JP2014186702A - 物理故障解析プログラム、物理故障解析方法および物理故障解析装置 - Google Patents
物理故障解析プログラム、物理故障解析方法および物理故障解析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014186702A JP2014186702A JP2013063081A JP2013063081A JP2014186702A JP 2014186702 A JP2014186702 A JP 2014186702A JP 2013063081 A JP2013063081 A JP 2013063081A JP 2013063081 A JP2013063081 A JP 2013063081A JP 2014186702 A JP2014186702 A JP 2014186702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- failure
- failure rate
- rate calculation
- physical
- calculation model
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築し(ステップS204)、構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める(ステップS207)。
【選択図】図2
Description
以下に添付図面を参照して、開示技術の好適な実施の形態を詳細に説明する。実施の形態では、半導体装置のチップ上に形成される配線パターンの形成状態に伴う配線故障(物理故障)を解析する例について説明する。
図2は、実施の形態にかかる物理故障解析の処理手順を示すフローチャートである。この物理故障解析は、後述する物理故障解析装置300のCPU301が実行処理する。はじめに、故障チップ群の故障候補ネットを抽出する(ステップS201)。次に、各故障チップ毎に1本の故障ネットを選択する(ステップS202)。ここで、故障ネットの組合せを求める(ステップS203)。ここで、各故障チップの複数本の故障候補ネットから故障候補ネットを1本に絞って解析する。すなわち、ある1ネットの故障が原因でチップがフェイルしていると推測する。
図3は、物理故障解析装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。図3において、物理故障解析装置300は、CPU301と、Read‐Only Memory(ROM)302と、Random Access Memory(RAM)303と、を含む。また、半導体メモリやディスクドライブ等の記憶部304と、ディスプレイ308と、通信インターフェース(I/F)309と、キーボード310と、マウス311と、スキャナ312と、プリンタ313とを備えても良い。これらCPU301〜プリンタ313はバス314によってそれぞれ接続されている。
1.ANDゲートの入力が立ち上がりriseの時、入力の故障しない確率の掛け算
2.ANDゲートの入力が立ち下がりfallの時、入力の故障しない確率のMax演算
3.ORゲートの入力が立ち上がりriseの時、入力の故障しない確率のMax掛け算
4.ORゲートの入力が立ち下がりfallの時、入力の故障しない確率の掛け算
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築させ、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める、
処理を実行させることを特徴とする物理故障解析プログラム。
前記構築された故障率算出モデルにより算出したスキャンパスの故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのスキャンパスの故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする付記1に記載の物理故障解析プログラム。
前記構築された故障率算出モデルにより算出したフリップフロップのフェイル率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのフリップフロップがフェイルした故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする付記1に記載の物理故障解析プログラム。
構築された複数の前記故障率算出モデルについて、故障ネットの組合せを変更して新たに構築した故障率算出モデル毎に、前記故障率の見積もり値と、実故障データの故障率とに基づいて、最適な故障率算出モデルを求める処理を繰り返すことを特徴とする付記1〜3のいずれか一つに記載の物理故障解析プログラム。
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築し、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める、
処理を実行することを特徴とする物理故障解析方法。
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める評価部と、
を有することを特徴とする物理故障解析装置。
112 故障率算出モデル2
120 実故障データ
203 スキャンパス
231 スキャンパスの故障情報
232 FFのフェイルログ
300 物理故障解析装置
301 CPU
302 ROM
303 RAM
304 記憶部
401 FF
Claims (7)
- コンピュータに、
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築させ、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める、
処理を実行させることを特徴とする物理故障解析プログラム。 - 前記最適な故障率算出モデルを求める処理は、
前記構築された故障率算出モデルにより算出したスキャンパスの故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのスキャンパスの故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする請求項1に記載の物理故障解析プログラム。 - 前記最適な故障率算出モデルを求める処理は、
前記構築された故障率算出モデルにより算出したフリップフロップのフェイル率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップのフリップフロップがフェイルした故障チップ数の割合とを対比してずれを求め、
前記ずれが小さい故障率算出モデルを求めることを特徴とする請求項1に記載の物理故障解析プログラム。 - 前記最適な故障率算出モデルを求める処理は、
構築された複数の前記故障率算出モデルについて、故障ネットの組合せを変更して新たに構築した故障率算出モデル毎に、前記故障率の見積もり値と、実故障データの故障率とに基づいて、最適な故障率算出モデルを求める処理を繰り返すことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の物理故障解析プログラム。 - 前記最適な故障率算出モデルを求める処理により選択された故障率算出モデルに基づき、前記チップの故障要因を特定することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の物理故障解析プログラム。
- コンピュータが、
物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットを抽出し、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築し、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める、
処理を実行することを特徴とする物理故障解析方法。 - 物理故障が生じた各チップの複数個の故障候補ネットの抽出により、各故障チップ毎に1本の故障ネットがあると仮定して故障ネットを組み合わせた故障率算出モデルを複数構築する大量故障解析部と、
前記構築された故障率算出モデルにより算出した故障率の見積もり値と、前記物理故障が生じたチップの実故障データの故障率とに基づいて、故障ネットの組合せによる最適な故障率算出モデルを求める評価部と、
を有することを特徴とする物理故障解析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013063081A JP6070337B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 物理故障解析プログラム、物理故障解析方法および物理故障解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013063081A JP6070337B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 物理故障解析プログラム、物理故障解析方法および物理故障解析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014186702A true JP2014186702A (ja) | 2014-10-02 |
JP6070337B2 JP6070337B2 (ja) | 2017-02-01 |
Family
ID=51834172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013063081A Expired - Fee Related JP6070337B2 (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 物理故障解析プログラム、物理故障解析方法および物理故障解析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6070337B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111291430A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-06-16 | 聪脉(上海)信息技术有限公司 | 一种利用特性矩阵关联生成关联网的方法和装置 |
JP2021146758A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 株式会社東芝 | 情報処理装置、情報処理方法及びプログラム |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108319545B (zh) * | 2018-02-01 | 2021-07-16 | 联想(北京)有限公司 | 一种信息处理方法及电子设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011128023A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Fujitsu Ltd | 故障診断支援プログラム、および故障診断支援装置 |
JP2012018111A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Renesas Electronics Corp | 論理回路の故障箇所推定システムと故障箇所推定方法及び故障箇所推定プログラム |
JP2012199338A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Fujitsu Ltd | 故障診断支援方法、プログラム及び装置 |
-
2013
- 2013-03-25 JP JP2013063081A patent/JP6070337B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011128023A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Fujitsu Ltd | 故障診断支援プログラム、および故障診断支援装置 |
JP2012018111A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Renesas Electronics Corp | 論理回路の故障箇所推定システムと故障箇所推定方法及び故障箇所推定プログラム |
JP2012199338A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Fujitsu Ltd | 故障診断支援方法、プログラム及び装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111291430A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-06-16 | 聪脉(上海)信息技术有限公司 | 一种利用特性矩阵关联生成关联网的方法和装置 |
JP2021146758A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 株式会社東芝 | 情報処理装置、情報処理方法及びプログラム |
JP7273755B2 (ja) | 2020-03-16 | 2023-05-15 | 株式会社東芝 | 情報処理装置、情報処理方法及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6070337B2 (ja) | 2017-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102402673B1 (ko) | Beol의 공정 변이를 고려하여 집적 회로를 설계하기 위한 컴퓨터 구현 방법 및 컴퓨팅 시스템 | |
JP5011830B2 (ja) | データ処理方法、データ処理プログラム、該プログラムを記録した記録媒体およびデータ処理装置 | |
KR101904518B1 (ko) | 희귀 불량 현상을 식별하기 위한 방법 및 시스템 | |
Keim et al. | A rapid yield learning flow based on production integrated layout-aware diagnosis | |
US9430606B2 (en) | Failure analysis and inline defect characterization | |
JP3940718B2 (ja) | 試験装置、良否判定基準設定装置、試験方法及び試験プログラム | |
US20060066338A1 (en) | Fault dictionaries for integrated circuit yield and quality analysis methods and systems | |
JP2010160787A (ja) | パラメータ情報作成システム、歩留まり算出システム、プログラム及び記録媒体 | |
JP5728839B2 (ja) | 故障診断方法、装置及びプログラム | |
JP6070337B2 (ja) | 物理故障解析プログラム、物理故障解析方法および物理故障解析装置 | |
JP6381409B2 (ja) | 故障診断システム、故障診断方法および故障診断プログラム | |
JP5614297B2 (ja) | 指標算出プログラム及び方法並びに設計支援装置 | |
US8448031B2 (en) | Computer product and apparatus for failure diagnosis support | |
JP2008242713A (ja) | 消費電力解析プログラム及び方法 | |
US20120239347A1 (en) | Failure diagnosis support technique | |
US20160025810A1 (en) | Diagnosis and debug with truncated simulation | |
US10078720B2 (en) | Methods and systems for circuit fault diagnosis | |
JP5370256B2 (ja) | 解析支援プログラム、解析支援装置および解析支援方法 | |
JP2011118492A (ja) | テストフロー提示コンピュータプログラム、テストフロー提示コンピュータシステム | |
JP5181484B2 (ja) | 歩留まり監視システム及び歩留まり監視方法 | |
JP5991184B2 (ja) | 設計支援方法、設計支援装置、および設計支援プログラム | |
JP7091726B2 (ja) | 情報処理装置,プログラム及び情報処理方法 | |
JP2019053569A (ja) | 情報処理装置、情報処理方法、および、プログラム | |
JP2015169588A (ja) | 故障解析プログラム、故障解析方法、および故障解析装置 | |
JP2007305794A (ja) | 回路設計装置、設計方法、およびプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6070337 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |