JP6081380B2 - レーザ走査型観察装置 - Google Patents
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Description
従って、検出信号の強度が最大となるときに、検出部からの検出信号をサンプリングすれば、最も検出感度の高い画像が得られることになる。
しかし、実際には、個々の製品バラツキ、温度や湿度等の観察環境の違い、被検体の種類や状態の違い等により、検出信号の強度が最大となるタイミングが、個々のレーザ走査顕微鏡において異なってくる。
本発明のレーザ走査型観察装置は、被検体を照射するためのパルスレーザを発振するパルスレーザ発振手段と、前記被検体からの光を受光し、検出信号を出力する光検出部と、前記パルスレーザ発振手段からの前記パルスレーザの発振を検知し、該パルスレーザの発振に同期した同期信号を出力する同期信号発生手段と、前記同期信号発生手段が出力した前記同期信号を任意の時間遅延させ、トリガ信号を出力する遅延回路部と、前記遅延回路部が出力した前記トリガ信号に同期して、前記光検出部が出力した検出信号をサンプリングするサンプリング手段と、前記サンプリング手段がサンプリングした前記検出信号を蓄積するメモリ部と、を備えたレーザ走査型観察装置において、前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間を、該同期信号の1周期以内に少なくとも2以上の段階に設定可能な多段遅延設定部と、前記多段遅延設定部が設定した2以上の段階の遅延時間に応じて前記遅延回路部が出力した前記トリガ信号に同期し、前記サンプリング手段によりサンプリングされ前記メモリ部に蓄積された、各遅延段階での前記検出信号の強度データを用いて、画像構成に最適な遅延段階を判定する判定部と、を備え、前記多段遅延設定部は、前記判定部が判定した前記画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間を、前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間として設定し、前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間を該画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間に固定して観察を行えるようにしている。
また、前記多段遅延設定部が設定した2以上の段階の遅延時間に応じて前記遅延回路部が出力した前記トリガ信号に同期し、前記サンプリング手段によりサンプリングされ前記メモリ部に蓄積された、各遅延段階での前記検出信号の強度データを用いて、画像構成に最適な遅延段階を判定する判定部を備えれば、検出信号のサンプリングに最適なタイミングを自動的に選択することができる。
また、前記多段遅延設定部を、前記判定部が判定した前記画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間を、前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間として設定し、前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間を該画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間に固定して観察を行えるように構成すれば、判定部で選択したサンプリングに最適なタイミングで、検出信号を自動的にサンプリングすることができる。
このため、本発明のレーザ走査型観察装置によれば、異なる観察条件に対して、煩雑な調整をすることなく、画像構成に最適なタイミングで検出信号をサンプリングすることができる。
このようにすれば、パルスレーザが被検体へ照射されていないときの検出信号の強度も検出することが可能となり、コントラスト値や暗ノイズ等、検出信号の強度以外の要因を加えて判定した画質の向上に最適なサンプリングタイミングに調整することができ、さらには、画像を構成する際に暗ノイズを除去することで、画質をより一層向上させることができるようになる。
このようにすれば、コントラストが最大化する検出信号のタイミングを画像構成に最適なタイミングとして判定することが可能となり、画質を向上させることができる。
このようにすれば、サンプリングタイミングの調整と併行して、各タイミング設定時の暗ノイズ値を計測し、画像を構成する際に、その暗ノイズを除去して画質をより一層向上させることが可能となる。
このようにすれば、被検体へのレーザ照射のON−OFF切替を高速に行うことが可能となるとともに、画像構成に最適なタイミングで検出信号をサンプリングするための一連の処理を高速に行うことができ、フレーム間処理等において、サンプリングタイミングを最適化させて、動画の解像度を向上させることが可能となる。
ここで、光検出器で出力した検出信号(電流信号)をAC結合型増幅器で増幅して電圧信号として出力すると、出力信号はDC成分が除去されたものとなる。このため、増幅された検出信号の大きさ(波高値)が、本来の波高値の半分の値になってしまう。
そこで、増幅された検出信号の大きさを2倍にすることも考えられるが、図3に概念的に示すように、検出信号は、形成する一つの波形ごとに大きさのバラツキがあり、しかも、AC結合型増幅器で増幅出力されることによって除去されるDC成分は平均値である。このため、各波形における検出信号の信号値を2倍しても、本来の波高値との誤差が大きくなり、精度の高い画質を得ることが難しい。
このようにすれば、例えば、第1の系統のAD変換手段がAC結合型増幅器で増幅して出力された電圧信号の波形が略ピークとなるタイミングでサンプリングし易くなるとともに、第2の系統のAD変換手段がAC結合型増幅器で増幅して出力された電圧信号の波形が略ディップとなるタイミングでサンプリングし易くなる。
このようにすれば、AC結合型増幅器で増幅されて出力される検出信号を用いても、本来の波高値を高精度に得ることができ、画質の精度を一層向上させることができる。
第1実施形態
図5は本発明の第1実施形態にかかるレーザ走査型観察装置の概略構成を示すブロック図である。図6は図5のレーザ走査型観察装置における検出部で光電変換して出力される電気信号と、パルスレーザの発振に同期した同期信号、及び同期信号を遅延させるタイミングの一例を示す説明図である。図7は図5のレーザ走査型観察装置におけるパルスレーザの発振、光検出部が光電変換して出力した電気信号、パルスレーザの発振に同期した同期信号、同期信号から所定の時間遅延して出力されるトリガ信号(サンプリングクロック)のタイミングチャートの一例を示す説明図である。図8は図5のレーザ走査型観察装置における、検出信号を読み出すタイミングを最適化する遅延時間の設定手順の一例を示すフローチャートである。
光検出部12は、例えば、フォトディテクタ、フォトマルチプライヤ、CCDイメージャ、CMOSイメージャなどで構成され、パルスレーザ発振手段11から発振されたパルスレーザを被検体30に照射したときの被検体30からの光を受光し、光電変換してアナログの電気信号を検出信号として出力する。なお、光検出部12は、I/V変換器や増幅器による信号変換機能を内蔵したものでもよい。
同期信号発生手段13は、例えば、パルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振と同期した電気信号として出力されるトリガ出力信号、あるいはパルスレーザの一部を例えばフォトディテクタやフォトマルチプライヤなどにより光電変換した電気信号を用いてパルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振を検知し、パルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振と同期したクロック信号を出力する。
そして、同期信号発生手段13と遅延回路部14とで、サンプリングクロック発生手段24を構成し、サンプリングクロック発生手段24は、パルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振を検知した信号をパルスレーザ発振手段11の発振モードに同期するサンプリングクロックを出力する。
サンプリング手段15は、遅延回路部14が出力したトリガ信号に同期し、光検出部12が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換してサンプリングする機能を備えたA/D変換部で構成されている。
メモリ部16は、処理部25に備えられており、サンプリング手段15がサンプリングしたデジタル信号を蓄積(記憶)する。
詳しくは、判定部18は、例えば、図6に示すように、メモリ部16に蓄積(記憶)された検出信号を、多段遅延設定部17が設定した遅延段階(図6の例では、Δt1、Δt2、Δt3、Δt4)ごとに比較し、画像構成に最も適した遅延段階(検出信号をサンプリングするタイミング)を判定し、判定結果の遅延段階(例えば、図6の例において、多段遅延設定部17が設定した遅延段階のうちで最も検出信号の強度が大きい遅延段階Δt2)を伝える信号を、多段遅延設定部17へ送出する。
多段遅延設定部17は、判定部18が判定した画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間を、遅延回路部14が遅延させるクロック信号の遅延時間として設定する。
操作者が遅延設定スイッチ19をONにする(ステップS1)。すると、多段遅延設定部17及び判定部18が、遅延段階の設定処理を新規に開始する。
詳しくは、多段遅延設定部17が、設定されるべき複数段階の遅延段階Δtn(nは自然数)を遅延回路部14に設定する(ステップS3)。すると、遅延回路部14は、同期信号発生手段13が出力した同期信号を、多段遅延設定部17により設定された遅延段階Δtnに相当する時間、遅延させ、トリガ信号を出力する。
次いで、サンプリング手段15が、遅延回路部14が出力したトリガ信号に同期して、光検出部12が出力したデジタルの検出信号をサンプリングする。そして、メモリ部16が、サンプリング手段15がサンプリングした検出信号を蓄積(記憶)する(ステップS4)。
これらステップS3〜ステップS4の処理を、遅延段階Δtnが最終段階に到達するまで繰り返す(ステップS5,S6)。
遅延段階Δtnが最終段階に到達したとき、判定部18が、メモリ部16に蓄積された各遅延段階での検出信号の強度データを比較し、検出信号の強度が最大となる遅延段階n_maxを、画像構成に最適な遅延段階として判定する(ステップS7)。
次いで、多段遅延設定部17が、判定部18が判定した画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間を、遅延回路部14が遅延させるクロック信号の遅延時間Δtn_maxとして設定する(ステップS8)。これにより、多段遅延設定部17、判定部18による遅延段階設定処理が終了する。これ以降の観察においては、遅延回路部14は、観察に最適な遅延時間(例えばΔt2)に設定が固定される。
また、多段遅延設定部17を、判定部18が判定した画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間を、遅延回路部14が遅延させる同期信号の遅延時間として設定し、遅延回路部14が遅延させる同期信号の遅延時間を画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間に固定して観察を行えるように構成したので、判定部18で選択した検出に最適なタイミングで、検出信号を自動的にサンプリングすることができる。
このため、本実施形態のレーザ走査型観察装置によれば、異なる観察条件に対して、操作者は、煩雑な調整をすることなく、画像構成に最適なタイミングで検出信号をサンプリングすることができる。
図9は本発明の第2実施形態にかかるレーザ走査型観察装置の概略構成を示すブロック図である。図10は図9のレーザ走査型観察装置におけるパルスレーザの発振、光検出部が光電変換して出力した電気信号、パルスレーザの発振に同期した同期信号、同期信号から所定の時間遅延して出力されるトリガ信号(サンプリングクロック)のタイミングチャートの一例を示す説明図である。なお、図5と構成が同じものについては、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
判定部18は、画像構成に最適な遅延段階の判定に際し、ON−OFF切替部21がONのときとOFFのときの多段遅延設定部17が設定した各遅延段階での検出信号の強度データを用いる。
詳しくは、判定部18は、更に、ON−OFF切替部21がONのときとOFFのときの多段遅延設定部17が設定した各遅延段階での検出信号の強度データを用いて、検出信号のコントラスト値を計算する。
コントラストの算出式としては、例えば、{(S_on)−(S_off)}/{(S_on)+(S_off)}や、(S_on)/(S_off)などの一般的な式を用いる。ただし、S_onはON−OFF切替部21がONのときの検出信号の強度、S_offはON−OFF切替部21がOFFのときの検出信号の強度である。
遅延段階Δt1におけるON−OFF切替部21がONのときの検出信号の強度をS_onΔt1、OFFのときの検出信号の強度をS_offΔt1、遅延段階Δt2におけるON−OFF切替部21がONのときの検出信号の強度をS_onΔt2、OFFのときの検出信号の強度をS_offΔt2とする。また、便宜上、ON−OFF切替部21がONのときの遅延段階tn1における検出信号の強度が遅延段階tn2における検出信号の強度に比べて大きい(S_onΔt2<S_onΔt1である場合)ものとする。
これに対し、第2実施形態のレーザ走査型観察装置では、判定部18は、ON−OFF切替部21がONのときの検出信号の強度が最大となる遅延段階を、直ちに画像構成に最適な遅延段階として判定するのではなく、例えば、コントラストが最大となる遅延段階も判定要因に加えて、画像構成に最適な遅延段階を判定する。
即ち、この場合、ON−OFF切替部21がOFFのときの遅延段階Δt1においては、その直前のON−OFF切替部21がONのときのパルスレーザの照射による検出信号の強度が完全に減衰しきっていないものと考えられる。残存している検出信号の強度にON−OFF切替部21がONのときのパルスレーザの照射による検出信号の強度が重なることにより、検出信号の強度は大きくなるが、コントラストは弱くなる。このため、この遅延段階の信号強度を用いても必ずしも最適な画像を構成するとは限らない。
このため、遅延段階Δt2において、遅延段階Δt1に比べて、ON−OFF切替部21がONのときの検出信号の強度は小さくても、コントラストが強く、この遅延段階の信号強度を用いた方が最適な画像を構成しうる場合が生じうる。
ここで、サンプリングした検出信号を用いて画像を構成する際に、暗電流を除去すれば、より一層画質を向上させることができることになる。
そこで、判定部18は、更に、ON−OFF切替部21がOFFのときの多段遅延設定部17が設定した各遅延段階での検出信号の強度データを用いて、暗ノイズを検出する。
即ち、サンプリングタイミングの調節と併行して、各タイミング設定時の暗ノイズ値を計測することができる。その結果、画像構成部20にて画像を構成する際に、そのノイズを除去することが可能となり、画質をより一層向上させることが可能となる。
図11は本発明の第3実施形態にかかるレーザ走査型観察装置の概略構成を示すブロック図である。図12は図11のレーザ走査型観察装置に備わる遅延光路部の一例を示す説明図である。図13は図11のレーザ走査型観察装置における図12の遅延光路部により生じるパルスレーザの時間遅延を示す説明図で、(a)は遅延光路部の第1の光路を通るパルスレーザ、(b)は遅延光路部の第2の光路を通って時間遅延を生じたパルスレーザ、(c)は遅延光路部の第3の光路を通って時間遅延を生じたパルスレーザ、(d)は遅延光路部の第4の光路を通って時間遅延を生じたパルスレーザ、(e)は遅延光路部の第1〜第4の光路を通ることより、逓倍化した周期を形成したパルス列を示す図である。
遅延光路部22は、パルスレーザ発振手段11から発振されたパルスレーザの光路を少なくとも2以上に分岐し、異なる光路での光路長の違いから、パルスレーザ発振手段11から発振されるパルスレーザの周期を逓倍した周期にしてパルスレーザを被検体30へ照射するように構成されている。
図12の例の遅延光路部22は、ビームスプリッタ22aと、ミラー22b,22cと、ビームスプリッタ22dと、ミラー22e,22fと、ビームスプリッタ22gを備えている。
ビームスプリッタ22aは、パルスレーザを光路長の異なる2光路(光路A,光路B)に分岐する。ミラー22b,22cは、ビームスプリッタ22aにより分岐された一方の光路(光路B)を通るパルスレーザを他方の光路(光路A)を通るパルスレーザに対し角度2θ偏向するとともに、光路Aと光路Bとの間で光路長差Lが生じるように、光路Bを通るパルスレーザを遅延させるように配置されている。ビームスプリッタ22dは、ビームスプリッタ22aにより分岐された2光路(光路A,光路B)を通るパルスレーザを合波するとともにさらに光路長の異なる2つの光路に分岐する。ミラー22e,22fは、ビームスプリッタ22dにより分岐された一方の光路(光路D)を通るパルスレーザを他方の光路(光路C)を通るパルスレーザに対し角度θ偏向するとともに、光路Cと光路Dとの間で光路長差2Lが生じるように、光路Dを通るパルスレーザを遅延させるように配置されている。ビームスプリッタ22gは、2光路(光路C,光路D)を通るパルスレーザを合波する。
パルスレーザ発振手段11より発振されたパルスレーザは、光路A−光路Cを通るパルスレーザP0、光路B−光路Cを通るパルスレーザP1、光路A−光路Dを通るパルスレーザP2、光路B−光路Dを通るパルスレーザP3に分岐される。そして、ここで、パルスレーザの速度をcとすると、パルスレーザP0を基準として、パルスレーザP1は、L/c遅れ、且つ、角度2θ偏向した光となり、パルスレーザP2は、2L/c遅れ、且つ、角度θ偏向した光となり、パルスレーザP3は、3L/c遅れ、且つ、角度3θ偏向した光となる。ここで、光路長差Lをパルスレーザ発振手段11の繰り返し周波数Rに対してL/c=1/4Rを満足するように構成すると、レーザパルス発振手段11から発振されたパルスレーザは、図13(e)に示すように繰り替し周波数4Rに逓倍した周期となって時間多重され、且つ、偏向角度の間隔θで空間多重された光となって被検体30を照射する。
その結果、一連のフローを高速に行えるため、ユーザが意識することなく、フレーム間処理等において、サンプリングタイミングを最適化させることが可能となる。
図14は本発明の第4実施形態にかかるレーザ走査型顕微鏡装置の概略構成を示すブロック図である。図15は図14のレーザ走査型顕微鏡装置における要部構成を示すブロック図である。図16は図14のレーザ走査型顕微鏡装置におけるパルスレーザの発振、光検出部が光電変換して出力した電気信号、パルスレーザの発振に同期した同期信号、同期信号から所定の時間遅延して出力される第1の系統のAD変換手段でサンプリングさせるためのサンプリングクロック、同期信号から所定の時間遅延して出力される第2の系統のAD変換手段でサンプリングさせるためのサンプリングクロックのタイミングチャートの一例を示す説明図である。図17は図14のレーザ走査型顕微鏡装置における、2系統のAD変換手段の夫々で検出信号をサンプリングするタイミングを最適化する遅延時間の設定手順の一例を示すフローチャートである。
同期信号発生手段13、遅延回路部14は、第1実施形態〜第3実施形態の走査型観察装置における同期信号発生手段13、遅延回路部14と略同様に構成されている。
多段遅延設定部17は、第1実施形態〜第3実施形態の走査型観察装置における多段遅延設定部17と略同様に構成されている。
サンプリング手段15’は、遅延回路部14が出力したトリガ信号に同期し、光検出部12が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換してサンプリングする機能を2系統備えたA/D変換手段15a’を有して構成されている。
差分演算部25aは、遅延量設定手段25cによって設定されたタイミングでサンプリングされた2系統のAD変換手段15a’からの検出信号(S1n_max、S2n_min:n_max、n_minは自然数)の差分を画像構成用の信号値として出力する。
画像構成用メモリ部25bは、差分演算部25aが出力した2系統のAD変換手段15a’からの検出信号の差分(|S1n_max−S2n_min|)を蓄積(記憶)する。
変換信号用メモリ部25c−1は、2系統のAD変換手段15a’からの検出信号(S1n、S2n:nは自然数)を蓄積(記憶)する。
判定部25c−2は、多段遅延設定部17が設定した2以上の段階の遅延時間に応じて遅延回路部14が出力したトリガ信号に同期し、2系統のAD変換手段15a’の夫々にサンプリングされ、変換信号用メモリ部25c−1に蓄積(記憶)された、各遅延段階でのデジタル信号の強度データを夫々の系統ごとに比較し、画像構成に最適な遅延段階(遅延時間)を判定する。
詳しくは、判定部25c−2は、例えば、図17に示すように、第1系統及び第2系統の夫々において、変換信号用メモリ部25c−1に蓄積(記憶)された検出信号を、多段遅延設定部17が設定した遅延段階ごとに比較し、画像構成に最も適した遅延段階(第1系統及び第2系統の夫々におけるAD変換手段15a’が検出信号をサンプリングするタイミング)を判定し、判定結果の遅延段階(例えば、図17の例において、第1系統のサンプリングタイミングとして、多段遅延設定部17が設定した遅延段階のうちで最も検出信号の強度が大きい遅延段階Δtn_maxと、第2系統のサンプリングタイミングとして、多段遅延設定部17が設定した遅延段階のうちで最も検出信号の強度が小さい遅延段階Δtn_min)を伝える信号を、多段遅延設定部17へ送出する。
なお、図17の例では、最も検出信号の強度が大きい遅延段階Δtn_maxと最も検出信号の強度が小さい遅延段階Δtn_minとを、2系統のAD変換手段15a’のサンプリングのタイミングとして調整して設定するようにしたが、遅延量設定手段25cは、2系統のAD変換手段15a’のサンプリングのタイミングの遅延量を、互いにパルスレーザの発振周波数の半周期分ずれるように調整して設定するようにしてもよい。
操作者が図示しない遅延設定スイッチをONにする(ステップS11)。すると、多段遅延設定部17及び判定部25c−2が、2つの系統のサンプリングタイミングについて、夫々の系統ごとに、遅延段階の設定処理を新規に開始する。
詳しくは、多段遅延設定部17が、設定されるべき複数段階の遅延段階Δtn(nは自然数)を遅延回路部14に設定する(ステップS131、S132)。すると、遅延回路部14は、同期信号発生手段13が出力した同期信号を、多段遅延設定部17により設定された遅延段階Δtnに相当する時間、遅延させ、トリガ信号を出力する。
これらステップS131、S132〜ステップS141、S142の処理を、遅延段階Δtnが最終段階に到達するまで繰り返す(ステップS151,S152、S161,S162)。
次いで、多段遅延設定部17が、判定部25c−2が判定した画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間を、遅延回路部14が遅延させるクロック信号の遅延時間Δtn#max、Δtn#minとして設定する(ステップS181、S182)。これにより、多段遅延設定部17、判定部25c−2による遅延段階設定処理が終了する。これ以降の観察においては、遅延回路部14は、観察に最適な遅延時間(図16の例では、第1系統ではΔt1、第2系統ではΔt2)に設定が固定される。
差分演算部25aは、夫々の系統においてAD変換手段15a’により変換された夫々の検出信号の差分を演算し、画像構成用の信号値として出力する。出力された画像構成用の信号値は画像構成用メモリ部25bに蓄積(記憶)される。
画像構成部20は、画像構成用メモリ部25bから取り出したデジタル信号の強度を画素値としてデジタル画像を構成する。
このようにすれば、例えば、第1の系統のAD変換手段15a’がAC結合型増幅器23で増幅して出力された電圧信号の波形が略ピークとなるタイミングでサンプリングし易くなるとともに、第2の系統のAD変換手段15a’がAC結合型増幅器23で増幅して出力された電圧信号の波形が略ディップとなるタイミングでサンプリングし易くなる。
しかるに、従来、上述した特許文献1や特開2007−102235号公報に記載のレーザ走査型顕微鏡のように、パルスレーザ発振器からのモニタ信号又は出力レーザ光をハーフミラーで微小量を取り出し光検出器で検出した時間波形信号を、クロック素子を用いて整形することが行われている。
即ち、パルスレーザの発振を検知した信号のそのままの信号波形は、例えば、ノイズを原因とするピーク波形が不定期で現れたり、パルスのピークがダブルピークになったりする。このため、上記モニタ信号等のそのままの信号波形をクロック素子で整形しても、クロック素子が動作しなかったり、サンプリング手段によるサンプリングのタイミングがずれる等、蛍光等の検出波形のピークを検出することが難しく、光検出部が出力した検出信号をサンプリングするためのサンプリングクロックとしては使用できない。
帯域フィルタ24bは、高倍率アンプ24aの周波数特性に合わせて、LPF、BPF、HPFのいずれか又はこれらのフィルタの組合せで構成されている。なお、図19では説明の便宜上、帯域フィルタ24bをBPFで構成されたものとして示してある。
そして、高倍率アンプ24a及び帯域フィルタ24bは、例えば、パルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振と同期した電気信号として出力されるトリガ出力信号、あるいはパルスレーザの一部を例えばフォトディテクタやフォトマルチプライヤなどにより光電変換した電気信号など、モニタ信号もしくは出力レーザ光を検出した時間波形信号を用いてパルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振を検知した信号から、例えば、高調波成分などのパルスレーザの発振周波数以外の所定周波数成分を除去する。
クロック素子24cは、発振子若しくはPLL素子またはこれらの組合せで構成されており、高倍率アンプ24a及び帯域フィルタ24bを経た信号を整形し、クロック信号を出力する。
さらに、クロック素子24cは、広帯域な出力帯域幅を有している。例えば、パルスレーザ発振手段11によるパルスレーザの発振周波数が80MHzである場合、発振周期数の1/1000から1000倍の周波数(数KHzから数GHz)を出力可能に構成されている。
なお、クロック素子24cは、例えば、図19(b)に示すように、ジッタ除去機能を有する第1のクロック素子24c1と、広帯域な出力帯域幅を有する第2のクロック素子24c2とをカスケード接続した構成であってもよい。
また、高倍率アンプ24a及び帯域フィルタ24bは、例えば、図19(c)に示すように、パルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振を検知した信号(モニタ信号又は出力レーザ光を検出した時間波形信号など)のノイズレベルに対応した、夫々異なる倍率及び透過帯域を持つ複数組の高倍率アンプ24a1(2〜n)(nは自然数)と帯域フィルタ24b1(2〜n)(nは自然数)の組合せを、多段配列して備えるとともに、検知した信号のノイズレベルに対応して、検知した信号に最適な倍率及び透過帯域を持つ高倍率アンプ24a1(〜n)と帯域フィルタ24b1(〜n)の組合せを通るように、検知した信号の導電路を切り替える切り替え部24dを備えた構成としてもよい。
この信号を高倍率アンプ24a及び帯域フィルタ24bを通過させる。すると、図20(c)に示すように、ノイズとなる高調波成分などのパルスレーザの発振周波数以外の複数の周波数成分が除去される。この段階では、信号にはジッタとして小さな波形が残っている。
次いで、クロック素子24cを通過させる。すると、図20(d)に示すように信号の小さな波形が除去された状態に整形される。
例えば、パルスレーザ発振手段11によるパルスレーザの発振周波数が80MHzである場合、発振周波数の1/1000から1000倍(数KHzから数GHz)の出力帯域幅を有するクロック素子が好適である。
そのため、モード同期超短パルスレーザの発振周波数が変化したときに、変化した発振周波数がクロック素子の追従可能な周波数範囲を超えて、クロック素子のロック状態が外れてしまうことが起こり得る。
ロック状態が外れたクロック素子をロック状態にするためには、クロック素子のPLL機能が追従する周波数範囲を設定し直す操作を行う必要があるので、ロック状態が外れると、その都度、撮影を中断しなければならず操作が煩雑化する。
PLL機能を有するクロック手段は、位相周波数比較器(PFD:Phase Frequency Detector)と、ループフィルタと、電圧制御発振器(VCO:Voltage Controlled Oscillator)(又は電圧制御水晶発振器(VCXO:Voltage Controlled Crystal Oscillator))を備えた、PLL発振器(図22(a)参照)や、PLL周波数シンセサイザ(図22(b)参照)として構成されている。
位相周波数比較器(PFD)は、外部から入力される基準信号と、比較信号との位相を比較し、それらの位相差成分をパルス状の位相差信号として出力する。ループフィルタは、ローパスフィルタ(LPF)などのフィルタで構成され、位相周波数比較器(PFD)から出力されたパルス状の位相差信号から交流成分をカットして直流化した制御電圧を出力する。電圧制御発振器(VCO)は、ループフィルタから出力された制御電圧に基づいて出力周波数を制御する。
そして、PLL機能を有するクロック手段では、外部から入力される基準信号と電圧制御発振器(VCO)からの出力信号との位相差が一定の状態(ロック状態)となるように、電圧制御発振器(VCO)からの出力信号を位相周波数比較器(PFD)にフィードバックする。なお、図22(b)に示すようなPLL周波数シンセサイザは、図22(a)の構成においてフィードバックするループ回路上に1/Nの分周器を備え、分周器により電圧制御発振器(VCO)からの出力信号の1/Nの周波数を比較信号として出力することで、電圧制御発振器(VCO)からの出力信号の周波数を、外部から入力される基準信号の周波数のN倍にする。
また、PLL機能を有するクロック手段においては、外部から入力される基準信号とのフィードバック制御に際し、手動操作によって比較信号の周波数(図22(b)のPLL周波数シンセサイザでは、分周器の分周数N)を設定する。
このため、レーザ走査型顕微鏡で使用されるモード同期超短パルスレーザの発振モードに同期するようなサンプリングクロックを得るためにPLL機能を有するクロック手段を用いた場合において、外部から入力される基準信号であるモード同期超短パルスレーザの発振周波数が変化したときに、変化した発振周波数がクロック素子の追従可能な周波数範囲(設定した周波数±10ppm)を超えて、クロック素子のロック状態が外れてしまう(即ち、外部から入力される基準信号と電圧制御発振器(VCO)からの出力信号との位相差が一定の状態とならない。)ことが起こり得る。
ロック状態が外れたクロック素子をロック状態にするためには、モード同期超短パルスレーザの発振周波数に追従可能な比較信号の周波数範囲を、設定し直す必要があるが、従来、追従可能な周波数範囲の設定操作は手動で行わなければならず、撮影を中断せざるを得なかった。
このようにすれば、PLL機能が追従する周波数範囲を設定し直す操作を行うことなく、PLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を効率よく得ることができる。
このようにすれば、PLL機能を有するクロック手段24−aがロック状態からアンロック状態となっても、PLL機能が追従する周波数範囲を手動で設定し直す操作を行うことなく、PLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を効率よく得ることができる。
このようにすれば、外部から入力される基準信号に追従できる周波数範囲が、外部からの操作によって設定された比較信号の周波数に対して±10ppm程度しかない、例えば、外部からの操作によって設定された比較信号の周波数が100MHzである場合のPLL機能において追従できる周波数範囲が、±1KHz程度しかないPLL機能を有するクロック手段24−aであっても、周波数範囲設定手段24−bが、周波数範囲掃引手段24−cにより掃引された±10MHzの周波数範囲を±1KHz刻みで、PLL機能が追従する周波数範囲を自動的に設定変更することにより、PLL機能を有するクロック手段24−aに対し、PLL機能で追従可能な周波数範囲(設定した周波数の±10ppm程度であって、例えば±1KHz)を超える広い周波数範囲(10MHz)を連続させて追従させることができ、撮影を中断してクロック手段24−aのPLL機能が追従する周波数範囲を設定し直す操作を行うことなくクロック手段24−aをロック状態にして、レーザ光源の発振モードに同期するサンプリングクロックを得ることができる。
PLL機能を有するクロック手段24−aは、例えば、図22(a)に示すようなPLL発振器や、図22(b)に示すようなPLL周波数シンセサイザで構成されており、パルスレーザ発振手段11からのパルスレーザの発振を検知した信号を外部から入力される基準信号として、例えば電圧制御発振器(VCO)からの出力信号などの比較信号との位相差が一定の状態(ロック状態)となるように、フィードバック制御しながらクロック信号へ変換する。また、PLL機能を有するクロック手段24−aは、外部の制御素子(CPUやFPGA(Field-Programmable Gate Array)など)を介して比較信号の周波数が調整できるように構成されている。
周波数範囲掃引手段24−cは、外部の制御素子(CPUやFPGAなど)に設けられていて、所定の周波数範囲(例えば、±10MHz)を所定の周波数刻み(例えば、1KHz)で掃引して、周波数範囲設定手段24−bに対し、PLL機能を有するクロック手段24−aに対して設定した、PLL機能が追従する周波数範囲を変更させるように構成されている。
ロック状態検知手段24−dは、PLL機能を有するクロック手段24−aに設けられていて、PLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知するように構成されている。なお、図21及び図23では、便宜上、ロック状態検知手段24−dを、PLL機能を有するクロック手段24−aとは別個に示してある。
ロック状態探査制御手段24−eは、外部の制御素子(CPUやFPGAなど)に設けられていて、周波数範囲掃引手段24−cにより所定の周波数範囲を掃引され、周波数範囲設定手段24−bにより変更されたPLL機能が追従する周波数範囲を、PLL機能を有するクロック手段24−aが追従中に、ロック状態検知手段24−dがPLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知したときに、周波数範囲掃引手段24−cによる掃引及び周波数範囲設定手段24−bによる周波数範囲の設定変更を終了させるように構成されている。
また、ロック状態探査制御手段24−eは、PLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知後にアンロック状態を検知したとき、ロック状態検知手段24−dがPLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知したときの周波数に基づき、周波数範囲設定手段24−bに対し、PLL機能を有するクロック手段24−aに対して設定した、PLL機能が追従する周波数範囲を自動的に再設定させるようにも構成されている。
ここでは、電源を投入後にPLL機能を有するクロック手段24−aがロック状態となるまでの探査制御処理手順について図24を用いて説明する。
ロック状態検知手段24−dが、PLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知したとき、ロック状態探査制御手段24−eは、周波数範囲掃引手段24−cによる掃引及び周波数範囲設定手段24−bによる周波数範囲の設定変更を終了させる。そして、光検出部12は撮影を開始する(ステップS28)。
ロック状態検知手段24−dがPLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知せず、且つ、PLL機能を有するクロック手段24−aに設定した周波数fが周波数範囲の終了値fend(ここでは、70MHz±10MHz)に到達したとき、図示しないエラー告知手段が、エラーメッセージを告知する(ステップS27)。
ロック状態探査制御手段24−eは、ロック状態検知手段24−dがPLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知したときの周波数fに基づき、周波数範囲設定手段24−bに対し、PLL機能が追従する周波数範囲の開始値fstartを再設定させる(ステップS31)。ここでは、便宜上、周波数fが80MHzのときにロック状態検知手段24−dがPLL機能を有するクロック手段24−aのロック状態を検知していたものとする。設定周波数の開始値fstartが再設定されると、再設定された周波数範囲の開始値fstartに周波数範囲掃引手段24−cが掃引する周波数の範囲(ここでは、±10MHz)が加わることによって、周波数範囲設定手段24−bがPLL機能を有するクロック手段24−aに対して設定すべき周波数範囲の終了値fend(ここでは、80MHz±10MHz)が定まる。
また、画像化する際、1画素に相当する箇所に一定時間レーザを照射し、戻り光(反射光/拡散光/蛍光)を検出することにより、当該画素位置での画素値を決定する。
しかしながら、共振現象を利用した走査では、走査速度は一定ではなくサイン関数となる。このため、画素ごとに、露光時間や検出信号のサンプリング回数及び積分時間が一定でなくなる。その結果、共振現象を利用した走査で被検体を露光することによって、検出し、加算したデータをそのまま画素値として画像化すると、走査速度が速い照射点に対応した画素位置の画像は暗く、走査速度が遅い照射点に対応した画素位置の画像は明るくなり、被検体の画像の明るさにバラツキが生じるという問題があった。
光検出器からの微弱信号をS/N良く画素値化するために、検出した信号は積分される。
しかるに、走査手段が共振現象を利用して走査を行う場合、走査速度は一定ではなくサイン関数となる。例えば、図28(a)に示すように走査手段がX方向を往復するように照射点を走査する場合、走査位置は、図28(b)に示すように時間tの経過とともに、照射点X0と照射点X1の間を往復する。ここで、走査位置がX方向における画像化範囲の境界点P1から境界点P2へ向かって移動するときの走査速度は、図28(c)に示すように境界点P1から中間点P1.5に向かうにしたがって大きくなり、中間点P1.5で最大となった後、境界点P2に向かうにしたがって小さくなり、変換点P3において略ゼロとなる。境界点P4から境界点P5へ向かって移動するときの走査速度、境界点P7から境界点P8へ向かって移動するときの走査速度、境界点P10から境界点P11へ向かって移動するときの走査速度も境界点P1から境界点P2へ向かって移動するときの走査速度と同様である。
このように、画像化範囲を移動する照射点の走査速度は、画素位置ごとに変化する。一方、検出信号のサンプリングは一定のタイミングで行われる。このため、画素ごとに、露光時間や検出信号のサンプリング回数及び積分時間が一定でなくなる。
このため、検出信号を加算したデータをそのまま画像化すると、走査速度が速い照射点に対応した画素位置の画像は暗く、走査速度が遅い照射点に対応した画素位置の画像は明るくなり、被検体の画像の明るさにバラツキが生じることになる。
また、図26に示すような構成を更に備えた上記各実施形態のレーザ走査型観察装置(レーザ走査型顕微鏡装置)においては、好ましくは、除算回路が、ビットシフト回路の組合せのみで構築されている。
このようにすれば、回路規模の巨大化を避けることができる。
ガルバノミラー11−2は、レーザ光源11−1から発振されたレーザの被検体30への照射点を、共振現象を利用して走査可能に構成されている。
画素位置判別回路26は、ガルバノミラー11−2が走査する照射点の切替えに同期して照射点に対応する画素位置の切り替わりを判別する。
ピクセルクロック発生手段27は、画素位置判別回路26により判別された画素位置の切り替わるタイミングのトリガをピクセルクロックとして出力する。
サンプリングクロック発生手段24は、ピクセルクロック発生手段27が第n番目のピクセルクロックを出力後、第n+1番目のピクセルクロックを出力するまでの間に、複数回のサンプリングクロックを出力するように設定されている。
累積加算ブロック25−1は、図29に示すように、累積加算器25−1aと、累積加算カウンタ25―bとで構成されている。
累積加算器25−1aは、ピクセルクロック発生手段27が出力した第n番目のピクセルクロックが入力された後、ピクセルクロック発生手段27が出力した第n+1番目のピクセルクロックが入力されるまでの間に、サンプリング手段15(15’)によって複数回A/D変換されたデジタルデータを累積加算する。
累積加算カウンタ25−bは、累積加算器25−1aによるデジタルデータの累積加算回数をカウントする。
また、累積加算器25−1a、累積加算カウンタ25−1bは、第n+1番目のピクセルクロックが入力されたタイミングに同期して、当該第n+1番目のピクセルクロックが入力されるまでの累積加算したデジタルデータとカウントした累積加算回数を除算ブロック25−2へ送出し、累積加算ブロック25−1におけるデジタルデータの累積加算領域及び累積加算回数のカウント領域を初期状態にリセットする。
ここで、除算ブロック25−2の具体的な構成例を図30及び図31を用いて説明する。
例えば、除数2〜16を2の累乗分の1の分数を加算した式で表わすと、図30のように、2の1乗分の1の分数から2の12乗分の1の分数までで示される。また、夫々の2の累乗分の1の分数の位置を合わせ、夫々の位置をビットに置き換えると、2で除算することは、2進表示で1ビット右側へシフトすることに相当することがわかる。
そこで、入力信号に対して2進表示で1ビット右へシフトしたレジスタ(ビットシフト回路)を生成しておき、除数に応じて、それらのレジスタを組み合わせて加算すれば、除算結果が得られることになる。
例えば、入力信号が13ビットで、除数が2〜16である場合、除算回路は、図31(b)に示すように、ビットシフト回路S(1)〜S(12)を適宜組み合わせて加算することで、除算結果を得るように構成されている。
サンプリングクロック発生手段24が出力した夫々のサンプリングクロック(動作クロック)の発振に同期して、サンプリング手段15(15’)は、光検出部12が出力した夫々の検出信号をA/D変換する。図32中、検出信号“Y”,“Z”,・・・,“J”,“K”は、A/D変換後の検出信号を示している。
累積加算ブロック25−1の累積加算器25−1aは、サンプリング手段15(15’)によってA/D変換された検出信号のデジタルデータを累積加算する。また、累積加算ブロック25−1の累積加算カウンタ25−1bは、累積加算器25−1aによるデジタルデータの累積加算回数をカウントする。
これにより、当該画素位置における検出信号・・・,“Y”,“Z”の平均値“(・・・+Y+Z)/N”が画素値として得られる。
これにより、当該画素位置における検出信号“A”,・・・,“G”の平均値(“A+・・・+G)/7”が画素値として得られる。
11−1 レーザ光源
11−2 走査手段(ガルバノミラー)
12 光検出部
13 同期信号発生手段
14 遅延回路部
15、15’ サンプリング手段
15a’ AD変換手段
16 メモリ部
17 多段遅延設定部
18 判定部
19 遅延設定部
20 画像構成部
20’ 画像表示部
21 ON−OFF切替部
22 遅延光路部
22a、22d、22g ビームスプリッタ
22b、22c、22e、22f ミラー
23 AC結合型増幅器
24 サンプリングクロック発生手段
24a、24a1〜n 高倍率アンプ
24b、24b1〜n 帯域フィルタ
24c、24c1、24c2 クロック素子
24−a PLL機能を有するクロック手段
24−b 周波数範囲設定手段
24−c 周波数範囲掃引手段
24−d ロック状態検知手段
24−e ロック状態探査制御手段
25 処理部
25a 差分演算部
25b 画像構成用メモリ部
25c 遅延量設定手段
25c−1 変換信号用メモリ部
25c−2 判定部
25−1 累積加算ブロック
25−1a 累積加算器
25−1b 累積加算カウンタ
25−2 除算ブロック
26 画素位置判別回路
27 ピクセルクロック発生手段
30 被検体(サンプル)
51 光源
52 ハーフミラー
53 ガルバノミラー
54 対物レンズ
55 ピンホール
56 受光素子
57 画像処理部
58 モニタディスプレイ
59 被検体
61 レーザ装置(パルスレーザ発振手段)
62 光電変換部(光検出部)
63 A/D変換部(サンプリング手段)
64 メモリ
65 レーザ発振検出部
66 レーザ発振同期信号発生回路部(同期信号発生手段)
67 遅延回路部
68 外部入力回路
69 画像表示部
70 被検体
Claims (10)
- 被検体を照射するためのパルスレーザを発振するパルスレーザ発振手段と、
前記被検体からの光を受光し、検出信号を出力する光検出部と、
前記パルスレーザ発振手段からの前記パルスレーザの発振を検知し、該パルスレーザの発振に同期した同期信号を出力する同期信号発生手段と、
前記同期信号発生手段が出力した前記同期信号を任意の時間遅延させ、トリガ信号を出力する遅延回路部と、
前記遅延回路部が出力した前記トリガ信号に同期して、前記光検出部が出力した検出信号をサンプリングするサンプリング手段と、
前記サンプリング手段がサンプリングした前記検出信号を蓄積するメモリ部と、を備えたレーザ走査型観察装置において、
前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間を、該同期信号の1周期以内に少なくとも2以上の段階に設定可能な多段遅延設定部と、
前記多段遅延設定部が設定した2以上の段階の遅延時間に応じて前記遅延回路部が出力した前記トリガ信号に同期し、前記サンプリング手段によりサンプリングされ前記メモリ部に蓄積された、各遅延段階での前記検出信号の強度データを用いて、画像構成に最適な遅延段階を判定する判定部と、を備え、
前記多段遅延設定部は、前記判定部が判定した前記画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間を、前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間として設定し、前記遅延回路部が遅延させる前記同期信号の遅延時間を該画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間に固定して観察を行えるようにしたことを特徴とするレーザ走査型観察装置。 - 前記判定部は、前記メモリ部に蓄えられた各遅延段階での前記検出信号の強度データが最大となる遅延段階を、前記画像構成に最適な遅延段階として判定することを特徴とする請求項1に記載のレーザ走査型観察装置。
- 更に、前記多段遅延設定部及び前記判定部による前記画像構成に最適な遅延段階に対応した遅延時間の設定処理を新規に行わせる、遅延設定スイッチを備えたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ走査型観察装置。
- 更に、前記パルスレーザ発振手段から発振される前記パルスレーザの前記被検体への照射のONとOFFとを切り替えるON−OFF切替部を備え、
前記判定部は、前記画像構成に最適な遅延段階の判定に際し、前記ON−OFF切替部がONのときとOFFのときの前記多段遅延設定部が設定した各遅延段階での前記検出信号の強度データを用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ走査型観察装置。 - 前記判定部は、更に、前記ON−OFF切替部がONのときとOFFのときの前記多段遅延設定部が設定した各遅延段階での前記検出信号の強度データを用いて、該検出信号のコントラスト値を計算することを特徴とする、請求項4に記載のレーザ走査型観察装置。
- 前記判定部は、更に、前記ON−OFF切替部がOFFのときの前記多段遅延設定部が設定した各遅延段階での前記検出信号の強度データを用いて、暗ノイズを検出することを特徴とする、請求項4又は5に記載のレーザ走査型観察装置。
- 更に、前記パルスレーザ発振手段から発振された前記パルスレーザの光路を少なくとも2以上に分岐し、異なる光路での光路長の違いから、前記パルスレーザ発振手段から発振される該パルスレーザの周期を逓倍した周期にして該パルスレーザを前記被検体へ照射する遅延光路部を有するとともに、
前記ON−OFF切替部を、前記遅延光路部において分岐された少なくとも1つの光路上に備え、
前記パルスレーザ発振手段からの該パルスレーザの発振の1周期以内に前記ON−OFF切替部のONとOFFとが切り替わるようにしたことを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載のレーザ走査型観察装置。 - 前記同期信号発生手段と前記遅延回路部とで、前記パルスレーザ発振手段からの前記パルスレーザの発振を検知した信号を前記パルスレーザ発振手段の発振モードに同期するサンプリングクロックを出力するサンプリングクロック発生手段をなし、
更に、前記光検出部が出力した検出信号を増幅して出力するAC結合型増幅器を有し、
前記サンプリング手段は、前記サンプリングクロック発生手段が出力したサンプリングクロックに同期して、前記AC結合型増幅器が増幅して出力した検出信号をサンプリングし、
更に、前記サンプリング手段がサンプリングした検出信号を用いて画像構成用の信号値を出力する処理部を有するレーザ走査型顕微鏡装置であって、
前記サンプリング手段は、2系統のAD変換手段を有し、
前記処理部は、前記サンプリング手段がサンプリングした前記検出信号を蓄積する前記メモリ部と前記判定部とからなる、前記2系統のAD変換手段の夫々におけるサンプリングのタイミングの遅延量を前記夫々の系統ごとに調整して設定可能な遅延量設定手段と、前記遅延量設定手段によって設定されたタイミングでサンプリングされた前記2系統のAD変換手段からの検出信号の差分を画像構成用の信号値として出力する差分演算部を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のレーザ走査型観察装置。 - 前記遅延量設定手段は、前記2系統のAD変換手段のサンプリングのタイミングの遅延量を、互いにパルスレーザの発振周波数の半周期分ずれるように調整することを特徴とする請求項8に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記遅延量設定手段は、
前記2系統のAD変換手段のうち、第1の系統のAD変換手段のサンプリングのタイミングの遅延量を、該第1の系統のAD変換手段からの検出信号が最大となるように調整し、且つ、第2の系統のAD変換手段のサンプリングのタイミングの遅延量を、該第2の系統のAD変換手段からの検出信号が最小となるように調整することを特徴とする請求項8に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
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