bのためのものである。
次に、図13に示すように発光素子20Aと発光素子20Bとを電気的に接続するためのワイヤ6bを接合するボンディング工程を実行する。ワイヤ6bに係るボンディング工程では、ワイヤ6bの一端を第1に例えばボール部35を形成して発光素子20Bのn電極27(図2参照)に接合し、ワイヤ6bの他端を第2に発光素子20Aのp電極26のバンプ34に接合する。
引き続き、図14に示すボンディング工程において、端子部5から遠い側の発光素子20Bのp電極26(図2参照)と装置基板4とを電気的に接続するためのワイヤ6cを各々に対して接合する。ワイヤ6cに係るボンディング工程では、ワイヤ6cの一端を第1に例えばボール部36を形成して発光素子20のp電極26に接合し、ワイヤ6cの他端を第2に例えばボール部37を形成して装置基板4に接合する。
次に、図15に示す封止工程において、封止材7を枠体2の内部の窪み3に充填する。封止材7は例えばディスペンサ等を利用して所定量が発光素子20A、20Bに向けて滴下される。これにより、発光素子20A、20Bが封止材7で封止される。
続いて、発光装置1の製造方法の実施例3について、図16を用いて説明する。図16は発光装置1の製造方法を説明するための断面図である。この実施例の基本的な構成は図3〜図9を用いて説明した前記実施例1、及び図10〜図15を用いて説明した前記実施例2と同じであるので、これらの実施例と共通する構成要素には前と同じ符号を付し、工程毎の図面の記載を省略するものとする。
実施例3の発光装置1は、図16に示すように装置基板4に2個の発光素子20を搭載する。2個の発光素子20は個別に装置基板4と端子部5との間でワイヤ6a、6bを用いて電気的に直列接続される。
実施例3の発光装置1の製造方法では、まず枠体形成工程において、図16の左右各々に設けた2枚の装置基板4と、図16の左右方向中央に設けた端子部5とが各々絶縁部2aを隔てて互いに離隔するよう枠体2を形成する。2枚の装置基板4及び端子部5は端子部5のワイヤ6aの接続面から枠体2の上縁2bまでの高さH1が発光素子20の上面から枠体2の上縁2bまでの高さH2より低くなるように形成する。
次に、素子搭載工程において、枠体2の窪み3の内底部で露出する2枚の装置基板4の各々の表面にダイボンド材料31を供給し、その上に2個の発光素子20を各々搭載する。これにより、2個の発光素子20が個別に2枚の装置基板4各々の表面に固着される。
次に、バンプ形成工程において、2個の発光素子20各々のn電極27(図2参照)にバンプ32を形成する。このバンプ32は2個の発光素子20各々から絶縁部2aを隔てて離隔する端子部5に対して延びるワイヤ6aのためのものである。
次に、2個の発光素子20各々と端子部5との間を跨いで各々を電気的に接続するためのワイヤ6aを2本接合するボンディング工程を実行する。ワイヤ6aに係るボンディング工程では、ワイヤ6aの一端を第1に例えばボール部33を形成して端子部5に接合する第1ボンディング工程と、ワイヤ6aの他端を第2に発光素子20のバンプ32に接合する第2ボンディング工程と、が実行される。引き続き、ボンディング工程において、2個の発光素子20各々のp電極26(図2参照)と2枚の装置基板4とを個別に電気的に接続するためのワイヤ6bを各々に対して接合する。
次に、封止工程において、封止材7を枠体2の内部の窪み3に充填する。封止材7は例えばディスペンサ等を利用して所定量が発光素子20に向けて滴下される。これにより、2個の発光素子20各々が封止材7で封止される。
上記のように、発光装置1の製造方法は、発光素子20が搭載される装置基板4及び装置基板4に対して離隔してワイヤ6aにより発光素子20と電気的に接続される端子部5を有する枠体2であって、端子部5のワイヤ6aの接続面から枠体2の上縁2aまでの高さH1が発光素子20の上面から枠体2の上縁2aまでの高さH2より低い枠体2を形成する枠体形成工程と、ワイヤ6aが接続される発光素子20の電極にバンプ32を形成するバンプ形成工程と、ワイヤ6aの一端を第1に端子部5に接合する第1ボンディング工程と、ワイヤ6aの他端を第2にバンプ32に接合する第2ボンディング工程と、枠体2の内部に封止材7を充填して発光素子20を封止する封止工程と、を有する。これにより、ワイヤ6aの第1ボンディングの箇所の上方の封止材7の厚さ(H1)を、ワイヤ6aの第2ボンディングの箇所の上方の封止材7の厚さ(H2)より薄くすることができる。したがって、ワイヤ6aの第1ボンディングの箇所、すなわちワイヤ6aの再結晶化領域が受ける封止材7の膨張収縮の影響を低減させることができる。
また、ワイヤ6aの第2ボンディングの箇所には、バンプ32の形成時と、第2ボンディングの実行時との2回の負荷が加わり、多層構造の上に形成されたp電極26の場合にその下方が破損する虞があることが懸念される。そこで、発光装置1の製造方法において、バンプ形成工程は発光素子20のn電極27にバンプ32を形成した。これにより、発光素子20の破損を防止することが可能である。
さらに、発光装置1は上記方法を用いて製造されるので、ワイヤ6aの再結晶化領域が受ける封止材7の膨張収縮の影響が低減した発光装置1を得ることができる。これにより、発光装置1が外部環境や自己発熱に起因する温度変化或いは温度変化の繰り返しを受けたときの耐性が向上する。したがって、封止材7の量を比較的多くしてもワイヤ6aの破断を抑制することができ、発光装置1の大型化が可能になる。
このようにして、本発明の上記実施形態の構成によれば、発光素子20に接合されるワイヤ6aの破断をできるだけ抑制することが可能な発光装置1の製造方法及びその方法を用いて製造される発光装置1を提供することができる。
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明の範囲はこれに限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えて実施することができる。
本発明は、発光素子の周囲を封止材で覆った構成をなす発光装置の製造方法及びその方法を用いて製造される発光装置において利用可能である。
1 発光装置
2 枠体
2a 絶縁部
2b 上縁
3 窪み
4 装置基板
5 端子部
6a ワイヤ
7 封止材
7a 光取り出し面
20 発光素子
26 p電極
27 n電極
32 バンプ

Claims (2)

  1. 発光素子が搭載される装置基板、前記装置基板に対して離隔して前記発光素子と電気的に接続される端子部及び前記装置基板と前記端子部とが内底部に配置されて上面が開口をなす窪みを有する枠体と、
    前記端子部と電気的に接続される前記発光素子の電極に形成されたバンプと、
    前記発光素子と電気的に接続されて全体が前記枠体の上縁よりも低くなるよう配置された2本のワイヤと、
    前記枠体の上縁まで前記窪みを満たすように前記窪みに充填されて前記発光素子、前記端子部、前記バンプ及び前記ワイヤ各々の全体を覆って封止した封止材と、
    を備え、
    前記端子部が、前記発光素子が搭載された前記装置基板の搭載面よりも高い位置に配置され、
    前記2本のワイヤのうち、一方の前記ワイヤは一端が前記端子部に接合されて他端が前記バンプに接合され、他方の前記ワイヤは前記バンプに接合された前記ワイヤよりも長さが短く、一端が前記発光素子の前記バンプとは異なる他の電極に、他端が前記発光素子の近傍において前記装置基板に、電気的に接合され、
    前記端子部に接続される前記ワイヤの前記端子部における接続面から前記枠体の上縁までの高さが前記発光素子の上面から前記枠体の上縁までの高さより低いことを特徴とする発光装置。
  2. 前記バンプが前記発光素子のn電極に形成されることを特徴とする請求項1記載の発光装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3762475B2 (ja) * 1995-04-10 2006-04-05 富士通株式会社 ワイヤボンディング方法及び半導体装置
JP2001015542A (ja) * 1999-07-02 2001-01-19 Sanken Electric Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
JP2001284370A (ja) * 2000-03-30 2001-10-12 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置の製造方法
MY149573A (en) * 2002-10-16 2013-09-13 Nichia Corp Oxynitride phosphor and production process thereof, and light-emitting device using oxynitride phosphor
CN101045860B (zh) * 2002-10-16 2010-06-09 日亚化学工业株式会社 氧氮化物荧光体及其制造方法以及使用该氧氮化物荧光体的发光装置
JP4359195B2 (ja) * 2004-06-11 2009-11-04 株式会社東芝 半導体発光装置及びその製造方法並びに半導体発光ユニット
JP2006012868A (ja) * 2004-06-22 2006-01-12 Toshiba Corp 半導体発光素子用パッケージおよびそれを用いた半導体発光装置
KR100723247B1 (ko) * 2006-01-10 2007-05-29 삼성전기주식회사 칩코팅형 led 패키지 및 그 제조방법
JP2008300573A (ja) * 2007-05-30 2008-12-11 Toshiba Corp 発光装置
JP2009206222A (ja) * 2008-02-27 2009-09-10 Stanley Electric Co Ltd 半導体発光装置
US8258526B2 (en) * 2008-07-03 2012-09-04 Samsung Led Co., Ltd. Light emitting diode package including a lead frame with a cavity
KR101007131B1 (ko) * 2008-11-25 2011-01-10 엘지이노텍 주식회사 발광 소자 패키지
TW201133944A (en) * 2010-03-30 2011-10-01 Orbit Semicon Ltd Light-emitting diode chip and package structure thereof
JP5864851B2 (ja) * 2010-12-09 2016-02-17 シャープ株式会社 発光装置
JP2012234955A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Toshiba Corp Ledパッケージ及びその製造方法
JP5817297B2 (ja) * 2011-06-03 2015-11-18 東芝ライテック株式会社 発光装置及び照明装置

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