JP6004711B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
光源 :LD励起Qスイッチ Nd:YVO4レーザー
波長 :532nm
平均出力 :100W
繰り返し周波数 :40kHz
ノズル直径 :φ50μm
液圧 :30MPa(液柱形成用の水圧)
加工送り速度 :100mm/s
11 被加工物
12 レーザービーム発生ユニット
14 加工ヘッド
15 制御ユニット
25 レーザービーム
30 液体噴射ユニット
48 噴射ノズル
50 液柱
62 パイプ
64 気体流入路
66 気体流入口
67 気体流入口
81 流量センサ
82 流量センサ
83 音響センサ
84 圧力センサ
Claims (3)
- レーザー加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
レーザー発振器と加工ヘッドとから少なくともなり、該保持手段で保持された被加工物にレーザービームを照射するレーザービーム照射手段と、を備え、
該加工ヘッドは、該レーザー発振器から発振されたレーザービームを集光する集光レンズと、
被加工物に液体を噴射して該集光レンズで集光された該レーザービームが導光される液柱を形成する液体噴射手段と、
該液体噴射手段で形成された該液柱が通過するパイプと、
該液柱を囲繞して該液柱を整流化する気体を該パイプ内に流入させる気体流入路と、
該気体流入路を流動する気体の異常を該液柱の異常として検出する液柱異常検出手段と、
を備えたレーザー加工装置。 - 前記液柱異常検出手段で前記液柱の乱れを検出したときに前記レーザービーム照射手段からのレーザービームの出射を停止する制御手段を更に備える、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工装置。 - 前記気体流入路に気体を流入させる気体流入口を更に備え、
前記液柱異常検出手段は、該気体流入口に流入する気体の流量を検出する流量センサ、該気体流入口を流れる気体の音波を検出する音響センサ、該気体流入口を流れる気体の圧力を検出する圧力センサ、のいずれかを有し、
前記液柱が正常な状態の値を基準値として、該基準値と実測値とを比較することで該液柱の異常を検出することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザー加工装置。
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JP2012088102A JP6004711B2 (ja) | 2012-04-09 | 2012-04-09 | レーザー加工装置 |
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