JP6080729B2 - 多層基板、プリント回路基板、半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、半導体チップ、半導体デバイス、情報処理装置および通信装置 - Google Patents
多層基板、プリント回路基板、半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、半導体チップ、半導体デバイス、情報処理装置および通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6080729B2 JP6080729B2 JP2013188008A JP2013188008A JP6080729B2 JP 6080729 B2 JP6080729 B2 JP 6080729B2 JP 2013188008 A JP2013188008 A JP 2013188008A JP 2013188008 A JP2013188008 A JP 2013188008A JP 6080729 B2 JP6080729 B2 JP 6080729B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- pair
- signal
- conductor
- gnd
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 76
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 46
- 238000004891 communication Methods 0.000 title claims description 6
- 230000010365 information processing Effects 0.000 title claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 61
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims description 12
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 15
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 9
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 239000011111 cardboard Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- -1 or the like Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Description
特許文献1〜3に記載された手段は、基板の導体表面の凹凸を減らすか、または電流方向に対して凹凸を減らすものであり、差動成分にとっても、コモン成分にとっても、等しく導体損失を低損失とするものである。
そのため、差動成分に対する導体損失をコモン成分に対する導体損失よりも小さくするとともに、差動損失を小さくしてコモンノイズを減衰させ、さらにコストの上昇を抑制することができる。
この多層基板は、例えば高周波信号を伝送するプリント回路基板および半導体パッケージ基板、半導体パッケージ基板を用いた半導体パッケージ、再配線層を有する半導体チップおよび半導体デバイス、並びにプリント回路基板、半導体チップおよび半導体デバイスの少なくとも1つを用いた情報処理装置および通信装置に用いられる。
アンカー:表面の突起形状
表面粗さ:アンカーの長さ(の平均値)
プロファイル:表面粗さとほぼ同義
プロファイルフリー:表面がほぼ平坦な様子
低プロファイル:表面粗さが小さい様子
図1は、一般的な従来の多層基板における、高速信号でよく用いられるペア配線を示す断面図である。図1(a)は、ストリップライン構造を示し、図1(b)は、マイクロストリップ構造を示している。
|In|=|Ign| (3)
=|Igp|
=|Ign| (5)
|In|>>|Ign| (7)
また、ペア配線の、少なくともGNDプレーンに対向する表面の凹凸が、GNDプレーンの、少なくともペア配線に対向する表面の凹凸よりも小さい。
そのため、差動信号の正相信号電流および逆相信号電流の損失は、正相信号電流に対するGND電流および逆相信号電流に対するGND電流の損失よりも小さくなる。
よって、差動信号の正相信号配線と逆相信号配線とが強く結合しているほど、正相および逆相に対するGND電流が小さくなるので、差動信号の減衰が抑えられる。
一方、コモンノイズの場合は、正相信号電流および逆相信号電流に同位相の振幅変動が生じ、それと同じだけのGND電流が生じるが、GND電流の損失が大きくなるので、ひいてはコモンノイズが減衰する。
また、表面の凹凸が大きい(表面が粗い)導体層としては、従来の低コストの材料および製造方法を適用できるので、コストの上昇を抑制することができる。
すなわち、差動成分に対する導体損失をコモン成分に対する導体損失よりも小さくするとともに、差動損失を小さくしてコモンノイズを減衰させ、さらにコストの上昇を抑制することができる。
図7は、この発明の実施の形態2に係る多層基板における基板配線を例示する説明図である。図7において、この基板配線は、BGA(Ball Grid Array)パッケージ用パッド60、コネクタピン(図示せず)が挿入されるコネクタピン用スルーホール70、正相信号配線21および逆相信号配線22からなる一組のペア配線80、並びに別の正相信号配線21および逆相信号配線22からなるもう一組のペア配線81から構成されている。なお、これらのペア配線80、81は、それぞれ図4に示したこの発明の実施の形態1に係る断面構造を有している。
Claims (21)
- 差動信号を伝送する複数の信号配線を含み、前記複数の信号配線はペア配線を構成する配線層と、
前記配線層と対向し、全面または部分的なGNDプレーンを含むGND層と、
前記配線層と前記GND層との間に設けられた誘電体層と、を備え、
前記複数の信号配線間の配線幅は、1本の信号配線についての特性インピーダンスが、前記ペア配線の差動インピーダンスの半分となる場合の配線幅よりも狭く、
前記複数の信号配線の表面で表皮効果により生じる抵抗増大が、前記GND層の表面で表皮効果により生じる抵抗増大よりも小さく、
前記ペア配線の導体のDC抵抗値が、前記GNDプレーンの導体のDC抵抗値よりも小さく、
前記ペア配線の導体の主な材料と、前記GNDプレーンの導体の主な材料とが、それぞれ金、銅、アルミニウムおよびタングステンのうちの何れかであって、
前記ペア配線の導体の材料の抵抗率が、前記GNDプレーンの導体の材料の抵抗率よりも小さい
多層基板。 - 1つまたは2つ以上の前記配線層に対して、前記GND層が上下に配置されている
請求項1に記載の多層基板。 - 1つまたは2つ以上の前記配線層に対して、前記GND層が片側に配置されている
請求項1に記載の多層基板。 - 基板の表面に保護膜が形成された
請求項3に記載の多層基板。 - 前記ペア配線は、前記ペア配線の両端で、信号受信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長がほぼ等しく、信号送信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長に差がある配線形状を有する
請求項1から請求項4までの何れか1項に記載の多層基板。 - 前記ペア配線は、前記ペア配線の両端で、信号送信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長がほぼ等しく、信号受信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長に差がある配線形状を有する
請求項1から請求項4までの何れか1項に記載の多層基板。 - 前記ペア配線は、前記ペア配線の両端のそれぞれで、ペア配線端から正相と逆相との配線長に差がある配線形状を有する
請求項1から請求項4までの何れか1項に記載の多層基板。 - 請求項1から請求項7までの何れか1項に記載の多層基板に部品を実装したプリント回路基板。
- 請求項1から請求項7までの何れか1項に記載の多層基板を含む半導体パッケージ基板。
- 請求項9に記載の半導体パッケージ基板を用いた半導体デバイス。
- 請求項9に記載の半導体パッケージ基板を用いた半導体パッケージ。
- 請求項11に記載の半導体パッケージに半導体チップを実装した半導体デバイス。
- 請求項12に記載の半導体デバイスを実装したプリント回路基板。
- 差動信号を伝送する複数の信号配線を含み、前記複数の信号配線はペア配線を構成する配線層と、
前記配線層と対向し、全面または部分的なGNDプレーンを含むGND層と、
前記配線層と前記GND層との間に設けられた誘電体層と、を備え、
前記複数の信号配線間の配線幅は、1本の信号配線についての特性インピーダンスが、前記ペア配線の差動インピーダンスの半分となる場合の配線幅よりも狭く、
前記複数の信号配線の表面で表皮効果により生じる抵抗増大が、前記GND層の表面で表皮効果により生じる抵抗増大よりも小さく、
前記ペア配線の導体のDC抵抗値が、前記GNDプレーンの導体のDC抵抗値よりも小さく、
前記ペア配線の導体の主な材料と、前記GNDプレーンの導体の主な材料とが、それぞれ金、銅、アルミニウムおよびタングステンのうちの何れかであって、
前記ペア配線の導体の材料の抵抗率が、前記GNDプレーンの導体の材料の抵抗率よりも小さい
半導体チップ。 - 前記ペア配線は、前記ペア配線の両端で、信号受信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長がほぼ等しく、信号送信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長に差がある配線形状を有する
請求項14に記載の半導体チップ。 - 前記ペア配線は、前記ペア配線の両端で、信号送信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長がほぼ等しく、信号受信側のペア配線端から先の正相と逆相との配線長に差がある配線形状を有する
請求項14に記載の半導体チップ。 - 前記ペア配線は、前記ペア配線の両端のそれぞれで、ペア配線端から正相と逆相との配線長に差がある配線形状を有する
請求項14に記載の半導体チップ。 - 請求項14から請求項17までの何れか1項に記載の半導体チップをパッケージに搭載した半導体デバイス。
- 請求項18に記載の半導体デバイスを実装したプリント回路基板。
- 請求項8、請求項13および請求項19に記載のプリント回路基板の少なくとも1つを用いた情報処理装置。
- 請求項8、請求項13および請求項19に記載のプリント回路基板の少なくとも1つを用いた通信装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013188008A JP6080729B2 (ja) | 2013-09-11 | 2013-09-11 | 多層基板、プリント回路基板、半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、半導体チップ、半導体デバイス、情報処理装置および通信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013188008A JP6080729B2 (ja) | 2013-09-11 | 2013-09-11 | 多層基板、プリント回路基板、半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、半導体チップ、半導体デバイス、情報処理装置および通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015056465A JP2015056465A (ja) | 2015-03-23 |
JP6080729B2 true JP6080729B2 (ja) | 2017-02-15 |
Family
ID=52820678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013188008A Active JP6080729B2 (ja) | 2013-09-11 | 2013-09-11 | 多層基板、プリント回路基板、半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、半導体チップ、半導体デバイス、情報処理装置および通信装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6080729B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11728283B2 (en) | 2020-08-10 | 2023-08-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Package substrate and semiconductor package including the same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018054852A (ja) | 2016-09-28 | 2018-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置および電子機器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001102696A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Kyocera Corp | 配線基板及びその製造方法 |
JP4526115B2 (ja) * | 2004-05-24 | 2010-08-18 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | フレキシブルフラットケーブル |
JP4621917B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2011-02-02 | 国立大学法人東京工業大学 | 伝送線路 |
CN101395979B (zh) * | 2006-03-03 | 2012-07-18 | 日本电气株式会社 | 多层衬底中从过孔互连到平面传输线的宽频带过渡 |
JP2010212296A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Nec Corp | 配線基板及び該配線基板を有する半導体装置、配線基板における端子配置方法 |
JP2011023547A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 回路基板 |
-
2013
- 2013-09-11 JP JP2013188008A patent/JP6080729B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11728283B2 (en) | 2020-08-10 | 2023-08-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Package substrate and semiconductor package including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015056465A (ja) | 2015-03-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7414201B2 (en) | Transmission line pair | |
JP5194440B2 (ja) | プリント配線基板 | |
JP4371065B2 (ja) | 伝送線路、通信装置及び配線形成方法 | |
US9240619B2 (en) | Differential transmission line pairs using a coupling orthogonalization approach to reduce cross-talk | |
JP6133884B2 (ja) | 高域伝送用電気工学受動素子を埋め込んだプリント回路基板 | |
JP4373531B2 (ja) | 差動平衡信号伝送基板 | |
CN109314297B (zh) | 用于传输电磁波信号的波导管 | |
JP4848490B2 (ja) | 伝送線路及びこれを有する配線基板並びに半導体装置 | |
JP4433881B2 (ja) | プリント配線基板 | |
US8476533B2 (en) | Printed circuit board | |
US9105635B2 (en) | Stubby pads for channel cross-talk reduction | |
US20110180942A1 (en) | Interconnection structure | |
US6914334B2 (en) | Circuit board with trace configuration for high-speed digital differential signaling | |
US10524351B2 (en) | Printed circuit board (PCB) with stubs coupled to electromagnetic absorbing material | |
JP4659087B2 (ja) | 差動平衡信号伝送基板 | |
JP6080729B2 (ja) | 多層基板、プリント回路基板、半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、半導体チップ、半導体デバイス、情報処理装置および通信装置 | |
JP5950683B2 (ja) | 多層基板、プリント回路基板、半導体パッケージ基板、半導体パッケージ、半導体チップ、半導体デバイス、情報処理装置および通信装置 | |
JP2006270026A (ja) | 配線構造、プリント配線板、集積回路および電子機器 | |
JP6368078B2 (ja) | プリント配線板 | |
WO2009119849A1 (ja) | 複合配線基板 | |
CN110913570A (zh) | 一种高性能信息处理及接口方法 | |
JP6733911B2 (ja) | プリント配線基板、電子部品付きプリント配線基板 | |
US11456516B2 (en) | Low loss high-speed interconnects | |
JP6649195B2 (ja) | 差動信号伝送装置 | |
JP2017050429A (ja) | 信号配線基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6080729 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |