JP6101121B2 - 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 - Google Patents

水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 Download PDF

Info

Publication number
JP6101121B2
JP6101121B2 JP2013052137A JP2013052137A JP6101121B2 JP 6101121 B2 JP6101121 B2 JP 6101121B2 JP 2013052137 A JP2013052137 A JP 2013052137A JP 2013052137 A JP2013052137 A JP 2013052137A JP 6101121 B2 JP6101121 B2 JP 6101121B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
main surface
unit
crystal resonator
vibrating piece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013052137A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014179772A (ja
Inventor
田中 良和
良和 田中
皿田 孝史
孝史 皿田
Original Assignee
エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 filed Critical エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社
Priority to JP2013052137A priority Critical patent/JP6101121B2/ja
Publication of JP2014179772A publication Critical patent/JP2014179772A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6101121B2 publication Critical patent/JP6101121B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計に関する。
携帯電話や携帯情報端末機器、電波時計等には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、例えば水晶を利用した水晶振動子が用いられている。このような水晶振動子として、例えば水晶振動片と、当該水晶振動片を実装するベース部材と、当該ベース部材との間で水晶振動片を封止するリッド部材を備えた構成が知られている。このような水晶振動片としては、例えばATカットによって切り出された水晶振動片が知られている。ATカットの水晶振動子としては、例えば電気軸(X軸)に長手に形成された構成が知られている。
特許第4305542号公報
しかしながら、上記構成において、水晶振動片を実装する際には、Z軸方向の端部が固定されることになる。水晶振動片は、X方向についての固定位置および固定領域の大きさ(面積)にばらつきが生じると、周波数の温度特性へ影響する可能性がある。
以上のような事情に鑑み、本発明は、周波数の温度特性に優れた水晶振動子を提供することを目的とする。また、当該水晶振動子を備えた発振器、電子機器及び電波時計を提供することを目的とする。
本発明に係る水晶振動子は、第一主面及び第二主面を有し、矩形板状に形成された水晶振動片と、前記水晶振動片が実装されるベース部材を有するパッケージとを備え、前記水晶振動片は、前記第一主面及び前記第二主面にそれぞれ形成される励振電極と、前記第一主面及び前記第二主面にそれぞれ一対ずつ形成され、前記励振電極に接続された搭載電極とを有すると共に、ATカットされて形成された水晶片を有し、Z´軸方向に長手に形成されており、前記搭載電極は、前記水晶振動片のうちX方向の端部に配置されており、さらに、前記水晶振動片は、側面を有すると共に、前記第一主面及び前記第二主面のうち前記側面にかけて前記水晶振動片の厚さが薄くなるように傾斜する傾斜部が設けられた面とは異なる面において前記ベース部材に実装され、前記傾斜部は、前記X方向および前記Z´軸方向の角部において、自然結晶面であるm面により形成されている。
本発明によれば、水晶振動片がATカットされて形成された水晶片を有し、Z´軸方向に長手に形成されており、搭載電極が水晶振動片のうちX方向の端部に配置されているため、X方向について対称な固定位置及び面積とすることができる。このため、固定位置および固定領域の大きさ(面積)に多少のばらつきが生じた場合であっても、周波数の温度特性への影響が小さくて済むことになる。これにより、周波数の温度特性に優れた水晶振動子を提供することができる。
発明によれば、水晶振動片において第一主面及び第二主面のうち傾斜部が設けられた
面とは異なる面がベース部材に向けられているため、ベース部材との間で良好な実装を確
保することができる。
本発明に係る発振器は、上記本発明に係る水晶振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されている。また、本発明に係る電子機器は、上記本発明に係る水晶振動子が、計時部に電気的に接続されている。本発明に係る電波時計は、上記本発明に係る水晶振動子が、フィルタ部に電気的に接続されている。
本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計によれば、上記水晶振動子を備えているので、動作信頼性に優れた高品質な製品とすることができる。
本発明によれば、周波数の温度特性に優れた水晶振動子を提供すると共に、当該水晶振動子を備えた、動作信頼性に優れた高品質な発振器、電子機器及び電波時計を提供することができる。
本実施形態に係る水晶振動子の構成を示す分解斜視図。 本実施形態に係る水晶振動片の構成を示す平面図。 本実施形態に係る水晶振動子の構成を示す断面図。 比較例に係る水晶振動子の周波数の温度特性を示すグラフ。 本実施形態に係る水晶振動子の周波数の温度特性を示すグラフ。 発振器の一実施形態を示す構成図。 電子機器の一実施形態を示す構成図。 電波時計の一実施形態を示す構成図。 変形例に係る水晶振動片の構成を示す平面図。 図9における断面に沿った構成を示す図である。 変形例に係る水晶振動片の構成を示す平面図。 図11における断面に沿った構成を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本実施形態に係る水晶振動子1の構成を示す分解斜視図である。図2は、水晶振動子1の構成を示す断面図である。
図1及び図2に示すように、本実施形態の水晶振動子1は、内部に気密封止されたキャビティを有するパッケージ2と、キャビティ内に収容された上述した水晶振動片3と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子とされている。
以下、各図の構成を説明する際には、XYZ座標系を用いる。当該XYZ座標系では、水晶振動片3の長手方向をZ方向(又は長さ方向)と表記し、水晶振動片3の主面においてZ方向に直交する方向をX方向(又は幅方向)と表記する。また、XZ平面に垂直な方向をY方向(又は厚さ方向)と表記する。X方向、Y方向及びZ方向は、図中矢印方向を+方向、矢印方向とは反対の方向を−方向として説明する。
パッケージ2は、ベース部材(パッケージ本体)10と、このベース部材10に対して接合されるリッド部材(封口板)20とを有している。
ベース部材10は、矩形に形成されており、底部11及び側壁部12を有している。ベース部材10は、例えばセラミックスによって形成されている。その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のHTCC(High Temperature Co−Fired Ceramic)や、ガラスセラミックス製のLTCC(Low Temperature Co−Fired Ceramic)等が挙げられる。なお、ベース部材10は、例えばガラスや樹脂などによって形成されていてもよい。
底部11は、水晶振動片3が実装される実装面11aと、当該実装面11aとは反対側に設けられた底面11bとを有している。実装面11aは、XZ平面に平行であり、平坦に形成されている。側壁部12は、底部11の外周に沿って矩形環状に形成されており、底部11の中央部を囲っている。このようにベース部材10は、底部11及び側壁部12によって形成された凹部13を有する構成である。
実装面11aには、実装電極14が形成されている。実装電極14は、X方向に並んで配置された第一実装電極14a及び第二実装電極14bを有している。底面11bには、外部に接続される外部電極15が形成されている。外部電極15は、底面11bの4つの角部にそれぞれ1つずつ配置されている。4つの外部電極15のうち2つは、実装電極14(第一実装電極14a及び第二実装電極14b)の一方に接続されている。実装電極14と外部電極15との間は、底部11を貫通して形成された接続部16によって電気的に接続されている。4つの外部電極15のうち残りの2つは、例えばグランド電極として用いられる。
リッド部材20は、ベース部材10の側壁部12上に配置されている。リッド部材20は、例えば上記のセラミック材料を用いて矩形板状に形成されている。リッド部材20は、例えば不図示の接着剤などによって側壁部12の端面12aに接合されている。このようにリッド部材20が設けられることで、ベース部材10の凹部13が封止されている。
水晶振動片3は、矩形板状に形成され、パッケージ2に収容されている。水晶振動片3は、ランバード加工された人工水晶からATカットによって切り出された水晶片31を有する。ATカットは、人工水晶の結晶軸である電気軸(X軸)、機械軸(Y軸)及び光学軸(Z軸)の3つの結晶軸のうち、Z軸に対してX軸周りに35°15′だけ傾いた方向(Z´軸方向)に切り出す加工手法である。ATカットによって切り出された水晶片31は、周波数温度特定が安定しており、構造や形状が単純で加工が容易であり、クリスタルインピーダンス(CI値)が低いという利点がある。
は、水晶振動片3の構成を示す平面図である。図は、図におけるA−A断面に沿った構成を示す図である。図2及び図3においては、本実施形態におけるXYZ座標系におけるZ軸方向は、ATカットの水晶片が切り出される方向(Z´方向)と一致している。同様に、X軸は電気軸、Y軸は機械軸に一致している。
及び図に示すように、水晶振動片3は、上記水晶片31、励振電極32、33、引回電極34、35、搭載電極36〜39を有している。
水晶片31は、所定の厚さに形成されており、第一主面31a及び第二主面31bを有している。第一主面31a及び第二主面31bは、XZ平面に平行に形成されている。
励振電極32は、水晶片31の第一主面31aの中央部に形成されている。励振電極32は、Y方向視において矩形に形成されている。励振電極33は、水晶片31の第二主面31bの中央部に形成されている。励振電極32は、Y方向視において矩形に形成されると共に励振電極32に重なる寸法に形成されている。
引回電極34は、第一主面31a上に形成され、励振電極32と搭載電極36との間を接続する。引回電極34は、例えばZ方向に延びるように直線状に形成されている。引回電極35は、第二主面31b上に形成され、励振電極33と搭載電極39との間を接続する。引回電極35は、引回電極34と同様、例えばZ方向に延びるように直線状に形成されている。
搭載電極36は、第一主面31aのうち+X側かつ−Z側の角部に配置されている。搭載電極37は、第一主面31aのうち―X側かつ−Z側の角部に配置されている。搭載電極38は、第二主面31bのうち+X側かつ−Z側の角部に配置されている。搭載電極39は、第二主面31bのうち―X側かつ−Z側の角部に配置されている。このように、搭載電極36〜39は、水晶振動片3のX方向の端部に配置されている。
搭載電極36と搭載電極38との間は、側面電極40によって接続されている。側面電極40は、水晶片31の4つの側面のうち−Z側の端部に配置された側面31cと、+X側の端部に配置された側面31eとに亘って形成されている。また、搭載電極37と搭載電極39との間は、側面電極41によって接続されている。側面電極41は、水晶片31の4つの側面のうち−Z側の端部に配置された側面31cと、―X側の端部に配置された側面31fとに亘って形成されている。
本実施形態において、水晶片31の第一主面31aのうち+X側かつ−Z側の角部には、切り欠き部31hが形成されている。切り欠き部31hは、例えばXZ平面に対して30°傾いた角度で形成された傾斜面である。切り欠き部31hは、水晶振動片3の厚さが側面へ向けて徐々に薄くなるように形成されている。切り欠き部31hは、このような切り欠き部31hが設けられているため、搭載電極36には、切り欠き部31hに倣うように傾斜して形成されている。
水晶の自然結晶は複数の結晶面を有している。ATカットによって切り出された水晶片31においても、このような水晶の自然結晶面が形成されている。例えば、水晶片31において、第一主面31aの+X側かつ−Z側の角部には、自然結晶面のうちm面が形成されており、当該m面が切り欠き部31hを構成している。
図2に示すように、水晶振動片3は、導電性接着剤50を介してベース部材10に固定されている。導電性接着剤50は、実装面11aに形成された第一実装電極14aと搭載電極38との間、及び、第二実装電極14bと搭載電極39との間にそれぞれ1つずつ配置されている。各導電性接着剤50は、第一実装電極14aと搭載電極38との間、及び、第二実装電極14bと搭載電極39との間を物理的に固定すると共に電気的に接続する。導電性接着剤50としては、加熱によって硬化する導電性樹脂が用いられている。―X側に設けられた導電性接着剤50は、搭載電極39のうち切り欠き部31hに倣って形成された部分に接着されている。
また、本実施形態では、実装部分に切り欠き部31hが形成された第一主面31aでは無く、実装部分に切り欠き部が形成されていない第二主面31bを実装面11aに対向させるため、良好な実装を確保することができる。
次に、上記のように構成された水晶振動子1の製造方法を説明する。
まず、オートクレーブ等で作製した人工水晶のブランクを、例えばワイヤーソーなどを用いてATカット面で切断し、水晶ウエハを形成する。水晶ウエハの形状としては、例えば円板状の構成などが挙げられるが、これに限定されることは無く、角板などでもよい。その後、水晶ウエハに対してラッピング研磨を行い、所望の厚みに調整すると共に水晶ウエハの表面を平坦化する。このとき、必要に応じてポリッシング研磨をしても良い。
その後、水晶ウエハの表面にフォトリソグラフィ技術を用いてマスクパターンを形成する。マスクパターンは、例えば感光性のフォトレジストなどが用いられる。マスクパターンが形成された後、ウェットエッチングにより水晶の露出面を除去加工する。この工程においては、水晶ウエハのうち水晶片31となる部分の側面や角部には、安定結晶面が形成される。また、水晶片31の側面や角部には、切り欠き部31h、31gに相当する構成が形成される。このような切り欠き部31h、31gは、本製造方法のウェットエッチングにより形成されることで、Z´方向の両端部に形成され、且つ、水晶振動片の厚さ方向(Y軸方向)において互いに表裏逆側に形成される。当該切り欠き部の傾斜は、XZ平面に対して例えば30°傾いた角度で形成される。
次に、水晶ウエハの表面、裏面及び側面に対して、励振電極32、33、引回電極34、35及び搭載電極36〜39を形成する。これら各電極を形成する場合には、まず水晶ウエハの表面側からスパッタ法によってCrなどの下地層を形成し、その後、下地層の上にAu、Ag、Alなどの導電層を積層する。表面側の積層構造を形成した後、水晶ウエハの裏面側から同様にスパッタ法によってCrなどの下地層を形成し、その後、下地層の上に上記同様Au、Ag、Alなどの導電層を積層する。なお、スパッタ法の他に蒸着法などを行ってもよい。金属膜の積層構造を形成した後、例えばフォトリソグラフィ法によってパターニングする。
電極を形成した後、固片化することで水晶振動片3が形成される。水晶振動片3を形成した後、当該水晶振動片3をベース部材10に実装する。その後、Arイオンビームなどを水晶振動片3に照射することで水晶振動片3の共振周波数を調整する。共振周波数の調整後、ベース部材10の側壁部12の端面12aにリッド部材20を配置して凹部13を封止することにより、水晶振動子1が完成する。凹部13を封止する際のパッケージ2の内部の圧力は、大気圧であってもよいし、減圧されていてもよい。
このように形成された水晶振動子1は、水晶振動片3がATカットされて形成された水晶片31を有し、Z´軸方向に長手に形成されており、搭載電極36〜39が水晶振動片3のうちX方向の端部に配置されているため、X方向について対称な固定位置とすることができる。このため、水晶振動片3の固定位置および固定領域の大きさ(面積)に多少のばらつきが生じた場合であっても、周波数の温度特性への影響が小さくて済むことになる。
図4は、X方向に長手の水晶振動片において、Z´方向の両端部に搭載電極を配置して固定した従来の水晶振動子における周波数の温度特性を示すグラフである。また、図5は、本実施形態に係る水晶振動子1における周波数の温度特性を示すグラフである。各グラフの横軸が温度(℃)を示し、縦軸が周波偏差(ppm)を示している。
図4に示すように、従来の構成では、全般的にサンプルごとの周波偏差にバラつきが大きくなっている。これに対して、図5に示すように、本実施形態に係る水晶振動子1では、従来の構成に比べて、温度の変化による周波偏差のバラつきが少なくなっている。このように、本実施形態によれば、周波数の温度特性に優れた水晶振動子1を提供することができる。
[発振器]
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図6を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器100は、図6に示すように、水晶振動子1を、集積回路101に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器100は、コンデンサ等の電子部品102が実装された基板103を備えている。基板103には、発振器用の上述した集積回路101が実装されており、この集積回路101の近傍に、水晶振動子1が実装されている。これら電子部品102、集積回路101及び水晶振動子1は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
このように構成された発振器100において、水晶振動子1に電圧を印加すると、この水晶振動子1内の水晶振動片3が振動する。この振動は、水晶振動片3が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路101に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路101によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、水晶振動子1が発振子として機能する。
また、集積回路101の構成を、例えば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
上述したように、本実施形態の発振器100によれば、優れた振動特性を有する高品質な水晶振動子1を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な周波数信号を得ることができる発振器100を提供できる。
[電子機器]
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図7を参照して説明する。なお電子機器として、上述した水晶振動子1を有する携帯情報機器110を例にして説明する。
はじめに本実施形態の携帯情報機器110は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
次に、本実施形態の携帯情報機器110の構成について説明する。この携帯情報機器110は、図7に示すように、水晶振動子1と、電力を供給するための電源部111とを備えている。電源部111は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部111には、各種制御を行う制御部112と、時刻等のカウントを行う計時部113と、外部との通信を行う通信部114と、各種情報を表示する表示部115と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部116とが並列に接続されている。そして、電源部111によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
制御部112は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部112は、予めプログラムが書き込まれたROMと、このROMに書き込まれたプログラムを読み出して実行するCPUと、このCPUのワークエリアとして使用されるRAM等とを備えている。
計時部113は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、水晶振動子1とを備えている。水晶振動子1に電圧を印加すると水晶振動片3が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部112と信号の送受信が行われ、表示部115に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。
通信部114は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部117、音声処理部118、切替部119、増幅部120、音声入出力部121、電話番号入力部122、着信音発生部123及び呼制御メモリ部124を備えている。
無線部117は、音声データ等の各種データを、アンテナ125を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部118は、無線部117又は増幅部120から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部120は、音声処理部118又は音声入出力部121から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部121は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
また、着信音発生部123は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部119は、着信時に限って、音声処理部118に接続されている増幅部120を着信音発生部123に切り替えることによって、着信音発生部123において生成された着信音が増幅部120を介して音声入出力部121に出力される。
なお、呼制御メモリ部124は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部122は、例えば、0から9の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
電圧検出部116は、電源部111によって制御部112等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部112に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部114を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、3V程度となる。電圧検出部116から電圧降下の通知を受けた制御部112は、無線部117、音声処理部118、切替部119及び着信音発生部123の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部117の動作停止は、必須となる。更に、表示部115に、通信部114が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
即ち、電圧検出部116と制御部112とによって、通信部114の動作を禁止し、その旨を表示部115に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部115の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×(バツ)印を付けるようにしても良い。
なお、通信部114の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部126を備えることで、通信部114の機能をより確実に停止することができる。
上述したように、本実施形態の携帯情報機器110によれば、優れた振動特性を有する高品質な水晶振動子1を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な時計情報を表示できる携帯情報機器110を提供できる。
[電波時計]
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図8を参照して説明する。
本実施形態の電波時計130は、図8に示すように、フィルタ部131に電気的に接続された水晶振動子1を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県(40kHZ)と佐賀県(60kHZ)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHZ若しくは60kHZのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
以下、電波時計130の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ132は、40kHZ若しくは60kHZの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHZ若しくは60kHZの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ133によって増幅され、複数の水晶振動子1を有するフィルタ部131によって濾波、同調される。
本実施形態における水晶振動子1は、上述した搬送周波数と同一の40kHZ及び60kHZの共振周波数を有する水晶振動子部138、139をそれぞれ備えている。
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路134により検波復調される。続いて、波形整形回路135を介してタイムコードが取り出され、CPU136でカウントされる。CPU136では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC137に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、40kHZ若しくは60kHZであるから、水晶振動子部138、139は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
なお、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは77.5KHZの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計130を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の水晶振動子1を必要とする。
上述したように、本実施形態の電波時計130によれば、優れた振動特性を有する高品質な水晶振動子1を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ、長期にわたって安定して高精度に時刻をカウントできる電波時計130を提供できる。
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態では、導電性接着剤50を用いて水晶振動片3をベース部材10に実装する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。
図9は、水晶振動片3の他の構成を示す平面図である。図10は、図9におけるB−B断面に沿った構成を示す図である。
図9及び図10に示すように、金属接合技術を用いて水晶振動片3をベース部材10の金属バンプ51に接合するように実装した水晶振動子1Aとしてもよい。この時、搭載電極38、39とベース部材10の実装電極14(第一実装電極14a、第二実装電極14b)、金属バンプ51とを焼成することにより、搭載電極38、39とベース部材10の実装電極14(第一実装電極14a、第二実装電極14b)とが物理的に接合されると共に、電気的に接続される。
図11は、水晶振動片3に対して小型化した水晶振動片3Bの構成を示す平面図である。図12は、図11におけるC−C断面に沿った構成を示す図である。
図11及び図12に示すように、水晶片31が小型化すると、切り欠き部31hの寸法が変化しないまま、水晶振動片3B全体が縮小された構成となる。このため、搭載電極36が切り欠き部31hの斜面上に形成された構成となる。この場合、水晶振動片3Bは、実装部分に切り欠き部31hが形成された第一主面31aでは無く、実装部分に切り欠き部が形成されていない第二主面31bを実装面11aに対向させるため、良好な実装を確保することができる。
また、例えば、上述した実施形態では、セラミックパッケージタイプの水晶振動子1を例に挙げたが、これに限らず、例えばガラスパッケージタイプの水晶振動子でもよい。また、シリンダパッケージタイプの水晶振動子や、シリンダパッケージタイプの水晶振動子をさらにモールド樹脂部で固めて表面実装型の水晶振動子としても構わない。
W…水晶ウエハ
1…水晶振動子
2…パッケージ
3…水晶振動片
31…水晶片
31a…第一主面
31b…第二主面
31c〜31f…側面
31g、31h…切り欠き部(傾斜部)
32、33…励振電極
36〜39…搭載電極
40、41…側面電極
41…側面電極
50…導電性接着剤
100…発振器
110…携帯情報機器
130…電波時計

Claims (4)

  1. 第一主面及び第二主面を有し、矩形板状に形成された水晶振動片と、
    前記水晶振動片が実装されるベース部材を有するパッケージと
    を備え、
    前記水晶振動片は、
    前記第一主面及び前記第二主面にそれぞれ形成される励振電極と、
    前記第一主面及び前記第二主面にそれぞれ一対ずつ形成され、前記励振電極に接続された搭載電極と
    を有すると共に、ATカットされて形成された水晶片を有し、Z´軸方向に長手に形成されており、
    前記搭載電極は、前記水晶振動片のうちX方向の端部に配置されており、
    さらに、前記水晶振動片は、側面を有すると共に、前記第一主面及び前記第二主面のうち前記側面にかけて前記水晶振動片の厚さが薄くなるように傾斜する傾斜部が設けられた面とは異なる面において前記ベース部材に実装され
    前記傾斜部は、前記X方向および前記Z´軸方向の角部において、自然結晶面であるm面により形成されている
    水晶振動子。
  2. 請求項1に記載の水晶振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されている
    発振器。
  3. 請求項1に記載の水晶振動子が、計時部に電気的に接続されている
    電子機器。
  4. 請求項1に記載の水晶振動子が、フィルタ部に電気的に接続されている
    電波時計。
JP2013052137A 2013-03-14 2013-03-14 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 Active JP6101121B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013052137A JP6101121B2 (ja) 2013-03-14 2013-03-14 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013052137A JP6101121B2 (ja) 2013-03-14 2013-03-14 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014179772A JP2014179772A (ja) 2014-09-25
JP6101121B2 true JP6101121B2 (ja) 2017-03-22

Family

ID=51699302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013052137A Active JP6101121B2 (ja) 2013-03-14 2013-03-14 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6101121B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016181882A1 (ja) * 2015-05-08 2016-11-17 株式会社村田製作所 水晶振動素子及び水晶振動子
JP6767772B2 (ja) * 2016-04-28 2020-10-14 Ngkエレクトロデバイス株式会社 電子部品収納用パッケージおよびそれを用いた電子装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61260184A (ja) * 1985-05-15 1986-11-18 Seiko Epson Corp 電子時計
JPH01318311A (ja) * 1988-06-17 1989-12-22 Fujitsu Ltd 振動子応用デバイス
JP2004180274A (ja) * 2002-11-15 2004-06-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子
JP4305542B2 (ja) * 2006-08-09 2009-07-29 エプソントヨコム株式会社 Atカット水晶振動片及びその製造方法
JP5632627B2 (ja) * 2010-03-15 2014-11-26 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 水晶振動片
JP5804825B2 (ja) * 2011-07-29 2015-11-04 京セラクリスタルデバイス株式会社 水晶振動素子及び水晶デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014179772A (ja) 2014-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6080449B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP6148502B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP5592812B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計
JP5782536B1 (ja) 圧電振動片および圧電振動子
JP5534448B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計
JP5819151B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計
JP5872314B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計
JP2012039509A (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計
JP5385037B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP2012169865A (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計
JP5048471B2 (ja) パッケージの製造方法、パッケージ、電子デバイス、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2014135655A (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2014179769A (ja) 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2014179770A (ja) 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2011029715A (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP6101121B2 (ja) 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP5841090B2 (ja) 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2013165396A (ja) 圧電振動片、圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2013157908A (ja) 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2014179902A (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2013191981A (ja) 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計
JP6105648B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP6341966B2 (ja) 圧電振動片および圧電振動子
JP5680163B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP5762608B2 (ja) 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160114

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160719

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160913

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161101

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170207

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170224

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6101121

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250