JP6083188B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
第1の電極、圧電体層、および第2の電極がこの順に積層され、前記圧力室に圧力変動を生じさせる圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
該アクチュエーターユニットに接合され、前記圧電素子を封止する封止部材と、
前記圧電素子に電気的に接続される配線部材と、
を備え、
前記圧電素子は、前記圧力室に対応する位置から外れた位置で前記アクチュエーターユニットの前記第1の電極に接続されたリード電極、および、該リード電極と前記第2の電極との間に前記圧電体層が露出した露出部を有し、
前記封止部材は、少なくとも前記圧電素子の前記圧力室の開口部に対応する部分を収容する収容空部、並びに、該収容空部から外れた位置に設けられて前記リード電極および前記露出部を露出させる貫通部が形成され、
前記配線部材は、前記封止部材の貫通部に挿入されて前記リード電極に接続され、
前記封止部材が前記アクチュエーターユニットに接合され、前記貫通部内に接着剤が充填され、当該接着剤によって前記配線部材と前記リード電極との接続部分、前記露出部、及び少なくとも前記封止部材の一部が被覆されていることを特徴とする。
第1の電極、圧電体層、および第2の電極がこの順に積層され、前記圧力室に圧力変動を生じさせる圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
該アクチュエーターユニットに接合され、前記圧電素子を封止する封止部材と、
前記圧電素子に電気的に接続される配線部材と、
を備え、
前記圧電素子は、前記圧力室のアクチュエーターユニット側の開口部に対応する位置から外れた位置で前記第1の電極に接続されたリード電極、および、該リード電極と前記第2の電極との間に前記圧電体層が露出した露出部を有し、
前記封止部材は、少なくとも前記圧電素子の前記圧力室の開口部に対応する部分を収容する収容空部、並びに、該収容空部から外れた位置に設けられて前記リード電極および前記露出部を露出させる貫通部が形成され、
前記配線部材が、前記封止部材の貫通部に挿入されて前記リード電極に接続された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記アクチュエーターユニットと前記封止部材とを接合する接合工程と、
該接合工程の後、前記貫通部に前記配線部材を挿入する挿入工程と、
前記貫通部内に、接着剤を充填し、当該接着剤によって前記配線部材と前記リード電極との接続部分、前記露出部、及び少なくとも前記封止部材の一部を被覆する接着剤充填工程と、
を含むことを特徴とする。
まず、図5(a)に示すように、流路形成基板15となるシリコン単結晶基板が約1100℃の拡散炉で熱酸化され、その表面に弾性膜17を構成する二酸化シリコン(SiO2)膜が形成される。次いで、図5(b)に示すように、弾性膜17上に、酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜18が形成される。具体的には、まず、弾性膜17上に、例えば、DCスパッタ法によりジルコニウム層が形成され、このジルコニウム層が熱酸化されることにより酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜18が形成される。次いで、図5(c)に示すように、例えば、白金(Pt)とイリジウム(Ir)とを絶縁体膜18上に積層することにより下部電極27が形成され、圧力室22の幅よりも小さい幅となるようにパターニングされる。
Claims (4)
- ノズルに連通する圧力室が形成された圧力室形成部材と、
第1の電極、圧電体層、および第2の電極がこの順に積層され、前記圧力室に圧力変動を生じさせる圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
該アクチュエーターユニットに接合され、前記圧電素子を封止する封止部材と、
前記圧電素子に電気的に接続される配線部材と、
を備え、
前記圧電素子は、前記圧力室に対応する位置から外れた位置で前記アクチュエーターユニットの前記第1の電極に接続されたリード電極、および、該リード電極と前記第2の電極との間に前記圧電体層が露出した露出部を有し、
前記封止部材は、少なくとも前記圧電素子の前記圧力室の開口部に対応する部分を収容する収容空部、並びに、該収容空部から外れた位置に設けられて前記リード電極および前記露出部を露出させる貫通部が形成され、
前記配線部材は、前記封止部材の貫通部に挿入されて前記リード電極に接続され、
前記封止部材が前記アクチュエーターユニットに接合され、前記貫通部内に接着剤が充填され、当該接着剤によって前記配線部材と前記リード電極との接続部分、前記露出部、及び少なくとも前記封止部材の一部が被覆され、 前記接着剤の絶縁性が、前記アクチュエーターユニットと前記封止部材とを接合する封止部材接合用接着剤の絶縁性よりも高いことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記接着剤が絶縁性を有することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1から請求項2の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
- ノズルに連通する圧力室が形成された圧力室形成部材と、
第1の電極、圧電体層、および第2の電極がこの順に積層され、前記圧力室に圧力変動を生じさせる圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
該アクチュエーターユニットに接合され、前記圧電素子を封止する封止部材と、
前記圧電素子に電気的に接続される配線部材と、
を備え、
前記圧電素子は、前記圧力室のアクチュエーターユニット側の開口部に対応する位置から外れた位置で前記第1の電極に接続されたリード電極、および、該リード電極と前記第2の電極との間に前記圧電体層が露出した露出部を有し、
前記封止部材は、少なくとも前記圧電素子の前記圧力室の開口部に対応する部分を収容する収容空部、並びに、該収容空部から外れた位置に設けられて前記リード電極および前記露出部を露出させる貫通部が形成され、
前記配線部材が、前記封止部材の貫通部に挿入されて前記リード電極に接続された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記アクチュエーターユニットと前記封止部材とを接合する接合工程と、
該接合工程の後、前記貫通部に前記配線部材を挿入する挿入工程と、
前記貫通部内に、接着剤を充填し、当該接着剤によって前記配線部材と前記リード電極との接続部分、前記露出部、及び少なくとも前記封止部材の一部を被覆し、当該接着剤の絶縁性が、前記アクチュエーターユニットと前記封止部材とを接合する封止部材接合用接着剤の絶縁性よりも高い接着剤充填工程と、
を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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JP2012228636A JP6083188B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
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JP2012228636A JP6083188B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
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JP2012228636A Active JP6083188B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
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2012
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