JP6043210B2 - ミラートロンスパッタ装置 - Google Patents
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Landscapes
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Description
21a 開口部
21b 底部上面
22 カソードユニット
22a,22b カソードユニットの端部
23 支持台
23a 脚部
23b キャスター
24 取付部
25 摺動支持部
26 密閉蓋部
27 接続部
31,32 カソード部
33,34 ターゲット
W 基板
Claims (1)
- 側壁に後記カソードユニットが通過可能な開口部を有する真空容器と、
ターゲットを、真空容器内に配置可能に且つスパッタ電源と電気的に接続可能に、保持するカソードユニットと、
前記カソードユニットを、前記カソードユニットが前記真空容器の内部に配置される第1位置と前記カソードユニットの少なくとも主要部分が前記真空容器の外部に配置される第2位置との間で、前記開口部を介して移動可能に支持するユニット支持部と、
前記カソードユニットの前記真空容器から離れる側の端部又はその近傍部分に設けられた密閉蓋部であって、前記カソードユニットが前記第1位置に配置されたとき、前記真空容器の開口部を気密に塞ぐ密閉蓋部と、
前記カソードユニットが前記第2位置に配置されたときに前記カソードユニットの前記真空容器と反対側の端部が上下方向に円弧状に回動可能なように、前記カソードユニットの前記真空容器側の端部を、前記ユニット支持部に接続する接続部であって、前記円弧状の回動の支点となる接続部と、
を備えたことを特徴とするミラートロンスパッタ装置。
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