JP4881332B2 - 半導体集積回路のテスト品質評価装置、および半導体集積回路のテスト品質評価方法 - Google Patents
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Description
DL=1−Y(1−FC)・・・(1)
P(A|B)=P(A∩B)/P(B)=(1−p)n/(1−p)m・・・(2)
DL=1−Y(1−m/n)=1−Y(1−FC)・・・(3)
DL =1− Y(1−√FC )・・・(4)
Y=exp[−A・D0]・・・(5)
DL=1−exp[−A・D0・(1−FC)]・・・(6)
DL≒A・D0・(1−FC)、または、DL≒A・D0・(1−√FC)・・・(7)
T.W.Williams and N.C.Brown, "Defect Level as a Function of Fault Coverage", IEEE Trans. Comp., Vol C-30, pp.978-988, Dec., 1981.
指定された故障モデルに対応するテスト対象回路の故障のうち前記故障をテストするためのテストパターンにより検出できない未検出故障に、この未検出故障に関連するレイアウト要素を前記未検出故障の重みとして対応付けて、重み付き故障辞書を作成する故障−レイアウト情報リンク部と、
前記未検出故障の重みと、前記レイアウト要素の不良モードと前記故障モデルとを対応付ける不良モード−故障モデル対応因子と、前記レイアウト要素単位の不良発生率と、を乗算し、得られた積を前記テストパターンによる不良残存率として出力するテスト品質指標算出部と、
前記不良残存率が目標値以下であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部により前記不良残存率が前記目標値より高いと判定された場合に、前記重み付き故障辞書に基づき、重みが大きい未検出故障を優先的に検出するためのテストポイントを前記テスト対象回路の論理ネットに挿入するテストポイント挿入部と、を備える
ことを特徴とする。
指定された故障モデルに対応するテスト対象回路の故障のうち前記故障をテストするためのテストパターンにより検出できない未検出故障に、この未検出故障に関連するレイアウト要素を前記未検出故障の重みとして対応付けて、重み付き故障辞書を作成するとともに、前記故障のうち前記テストパターンにより検出可能な検出故障に、この検出故障に関連するレイアウト要素を前記検出故障の重みとして対応付けて、重み付き検出故障辞書を作成する故障−レイアウト情報リンク部と、
前記テストパターンにより前記故障が検出可能な場合に前記レイアウト要素に発生する他の故障を見逃す率を前記検出故障の重みに乗算した値と前記未検出故障の重みの和と、前記レイアウト要素の不良モードと前記故障モデルとを対応付ける不良モード−故障モデル対応因子と、前記レイアウト要素単位の不良発生率と、を乗算し、得られた積を前記テストパターンによる不良残存率として出力するテスト品質指標算出部と、
前記不良残存率が目標値以下であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部により前記不良残存率が前記目標値より高いと判定された場合に、前記重み付き故障辞書に基づき、重みが大きい未検出故障を優先的に検出するためのテストポイントを前記テスト対象回路の論理ネットに挿入するテストポイント挿入部と、を備える
ことを特徴とする。
指定された故障モデルに対応するテスト対象回路の故障のうち前記故障をテストするためのテストパターンにより検出できない未検出故障に、この未検出故障に関連するレイアウト要素を前記未検出故障の重みとして対応付けて、重み付き故障辞書を作成し、
前記未検出故障の重みと、前記レイアウト要素の不良モードと前記故障モデルとを対応付ける不良モード−故障モデル対応因子と、前記レイアウト要素単位の前記不良発生率と、を乗算することにより、前記テストパターンによる不良残存率を算出し、
算出された前記不良残存率が目標値以下であるか否かを判定し、
前記不良残存率が前記目標値より高いと判定した場合に、前記重み付き故障辞書に基づき、重みが大きい未検出故障を優先的に検出するためのテストポイントを前記テスト対象回路の論理ネットに挿入する
ことを特徴とする。
a={WL(M1_2)+WL(M1_3)}×fMO×cMO_sa0
b=WL(M2_2)×fMO×cMO_sa0
c=n(V12)×fVO×cVO_sa0
DL=ΣΣΣΣ(i,j,k,l) fij×cik×Wjk(UD,l)・・・(8)
DL:不良残存率
fij:不良モードiのレイアウト要素jに対応する不良発生率(レイアウト要素単位)
cik:不良モードi−故障モデルkに対応する不良モード−故障モデル対応因子
Wjk(UD、l):各故障モデルkの未検出(UD:undetected)故障l(疑似未検出故障除外済)に対応付けたレイアウト要素iの重み
DL=ΣΣΣ(i,j,l)fij×ci×{pij(l)×Wj(D、l)+Wj(UD、l)} ・・・(9)
DL:不良残存率
fij:不良モードiのレイアウト要素jに対応する不良発生率(レイアウト要素単位)
ci:不良モードi−ベース故障モデルに対応する不良モード−故障モデル対応因子
pij(l):「検出」と判定したベース故障(疑似未検出故障除外済)lに対応する不良モードiの不良が見逃される見逃し率
Wj(D、l):ベース故障モデルの検出(D:detected)故障l(疑似未検出故障除外済)に対応付けたレイアウト要素jの重み
Wj(UD、l): ベース故障モデルの未検出(UD:undetected)故障l(疑似未検出故障除外済)に対応付けたレイアウト要素jの重み
p={DL/f/c −W(UD) }/W(D)・・・(10)
2 出力部
3 処理装置
3a 故障−レイアウト情報リンク部
3b テストパターン発生部
3c 故障シミュレーション部
3d テスト品質指標算出部
3e レイアウト作成部
3f テストポイント挿入部
3g 判定部
4 データ記憶装置
4a 論理接続情報格納部
4b レイアウト情報格納部
4c 不良モード・不良発生率格納部
4d テストパターン格納部
4e 故障検出情報格納部
4f ライブラリ格納部
4g 故障モデル格納部
100 半導体集積回路のテスト品質評価装置
Claims (5)
- 指定された故障モデルに対応するテスト対象回路の故障のうち前記故障をテストするためのテストパターンにより検出できない未検出故障に、この未検出故障に関連するレイアウト要素を前記未検出故障の重みとして対応付けて、重み付き故障辞書を作成する故障−レイアウト情報リンク部と、
前記未検出故障の重みと、前記レイアウト要素の不良モードと前記故障モデルとを対応付ける不良モード−故障モデル対応因子と、前記レイアウト要素単位の不良発生率と、を乗算し、得られた積を前記テストパターンによる不良残存率として出力するテスト品質指標算出部と、
前記不良残存率が目標値以下であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部により前記不良残存率が前記目標値より高いと判定された場合に、前記重み付き故障辞書に基づき、重みが大きい未検出故障を優先的に検出するためのテストポイントを前記テスト対象回路の論理ネットに挿入するテストポイント挿入部と、を備える
ことを特徴とする半導体集積回路のテスト品質評価装置。 - 指定された故障モデルに対応するテスト対象回路の故障のうち前記故障をテストするためのテストパターンにより検出できない未検出故障に、この未検出故障に関連するレイアウト要素を前記未検出故障の重みとして対応付けて、重み付き故障辞書を作成するとともに、前記故障のうち前記テストパターンにより検出可能な検出故障に、この検出故障に関連するレイアウト要素を前記検出故障の重みとして対応付けて、重み付き検出故障辞書を作成する故障−レイアウト情報リンク部と、
前記テストパターンにより前記故障が検出可能な場合に前記レイアウト要素に発生する他の故障を見逃す率を前記検出故障の重みに乗算した値と前記未検出故障の重みの和と、前記レイアウト要素の不良モードと前記故障モデルとを対応付ける不良モード−故障モデル対応因子と、前記レイアウト要素単位の不良発生率と、を乗算し、得られた積を前記テストパターンによる不良残存率として出力するテスト品質指標算出部と、
前記不良残存率が目標値以下であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部により前記不良残存率が前記目標値より高いと判定された場合に、前記重み付き故障辞書に基づき、重みが大きい未検出故障を優先的に検出するためのテストポイントを前記テスト対象回路の論理ネットに挿入するテストポイント挿入部と、を備える
ことを特徴とする半導体集積回路のテスト品質評価装置。 - 前記未検出故障には、前記テスト対象回路のシステム動作に関連する故障のみが含まれることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回路のテスト品質評価装置。
- 指定された故障モデルに対応するテスト対象回路の故障のうち前記故障をテストするためのテストパターンにより検出できない未検出故障に、この未検出故障に関連するレイアウト要素を前記未検出故障の重みとして対応付けて、重み付き故障辞書を作成し、
前記未検出故障の重みと、前記レイアウト要素の不良モードと前記故障モデルとを対応付ける不良モード−故障モデル対応因子と、前記レイアウト要素単位の前記不良発生率と、を乗算することにより、前記テストパターンによる不良残存率を算出し、
算出された前記不良残存率が目標値以下であるか否かを判定し、
前記不良残存率が前記目標値より高いと判定した場合に、前記重み付き故障辞書に基づき、重みが大きい未検出故障を優先的に検出するためのテストポイントを前記テスト対象回路の論理ネットに挿入する
ことを特徴とする半導体集積回路のテスト品質評価方法。 - 前記未検出故障には、前記テスト対象回路のシステム動作に関連する故障のみが含まれることを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路のテスト品質評価方法。
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