JP6085956B2 - 面発光レーザアレイ素子、光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents
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Description
(面発光レーザアレイ素子)
図1に基づき、本実施の形態における面発光レーザアレイ素子について説明する。尚、本実施の形態における面発光レーザアレイ素子は、発振波長が780nm帯の面発光レーザアレイ素子である。また、図1においては、便宜上1つの面発光レーザを図示しているが、本実施の形態における面発光レーザアレイ素子においては、このような面発光レーザが複数形成されている。
次に、本実施の形態における面発光レーザアレイ素子の製造方法について説明する。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態における面発光レーザアレイ素子を用いた光走査装置及び画像形成装置であるレーザプリンタ1000である。
次に、第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態は、複数の感光体ドラムを備えるカラープリンタ2000である。
102 バッファ層
103 下部半導体DBR
104 下部スペーサ層
105 活性層
106 上部スペーサ層
107 上部半導体DBR
108 電流狭窄層
108a 選択酸化領域
108b 電流狭窄領域
109 コンタクト層
110 保護膜
111 上部電極
112 下部電極
120 メサ
121 ダミーメサ
130 配線
1000 レーザプリンタ(画像形成装置)
1010 光走査装置
2000 カラープリンタ(画像形成装置)
Claims (9)
- 複数のメサと、前記複数のメサの周囲に位置する複数のダミーメサと、を有する面発光レーザ素子であって、
前記複数のメサは、配線が接続される電極を有し、
前記配線の一部は、前記ダミーメサの上面及び側面と該ダミーメサの周囲の底面にわたり形成されているものであって、
前記配線における前記ダミーメサの周囲の底面にわたり形成されている配線の領域において、
前記配線の領域における配線の幅が、前記ダミーメサの周囲に広がる方向に、他の領域よりも広く形成されていることを特徴とする面発光レーザアレイ素子。 - 2つの前記ダミーメサの間において、2本の配線が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザアレイ素子。
- 前記複数のメサは、2次元アレイ状に形成されているものであることを特徴とする請求項1または2に記載の面発光レーザアレイ素子。
- 前記メサ及び前記ダミーメサは、略同一形状で形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の面発光レーザアレイ素子。
- 前記メサの形状は、4角形であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の面発光レーザアレイ素子。
- 前記電極は、前記メサの上面に形成される上部電極であり、前記上部電極と前記配線は、同一の金属膜からなるものであることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の面発光レーザアレイ素子。
- 前記ダミーメサの周囲の底面に形成された配線の幅は、前記ダミーメサの上面に形成された配線の幅よりも広いことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の面発光レーザアレイ素子。
- 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項1から7のいずれかに記載の面発光レーザアレイ素子を有する光源と、
前記光源からの光を偏向する光偏向部と、
前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、
を有することを特徴とする光走査装置。 - 像担持体と、
前記像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する請求項8に記載の光走査装置と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
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