JP6066786B2 - 液体吐出ヘッド、記録装置、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド用基板、および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施例では、図4に示す原子層堆積層法の成膜装置5を用いて発熱抵抗層32を製造する。
成膜装置5において、TaCl5(5塩化タンタル)ガスが、バルブ511からガス導入口501に導入される。TaCl5ガスの流量は、マスフロー512にて100〜2000sccm(Standard Cubic Centimeter per Minutes)に調整される。TaCl5ガスの導入時間は、0.5秒〜8.0秒の範囲内に設定されている。ガス導入口501に導入されたTaCl5ガスは、石英チューブ507を通過する。石英チューブ507の通過の際、高周波電源508が高周波印加コイル502に通電する。これによりTaCl5ガスが活性化する。活性化したTaCl5ガスは、シャワープレート503に形成されている複数の穴506から放出される。すると、TaCl5が基板504上に堆積する。基板504は、基体30の表面に蓄熱層31が形成された部材である。本実施例では、蓄熱層31は、プラズマCVDで製膜された酸化シリコン(SiO)を含んでいる。基板504は、ステージ505上に搭載されている。ステージ505は、200℃〜400℃に加熱されている。図4に示すようにシャワープレート503およびステージ505は、チャンバー510内に配置されている。
金属層321aの成膜後、SiH4ガスがバルブ511からガス導入口501に導入される。SiH4ガスの流量は、マスフロー512にて80〜500sccmに調整される。SiH4ガスの導入時間は、2秒〜30秒の範囲内に設定されている。ガス導入口501に導入されたSiH4ガスは、石英チューブ507を通過する。石英チューブ507の通過の際、高周波電源508が高周波印加コイル502に通電する。これによりSiH4ガスが活性化する。活性化したSiH4ガスは、穴506から放出される。すると、Si(シリコン)が、基板504に成膜された金属層321aの表面に堆積する。このとき、基板504を搭載したステージ5は、200℃〜400℃に加熱されている。その後、チャンバー510内に残ったSiH4ガスは排気口509から真空排気される。その結果、シリコンで構成されたSi層321bが金属層321aの表面に成膜される。本実施例では、Si層321bの厚さは2×10−10mである。
Si層321bの成膜後、窒素と水素の混合ガスがバルブ511からガス導入口501に導入される。混合ガスの流量はマスフロー512にて150〜3000sccmに調整される。混合ガスの導入時間は、10秒〜30秒に設定されている。ガス導入口501に導入された混合ガスは、石英チューブ507を通過する。石英チューブ507の通過の際、高周波電源508が高周波印加コイル502に通電する。これにより、混合ガスが活性化する。活性化した混合ガスは、穴506から放出される。すると、窒素が、基板504に形成されたSi層321bの表面に堆積する。このとき、基板504を搭載したステージ505は、200℃〜400℃に加熱されている。その後、チャンバー510内に残った混合ガスは排気口509から真空排気される。その結果、窒素で構成されたN層321cがSi層321bの表面に成膜される。本実施例では、N層321cの厚さは1.4×10−10mである。
本実施例では、実施例1と同様に成膜装置5を用いて発熱抵抗層32を製造する。なお、実施例1と同様の内容については説明を省略する。
成膜装置5において、WF6ガスが、バルブ511からガス導入口501に導入される。WF6ガスの流量は、マスフロー512にて100〜1500sccmに調整される。WF6ガスの導入時間は、1秒〜5秒の範囲内に設定されている。ガス導入口501に導入されたWF6ガスは、石英チューブ507を通過する。石英チューブ507の通過の際、高周波電源508が高周波印加コイル502に通電する。これによりWF6ガスが活性化する。活性化したWF6ガスは、穴506から放出される。すると、WF6が基板504上に堆積する。基板504は、ステージ505に搭載されている。ステージ505は、200℃〜400℃に加熱されている。
実施例1の(2)と同じ成膜工程によって、シリコンで構成されたSi層321bが金属層321aの表面に成膜される。
実施例1の(3)と同じ成膜工程によって、窒素で構成されたN層321cがSi層321bの表面に成膜される。
本比較例では、実施例1の成膜工程に関し、(2)、(1)、(3)の順で発熱抵抗層を製造した。すなわち、比較例1の発熱抵抗層は、Si層321b、タンタルで構成された金属層321a、N層321cの順に積層された積層体となっている。上述した順番の成膜工程を32サイクル繰り返すことで比較例1の発熱抵抗層が完成する。本比較例では、発熱抵抗層の厚さは、約200×10−10mである。発熱抵抗層の比抵抗は、360μΩ・cmである。
本比較例では、実施例1の成膜工程に関し、(3)、(1)、(2)の順で発熱抵抗層を製造した。すなわち、比較例2の発熱抵抗層は、N層321c、タンタルで構成された金属層321a、Si層321bの順に積層された積層体となっている。上述した順番の成膜工程を32サイクル繰り返すことで比較例2の発熱抵抗層が完成する。本比較例では、発熱抵抗層の厚さは約200×10−10mである。
本比較例では、実施例2の成膜工程に関し、(2)、(1)、(3)の順で発熱抵抗層を製造した。すなわち、比較例の発熱抵抗層は、Si層321b、タングステンで構成された金属層321a、N層321cの順に積層された積層体となっている。上述した順番の成膜工程を32サイクル繰り返すことで比較例3の発熱抵抗層が完成する。本比較例では、発熱抵抗層の厚さは約200×10−10mである。発熱抵抗層の比抵抗は、360μΩ・cmである。
本比較例では、実施例2の成膜工程に関し、(3)、(1)、(2)の順で発熱抵抗層を製造した。すなわち、比較例4の発熱抵抗層は、N層321c、タングステンで構成された金属層321a、Si層321bの順に積層された積層体となっている。上述した順番の成膜工程を32サイクル繰り返すことで比較例4の発熱抵抗層が完成する。本比較例では、発熱抵抗層の厚さは約200×10−10mである。
本比較例では、2元スパッタリング法を用いてTa33.3Si33.3N33.4で構成された発熱抵抗層を製造した。具体的な成膜条件は、基板温度が150℃、N/Ar+Nのガス流量比が10%、Siターゲットへの印加電力が700W、Taターゲットへの印加電力が480Wである。本比較例では、発熱抵抗層の比抵抗は410μΩ・cmである。
本比較例では、2元スパッタリング法を用いてTa35Si19.4N45.6で構成された発熱抵抗層を製造した。具体的な成膜条件は、基板温度が150℃、N/Ar+Nのガス流量比が18%、Siターゲットへの印加電力が650W、Taターゲットへの印加電力が480Wである。本比較例では、発熱抵抗層の比抵抗は410μΩ・cmである。
本比較例では、2元スパッタリング法を用いてW33.3Si33.3N33.4で構成された発熱抵抗層を製造した。具体的な成膜条件は、基板温度が150℃、N/Ar+Nのガス流量比が15%、Siターゲットへの印加電力が700W、タングステン(W)ターゲットへの印加電力が410Wである。本比較例では、発熱抵抗層の比抵抗は650μΩ・cmである。
各実施例の発熱抵抗層の膜質と、各比較例の発熱抵抗層の膜質について、TEM(Transmission Electron Microscope)を用いて評価した。評価結果は図5に示されている。図5において、原子(TaまたはW、Si、N)が一層ずつ層状に成膜されている発熱抵抗層を「○」と評価している。一部が層状に成膜されている発熱抵抗層を「△」と評価している。層状になっていない発熱抵抗層を「×」と評価している。
各実施例の発熱抵抗層の構造と、各比較例の発熱抵抗層の構造について、XRD(X-Ray Diffraction)によって構造を評価した。評価結果は図5に示されている。図5を参照すると、蓄熱層31(シリコン化合物)に接する原子が金属(タンタルまたはタングステン)または窒素の場合に発熱抵抗層はアモルファス構造となっている。一方、蓄熱層31(シリコン化合物)に接する原子がシリコンの場合には発熱抵抗層は結晶構造となっている。
各実施例および各比較例の発熱抵抗層を有する液体吐出ヘッドを上述した構成で作成し、熱ストレス評価(Constant Stress Test)を行った。この熱ストレス評価では、各エネルギー発生素子に電圧パルスが所定の周波数で印加される。電圧パルスのピーク値は、インクを吐出するためのしきい値電圧(Vth)の1.3倍の値である。電圧パルス幅は、0.8μsである。このような電圧パルスをエネルギー発生素子が断線するまで印加し続ける。評価結果は表5に示されている。図5において、エネルギー発生素子が断線したときのパルス数(以下、断線パルス数と称する。)が2×1010を超えている場合に「○」と評価している。断線パルス数が5×109を超えている場合に「△」と評価している。断線パルス数が1×109以下の場合に「×」と評価している。図5を参照すると、熱ストレス耐性に関し、原子が層状に成膜されている場合の方が、一部が層状に成膜されているか層状になっていない場合よりも優れており、またアモルファス構造の方が結晶構造よりも優れている。
4 流路形成部材
21 液体吐出ヘッド
31 蓄熱層
32 発熱抵抗層
32a エネルギー発生素子
41 吐出口
42 流路
321 積層体
321a 金属層
321b Si層
321c N層
Claims (11)
- 液体を吐出する吐出口が形成された部材と、
前記部材が接合された基板と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記基板は、シリコン化合物を含む蓄熱層と、前記吐出口に対応する位置に設けられ、通電により発熱することによって前記液体を前記吐出口から吐出させるエネルギー発生素子と、を有し、
前記エネルギー発生素子が、タンタルまたはタングステンで構成された金属層と、該金属層に積層され、シリコンで構成されたSi層と、該Si層に積層され、窒素で構成されたN層と、を有する積層体を有し、前記金属層が前記蓄熱層に接している、液体吐出ヘッド。 - 前記エネルギー発生素子が互いに積層された複数の前記積層体を有する、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドを備えた記録装置。
- 液体を吐出する吐出口が形成された部材と、前記部材が接合され、シリコン化合物を含む蓄熱層が形成された基板と、を有する液体吐出ヘッドを製造する方法であって、
前記蓄熱層の表面にタンタルまたはタングステンで構成された金属層を積層する工程と、
前記金属層の表面にシリコンで構成されたSi層を積層する工程と、
前記Si層の表面に窒素で構成されたN層を積層する工程と、を含む液体吐出ヘッドの製造方法。 - 原子層堆積法によって、前記金属層、前記Si層、および前記N層を積層する、請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記金属層を積層する工程、前記Si層を積層する工程、および前記N層を積層する工程の後に、前記N層の表面に前記金属層を積層する工程、前記Si層を積層する工程、および前記N層を積層する工程をこの順に複数回行う、請求項4または請求項5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- シリコン化合物を含む蓄熱層が形成された基体と、
前記蓄熱層の側に設けられ、通電により液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、
を有する液体吐出ヘッド用基板において、
前記エネルギー発生素子が、タンタルまたはタングステンで構成された金属層と、該金属層に積層され、シリコンで構成されたSi層と、該Si層に積層され、窒素で構成されたN層と、を有する積層体を有し、前記金属層が前記蓄熱層に接している、液体吐出ヘッド用基板。 - 前記エネルギー発生素子が、互いに積層された複数の前記積層体を有する、請求項7に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- シリコン化合物を含む蓄熱層が形成された基体の前記蓄熱層の表面にタンタルまたはタングステンで構成された金属層を積層する工程と、
前記金属層の表面にシリコンで構成されたSi層を積層する工程と、
前記Si層の表面に窒素で構成されたN層を積層する工程と、を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 原子層堆積法によって、前記金属層、前記Si層、および前記N層を積層する、請求項9に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記金属層を積層する工程、前記Si層を積層する工程、および前記N層を積層する工程の後に、前記N層の表面に前記金属層を積層する工程、前記Si層を積層する工程、および前記N層を積層する工程をこの順に複数回行う、請求項9または請求項10に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
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