JP5728839B2 - 故障診断方法、装置及びプログラム - Google Patents
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Description
(付記1)
故障候補となるネット又は入出力ピンの情報を含む故障レポートと故障要因となる特徴とに基づいて統計的解析を行う故障診断を行うコンピュータによる半導体装置の故障診断方法であって、
前記故障要因となる特徴の1種類の特徴を指標として前記半導体装置の回路情報をN個(Nは2以上の自然数)のグループに分割する処理を、K種類(Kは2以上の自然数)の特徴について行うことで、前記回路情報をK×N個のグループに分割すると共に、各グループに属する部分回路の特徴量の総和を計算した計算結果を含む学習サンプルのリストを出力する第1の工程と、
前記学習サンプルのリストに基づいて学習処理を行うことで各特徴の故障への寄与度を計算すると共に、前記寄与度が一定値以上の特徴のランキングを計算して、故障要因を含み前記特徴のランキングを示す故障要因情報を出力して記憶部に格納する第2の工程と
を前記コンピュータに実行させる、故障診断方法。
(付記2)
前記第2の工程は、前記K×N個のグループのうち、故障発生数の予測値と実測値との適合度が所定値以上になるような前記学習サンプルの集合を抽出して前記故障要因情報として出力する、付記1記載の故障診断方法。
(付記3)
前記第2の工程は、
選択する2以上の特徴の組み合わせを生成し、
前記特徴の組み合わせで分割したサンプルの集合を算出し、
前記学習処理を行い各サンプルの故障発生数の予測値を計算すると共に、故障発生数の予測値と故障発生数の実測値との平均二乗誤差を計算して前記サンプルの集合の適合度を得る、付記2記載の故障診断方法。
(付記4)
前記第1の工程は、
前記半導体装置のレイアウト情報及び前記故障レポートから、各グループGij(j=1,...,N)について、各グループGijに属するネットnijp(p=1,…,Pij, PijはグループGijに属するネットの総数)の特徴量v(fk,nijp)(k=1,...,K)の総和sumfk(Gij)=Σv(fk,nijp)を計算し、
各グループGij(j=1,...,N)について、計算された故障発生数Fij及び特徴量v(fk,nijp)の集合(セット)Sij={Fij,sum(f1(Gij),sum(f2(Gij),...,sum(fk(Gij)}を学習サンプルのリストに追加する、付記1乃至3のいずれか1項記載の故障診断方法。
(付記5)
前記第1の工程は、
前記回路情報のネットリストを特徴量の大きさでソートして分割し、この分割を複数の特徴について繰り返す手順と、
前記半導体装置が形成されるウエハ上の位置に応じたダイのグループ分割を複数回行う手順と、
前記半導体装置の配線密度に応じたネットリストのグループ分割を複数回行う手順
のうちいずれか1つの手順を実行する、付記1乃至4のいずれか1項記載の故障診断方法。
(付記6)
故障候補となるネット又は入出力ピンの情報を含む故障レポートと故障要因となる特徴とに基づいて統計的解析を行う故障診断を行う半導体装置の故障診断装置であって、
前記故障要因となる特徴のうち1種類の特徴を指標として前記回路情報をN個(Nは2以上の自然数)のグループに分割する処理を、K種類(Kは2以上の自然数)の特徴について行うことで、前記回路情報をK×N個のグループに分割すると共に、各グループに属する部分回路の特徴量の総和を計算した計算結果を含む学習サンプルのリストを出力する第1の手段と、
前記学習サンプルのリストに基づいて学習処理を行うことで各特徴の故障への寄与度を計算すると共に、前記寄与度が一定値以上の特徴のランキングを計算して、故障要因を含み前記特徴のランキングを示す故障要因情報を出力する第2の手段とを備えた、故障診断装置。
(付記7)
前記第2の手段は、前記K×N個のグループのうち、故障発生数の予測値と実測値との適合度が所定値以上になるような前記学習サンプルの集合を抽出して前記前記故障要因情報として出力する、付記6記載の故障診断装置。
(付記8)
前記第2の手段は、
選択する2以上の特徴の組み合わせを生成する手段と、
前記特徴の組み合わせで分割したサンプルの集合を算出する手段と、
前記学習処理を行い各サンプルの故障発生数の予測値を計算すると共に、故障発生数の予測値と故障発生数の実測値との平均二乗誤差を計算して前記サンプルの集合の適合度を得る手段を有する、付記7記載の故障診断装置。
(付記9)
前記第1の手段は、
前記半導体装置のレイアウト情報及び前記故障レポートから、各グループGij(j=1,...,N)について、各グループGijに属するネットnijp(p=1,…,Pij, PijはグループGijに属するネットの総数)の特徴量v(fk,nijp)(k=1,...,K)の総和sumfk(Gij)=Σv(fk,nijp)を計算する手段と、
各グループGij(j=1,...,N)について、計算された故障発生数Fij及び特徴量v(fk,nijp)の集合(セット)Sij={Fij,sum(f1(Gij),sum(f2(Gij),...,sum(fk(Gij)}を学習サンプルのリストに追加する手段を有する、付記6乃至8のいずれか1項記載の故障診断装置。
(付記10)
前記第1の手段は、
前記回路情報のネットリストを特徴量の大きさでソートして分割し、この分割を複数の特徴について繰り返す処理と、
前記半導体装置が形成されるウエハ上の位置に応じたダイのグループ分割を複数回行う処理と、
前記半導体装置の配線密度に応じたネットリストのグループ分割を複数回行う処理
のうちいずれか1つの処理を実行する、付記6乃至9のいずれか1項記載の故障診断装置。
(付記11)
故障候補となるネット又は入出力ピンの情報を含む故障レポートと故障要因となる特徴とに基づいて統計的解析を行う半導体装置の故障診断をコンピュータに行わせるプログラムであって、
前記故障要因となる特徴のうち1種類の特徴を指標として前記回路情報をN個(Nは2以上の自然数)のグループに分割する処理を、K種類(Kは2以上の自然数)の特徴について行うことで、前記回路情報をK×N個のグループに分割すると共に、各グループに属する部分回路の特徴量の総和を計算した計算結果を含む学習サンプルのリストを出力する第1の手順と、
前記学習サンプルのリストに基づいて学習処理を行うことで各特徴の故障への寄与度を計算すると共に、前記寄与度が一定値以上の特徴のランキングを計算して、故障要因を含み前記特徴のランキングを示す故障要因情報を出力して記憶部格納する第2の手順と
を前記コンピュータに実行させる、プログラム。
(付記12)
前記第2の手順は、前記K×N個のグループのうち、故障発生数の予測値と実測値との適合度が所定値以上になるような前記学習サンプルの集合を抽出して前記前記故障要因情報として出力する、付記11記載のプログラム。
(付記13)
前記第2の手順は、
選択する2以上の特徴の組み合わせを生成し、
前記特徴の組み合わせで分割したサンプルの集合を算出し、
前記学習処理を行い各サンプルの故障発生数の予測値を計算すると共に、故障発生数の予測値と故障発生数の実測値との平均二乗誤差を計算して前記サンプルの集合の適合度を得る、付記12記載のプログラム。
(付記14)
前記第1の手順は、
前記半導体装置のレイアウト情報及び前記故障レポートから、各グループGij(j=1,...,N)について、各グループGijに属するネットnijp(p=1,…,Pij, PijはグループGijに属するネットの総数)の特徴量v(fk,nijp)(k=1,...,K)の総和sumfk(Gij)=Σv(fk,nijp)を計算し、
各グループGij(j=1,...,N)について、計算された故障発生数Fij及び特徴量v(fk,nijp)の集合(セット)Sij={Fij,sum(f1(Gij),sum(f2(Gij),...,sum(fk(Gij)}を学習サンプルのリストに追加する、付記11乃至13のいずれか1項記載のプログラム。
(付記15)
前記第1の手順は、
前記回路情報のネットリストを特徴量の大きさでソートして分割し、この分割を複数の特徴について繰り返す手順と、
前記半導体装置が形成されるウエハ上の位置に応じたダイのグループ分割を複数回行う手順と、
前記半導体装置の配線密度に応じたネットリストのグループ分割を複数回行う手順
のうちいずれか1つの手順を実行する、付記11乃至14のいずれか1項記載のプログラム。
(付記16)
前記故障診断は、大量故障診断(Volume Diagnosis)である、付記11乃至14のいずれか1項記載のプログラム。
(付記17)
付記11乃至16のいずれか1項記載のプログラムを格納した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
11 CPU
12 記憶部
13 入力装置
14 表示装置
15 バス
Claims (5)
- 故障候補となるネット又は入出力ピンの情報を含む故障レポートと故障要因となる特徴とに基づいて統計的解析を行う半導体装置の大量故障診断をコンピュータに行わせるプログラムであって、
前記故障要因となる特徴のうち1種類の特徴を指標として、ネットリスト及びレイアウト情報を含む、前記半導体装置の回路情報をN個(Nは2以上の自然数)のグループに分割する処理を、K種類(Kは2以上の自然数)の特徴について行うことで、前記回路情報をK×N個のグループに分割すると共に、前記故障レポートから各グループの故障候補数をカウントして計算し、前記回路情報に含まれる前記レイアウト情報から各グループに属する部分回路の特徴量の総和を計算し、各グループの前記故障候補数と各グループの前記部分回路の前記特徴量の総和の計算結果を含む学習サンプルのリストを出力する第1の手順と、
前記学習サンプルのリストに基づいて学習処理を行うことで各特徴の故障への寄与度を計算すると共に、前記寄与度が一定値以上の特徴のランキングを計算して、故障要因を含み前記特徴のランキングを示す故障要因情報を出力して記憶部に格納する第2の手順と
を前記コンピュータに実行させ、
前記第1の手順は、
前記レイアウト情報及び前記故障レポートから、各グループG ij (j=1,...,N)について、各グループG ij に属するネットn ijp (p=1,…,P ij , P ij はグループG ij に属するネットの総数)の特徴量v(fk,n ijp )(k=1,...,K)の総和sumfk(G ij )=Σv(fk,n ijp )を計算し、
各グループG ij (j=1,...,N)について、計算された故障発生数F ij 及び特徴量v(fk,n ijp )の集合(セット)S ij ={F ij ,sumf1(G ij ),sumf2(G ij ),...,sumfk(G ij )}を前記学習サンプルのリストに追加し、
各グループの前記故障候補数を計算する際、異なるグループ間で同じ故障候補を重複して前記故障候補数のカウントに含めることを許容する、プログラム。 - 前記第2の手順は、前記K×N個のグループのうち、故障発生数の予測値と実測値との適合度が所定値以上になるような前記学習サンプルの集合を抽出して前記故障要因情報として出力する、請求項1記載のプログラム。
- 前記第1の手順は、
前記回路情報に含まれる前記ネットリストを特徴量の大きさでソートして分割し、この分割を複数の特徴について繰り返す手順と、
前記半導体装置が形成されるウエハ上の位置に応じたダイのグループ分割を複数回行う手順と、
前記半導体装置の配線密度に応じた前記ネットリストのグループ分割を複数回行う手順
のうちいずれか1つの手順を実行する、請求項1又は2記載のプログラム。 - 故障候補となるネット又は入出力ピンの情報を含む故障レポートと故障要因となる特徴とに基づいて統計的解析を行う大量故障診断を行う半導体装置の故障診断装置であって、
前記故障要因となる特徴のうち1種類の特徴を指標として、ネットリスト及びレイアウト情報を含む、前記半導体装置の回路情報をN個(Nは2以上の自然数)のグループに分割する処理を、K種類(Kは2以上の自然数)の特徴について行うことで、前記回路情報をK×N個のグループに分割すると共に、前記故障レポートから各グループの故障候補数をカウントして計算し、前記回路情報に含まれる前記レイアウト情報から各グループに属する部分回路の特徴量の総和を計算し、各グループの前記故障候補数と各グループの前記部分回路の前記特徴量の総和の計算結果を含む学習サンプルのリストを出力する第1の手段と、
前記学習サンプルのリストに基づいて学習処理を行うことで各特徴の故障への寄与度を計算すると共に、前記寄与度が一定値以上の特徴のランキングを計算して、故障要因を含み前記特徴のランキングを示す故障要因情報を出力する第2の手段とを備え、
前記第1の手段は、
前記レイアウト情報及び前記故障レポートから、各グループG ij (j=1,...,N)について、各グループG ij に属するネットn ijp (p=1,…,P ij , P ij はグループG ij に属するネットの総数)の特徴量v(fk,n ijp )(k=1,...,K)の総和sumfk(G ij )=Σv(fk,n ijp )を計算する手段と、
各グループG ij (j=1,...,N)について、計算された故障発生数F ij 及び特徴量v(fk,n ijp )の集合(セット)S ij ={F ij ,sumf1(G ij ),sumf2(G ij ),...,sumfk(G ij )}を学習サンプルのリストに追加する手段を有し、
各グループの前記故障候補数を計算する際、異なるグループ間で同じ故障候補を重複して前記故障候補数のカウントに含めることを許容する、故障診断装置。 - 故障候補となるネット又は入出力ピンの情報を含む故障レポートと故障要因となる特徴とに基づいて統計的解析を行う大量故障診断を行うコンピュータによる半導体装置の故障診断方法であって、
前記コンピュータが、前記故障要因となる特徴の1種類の特徴を指標として、ネットリスト及びレイアウト情報を含む、前記半導体装置の回路情報をN個(Nは2以上の自然数)のグループに分割する処理を、K種類(Kは2以上の自然数)の特徴について行うことで、前記回路情報をK×N個のグループに分割すると共に、前記故障レポートから各グループの故障候補数をカウントして計算し、前記回路情報に含まれる前記レイアウト情報から各グループに属する部分回路の特徴量の総和を計算し、各グループの前記故障候補数と各グループの前記部分回路の前記特徴量の総和の計算結果を含む学習サンプルのリストを出力する第1の工程と、
前記コンピュータが、前記学習サンプルのリストに基づいて学習処理を行うことで各特徴の故障への寄与度を計算すると共に、前記寄与度が一定値以上の特徴のランキングを計算して、故障要因を含み前記特徴のランキングを示す故障要因情報を出力して記憶部に格納する第2の工程と
を含み、
前記第1の工程は、
前記レイアウト情報及び前記故障レポートから、各グループG ij (j=1,...,N)について、各グループG ij に属するネットn ijp (p=1,…,P ij , P ij はグループG ij に属するネットの総数)の特徴量v(fk,n ijp )(k=1,...,K)の総和sumfk(G ij )=Σv(fk,n ijp )を計算し、
各グループG ij (j=1,...,N)について、計算された故障発生数F ij 及び特徴量v(fk,n ijp )の集合(セット)S ij ={F ij ,sumf1(G ij ),sumf2(G ij ),...,sumfk(G ij )}を学習サンプルのリストに追加し、
各グループの前記故障候補数を計算する際、異なるグループ間で同じ故障候補を重複して前記故障候補数のカウントに含めることを許容する、故障診断方法。
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