JP6052962B2 - 半導体発光装置 - Google Patents
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Description
第2の半導体層側から第2の半導体層及び発光層を貫通し、第1の半導体層に達する第1の溝と、
第1の溝内の第1の半導体層に接触して形成された第1のオーミック電極と、
第2の半導体層の表面と第1の溝に露出する発光層の表面とを覆う絶縁層と、
絶縁層の表面を覆い、かつ第1のオーミック電極に接続された金属層と、
第1の半導体層側から第1の半導体層及び発光層を貫通し、第2の半導体層に達し、第2の半導体層によって底部が構成された第2の溝と、
第2の溝内の第2の半導体層である第2の溝の底部に接触して形成された第2のオーミック電極と、
接合層を介して金属層に接合された支持体と、
を有することを特徴としている。
実施例1による発光装置10の製造方法について、AlGaInP系の発光ダイオード(LED)の場合を例に以下に詳細に説明する。図3は、実施例1の発光装置(LED)10の半導体構造層11を模式的に示す断面図である。
MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)法を用いて結晶成長を行った。成長基板10Aとしては、オフ角が15°のn型GaAs基板を用いた。より詳細には、GaAs成長基板10Aの(100)面上に、厚さが4μm(マイクロメートル)のnクラッド層((AlzGa1-z)0.5In0.5P層)12、厚さが0.5μmの発光層14、厚さが1.0μmで組成が(AlzGa1-z)0.5In0.5P(z=1.0)のpクラッド層15A、層厚が1.5μmで組成がGa1-xInxP(x=0.1)のpコンタクト層15Bをこの順で順次エピタキシャル成長した。なお、Ga1-xInxPコンタクト層15Bの組成xは発光層14からの放出光を吸収しないことを条件に定められる。また、nクラッド層12のキャリア濃度は、2×1018cm-3(以下、2E18 cm-3のように指数表記する場合がある。)、pクラッド層15Aのキャリア濃度は、2×1018cm-3とした。
次に、フォトリソグラフィとドライエッチングによりn電極用の溝11Gを形成する。より詳細には、pコンタクト層15B、pクラッド層15A、発光層14及びnクラッド層12をドライエッチングにより除去する。nクラッド層12の加工深さは、nクラッド層12の厚さ4.0μmに対し2.0μmとし、5.0μm(総エッチング量)の溝を形成した。AlGaInP系材料の場合、一般的に、電子閉じ込めのためのクラッド層がp側とn側でそれぞれ0.5μm、発光層14には0.5μmが必要であるため、かかる層構造の場合では、1.5μm以上の深さの溝を形成することによって、第2の半導体層(pコンタクト層15B、pクラッド層15A)及び発光層14を貫き、第1の半導体層(nクラッド層)12に達する溝11Gを形成することができる。本実施例の場合、n電極21の幅が5.0μmであり、溝11Gの幅は20μmとした。溝の加工幅は、狭いほど発光層14が除去される幅が小さくなるため小さいほうが好ましい。本実施例の構成の場合、溝11Gによってnクラッド層12に形成される溝の深さが2.0μm以上では順方向電圧の上昇はみられなかった。
(3)絶縁膜の形成
続いて、半導体構造層11のジャンクション(接合部)の絶縁するための絶縁層16を形成する。絶縁層16にはSiO2を用い、層厚を320nmとした。なお、絶縁層16の材料はSiO2に限定されるものではなく、SiN、TiO2やAl2O3などでも良い。この絶縁層16は後述する金属層とあわせて反射層として働く。そのため、SiO2層の層厚dは、真空中の発光波長λ0に対しd=λ0/(4n)×m(nはSiO2の屈折率で、mは整数)で構成される。ここでは、λ0=625 nm、n=1.45、m=3.0としd=320 nmを用いた。
溝11Gの電極形成位置に、nクラッド層12に対するオーミック電極であるn電極21を形成する。具体的には、絶縁層16をパターニングし、電極形成位置(例えば、溝11Gの底部)に開口部を設け、開口部に金属を成膜することで形成する。n型半導体(nクラッド層12)とオーミック接触を形成する材料としてAuGeNiを用い、素子面積(すなわち発光面積)に対する被覆率を5%とした。n型半導体とオーミック接触を形成することのできる材料としてAuGeNiを用いたが、この他、AuGe、AuSn、AuSnNi等を用いてn電極21を形成することも可能である。AlGaInP系半導体のnオーミック材料としてAuGeNiは低抵抗な接触が得られる代表的な材料であるが、400℃以上の熱処理が必要であり、熱処理を行うと発光層の光を吸収する合金層が形成される。しかし、本実施例の構成であれば、n電極21が発光層の光を遮光しない位置に配置されているため、この合金層による吸収を回避することが可能となる。
続いて、反射金属層17として金(Au)を300nm形成した。反射金属層17としてはAl、Agなど発光層14の光に対し高反射率な材料を用いることができる。反射金属層17及びSiO2絶縁層16から反射層19が構成される。反射層19は、発光層14から放射される光のうち光取り出し側と反対側に向かう光を反射し、光取り出し効率を向上させる。なお、反射金属層17は前述のn電極21に電気的に接続されるように形成される。これにより、LED10の裏面、すなわち導電性基板31の裏面(オーミック金属層32)がn側電極として機能する。
導電性基板(Si基板)31の一方の面にオーミック金属層32を蒸着し、もう一方の面上にオーミック金属層33、密着層、接着層及び共晶接合層を順次蒸着し、導電性支持体30を形成する。たとえば導電性基板31にp型不純物を高濃度に添加したシリコン(Si)基板を、オーミック金属層には白金(Pt)を用いることができる。オーミック金属層(Pt)の膜厚は、例えば100〜300nmであるが、ここでは200nmとした。上記の組み合わせにおいては、オーミック金属層を蒸着しただけでオーミック特性が得られるが、後述の熱圧着等の工程で加熱されることにより導電性基板への密着性が向上する。なおオーミック金属層はPtの他、Au、Ni 、Ti等のSi基板とオーミック接合を形成可能な金属を用いることも可能である。その場合、Si基板とのオーミック接合を得るため、窒素雰囲気下での合金化工程が適宜必要となる。また、基板はSi基板に限られず、導電性で熱伝導率が高い材料、例えばGe、Al、Cuなどを用いてもよい。
素子構造体20と導電性支持体30とを接合した後、GaAs成長基板10Aを除去する。GaAs成長基板10Aの除去によりnクラッド層12の表面が露出し、光取り出し面となる。ここでは、アンモニア・過酸化水素混合エッチャントを用いたウェットエッチングにより除去した。なお、GaAs成長基板10Aの除去は、ウェットエッチングに限らず、ドライエッチング、機械研磨法、化学機械研磨(CMP)、もしくはそれらのうち少なくとも1つの方法を含む組合せにより行ってもよい。
次いで、nクラッド層12上に光取り出し効率向上のための凹凸構造(フォトニック結晶)を形成する。まずフォトリソグラフィ、EBリソグラフィ、EB描画、ナノインプリント、レーザ露光などの方法及びリフトオフ法によりnクラッド層12上に人工的周期構造のマスクパターンを形成する。次に、ドライエッチングにより、エッチングを行い、nクラッド層12の表面に円錐状、または円柱状の突起又は窪みの光取り出し構造を形成する。このとき、本実施例においては、nクラッド層12(層厚4.0μm)にはp側から2.0μmの深さで溝加工されているため、残り2.0μm以下で光取り出し構造を形成する必要がある。
次に、フォトリソグラフィとドライエッチングによりp電極用の溝12Gを形成する。具体的には、nクラッド層12(層厚4.0μm)、活性層14(0.5μm)、pクラッド層15A(1.0μm)、およびGa1-xInxPコンタクト層15Bをドライエッチングにより除去して溝12Gを形成する。Ga1-xInxPコンタクト層15Bの加工深さは、Ga1-xInxPコンタクト層15Bの層厚1.5μmに対し0.5μmとした(すなわち、総エッチング深さ6.5μm)。尚、溝の傾斜角は、マスク材料やドライエッチング条件により制御し、本実施例においては傾斜角α2(後述する)が70°の端面を構成した。
p電極用の溝12Gからコンタクト層15Bが露出している露出部(例えば、溝12Gの底部)上にオーミック電極であるp電極18を形成する。具体的には、オーミック接合を形成可能な金属であるAuZnをスパッタ法にて厚さ330nm成膜し、続いて、Auを1.5um成膜した。次に、窒素雰囲気下、約400℃での熱処理(合金化)を行い、p電極18を形成する。
次に、図4に、上記実施例1に対する比較例である発光装置(LED)110の模式的な断面図を示す。LED110においては、支持基板131上に接合層135を介して反射層119及び半導体構造層111が設けられているが、実施例1とは異なり、発光層114よりも光取り出し面側の半導体層である第1の半導体層112に達する溝は設けられていない。従って、光取り出し構造125上に第1の半導体層112とのオーミック電極121が設けられている。第2の半導体層115は、クラッド層115A、コンタクト層115Bからなり、第2の半導体層115(コンタクト層115B)にオーミック接触するオーミック電極118が設けられている。従って、第1の半導体層112のオーミック電極121の下方にオーミック電極121に対向する発光層114が存在する。また、実施例1とは異なりスルーホールを要せず、オーミック電極121は第1の半導体層112上に設けられたパッド電極に接続されている。これら以外の点は実施例1と同様である。すなわち、オーミック電極121の形成部以外には光取り出し構造125が設けられており、また、上記したいわゆるカウンタ電極構成を有し、外部との電気的接続のためのパッド電極が設けられている。また、オーミック電極121が第1の半導体層112の表面上に(第1の半導体層112内ではなく)設けられている点を除いて、光取り出し面である第1の半導体層112の表面に垂直な方向から見た上面視における電極配置、電極長・幅などの電極構成は実施例1と同様である。
本実施例においては、反射面となる反射層側から溝11Gを形成し、溝11Gによって形成される半導体構造層11の端面(又は発光層14が露出する側面)の長さをLED10の外周の長さよりも長くしている。溝11Gの形成により、半導体層内部を伝搬する光が半導体層端面の反射によって伝搬方向が変えられ、LED10の光取り出し効率を高めることができる。特に、半導体構造層11を構成する層のうち発光層14はn型及びp型半導体層(クラッド層)に比べ屈折率が高く、内部伝搬する光が多い。そのため、発光層14の端面を増やすことが光取り出し効率を高める上で重要な要因である。つまり、本発明のLED10においては、活性層14を貫く溝11G、12Gを形成し、溝側面(半導体層の端面)での反射により、内部伝搬する光を積極的に外部に取り出す構成を有する。従って、活性層14を貫く溝が形成されている点で従来のものより光取り出し効率において有利な効果を有する。つまり、本発明では溝側面(半導体層端面)での反射により、内部伝搬する光を積極的にとりだす。溝側面の長さは長いほど端面の反射により取り出される光は増加する。上記した構成では、半導体層の端面の比率、すなわち、(LED内部の半導体層端面の長さ+外周長)/外周長が1.9となるように溝11G、12Gを形成した。
上記したように、実施例1においては、溝11G及び溝12Gの形成によって発光層14からの放出光の遮光が防止され、電極による損失が低減される。従って、LED10の光取り出し効率及び光出力が向上する。
図1及び図4に、それぞれ実施例1及び上記比較例における電流(電子の流れ)Jの経路を模式的に破線の矢印で示している。実施例1の構成においては、発光層を貫く溝を形成しているものの、第1の半導体層のオーミック電極と第2の半導体層のオーミック電極はカウンタ配置構成としているため、溝を適切な範囲で構成すれば、比較例の場合と同等以上の電流拡散を維持しつつ、LEDの光出力を改善することができる。
11G 第1の溝
12 第1の半導体層
12G 第2の溝
12A 低キャリア濃度層
12B 高キャリア濃度層
14 発光層
15 第2の半導体層
16 絶縁層
17 金属層
18 第2のオーミック電極
21 第1のオーミック電極
27 パッド電極
30 支持体
Claims (10)
- 第1の半導体層、発光層及び前記第1の半導体層とは反対導電型の第2の半導体層が順次積層された半導体構造層を有し、前記第1の半導体層の表面を光取り出し面とする発光装置であって、
前記第2の半導体層側から前記第2の半導体層及び前記発光層を貫通し、前記第1の半導体層に達する第1の溝と、
前記第1の溝内の前記第1の半導体層に接触して形成された第1のオーミック電極と、
前記第2の半導体層の表面と少なくとも前記第1の溝に露出する前記発光層の表面とを覆う絶縁層と、
前記絶縁層の表面を覆い、かつ前記第1のオーミック電極に接続された金属層と、
前記第1の半導体層側から前記第1の半導体層及び前記発光層を貫通し、前記第2の半導体層に達し、前記第2の半導体層によって底部が構成された第2の溝と、
前記第2の溝内の前記第2の半導体層である前記第2の溝の前記底部に接触して形成された第2のオーミック電極と、
接合層を介して前記金属層に接合された支持体と、
を有することを特徴とする発光装置。 - 前記第1の溝はその開口面積が前記半導体構造層内に向い小となる順テーパー形状に形成され、前記第1の溝によって形成される前記半導体構造層の端面の前記半導体構造層に対する第1の傾斜角α1(0<α1<90°)は、40°以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記第2の溝はその開口面積が前記半導体構造層内に向い小となる順テーパー形状に形成され、前記第2の溝によって形成される前記半導体構造層の端面の前記半導体構造層に対する第2の傾斜角α2(0<α2<90°)は、50°以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置。
- 前記第1の傾斜角は、前記第1の半導体層と前記第1の半導体層の接する外部媒体との界面における臨界角以下の角度であることを特徴とする請求項2又は3に記載の発光装置。
- 前記第2の傾斜角は、前記第1の半導体層と前記第1の半導体層の接する外部媒体との界面における臨界角をβとしたとき、(90°−β)以上の角度であることを特徴とする請求項3又は4に記載の発光装置。
- 前記第1の半導体層は、前記発光層上に形成された相対的に高いキャリア濃度を有する高キャリア濃度半導体層及び前記高キャリア濃度半導体層よりも低いキャリア濃度を有する低キャリア濃度半導体層からなり、前記第1のオーミック電極は前記高キャリア濃度半導体層に接触して形成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記低キャリア濃度半導体層の表面に光取り出し凹凸構造が形成され、前記光取り出し凹凸構造は、前記高キャリア濃度半導体層には至らない深さで形成されていることを特徴とする請求項6に記載の発光装置。
- 前記低キャリア濃度半導体層は、5×1017cm-3以下のキャリア濃度を有することを特徴とする請求項6又は7に記載の発光装置。
- 前記低キャリア濃度半導体層はアンドープ層であることを特徴とする請求項6又は7に記載の発光装置。
- 前記半導体構造層は、GaN系発光ダイオード構造層であることを特徴とする請求項6ないし9のいずれか1に記載の発光装置。
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