JP6055048B2 - トリシリルアミンの製造方法 - Google Patents
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- VOSJXMPCFODQAR-UHFFFAOYSA-N ac1l3fa4 Chemical compound [SiH3]N([SiH3])[SiH3] VOSJXMPCFODQAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 151
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 23
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 71
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 56
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 36
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 claims description 35
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 24
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 20
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 16
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 15
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 11
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 5
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 70
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 25
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 20
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 17
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000047 product Substances 0.000 description 8
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 5
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 5
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 5
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003570 air Substances 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000000998 batch distillation Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000005243 fluidization Methods 0.000 description 1
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 239000012713 reactive precursor Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
- C01B21/087—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more hydrogen atoms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
- B01J8/0015—Feeding of the particles in the reactor; Evacuation of the particles out of the reactor
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- B01J8/02—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds
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- B01J8/08—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with moving particles
- B01J8/10—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with moving particles moved by stirrers or by rotary drums or rotary receptacles or endless belts
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- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
- B01J8/18—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles
- B01J8/24—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01C—AMMONIA; CYANOGEN; COMPOUNDS THEREOF
- C01C1/00—Ammonia; Compounds thereof
- C01C1/16—Halides of ammonium
- C01C1/164—Ammonium chloride
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2208/00—Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
- B01J2208/00743—Feeding or discharging of solids
- B01J2208/00761—Discharging
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2208/00—Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
- B01J2208/00796—Details of the reactor or of the particulate material
- B01J2208/00823—Mixing elements
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
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Description
本特許出願は、2013年6月28日に出願した米国仮特許出願番号第61/840,940号の35U.S.C.§119基づく優先権を主張する。
3SiH3Cl +4NH3 → (SiH3)3N +3NH4Cl (I)
上記の文献は過剰のアンモニア中でDSA[(SiH3)2NH]の主要な生成を報告した。DSAは、また、式(2)により示されるとおりにSiH4及びポリマーケイ素化合物又はポリシラザンへと分解される。
(SiH3)2NH → SiH4 + [SiH2(NH)]x (II)
2SiH3Cl ←→ SiH4 + SiH2Cl2 式(3)
上記の反応において、シランが正味の収量損失となる一方で、生成物DCS(SiH2Cl2)もアンモニアと反応し、ポリシラザンをもたらす。式(3)の反応は120℃を超える温度で加速される。
9リットル反応器において、115グラム(g)の粗製TSA及び若干過剰のMCSが存在した。反応器の圧力は13.7psiaであった。反応器の温度は30℃であった。この温度及び圧力条件で、87%のTSAは反応器内で液体として存在する。44gのMCSを反応器に添加し、最終圧力は26.5psiaに達した。約21gのMCSがTSA中に溶解していると評価される。本例は、MCSが液相TSA中に可溶性であることを示している。 MCSの溶解度は液体TSA中で反応器内で約20質量%である。
気相中、又は、液体TSAが存在しそして溶媒として作用する凝縮相又は液相中のいずれかでTSAを生成するプロセス動態を決定するために特定の試験を実施した。結果を表1に示す。実験は気相と液相TSAの両方で行った。反応の最終温度は<100℃に制限したが、反応は等温ではなかった。反応をバッチ様式で行い、NH3に対して若干化学量論過剰(例えば、1〜5%)のMCSを使用し、そして反応器に添加した。反応を段階的に行い、ある量の反応体を周期的に添加し、TSA及びDSA生成などの反応組成に対する影響を調べた。全反応の間に、塩化アンモニウムは生成し、そして反応器内に残った。反応器中で塩化アンモニウムとTSAとの間の反応性は認められなかった。
いくつかの実験をTSA合成の間に生成されるポリシラザンの量を決定するために行った。反応を、液相TSA中で、3〜5%化学量論過剰のMCS/NH3で、100℃以下の温度で行った。粗製TSAを蒸留に移送し、ポリシラザンを図1に示すような液体窒素トラップに回収した。結果を表2に示す。結果は4〜9%のTSA及びポリシラザンは塩化アンモニウム上にトラップされていることを示し、それらは注意深く除去されねばならず、その後に、塩化アンモニウムを反応器から安全に移すことができる。
60リットル反応器中で、本明細書に記載の方法により液相合成でTSAを調製した。図1に示す方法において例示されるとおり、反応ならびにTSA及びポリシラザンの移送の後に、5.8kgの塩化アンモニウム固形分は60リットル反応器中に存在した。輸送流体として接線方向に注入された窒素及び周囲空気を取り込んだ真空コンベアを用いて、固形分塩化アンモニウムを効率的に除去した。
[1]
トリシリルアミン及びモノクロロシランの反応混合物を反応器中に提供すること、ここで、該反応混合物は液相中にトリシリルアミンを提供するのに十分な温度及び圧力であり、ここで、該反応混合物は追加された溶媒を含まない、
該反応混合物をアンモニアと接触させ、トリシリルアミンを含む粗製混合物及び塩化アンモニウム固形分を提供すること、ここで、モノクロロシランはアンモニアに対して化学量論過剰である、及び
該粗製混合物を精製して、純度レベルが90%以上となるトリシリルアミンを提供すること、
を含む、トリシリルアミンの製造方法。
[2]
前記反応器はバッチ反応器又は連続攪拌型タンク反応器から選ばれる、項目1に記載の方法。
[3]
前記反応器はバッチ反応器を含む、項目1に記載の方法。
[4]
接触工程の前に、バッチ反応器において、反応混合物にモノクロロシランを添加する、項目3に記載の方法。
[5]
バッチ反応器中のトリシリルアミン(TSA)の濃度は1.5〜100グラム/リットルの範囲にある、項目3に記載の方法。
[6]
バッチ反応器中のトリシリルアミン(TSA)の濃度は1.7g/l以上である、項目5に記載の方法。
[7]
前記反応器は連続攪拌型タンク反応器を含む、項目1に記載の方法。
[8]
トリシリルアミンを提供工程において溶媒として添加する、項目7に記載の方法。
[9]
前記方法は反応器から塩化アンモニウム固形分を除去することをさらに含む、項目1に記載の方法。
[10]
除去工程は現場真空除去を含む、項目9に記載の方法。
[11]
不活性ガスを用いて、反応器中の塩化アンモニウム固形分を流動化させる、項目9に記載の方法。
[12]
流動化された前記固形分を回収及び廃棄のために前記不活性ガスによりベンチュリ真空装置に輸送する、項目11に記載の方法。
[13]
前記温度は20〜120℃の範囲にある、項目1に記載の方法。
[14]
前記圧力は0.689〜793kPa(絶対圧力)(0.1〜115psia)の範囲にある、項目1に記載の方法。
[15]
前記粗製混合物を反応器から蒸発によりコレクタに取り出す、項目1に記載の方法。
[16]
前記粗製混合物を反応器から蒸発により蒸留カラムに取り出す、項目1に記載の方法。
[17]
精製工程の間にトリシリルアミンを99%以上の純度レベルに精製する、項目1に記載の方法。
[18]
ポリシラザンを蒸発及び回収により反応器から除去する、項目1に記載の方法。
[19]
前記反応混合物はアンモニアに対して30質量%以下の化学量論過剰であるモノクロロシランを含む、項目1に記載の方法。
[20]
前記反応混合物はアンモニアに対して3質量%〜5質量%の化学量論過剰であるモノクロロシランを含む、項目1に記載の方法。
Claims (17)
- モノクロロシラン及びアンモニアが連通している反応器であって、前記アンモニアが前記反応器に添加されるより前に、前記反応器が液相のトリシリルアミン及び前記モノクロロシランを含み、前記モノクロロシラン及びアンモニアが反応して、トリシリルアミン及び塩化アンモニウム固形分を含む粗製混合物を提供し、追加された溶媒を含まない反応器、
前記塩化アンモニウム固形分を前記反応器から除去するための真空コンベア、並びに
蒸留カラムであって、前記粗製混合物を前記反応器から前記蒸留カラムに移送し、該蒸留カラムで前記粗製混合物を精製して、純度レベルが90%以上となるトリシリルアミンを提供する蒸留カラム
を含む、トリシリルアミンの製造装置。 - 前記反応器はバッチ反応器又は連続攪拌型タンク反応器から選ばれる、請求項1に記載の装置。
- 前記反応器はバッチ反応器を含む、請求項2に記載の装置。
- 前記バッチ反応器中のトリシリルアミンの濃度は1.5〜100g/lの範囲にある、請求項3に記載の装置。
- 前記バッチ反応器中のトリシリルアミンの濃度は1.7g/l以上である、請求項4に記載の装置。
- 前記反応器は連続攪拌型タンク反応器を含む、請求項2に記載の装置。
- トリシリルアミンを前記反応器において溶媒として添加する、請求項6に記載の装置。
- 前記真空コンベアは現場真空除去を含む、請求項1に記載の装置。
- 不活性ガスを用いて、反応器中の塩化アンモニウム固形分を流動化させ、流動化された固形分を提供する、請求項8に記載の装置。
- 流動化された前記固形分を回収及び廃棄のために前記不活性ガスによりベンチュリ真空装置に輸送する、請求項9に記載の装置。
- 前記反応器の温度は20〜120℃の範囲にある、請求項1に記載の装置。
- 前記反応器の圧力は0.689〜793kPa(絶対圧力)(0.1〜115psia)の範囲にある、請求項1に記載の装置。
- 前記反応器と連通し、前記粗製混合物を前記反応器から回収するためのコレクタをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記蒸留カラムにおいてトリシリルアミンを99%以上の純度レベルに精製する、請求項1に記載の装置。
- ポリシラザンを蒸発及び回収により反応器から除去する、請求項1に記載の装置。
- モノクロロシランはアンモニアに対して30質量%以下の化学量論過剰である、請求項1に記載の装置。
- モノクロロシランはアンモニアに対して3質量%〜5質量%の化学量論過剰である、請求項1に記載の装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361840940P | 2013-06-28 | 2013-06-28 | |
US61/840,940 | 2013-06-28 | ||
US14/284,983 US9284198B2 (en) | 2013-06-28 | 2014-05-22 | Process for making trisilylamine |
US14/284,983 | 2014-05-22 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014132832A Division JP5795668B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-06-27 | トリシリルアミンの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016000692A JP2016000692A (ja) | 2016-01-07 |
JP6055048B2 true JP6055048B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=50976531
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014132832A Active JP5795668B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-06-27 | トリシリルアミンの製造方法 |
JP2015159806A Active JP6055048B2 (ja) | 2013-06-28 | 2015-08-13 | トリシリルアミンの製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014132832A Active JP5795668B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-06-27 | トリシリルアミンの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9284198B2 (ja) |
EP (2) | EP3009396B8 (ja) |
JP (2) | JP5795668B2 (ja) |
KR (2) | KR101618784B1 (ja) |
CN (2) | CN105731464B (ja) |
TW (1) | TWI516440B (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013209802A1 (de) * | 2013-05-27 | 2014-11-27 | Evonik Industries Ag | Verfahren zur gekoppelten Herstellung von Trisilylamin und Polysilazanen mit einer Molmasse bis 500 g/mol |
US9284198B2 (en) * | 2013-06-28 | 2016-03-15 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process for making trisilylamine |
CA2922993A1 (en) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | Bixa Research And Health Inc. | Single use intranasal atomizer |
DE102014204785A1 (de) * | 2014-03-14 | 2015-09-17 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von reinem Trisilylamin |
US10044725B2 (en) | 2015-12-18 | 2018-08-07 | Google Llc | Controlling access to online resources using device validations |
KR20180095553A (ko) * | 2015-12-18 | 2018-08-27 | 다우 실리콘즈 코포레이션 | 다이실라닐아민 및 폴리실라닐아민의 합성 |
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Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53117693A (en) * | 1977-03-24 | 1978-10-14 | Tokuyama Soda Co Ltd | Production of sodium bicarbonate |
DE19753480C1 (de) | 1997-12-02 | 1999-01-07 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Organosilazanen und Ammonchlorid |
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US8461367B2 (en) | 2010-01-15 | 2013-06-11 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Preparation process of trisilylamine |
JP5513232B2 (ja) | 2010-04-14 | 2014-06-04 | 矢崎総業株式会社 | 電子部品 |
WO2011162543A2 (ko) | 2010-06-22 | 2011-12-29 | 엘지전자 주식회사 | 다중 반송파 지원 무선 통신 시스템에서 상향링크 제어 정보 송수신 방법 및 장치 |
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DE102011078749A1 (de) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Trisilylamin aus Monochlorsilan und Ammoniak |
WO2013052673A2 (en) | 2011-10-07 | 2013-04-11 | Voltaix, Inc. | Apparatus and method for the condensed phase production of trisilylamine |
US9284198B2 (en) * | 2013-06-28 | 2016-03-15 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process for making trisilylamine |
-
2014
- 2014-05-22 US US14/284,983 patent/US9284198B2/en active Active
- 2014-06-23 EP EP15193282.9A patent/EP3009396B8/en active Active
- 2014-06-23 EP EP14173395.6A patent/EP2818448B1/en active Active
- 2014-06-24 TW TW103121780A patent/TWI516440B/zh active
- 2014-06-27 JP JP2014132832A patent/JP5795668B2/ja active Active
- 2014-06-27 CN CN201610074112.0A patent/CN105731464B/zh active Active
- 2014-06-27 CN CN201410302861.5A patent/CN104250007B/zh active Active
- 2014-06-27 KR KR1020140079866A patent/KR101618784B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-08-13 JP JP2015159806A patent/JP6055048B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-02 US US15/013,224 patent/US9463978B2/en active Active
- 2016-04-27 KR KR1020160051651A patent/KR101994470B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3009396B8 (en) | 2017-09-27 |
JP2015010035A (ja) | 2015-01-19 |
EP2818448A1 (en) | 2014-12-31 |
CN105731464A (zh) | 2016-07-06 |
KR20160055736A (ko) | 2016-05-18 |
US20150004089A1 (en) | 2015-01-01 |
US9284198B2 (en) | 2016-03-15 |
EP3009396B1 (en) | 2017-07-19 |
JP2016000692A (ja) | 2016-01-07 |
KR101994470B1 (ko) | 2019-06-28 |
US9463978B2 (en) | 2016-10-11 |
CN104250007B (zh) | 2017-04-12 |
EP3009396A1 (en) | 2016-04-20 |
TWI516440B (zh) | 2016-01-11 |
CN104250007A (zh) | 2014-12-31 |
CN105731464B (zh) | 2018-10-26 |
TW201500274A (zh) | 2015-01-01 |
JP5795668B2 (ja) | 2015-10-14 |
KR20150002533A (ko) | 2015-01-07 |
EP2818448B1 (en) | 2016-01-06 |
US20160145102A1 (en) | 2016-05-26 |
KR101618784B1 (ko) | 2016-05-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160426 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160428 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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