JP6070337B2 - 物理故障解析プログラム、物理故障解析方法および物理故障解析装置 - Google Patents
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Description
以下に添付図面を参照して、開示技術の好適な実施の形態を詳細に説明する。実施の形態では、半導体装置のチップ上に形成される配線パターンの形成状態に伴う配線故障(物理故障)を解析する例について説明する。
図2は、実施の形態にかかる物理故障解析の処理手順を示すフローチャートである。この物理故障解析は、後述する物理故障解析装置300のCPU301が実行処理する。はじめに、故障チップ群の故障候補ネットを抽出する(ステップS201)。次に、各故障チップ毎に1本の故障ネットを選択する(ステップS202)。ここで、故障ネットの組合せを求める(ステップS203)。ここで、各故障チップの複数本の故障候補ネットから故障候補ネットを1本に絞って解析する。すなわち、ある1ネットの故障が原因でチップがフェイルしていると推測する。
図3は、物理故障解析装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。図3において、物理故障解析装置300は、CPU301と、Read‐Only Memory(ROM)302と、Random Access Memory(RAM)303と、を含む。また、半導体メモリやディスクドライブ等の記憶部304と、ディスプレイ308と、通信インターフェース(I/F)309と、キーボード310と、マウス311と、スキャナ312と、プリンタ313とを備えても良い。これらCPU301〜プリンタ313はバス314によってそれぞれ接続されている。
1.ANDゲートの入力が立ち上がりriseの時、入力の故障しない確率の掛け算
2.ANDゲートの入力が立ち下がりfallの時、入力の故障しない確率のMax演算
3.ORゲートの入力が立ち上がりriseの時、入力の故障しない確率のMax掛け算
4.ORゲートの入力が立ち下がりfallの時、入力の故障しない確率の掛け算
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築させ、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める、
処理を実行させることを特徴とする物理故障解析プログラム。
前記構築された故障率算出モデルにより算出したスキャンパスの故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのスキャンパスの故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする付記1に記載の物理故障解析プログラム。
前記構築された故障率算出モデルにより算出したフリップフロップのフェイル率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのフリップフロップがフェイルした故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする付記1に記載の物理故障解析プログラム。
構築された複数の前記故障率算出モデルについて、故障ネットの組合せを変更して新たに構築した故障率算出モデル毎に、前記故障率の見積もり値と、実故障データの故障率とに基づいて、最適な故障率算出モデルを求める処理を繰り返すことを特徴とする付記1〜3のいずれか一つに記載の物理故障解析プログラム。
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築し、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める、
処理を実行することを特徴とする物理故障解析方法。
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める評価部と、
を有することを特徴とする物理故障解析装置。
112 故障率算出モデル2
120 実故障データ
203 スキャンパス
231 スキャンパスの故障情報
232 FFのフェイルログ
300 物理故障解析装置
301 CPU
302 ROM
303 RAM
304 記憶部
401 FF
Claims (7)
- コンピュータに、
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築させ、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とを対比してずれを求め、前記ずれが最も小さい故障率算出モデルを求める、
処理を実行させることを特徴とする物理故障解析プログラム。 - 前記故障率算出モデルを求める処理は、
前記構築された故障率算出モデルにより算出したスキャンパスの故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのスキャンパスの故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが最も小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする請求項1に記載の物理故障解析プログラム。 - 前記故障率算出モデルを求める処理は、
前記構築された故障率算出モデルにより算出したフリップフロップのフェイル率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのフリップフロップがフェイルした故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが最も小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする請求項1に記載の物理故障解析プログラム。 - 前記故障率算出モデルを求める処理は、
構築された複数の前記故障率算出モデルについて、故障ネットの組合せを変更して新たに構築した故障率算出モデル毎に、前記故障率の見積もり値と、実故障データの故障率とに基づいて、前回の故障率算出モデルよりも前記ずれが小さい故障率算出モデルを求める処理を繰り返すことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の物理故障解析プログラム。 - 前記故障率算出モデルを求める処理により選択された故障率算出モデルに基づき、前記チップの故障要因を特定することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の物理故障解析プログラム。
- コンピュータが、
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築し、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とを対比してずれを求め、前記ずれが最も小さい故障率算出モデルを求める、
処理を実行することを特徴とする物理故障解析方法。 - 物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットの抽出により、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築する大量故障解析部と、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とを対比してずれを求め、前記ずれが最も小さい故障率算出モデルを求める評価部と、
を有することを特徴とする物理故障解析装置。
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