JP6063635B2 - レーザ加工装置、レーザ加工システム、レーザ加工方法 - Google Patents
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Description
また、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置は、被加工物に対して液体流を噴出し、前記液体流を導光材として被加工物にレーザを照射して被加工物を加工するレーザ加工装置であって、施工ヘッドと、前記施工ヘッドに設けられ、前記液体流を前記被加工物に噴出する液体ノズルと、前記被加工物上の前記レーザの照射点で発生する光を検出する光センサ、または前記照射点で発生する音を検出する音響センサの少なくとも何れか、を備え、前記施工ヘッドは、前記被加工物上で第1の径となる前記液体流、および前記被加工物上で第2の径となる前記液体流を噴出可能であり、前記第2の径は前記第1の径よりも小さいものである。
さらに、本発明の実施形態に係るレーザ加工方法は、被加工物に対して液体流を噴出し、前記液体流を導光材として被加工物にレーザを照射して被加工物を加工するレーザ加工方法であって、前記被加工物上の前記レーザの照射点で発生する光または音を検出するステップと、前記被加工物に、前記被加工物上で第1の径となる前記液体流を噴出して前記被加工物を加工するステップと、その後に、前記被加工物に前記被加工物上で前記第1の径よりも小さい第2の径となる前記液体流を噴出して前記被加工物を加工するステップと、を備えるものである。
(第1の実施形態)
図1等を用いて、本実施形態によるレーザ加工装置の構成を説明する。レーザ加工装置1は、被加工物の加工点に対して水流を噴射するとともに、この水流を経由してレーザを加工対象2に照射することで切断加工を行う。図1は、このレーザ加工装置1の概要を示す図、図2(a)はレーザ加工装置1の施工ヘッド12近傍を拡大した部分拡大縦断面図、図2(b)は、施工ヘッド12の部分分解斜視図、(c)は施工ヘッド12を下方から見た平面図、図3は加工対象2の加工点近傍の部分拡大図である。
次に、レーザ加工装置1の作用について説明する。
従来の技術では、切断が進むと水流の側面と加工対象の切断部側面とが接触し、そこでレーザ光が吸収されてしまい、レーザ光が水流の先端に到達するまで加工可能なエネルギを保てなかったと考えられる。
(第2の実施形態)
(第3の実施形態)
(第4の実施形態)
(第5の実施形態)
2 加工対象(被加工物)
2a 側面
11 レーザ発振器
12 施工ヘッド
13 光学伝送手段
13a 集光光学系
14 水供給手段
15 ガス供給手段
21 水室
22 水導入孔
23 ウィンドウ
24 水ノズル
24a 中央開孔部
24b 水ノズルフィン
24c 部分シャッター
25 ガスノズル
25a ガス噴出孔
25b ガスノズルフィン
26 ガス供給路
31 切断廃棄物
41 溝
42 らせん状流路
43 水貯留部
51 光学センサ
52 音響センサ
53 判定部
Claims (11)
- 被加工物に対して円筒形状の液体流を噴出し、前記液体流を導光材として被加工物にレーザを照射して被加工物を加工するレーザ加工装置であって、
施工ヘッドと、
前記施工ヘッドに設けられ、前記液体流を前記被加工物に噴出する液体ノズルと、
前記液体ノズルが前記液体流の径を変更する液体流径可変手段と、を備え、
前記施工ヘッドは、前記被加工物上で第1の径となる前記液体流、および前記被加工物上で第2の径となる前記液体流を噴出可能であり、
前記第2の径は前記第1の径よりも小さいレーザ加工装置。 - 前記液体流を旋回流とする旋回流形成手段を備える請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記液体流の周囲に気体流を噴出する気流形成手段を備える請求項1記載のレーザ加工装置。
- 被加工物に対して液体流を噴出し、前記液体流を導光材として被加工物にレーザを照射して被加工物を加工するレーザ加工装置であって、
施工ヘッドと、
前記施工ヘッドに設けられ、前記液体流を前記被加工物に噴出する液体ノズルと、
前記被加工物上の前記レーザの照射点で発生する光を検出する光センサ、または前記照射点で発生する音を検出する音響センサの少なくとも何れか、を備え、
前記施工ヘッドは、前記被加工物上で第1の径となる前記液体流、および前記被加工物上で第2の径となる前記液体流を噴出可能であり、
前記第2の径は前記第1の径よりも小さいレーザ加工装置。 - 前記旋回流形成手段は、前記液体ノズルの周縁内側に設けられた液体ノズルフィンであることを特徴とする請求項2記載のレーザ加工装置。
- 前記液体ノズルフィンの角度が可変であることを特徴とする請求項5記載のレーザ加工装置。
- 前記気流形成手段は、前記液体ノズルの周縁外側に設けられたガス噴出孔、前記気体流を旋回流とするガスノズルフィンを有するガスノズルである請求項3記載のレーザ加工装置。
- 前記ガスノズルフィンの角度が可変である請求項7記載のレーザ加工装置。
- レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を伝送する光学伝送手段と、
前記レーザ光を集光する集光光学系と、
内部に液体貯留手段を有し、この液体貯留手段内部の液体を被加工物に液体流として噴出する液体ノズルを有する施工ヘッドと、
前記液体ノズルの周縁内側に設けられ、前記液体流を旋回流とする水ノズルフィンと、
前記液体ノズルの周縁外側に設けられ、ガスを噴出して前記液体流の周囲に気流を形成するガスノズルと、
前記施工ヘッドに前記液体を供給する液体供給手段と、
前記施工ヘッドに前記ガスを供給するガス供給手段と、
前記液体流の径を変更する液体流径変更手段と、
前記被加工物上の加工点で発生する光または音を検出し、当該検出結果に基づいて加工の成否を判定する加工成否監視手段と、
前記加工成否監視手段の判定結果に基づいて前記液体流径変更手段を制御する制御と、
を備え、
集光された前記レーザ光を、前記液体流内部を伝播させることで前記被加工物表面へ伝送し、前記被加工物を切削するレーザ加工システム。 - 被加工物に対して円筒形状の液体流を噴出し、前記液体流を導光材として被加工物にレーザを照射して被加工物を加工するレーザ加工方法であって、
前記液体流を前記被加工物に噴出する液体ノズルは前記液体流の径を変更する液体流径可変手段を備え、
前記被加工物に、前記被加工物上で第1の径となる前記液体流を噴出して前記被加工物を加工するステップと、
その後に、前記被加工物に前記被加工物上で前記第1の径よりも小さい第2の径となる前記液体流を噴出して前記被加工物を加工するステップと、を備えるレーザ加工方法。 - 被加工物に対して液体流を噴出し、前記液体流を導光材として被加工物にレーザを照射して被加工物を加工するレーザ加工方法であって、
前記被加工物上の前記レーザの照射点で発生する光または音を検出するステップと、
前記被加工物に、前記被加工物上で第1の径となる前記液体流を噴出して前記被加工物を加工するステップと、
その後に、前記被加工物に前記被加工物上で前記第1の径よりも小さい第2の径となる前記液体流を噴出して前記被加工物を加工するステップと、を備えるレーザ加工方法。
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