JP6048667B2 - スパッタ装置 - Google Patents
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Description
図1〜図10を用いて本発明実施の形態1のスパッタ装置および太陽電池の製造方法について説明する。
図2Aは、本発明実施の形態1に関わるスパッタ装置100である。図2A〜図2Fは、スパッタ装置100の処理工程の各ステップを示す。
次に、図1を用いて太陽電池について説明する。
図3は、本発明実施の形態1のスパッタ装置の成膜中の状態を説明する図である。図3は、図2DのX−X線断面図に相当する。
実施の形態2のスパッタ装置は、実施の形態1とトレイ30の構造が異なり、他の構成は実施の形態1と同様である。よって、同様の構成については詳細な説明を省略する。
実施の形態3のスパッタ装置は、実施の形態1および2とトレイ30の構造が異なり、他の構成は実施の形態1および2と同様である。よって、同様の構成については詳細な説明を省略する。
20 ターゲット
30 トレイ(保持具)
30a 枠
34 ターゲットに対向する面
35 側面
35t ストレート部
36 上面
37 テーパ部
40 太陽電池基板
50 成膜側部品
52 非成膜側部品
60 バッキングチューブ
70 マグネット
80 プラズマ
Claims (4)
- スパッタターゲットを配置した成膜室と、
成膜対象の基板を保持して成膜処理中に前記成膜室に配置される保持具と、
を具備し、
前記保持具は、
前記スパッタターゲットに対向する面の表面粗さが、スパッタ粒子が飛散する領域に晒される他の面の表面粗さより大きく構成され、
前記スパッタターゲットに対向する面を底面部として、前記底面部と連なる側面部と、前記側面部と連なる上面部とを有し、
前記底面部、前記側面部、前記上面部の各表面粗さが、
前記底面部の表面粗さ > 前記側面部の表面粗さ >前記上面部の表面粗さ
である、
ことを特徴とするスパッタ装置。 - スパッタターゲットを配置した成膜室と、
成膜対象の基板を保持して成膜処理中に前記成膜室に配置される保持具と、
を具備し、
前記保持具は、
前記スパッタターゲットに対向する面の表面粗さが、スパッタ粒子が飛散する領域に晒される他の面の表面粗さより大きく構成され、
前記スパッタターゲットに対向する面を底面部として、前記底面部と連なる側面部を有し、
前記側面部の前記底面部から遠い側の区間には、前記底面部の方から見て前記底面部に隠れる側へ傾斜したテーパ部が設けられている、
ことを特徴とするスパッタ装置。 - スパッタターゲットを配置した成膜室と、
成膜対象の基板を保持して成膜処理中に前記成膜室に配置される保持具と、
を具備し、
前記保持具は、
前記スパッタターゲットに対向する面の表面粗さが、スパッタ粒子が飛散する領域に晒される他の面の表面粗さより大きく構成され、
前記スパッタターゲットに対向する側に配置される成膜側部品と、
前記スパッタターゲット側から見て前記成膜側部品に隠れるように配置されて、前記成膜側部品に分離可能に固定される非成膜側部品と、
を具備し、
前記成膜側部品の表面粗さが前記非成膜側部品の表面粗さより大きい、
ことを特徴とするスパッタ装置。 - スパッタターゲットを配置した成膜室と、
成膜対象の基板を保持して成膜処理中に前記成膜室に配置される保持具と、
を具備し、
前記スパッタターゲットから放出されるスパッタ粒子は指向性を有し、
前記保持具は、
前記スパッタターゲットに対向する面の表面粗さが、スパッタ粒子が飛散する領域に晒される他の面の表面粗さより大きく構成され、
前記スパッタターゲットに対向する面のうち、前記スパッタ粒子の放出方向と重なる範囲の表面粗さが、前記スパッタ粒子の放出方向から外れる範囲の表面粗さより大きく構成されている、
ことを特徴とするスパッタ装置。
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Family Applications (1)
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