JP6068189B2 - チップ整列用治具 - Google Patents

Description

本発明は、チップ部品を整列させるためのチップ整列用治具に関する。

従来から、チップ部品を整列させるためのチップ整列用治具が知られている。このチップ整列用治具にチップ部品を入れて、チップ整列用治具を振り込むことで、チップ整列用治具内でチップ部品を整列させることができる。しかしながら、このようにチップ整列用治具を振り込む際に、チップ整列用治具の側壁にチップ部品が貼り付いてしまうことがある。

この点、多数の整列穴を有する整列パレットの各整列穴に、チップ部品を振り込むための装置であって、一端側に多数のチップ部品を収容できるチップボックスと、チップボックスを除く下面部に整列パレットによって閉じられる開口部と、チップボックス側を除く開口部の周囲を取り囲むサイドプレートとを有する振込ケースと、枠部内側と整列パレットとの境界部付近にエアーを吹きつけてチップ部品の貼り付きを防止するエアー吹き付け手段と、を備えたチップ部品の振込装置が知られている（特許文献１参照）。

特開２００５−３３３０００号公報

このような特許文献１に記載されたチップ部品の振込装置では、エアーを吹き付ける必要があることから装置全体の構造が大型化し、機構が複雑になってしまう。また、エアーを吹き付けることによって静電気が発生してしまうことから、静電気によってチップ部品がサイドプレートに貼り付いてしまうことが考えられる。さらに、エアーの強さを適度なものにしなければ、整列したチップ部品がエアーで乱れることも考えられる。

このような点に鑑み、本発明は、簡素な機構で、チップ部品がサイドプレートの壁面に貼り付くことを防止することができるチップ部品の振込装置を提供する。

本発明によるチップ整列用治具は、
チップ部品を整列させるためのチップ整列用治具であって、
表面に前記チップ部品を整列するための整列穴が形成された底プレートと、
前記底プレートから上下方向に延びた複数のサイドプレートと、
を備え、
前記サイドプレートの内方側表面に粗加工が施されている。

本発明によるチップ整列用治具において、
前記底プレートの端部に開口部が設けられ、
前記開口部には、当該開口部を覆う編み目状の編み目部が設けられてもよい。

本発明によるチップ整列用治具において、
前記底プレートは長方形状であり、
前記開口部は、前記底プレートの長手方向の両端部に設けられてもよい。

本発明によるチップ整列用治具は、
前記開口部を介して吸引する吸引部をさらに備えてもよい。

本発明によるチップ整列用治具において、
前記底プレートは長方形状であり、
各サイドプレートの内方側表面に粗加工が施され
前記底プレートの長手方向側に位置するサイドプレートのＲａは、前記底プレートの短手方向側に位置するサイドプレートのＲａよりも大きくなってもよい。

本発明によるチップ整列用治具において、
前記底プレートは長方形状であり、
長手方向の両端部に設けられたサイドプレートの高さは、短手方向の両端部に設けられたサイドプレートの高さの少なくとも一部よりも高くなってもよい。

本発明によるチップ整列用治具において、
前記底プレートの表面に櫛形形状の凹部が設けられてもよい。

本発明によるチップ整列用治具において、
前記櫛形形状の凹部は複数設けられ、
前記櫛形形状の凹部の一つは前記整列穴に対して一方端部側に設けられ、
前記櫛形形状の凹部の別の一つは前記整列穴に対して前記一方端部側と反対側に位置する他方端部側に設けられてもよい。

本発明によれば、サイドプレートの内方側表面に粗加工が施されている。このため、チップ部品がサイドプレートの壁面に貼り付くことを防止することができる。しかも、本発明によれば、特許文献１に記載されたようなエアー吹き付け手段を設ける必要がなく、簡素な機構で、チップ部品がサイドプレートの壁面に貼り付くことを防止することができる。また、本発明によれば、特許文献１に記載されたようなエアー吹き付け手段を用いた場合のようにエアーに由来した静電気によってチップ部品がサイドプレートに貼り付いてしまったり、エアーによって整列したチップ部品が乱れたりすることもない。

図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態によるチップ整列用治具の上方平面図であり、図１（ｂ）は、当該チップ整列用治具の側方図である。 図２は、本発明の第１の実施の形態によるチップ整列用治具を短手方向に沿って切断した断面図である。 図３は、本発明の第１の実施の形態によるチップ整列用治具において、底プレートの長手方向側に位置するサイドプレートの表面又は底プレートの短手方向側に位置するサイドプレートの表面を拡大して表示した拡大断面図である。 図４は、本発明の第１の実施の形態によるチップ整列用治具の整列穴を拡大して表示した拡大断面図である。 図５は、本発明の第１の実施の形態と異なる態様である参考例によるチップ整列用治具のサイドプレートの表面を拡大して表示した拡大断面図である。 図６（ａ）は、本発明の第２の実施の形態によるチップ整列用治具の上方平面図であり、図６（ｂ）は、当該チップ整列用治具の側方図である。

第１の実施の形態
《構成》
以下、本発明に係るチップ整列用治具の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図４は本発明の第１の実施の形態を説明するための図である。

本実施の形態によるチップ整列用治具１００は、半導体チップ等であるチップ部品９０（図４参照）を整列させるために用いられる。図１（ａ）（ｂ）に示すように、チップ整列用治具１００は、表面にチップ部品９０を整列するための座グリ穴等からなる複数の整列穴１５が形成された底プレート１０と、底プレート１０から上下方向に延びた複数（本実施の形態では４つ）のサイドプレート５０ａ，５０ｂ（図１（ａ）（ｂ）及び図２参照）と、を備えている。また、図３に示すように、サイドプレート５０ａ，５０ｂの内方側表面には粗加工が施されている。なお、本実施の形態の底プレート１０は長方形状となっている。ところで、本実施の形態において、サイドプレート５０ａ，５０ｂの「内方側表面」とは、チップ部品９０が入れられる側の面であり、整列穴１５が設けられている側の面である。

ちなみに、図２は、チップ整列用治具１００を底プレート１０の短手方向に沿って切断した断面図である。また、図３は、底プレート１０の長手方向側に位置するサイドプレート５０ａ又は底プレート１０の短手方向側に位置するサイドプレート５０ｂの表面を拡大して表示した拡大断面図である。

ちなみに、半導体チップの一例としてはシリコンチップを挙げることができる。図３及び図４に示したように、本実施の形態のチップ部品９０は、シリコン等からなるチップ部分９１と、当該チップ部分９１の上面に設けられたはんだ部分９２と、を有している。

サイドプレート５０ａ，５０ｂの材料の一例としてはベーク材、アルミニウム等を挙げることができる。また、底プレート１０の材料の一例としてはアルミニウム、ステンレス等を挙げることができる。ちなみに、サイドプレート５０ａ，５０ｂとしてベーク材を用いた場合には、チップ整列用治具１００の強度を保持しつつ軽量化することができる。

図１（ａ）に示すように、底プレート１０の両端部には開口部２０が設けられている。そして、この開口部２０には、開口部２０を覆う編み目状の編み目部２５が設けられる。より具体的には、開口部２０が底プレート１０の長手方向の両端部に設けられ、各開口部２０に開口部２０を覆う編み目状の編み目部２５が設けられる。なお、本実施の形態では、底プレート１０の長手方向の両端部に開口部２０が設けられ、当該開口部２０に編み目部２５が設けられている態様を用いて説明しているが、これに限られることはない。一例としては、底プレート１０の長手方向の一端部のみに開口部２０が設けられ、当該開口部２０に編み目部２５が設けられている態様を用いることもできる。

また、図１（ｂ）に示すように、本実施の形態のチップ整列用治具１００は、開口部２０を介して吸引する吸引部６０をさらに備えている。より具体的には、底プレート１０の裏面側、すなわち下方側に筐体５５が設けられており、当該筐体５５に吸引部６０が連結されている。そして、この吸引部６０を作動させることで、筐体５５及び開口部２０を介して、底プレート１０の表面側（図１（ｂ）の上方側）の外気を吸引することができる。

本実施の形態では、各サイドプレート５０ａ，５０ｂの内方側表面に粗加工が施されている。そして、底プレート１０の長手方向側に位置するサイドプレート５０ａのＲａは、底プレート１０の短手方向側に位置するサイドプレート５０ｂのＲａよりも大きくなっている。一例としては、長手方向側に位置するサイドプレート５０ａのＲａは４２μｍ〜５６μｍ程度であり、短手方向側に位置するサイドプレート５０ｂのＲａは２１μｍ〜２８μｍ程度である。

本実施の形態では、図１（ａ）に示すように、底プレート１０の表面に櫛形形状の凹部１９が設けられている。より具体的には、櫛形形状の凹部１９が整列穴１５に対して一方端部側（図１（ａ）の右側）に設けられている。なお、当該一方端部側は、チップ整列用治具１００にチップ部品９０を投入する側に位置しており、当該一方端部側では短手方向の両端部におけるサイドプレート５０ｂ_１の高さが、当該サイドプレート５０ｂ_１以外の他の短手方向側のサイドプレート５０ｂの高さと比較して高くなっている。

また、図１（ｂ）に示すように、本実施の形態では、長手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ａの高さは、短手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ｂの一部の高さよりも高くなっている。より具体的には、長手方向側に設けられたサイドプレート５０ａの高さは、短手方向側に設けられたサイドプレート５０ｂ（一方端部側のサイドプレート５０ｂ_１以外の箇所）の高さよりも高くなっている。一例としては、長手方向側に設けられたサイドプレート５０ａの高さは１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度であり、短手方側に設けられたサイドプレート５０ｂ（一方端部側のサイドプレート５０ｂ_１以外の箇所）の高さは２０ｍｍ〜３０ｍｍ程度である。なお、このような態様に限られることはなく、長手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ａの高さが短手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ｂの高さと同じ高さとなっていてもよい。また、短手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ｂが均一の高さからなり、長手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ａの高さが、短手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ｂの高さよりも高くなっていてもよい。

《作用・効果》
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果について説明する。

本実施の形態によれば、サイドプレート５０ａ，５０ｂの内方側表面に粗加工が施されている。このため、チップ部品９０がサイドプレート５０ａ，５０ｂの壁面に貼り付くことを防止することができる。

ちなみに、この効果は、チップ部品９０の裏面に予備はんだが設けられていない場合に顕著である。すなわち、チップ部品９０の裏面に予備はんだが設けられておらずチップ部品９０の裏面が平坦となっている場合において、図５に示すように本実施の形態の態様と異なりサイドプレート５０ａ，５０ｂが平坦な形状となっているときには、チップ部品９０の裏面がサイドプレート５０ａ，５０ｂに表面張力によって貼りついてしまう。この結果、チップ整列用治具１００によってチップ部品９０を整列させる際の効率が低下してしまう。

これに対して、本実施の形態によれば、サイドプレート５０ａ，５０ｂの内方側表面に粗加工が施されていることから、チップ部品９０の裏面に予備はんだが設けられておらずチップ部品９０の裏面が平坦となっている場合であっても、チップ部品９０の裏面がサイドプレート５０ａ，５０ｂに貼り付きにくく（図３参照）、チップ整列用治具１００によってチップ部品９０を整列させる際の効率が低下してしまうことを防止することができる。

また、本実施の形態によれば、特許文献１に記載されたようなエアー吹き付け手段を設ける必要がなく、簡素な機構で、チップ部品９０がサイドプレート５０ａ，５０ｂの壁面に貼り付くことを防止することができる点で、特許文献１に記載された発明と比較して有益な効果を有している。

さらに、本実施の形態によれば、特許文献１に記載されたようなエアー吹き付け手段を用いた場合のようにエアーに由来した静電気によってチップ部品９０がサイドプレート５０ａ，５０ｂに貼り付いてしまったり、エアーによって整列したチップ部品９０が乱れたりすることもない点でも、特許文献１に記載された発明と比較して有益な効果を有している。

また、図１（ａ）に示すように、本実施の形態では、底プレート１０に開口部２０が設けられ、当該開口部２０に編み目状の編み目部２５が設けられている。このため、チップ部品９０に混じっているチップ部品９０のかけら、くず等のごみだけを、開口部２０及び編み目部２５を介して、底プレート１０から除去することができる。なお、底プレート１０から除去されたごみは筐体５５に貯まることになる。

なお、本実施の形態のチップ整列用治具１００を用いてチップ部品９０を整列穴１５内で整列させる際には、チップ整列用治具１００を長手方向で揺動させる。すなわち、図１（ａ）（ｂ）において、チップ整列用治具１００の左右の端部を上下させることで、チップ整列用治具１００を揺動させる。この点、本実施の形態では、図１（ａ）に示すように、開口部２０が底プレート１０の長手方向の両端部に設けられ、各開口部２０に開口部２０を覆う編み目状の編み目部２５が設けられていることから、長手方向でチップ整列用治具１００を揺動させる際に、チップ部品９０のかけら、くず等のごみだけを、より効率よく、開口部２０及び編み目部２５を介して底プレート１０の表面から除去することができる。

また、図１（ｂ）に示すように、本実施の形態では、底プレート１０の裏面側の筐体５５に吸引部６０が連結されている。そして、この吸引部６０を作動させることで、筐体５５及び開口部２０を介して、底プレート１０の表面側（図１（ｂ）の上方側）の外気を吸引することができる。このため、チップ部品９０のかけら、くず等のごみを、効率よく、開口部２０及び編み目部２５を介して底プレート１０の表面から除去することができる。

上述したように、本実施の形態のチップ整列用治具１００を用いてチップ部品９０を整列穴１５内で整列させる際には、チップ整列用治具１００を長手方向で揺動させることから、長手方向側に位置するサイドプレート５０ａにチップ部品９０が貯まりこむ傾向が強くなる。この点、本実施の形態のように、底プレート１０の長手方向側に位置するサイドプレート５０ａのＲａを、底プレート１０の短手方向側に位置するサイドプレート５０ｂのＲａよりも大きくすることで、サイドプレート５０ａ，５０ｂにチップ部品９０が貼り付くことを、効率よく防止することができる。

すなわち、本実施の形態では、チップ部品９０が貯まりこむ傾向が強く、チップ部品９０の貼り付く可能性の高い長手方向側のサイドプレート５０ａのＲａを、チップ部品９０が貯まりこむ傾向が弱く、チップ備品９０の貼り付く可能性の低い短手方向側のサイドプレート５０ｂのＲａよりも大きくしている。このように、本実施の形態では、チップ部品９０の貼り付く可能性の高い長手方向側のサイドプレート５０ａのＲａだけを大きくすることで、サイドプレート５０ａ，５０ｂにチップ部品９０が貼り付くことを、効率よく防止することができる。

また、図１（ｂ）に示すように、本実施の形態では、長手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ａの高さが、短手方向の両端部に設けられたサイドプレート５０ｂ（一方端部側のサイドプレート５０ｂ_１以外の箇所）の高さよりも高くなっている。このため、チップ部品９０を整列穴１５内で整列させるためにチップ整列用治具１００を長手方向で揺動させる際に、チップ部品９０がチップ整列用治具１００のサイドプレート５０ａ，５０ｂから飛び出てしまうことを効率よく防止することができる。

すなわち、チップ部品９０が貯まりこむ傾向にある長手方向側のサイドプレート５０ａの高さだけを高くすることで、チップ部品９０がチップ整列用治具１００のサイドプレート５０ａ，５０ｂから飛び出てしまうことを、効率よく防止することができる。

また、本実施の形態では、櫛形形状の凹部１９が整列穴１５に対して一方端部側（図１（ａ）の右側）に設けられている。このため、チップ整列用治具１００を長手方向で揺動させることで、チップ部品９０を一方端部側から他方端部側に移動させる際に、櫛形形状の凹部１９でチップ部品９０を底プレート１０の面方向で散らすことができる。この結果、チップ部品９０を各整列穴１５に効率よく誘導することができ、ひいては、チップ整列用治具１００によってチップ部品９０を整列させる際の効率を高めることができる。

また、本実施の形態では、チップ整列用治具１００にチップ部品９０を投入する側に位置する一方端部側（図１（ｂ）の右側）において、短手方向の両端部におけるサイドプレート５０ｂ_１の高さが、当該サイドプレート５０ｂ_１以外の他の短手方向の両端部におけるサイドプレート５０ｂの高さと比較して高くなっている。より具体的には、当該サイドプレート５０ｂ_１の高さが長手方向側のサイドプレート５０ａの高さと同じ高さになっている。このため、チップ整列用治具１００にチップ部品９０を投入する際に、チップ部品９０がチップ整列用治具１００から飛び出してしまうことを防止することができる。

第２の実施の形態
次に、主に図６（ａ）（ｂ）を用いて、本発明の第２の実施の形態について説明する。

第１の実施の形態では、櫛形形状の凹部１９が整列穴１５に対して一方端部側に設けられている態様であったが、第２の実施の形態では、櫛形形状の凹部１９ａ，１９ｂが複数（図６（ａ）（ｂ）の態様では２つ）設けられている。そして、櫛形形状の凹部１９ａ，１９ｂの一つである櫛形形状の凹部１９ａが整列穴１５に対して一方端部側（図６（ａ）の右側）に設けられ、櫛形形状の凹部１９ａ，１９ｂの別の一つである櫛形形状の凹部１９ｂが整列穴１５に対して一方端部側と反対側に位置する他方端部側（図６（ａ）の左側）に設けられている。

第２の実施の形態において、その他の構成は、第１の実施の形態と略同一の態様となっている。第２の実施の形態において、第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。第１の実施の形態で詳細に説明したことから、本実施の形態における効果の説明は、本実施の形態に特有な部分に留める。

本実施の形態では、２箇所に櫛形形状の凹部１９ａ，１９ｂが設けられている。より具体的には、櫛形形状の凹部１９ａ，１９ｂの一つである櫛形形状の凹部１９ａが整列穴１５に対して一方端部側（図６（ａ）の右側）に設けられ、櫛形形状の凹部１９ａ，１９ｂの別の一つである櫛形形状の凹部１９ｂが整列穴１５に対して一方端部側と反対側に位置する他方端部側（図６（ａ）の左側）に設けられている。このため、チップ整列用治具１００を長手方向で揺動させることで、チップ部品９０を一方端部側から他方端部側に移動させる際及び他方端部側から一方端部側に移動させる際の両方において、櫛形形状の凹部１９ａ，１９ｂでチップ部品９０を底プレート１０の面方向で散らすことができる。この結果、第１の実施の形態に記載した態様と比較して、チップ部品９０を各整列穴１５により効率よく誘導することができる。したがって、チップ整列用治具１００によってチップ部品９０を整列させる際の効率をより高めることができる。

最後になったが、上述した各実施の形態の記載及び図面の開示は、特許請求の範囲に記載された発明を説明するための一例に過ぎず、上述した実施の形態の記載又は図面の開示によって特許請求の範囲に記載された発明が限定されることはない。

１０ 底プレート
１５ 整列穴
２０ 開口部
２５ 編み目部
５０ａ 長手方向側のサイドプレート
５０ｂ 短手方向側のサイドプレート
５０ｂ_１ 一方端部側における短手方向側のサイドプレート
６０ 吸引部
９０ チップ部品
１００ チップ整列用治具

Claims (7)

1. チップ部品を整列させるためのチップ整列用治具であって、
   表面に前記チップ部品を整列するための整列穴が形成された底プレートと、
   前記底プレートから上下方向に延びた複数のサイドプレートと、
   を備え、
   前記サイドプレートの内方側表面に粗加工が施され、
   前記底プレートの端部に開口部が設けられ、
   前記開口部には、当該開口部を覆う編み目状の編み目部が設けられることを特徴とするチップ整列用治具。
2. 前記底プレートは長方形状であり、
   前記開口部は、前記底プレートの長手方向の両端部に設けられることを特徴とする請求項１に記載のチップ整列用治具。
3. 前記開口部を介して吸引する吸引部をさらに備えたことを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載のチップ整列用治具。
4. 前記底プレートは長方形状であり、
   各サイドプレートの内方側表面に粗加工が施され
   前記底プレートの長手方向側に位置するサイドプレートのＲａは、前記底プレートの短手方向側に位置するサイドプレートのＲａよりも大きくなっていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のチップ整列用治具。
5. 前記底プレートは長方形状であり、
   長手方向の両端部に設けられたサイドプレートの高さは、短手方向の両端部に設けられたサイドプレートの高さの少なくとも一部よりも高くなっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のチップ整列用治具。
6. 前記底プレートの表面に櫛形形状の凹部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のチップ整列用治具。
7. 前記櫛形形状の凹部は複数設けられ、
   前記櫛形形状の凹部の一つは前記整列穴に対して一方端部側に設けられ、
   前記櫛形形状の凹部の別の一つは前記整列穴に対して前記一方端部側と反対側に位置する他方端部側に設けられることを特徴とする請求項６に記載のチップ整列用治具。

Images