JP6087323B2 - 熱処理装置、熱処理方法及びその熱処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
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Description
まず、本発明に係る熱処理装置の構成の一例について説明する。なお、本実施形態では、被処理体の一例としての半導体ウエハ(以下「ウエハW」という。)に熱処理を行うための縦型熱処理装置を例として説明する。図1は、本発明に係る熱処理装置の構成を例示する概略図である。
次に、前述した制御部20によって制御される温度検出手段18を有する熱処理装置を用いて行われる熱処理方法について説明する。
12 フランジ
13 キャップ部
14 保温筒
15 ウエハボート
16 排気口
17 加熱手段
171 断熱材
172 発熱体
18 温度検出手段
181 第1の温度検出手段
182 第2の温度検出手段
20 制御部
W ウエハ
Claims (6)
- 1100℃以上の高温で被処理体に熱処理を行う熱処理装置であって、
被処理体を収納する炭化珪素からなる反応管と、
前記反応管の外周部に前記反応管を囲むようにして配置され、前記反応管の内部に収納された被処理体を加熱する加熱手段と、
前記反応管と前記加熱手段との間における前記加熱手段の近傍に測温部を有し、前記反応管と前記加熱手段との間の空間の温度を検出する第1の温度検出手段と、
前記反応管と前記加熱手段との間における前記反応管の近傍に測温部を有し、前記反応管と前記加熱手段との間の空間の温度を検出する第2の温度検出手段と、
前記第1の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御するモードと、前記第2の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御するモードとを切り替えて制御する制御部と、
を備え、
前記加熱手段は、断熱材と、前記断熱材の内周側に螺旋状に巻回して配置された発熱体とを含み、
前記第1の温度検出手段及び第2の温度検出手段は、前記加熱手段の外側から前記断熱材を貫通して、前記反応管と前記発熱体との間へと挿入されており、
前記第2の温度検出手段の測温部は、前記反応管の外面と前記発熱体の内面との距離をDとしたときに、前記反応管の外面からの距離がD/3以下の位置に設けられており、
前記制御部は、前記反応管の温度を昇温するときに前記第1の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御し、前記被処理体に熱処理を行うときに前記第2の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御する、
熱処理装置。 - 前記制御部は、前記反応管の温度を降温するときに前記第1の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御する、
請求項1に記載の熱処理装置。 - 前記第1の温度検出手段は、第1の長さを有する熱電対であり、
前記第2の温度検出手段は、前記第1の長さよりも長い第2の長さを有する熱電対である、
請求項1又は2に記載の熱処理装置。 - 前記制御部は、前記反応管の温度を昇温するとき、又は降温するときに前記第2の温度検出手段によって検出される温度が予め設定された温度よりも所定の温度以上高くなった場合に、前記加熱手段を停止する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 被処理体を収納する炭化珪素よりなる反応管と、
前記反応管の外周部に前記反応管を囲むようにして配置され、前記反応管の内部に収納された被処理体を加熱する加熱手段と、
前記反応管と前記加熱手段との間における前記加熱手段の近傍に測温部を有し、前記反応管と前記加熱手段との間の空間の温度を検出する第1の温度検出手段と、
前記反応管と前記加熱手段との間における前記反応管の近傍に測温部を有し、前記反応管と前記加熱手段との間の空間の温度を検出する第2の温度検出手段と、
前記第1の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御するモードと、前記第2の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御するモードとを切り替えて制御する制御部と、
を備え、
前記加熱手段は、断熱材と、前記断熱材の内周側に螺旋状に巻回して配置された発熱体とを含み、
前記第1の温度検出手段及び第2の温度検出手段は、前記加熱手段の外側から前記断熱材を貫通して、前記反応管と前記発熱体との間へと挿入されており、
前記第2の温度検出手段の測温部は、前記反応管の外面と前記発熱体の内面との距離をDとしたときに、前記反応管の外面からの距離がD/3以下の位置に設けられている熱処理装置を用いて1100℃以上の高温で被処理体を熱処理する熱処理方法であって、
前記反応管の温度を昇温するときに前記第1の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御し、前記被処理体に熱処理を行うときに前記第2の温度検出手段によって検出される温度に基づいて前記加熱手段を制御する、
熱処理方法。 - 請求項5に記載の熱処理方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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